JPH04119928A - ガラス原料ガス発生装置 - Google Patents
ガラス原料ガス発生装置Info
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- JPH04119928A JPH04119928A JP23824090A JP23824090A JPH04119928A JP H04119928 A JPH04119928 A JP H04119928A JP 23824090 A JP23824090 A JP 23824090A JP 23824090 A JP23824090 A JP 23824090A JP H04119928 A JPH04119928 A JP H04119928A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
- C03B19/1415—Reactant delivery systems
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
- C03B2207/85—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野１
本発明は通信分野、光学分野での石英系ガラスの合成に
用いられるガラス原料ガス発生装置に関する。
用いられるガラス原料ガス発生装置に関する。
「従来の技術」
光フアイバ母材で代表される石英系ガラスの合成技術と
して、液体ガラス原料を気化してガラス原料ガスをつく
る手段と、ガラス原料ガスを反応系で反応させてガラス
微粒子を生成する手段と、ガラス微粒子を堆積させて多
孔質ガラス体をつくる手段と、多孔質ガラス体を脱水、
透明ガラス化して透明ガラス体（母材）をつくる手段と
の組み合わせが広〈実施されている。
して、液体ガラス原料を気化してガラス原料ガスをつく
る手段と、ガラス原料ガスを反応系で反応させてガラス
微粒子を生成する手段と、ガラス微粒子を堆積させて多
孔質ガラス体をつくる手段と、多孔質ガラス体を脱水、
透明ガラス化して透明ガラス体（母材）をつくる手段と
の組み合わせが広〈実施されている。
上記における液体ガラス原料の気化手段、すなわち、ガ
ラス原料ガスをつくる手段として、第６図、第７図に示
す装置が提供されている。
ラス原料ガスをつくる手段として、第６図、第７図に示
す装置が提供されている。
はじめ、第６図の装置について説明する。
第６図において、原料タンク１と気化容器５とにわたり
、フィードポンプ３を備えた原料液供給管４が配管され
ており、原料液供給管４が原料タンク１内の液体ガラス
原料２を気化容器５内に適時供給する。
、フィードポンプ３を備えた原料液供給管４が配管され
ており、原料液供給管４が原料タンク１内の液体ガラス
原料２を気化容器５内に適時供給する。
気化容器５はヒータ６と圧力計７とを備えて断熱材８で
覆われており、ヒータ６が気化容器５内の液体ガラス原
料２を加熱して蒸発させる。
覆われており、ヒータ６が気化容器５内の液体ガラス原
料２を加熱して蒸発させる。
さらに、キャリアガスポンベ９に接続されたバブリング
ガス配管１０は、分岐管１１、合流管１２、および、分
岐点と合流点との間の木管１４など、これらの各部にマ
スフローコントローラ（ＭＦＣ）１５を備え、分岐管１
２と合流管１４とが気化容器５内に挿入されているので
、キャリアガスポンベ９からバブリングガス配管１０へ
送り出されたキャリアガスは、分岐管１１と木管１４に
分流する。
ガス配管１０は、分岐管１１、合流管１２、および、分
岐点と合流点との間の木管１４など、これらの各部にマ
スフローコントローラ（ＭＦＣ）１５を備え、分岐管１
２と合流管１４とが気化容器５内に挿入されているので
、キャリアガスポンベ９からバブリングガス配管１０へ
送り出されたキャリアガスは、分岐管１１と木管１４に
分流する。
分岐管１１を流れるキャリアガスは、気化容器５内に吹
きこまれ、ここで蒸発している液体ガラス原料２、すな
わち、ガラス原料ガスを担持して合流管１２を流れる。
きこまれ、ここで蒸発している液体ガラス原料２、すな
わち、ガラス原料ガスを担持して合流管１２を流れる。
かくて、合流管１２を流れるガラス原料ガスは、本管１
４を流れるキャリアガスと合流して稀釈された後、所定
の反応系へ流れこむ。
４を流れるキャリアガスと合流して稀釈された後、所定
の反応系へ流れこむ。
つぎに、第７図の装置について説明する。
第７図において、原料タンク１と気化容器５とにわたり
、フィートポンプ３ 、ＭＦＣ１５を備えた原料液供給
管４が配管されており、原料液供給管４が、原料タンク
１内の液体ガラス原料２を気化容器５内に適時供給する
。
、フィートポンプ３ 、ＭＦＣ１５を備えた原料液供給
管４が配管されており、原料液供給管４が、原料タンク
１内の液体ガラス原料２を気化容器５内に適時供給する
。
ヒータ６と圧力計７とを備えた気化容器５にはガス取出
′１！′１Ｂが接続されており、ヒータ６が気化容器５
内の液体ガラス原料２を加熱するので、気化容器５内で
蒸発した液体ガラス原料２、すなわち、ガラス原料ガス
は、ガス取出管１６を介して所定の反応系へ流れこむ。
′１！′１Ｂが接続されており、ヒータ６が気化容器５
内の液体ガラス原料２を加熱するので、気化容器５内で
蒸発した液体ガラス原料２、すなわち、ガラス原料ガス
は、ガス取出管１６を介して所定の反応系へ流れこむ。
「発明が解決しようとする課題ｊ
第６図に示した装置の場合、気化容器５内を液体ガラス
原料２の沸点付近〜沸点以上に加熱して当該原料２を気
化させ、こうして得られた気化原料（ガラス原料ガス）
をキャリアガスにより反応系へ搬送する。
原料２の沸点付近〜沸点以上に加熱して当該原料２を気
化させ、こうして得られた気化原料（ガラス原料ガス）
をキャリアガスにより反応系へ搬送する。
このとき、ガラス原料ガスの流量は、配管の各部に備え
られたＭＦＣ１５を介して高精度に制御されるが、実際
上は、ガラス原料ガスを長期にわたり安定して供給する
のが困難である。
られたＭＦＣ１５を介して高精度に制御されるが、実際
上は、ガラス原料ガスを長期にわたり安定して供給する
のが困難である。
その原因として、高温のカラス原料ガスによりＭＦＣ１
５のセンサ部が温度劣化しやすこと、配管系のバルブ内
で気化原料の結露が生じること、配管系の汚染により目
詰まりが生じることなどがあげられる。
５のセンサ部が温度劣化しやすこと、配管系のバルブ内
で気化原料の結露が生じること、配管系の汚染により目
詰まりが生じることなどがあげられる。
上記以外にも、気化容器５内における液体ガラス原料２
の局部的な沸騰に起因して気泡の破裂が発生し、気化容
器５内の圧力が変動したリミストが発生するので、この
点でも、ガラス原料ガスの流量制御性（安定供給）が阻
害される。
の局部的な沸騰に起因して気泡の破裂が発生し、気化容
器５内の圧力が変動したリミストが発生するので、この
点でも、ガラス原料ガスの流量制御性（安定供給）が阻
害される。
その他、気化容器５内における液体ガラス原料２の温度
が、容器中心部と容器外周部とで異なる傾向があるので
、特に、大量の液体ガラス原料２を気化する場合は、液
体ガラス原料２に対する伝熱面積を大きくするなど、装
置の大型化が必要になる。
が、容器中心部と容器外周部とで異なる傾向があるので
、特に、大量の液体ガラス原料２を気化する場合は、液
体ガラス原料２に対する伝熱面積を大きくするなど、装
置の大型化が必要になる。
これに対し、第７図に示す装置の場合は、気化容器５内
に供給された液体ガラス原料２を瞬時に全量気化するの
で、気化容器５内への液体ガラス原料２の供給量を単に
制御するだけでよくなり、かかる制御に要するＭＦＣ１
５も、低温域の原料液供給管４に備えるだけであるから
、配管の構成が簡略化され、ＭＦＣ１５の故障も起こり
がたい。
に供給された液体ガラス原料２を瞬時に全量気化するの
で、気化容器５内への液体ガラス原料２の供給量を単に
制御するだけでよくなり、かかる制御に要するＭＦＣ１
５も、低温域の原料液供給管４に備えるだけであるから
、配管の構成が簡略化され、ＭＦＣ１５の故障も起こり
がたい。
したがって、第７図の装置によるとき、簡潔な装置構成
にてガラス原料ガスの流量制御性（安定供給）を十分に
確保することができ、ガラス原料ガス供給時の信頼性が
向上するといえる。
にてガラス原料ガスの流量制御性（安定供給）を十分に
確保することができ、ガラス原料ガス供給時の信頼性が
向上するといえる。
しかし、第７図に示す装置も、大量の液体ガラス原料２
を気化するときには、つぎの理由により困難をともなう
。
を気化するときには、つぎの理由により困難をともなう
。
たとえば、液体ガラス原料２の蒸発を容易にすべく、液
滴とか霧状にした液体ガラス原料２を気化容器５内に連
続的に導入してこれを気化するとき、気化容器５の気化
部（ヒータ６側）で発生する液体カラス原＃４２の表面
張力、気化ガス圧などにより、未蒸発原料（液滴、霧状
）が気化部から浮き上がり、しかも、未蒸発原料と気化
部との間に介在した蒸発原料（ガス層）が、ヒータ６側
から未蒸発原料側への熱伝導を妨げるので、液体ガラス
原料２の気化率が低下する。
滴とか霧状にした液体ガラス原料２を気化容器５内に連
続的に導入してこれを気化するとき、気化容器５の気化
部（ヒータ６側）で発生する液体カラス原＃４２の表面
張力、気化ガス圧などにより、未蒸発原料（液滴、霧状
）が気化部から浮き上がり、しかも、未蒸発原料と気化
部との間に介在した蒸発原料（ガス層）が、ヒータ６側
から未蒸発原料側への熱伝導を妨げるので、液体ガラス
原料２の気化率が低下する。
本発明はかかる技術的課題に鑑み、装置の大型化を回避
して、大量の液体ガラス原料を安定かつ均質に気化する
ことのできるガラス原料ガス発生装置を提供しようとす
るものである。
して、大量の液体ガラス原料を安定かつ均質に気化する
ことのできるガラス原料ガス発生装置を提供しようとす
るものである。
「課題を解決するための手段ｊ
本発明は所期の目的を達成するため、原料液りンクと気
化容器とにわたり、流量制御器を有する原料液供給管が
配管されて、原料液供給管の吸入端部が原料液タンクに
、原料液供給管の吐出端部が気化容器にそれぞれ連結さ
れているガラス原料ガス発生装置において、対をなす電
界発生用の電極が、前記原料液供給管の吐出端部側と前
記気化容器の気化部側に相対配置されていることを特徴
とする。
化容器とにわたり、流量制御器を有する原料液供給管が
配管されて、原料液供給管の吸入端部が原料液タンクに
、原料液供給管の吐出端部が気化容器にそれぞれ連結さ
れているガラス原料ガス発生装置において、対をなす電
界発生用の電極が、前記原料液供給管の吐出端部側と前
記気化容器の気化部側に相対配置されていることを特徴
とする。
ｒ作用」
本発明装置の場合、原料液タンク→原料液供給管→原料
液タンクのごとく、液体ガラス原料の液滴を気化容器内
に供給して気化するとき、対をなす電極間に電圧を印加
する。
液タンクのごとく、液体ガラス原料の液滴を気化容器内
に供給して気化するとき、対をなす電極間に電圧を印加
する。
こうした場合、原料液供給管の吐出端部から気化容器内
へ供給される液体ガラス原料の液滴は、気化容器の気化
部と異なる極性で帯電する。
へ供給される液体ガラス原料の液滴は、気化容器の気化
部と異なる極性で帯電する。
かくて液体ガラス原料は、気化容器の気化部に引き寄せ
られ、確実かつ安定して気化される。
られ、確実かつ安定して気化される。
ｒ実 施 例」
本発明に係るガラス原料ガス発生装置の実施例につき、
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
第１図〜第３図において、３１は原料タンク、３２は原
料液供給管、３７は気化容器、４１はガス取出管、４２
．４３は対をなす電極、４４は電源を示す。
料液供給管、３７は気化容器、４１はガス取出管、４２
．４３は対をなす電極、４４は電源を示す。
これら原料タンク３１、原料液供給管３２、気化容器３
７、ガス取出管４１は、耐熱性、耐食性、機械的特性、
絶縁性、その他を有する金属、ガラス、セラミックスな
どの周知材料からなり、内電極４２．４３も、周知の導
電性材料からなる。
７、ガス取出管４１は、耐熱性、耐食性、機械的特性、
絶縁性、その他を有する金属、ガラス、セラミックスな
どの周知材料からなり、内電極４２．４３も、周知の導
電性材料からなる。
原料液供給管３２は、吸入端部３３と吐出端部３４との
間に、フィードポンプ３５と流量制御器３８とを備えて
いるが、フィードポンプ３５は公知ないし周知のものか
らなり、流量制御器３６も公知ないし周知のマスフロー
コントローラ（ＭＦＣ）からなる。
間に、フィードポンプ３５と流量制御器３８とを備えて
いるが、フィードポンプ３５は公知ないし周知のものか
らなり、流量制御器３６も公知ないし周知のマスフロー
コントローラ（ＭＦＣ）からなる。
これらフィードポンプ３５、流量制御器３６を備えた原
料液供給管３２は、吸入端部３３を原料タンク３１内に
挿入し、吐出端部３４を内に挿入する配管手段により、
原料タンク３１と気化容器３７とを相互に連絡している
。
料液供給管３２は、吸入端部３３を原料タンク３１内に
挿入し、吐出端部３４を内に挿入する配管手段により、
原料タンク３１と気化容器３７とを相互に連絡している
。
なお、原料タンク３１が加圧式の液送手段を備えている
とき、原料液供給管３２のフィートポンプ３５が省略さ
れることもある。
とき、原料液供給管３２のフィートポンプ３５が省略さ
れることもある。
気化容器３７は、容器底部の下位に電熱式のヒータ３８
を備えているとともに、容器胴部に圧力計３９を備えて
おり、かつ、ヒータ３８のある容器底部側が気化部４０
となっている。
を備えているとともに、容器胴部に圧力計３９を備えて
おり、かつ、ヒータ３８のある容器底部側が気化部４０
となっている。
この気化容器３７の周囲には、保温を目的として図示し
ない断熱材が設けられる。
ない断熱材が設けられる。
以上は、第１図〜第３図に示す各実施例の共通事項であ
るが、該各実施例は、以下の点でこれらの態様が異なる
。
るが、該各実施例は、以下の点でこれらの態様が異なる
。
第１図、第２図に示す実施例の場合、ガス取出管４１は
、その一端が気化容器３７に接続され、その他端が図示
しない反応系に接続されている。
、その一端が気化容器３７に接続され、その他端が図示
しない反応系に接続されている。
８３図に示す実施例の場合、ガス取出管４１が省略され
、気化容器３７の開口された端部が、多重管構造ならな
る酸水素炎バーナ４６の軸心部に挿入されている。
、気化容器３７の開口された端部が、多重管構造ならな
る酸水素炎バーナ４６の軸心部に挿入されている。
第１図に示す実施例の場合、一方の電極４２は、コイル
巻きされて原料液供給管３２の吐出端部３４外周に配置
されており、他方の電極４３は、面状にして気化容器３
７の気化部４０側に配置されている。
巻きされて原料液供給管３２の吐出端部３４外周に配置
されており、他方の電極４３は、面状にして気化容器３
７の気化部４０側に配置されている。
第２図、第３図に示す実施例の場合、原料液供給管３２
の吐出端部３４側に配置された一方の電極４２は、吐出
端部３４の手前から吐出端部３４内の軸心を通って管端
外に引き出され、その引き出された電極端部が多枝状に
分岐しており、気化容器３７の気化部４０側に配置され
た他方の電極４３は、前記第１図のものと同様に構成さ
れている。
の吐出端部３４側に配置された一方の電極４２は、吐出
端部３４の手前から吐出端部３４内の軸心を通って管端
外に引き出され、その引き出された電極端部が多枝状に
分岐しており、気化容器３７の気化部４０側に配置され
た他方の電極４３は、前記第１図のものと同様に構成さ
れている。
その他、第１図〜第３図における内電極４２．４３は、
いずれも、電源４４に接続されている。
いずれも、電源４４に接続されている。
第３図において、４５は液体ガラス原料を示し、第３図
において、４７は石英ガラス製のガラス棒、４８は多孔
質ガラス体をそれぞれ示す。
において、４７は石英ガラス製のガラス棒、４８は多孔
質ガラス体をそれぞれ示す。
上記における液体ガラス原料４５としては、石英ガラス
の主成分５ｉ０２を生成するための５ｉＣ１ｎのほか、
ＧｅＯ２、ＴｌＯ２のごとき石英ガラスの副成分（屈折
率制御用）を生成するためのＧｅＣＩａ 、 ＴｉＣｌ
１１など、各種のハロゲン化金属（液状）をあげること
ができる。
の主成分５ｉ０２を生成するための５ｉＣ１ｎのほか、
ＧｅＯ２、ＴｌＯ２のごとき石英ガラスの副成分（屈折
率制御用）を生成するためのＧｅＣＩａ 、 ＴｉＣｌ
１１など、各種のハロゲン化金属（液状）をあげること
ができる。
第１図〜第３図に示す実施例において、液体ガラス原料
４５を気化するとき、以下のようになる。
４５を気化するとき、以下のようになる。
フィードポンプ３５を稼動させて原料タンク３１内の液
体ガラス原料４５を原料液供給管３２の吸入端部３３よ
り吸入し、この際の流量を流量制御器３６により制御し
つつ、液体ガラス原料４５を原料液供給管３２の吐出端
部３４から気化容器３７内に供給する。
体ガラス原料４５を原料液供給管３２の吸入端部３３よ
り吸入し、この際の流量を流量制御器３６により制御し
つつ、液体ガラス原料４５を原料液供給管３２の吐出端
部３４から気化容器３７内に供給する。
液体ガラス原料４５が供給される気化容器３７内におい
ては、その気化部４０が、ヒータ３８を介して液体ガラ
ス原料４５の沸点以上に加熱されているほか所定の内圧
力に保持されて容器全体が保温されている。
ては、その気化部４０が、ヒータ３８を介して液体ガラ
ス原料４５の沸点以上に加熱されているほか所定の内圧
力に保持されて容器全体が保温されている。
したがって、原料液供給管３２の吐出端部３４から液滴
となって気化容器３７内の気化部４０上に滴下する液体
ガラス原料４５は、気化部４０に接して瞬時に蒸発（気
化）する。
となって気化容器３７内の気化部４０上に滴下する液体
ガラス原料４５は、気化部４０に接して瞬時に蒸発（気
化）する。
かかる液体ガラス原料４５の気化時、対をなす電極４２
．４３間に電圧を印加する。
．４３間に電圧を印加する。
たとえば、電極４２を負極（−）、電極４３を陽極（＋
）として（その逆でもよい）、これら電極４２．４３間
に電圧を印加すると、原料液供給管３２の吐出端部３４
を通る液体ガラス原料４５は、電極４２によりマイナス
に帯電し、気化容器３７の気化部４０は、電極４３によ
りプラスに帯電する。
）として（その逆でもよい）、これら電極４２．４３間
に電圧を印加すると、原料液供給管３２の吐出端部３４
を通る液体ガラス原料４５は、電極４２によりマイナス
に帯電し、気化容器３７の気化部４０は、電極４３によ
りプラスに帯電する。
したがって、マイナスに帯電した液体ガラス原料４５は
、プラスに帯電した気化部４０に引き寄せられて、ここ
で確実かつ十分に気化される。
、プラスに帯電した気化部４０に引き寄せられて、ここ
で確実かつ十分に気化される。
もちろん、この際、気化部４０上に気化ガス層が滞留し
て、液体カラス原料（液滴）への熱伝導が阻害されるこ
とはない。
て、液体カラス原料（液滴）への熱伝導が阻害されるこ
とはない。
第１図、第２図の実施例において気化された液体ガラス
原料、すなわち、ガラス原料カスは、ガス取出管４１を
介して所定の反応系へ送られ、ここでの反応によりガラ
ス微粒子として生成される。
原料、すなわち、ガラス原料カスは、ガス取出管４１を
介して所定の反応系へ送られ、ここでの反応によりガラ
ス微粒子として生成される。
第３図に示す実施例でのガラス原料ガスは、酸水素炎バ
ーナ４６側へ送られ、ここでの火炎加水分解反応により
ガラス微粒子となり、かかるカラス微粒子がカラス林４
７の外周に堆積されて多孔質ガラス体４８が形成される
。
ーナ４６側へ送られ、ここでの火炎加水分解反応により
ガラス微粒子となり、かかるカラス微粒子がカラス林４
７の外周に堆積されて多孔質ガラス体４８が形成される
。
つぎに、本発明装置に関する実験例について説明する。
この実験例では、第２図に例示した装置を用いた。その
要部の仕様は下記の通りである。
要部の仕様は下記の通りである。
気化容器３７における気化部４０の内径１５０龍φであ
る。
る。
ヒータ３８による気化容器３７の加熱温度２５０℃とし
た。
た。
一方の電極４２は、２０本の電極棒が多枝状に分岐した
ものを用い、他方の電極４３は、気化部４０とほぼ同等
の面積を有するものを用いた。
ものを用い、他方の電極４３は、気化部４０とほぼ同等
の面積を有するものを用いた。
多枝状電極４２の下端から気化部４０までの間隔は３ｍ
■である。
■である。
上記画電極４２．４３への印加電圧は、第４図、第５図
の通りである。
の通りである。
液体ガラス原料４５は、四塩化ケイ素（ＳｉＣ＋４）の
みからなる。
みからなる。
流量制御器３６を備えた原料液供給管３２を介し、原料
タンクから気化容器３７へ液体ガラス原料４５を供給す
る量は１００ｇ／膓ｉｎである。
タンクから気化容器３７へ液体ガラス原料４５を供給す
る量は１００ｇ／膓ｉｎである。
第２図に例示した装置の仕様を上記のように設定して液
体ガラス原料４５を気化し、この際、気化容器３７内の
圧力変動、ガス取出管４１側におけるガラス原料ガスの
流量を測定した。
体ガラス原料４５を気化し、この際、気化容器３７内の
圧力変動、ガス取出管４１側におけるガラス原料ガスの
流量を測定した。
その結果を第４図、第５図に示す。
第４図、第５図を参照して明らかなように、電圧が２０
０ｖ以上のときは、気化容器３７内の圧力変動が小さく
、ガス取出管４１側において１００ｇ／ｗｉｎのガラス
原料ガスを安定して得ることができた。
０ｖ以上のときは、気化容器３７内の圧力変動が小さく
、ガス取出管４１側において１００ｇ／ｗｉｎのガラス
原料ガスを安定して得ることができた。
しかるに、液体ガラス原料供給量に対して電圧が過少な
Ｏｖ、１００ｖのときは、気化容器３７内に供給した液
体ガラス原料４５を全量気化することができず、実験開
始後、数分の経過で既述の圧力変動発生ガス量の不安定
をきたし、ガス取出管４１側においてガラス原料ガスを
安定して得ることができなかった。しかも、実験開始後
、２０〜３０分の経過では、未蕃発の液体ガラス原料４
５が気化容器３７内に充満してしまい、実験を中止せざ
るを得なかつた。
Ｏｖ、１００ｖのときは、気化容器３７内に供給した液
体ガラス原料４５を全量気化することができず、実験開
始後、数分の経過で既述の圧力変動発生ガス量の不安定
をきたし、ガス取出管４１側においてガラス原料ガスを
安定して得ることができなかった。しかも、実験開始後
、２０〜３０分の経過では、未蕃発の液体ガラス原料４
５が気化容器３７内に充満してしまい、実験を中止せざ
るを得なかつた。
「発明の効果」
本発明に係るガラス原料ガス発生装δは、原料液タンク
と気化容器と流量制御器付き原料液供給管とを主体にし
た基本構成に、対をなす電極を組み合わせるだけである
から、流路構成の簡潔化、液体ガラス原料の流量制御性
、流量制御器の寿命向上、気化容器の小型化など、これ
らの技術的利点を確保した上で、対をなす電極の機能に
より、大量の液体ガラス原料を安定かつ均質に気化する
ことができる。
と気化容器と流量制御器付き原料液供給管とを主体にし
た基本構成に、対をなす電極を組み合わせるだけである
から、流路構成の簡潔化、液体ガラス原料の流量制御性
、流量制御器の寿命向上、気化容器の小型化など、これ
らの技術的利点を確保した上で、対をなす電極の機能に
より、大量の液体ガラス原料を安定かつ均質に気化する
ことができる。
第１図は本発明装置の第一実施例を略示した説明図、第
２図は本発明装置の第二実施例を略示した説明図、第３
図は本発明装置の第三実施例を略示した説明図、第４図
、第５図は本発明装置における気化容器の圧力変動、ガ
ラス原料ガスの発生量に関する実験結果を示した図、第
６図、第７図は各種の従来装置を略示した説明図である
。 ３１・・・・・・原料タンク ３２・・・・・・原料供給管 ３３・・・・・・吸入端部 ３４・・・・・・吐出端部 ３６・・・・・・流量制御器 ３７・・・・・・気化容器 ３８・・・・・・ヒータ ４０・・・・・・気化部 ４２・・・・・・電極 ４３・・・・・・電極 ４４・・・・・・電源 ４５・・・・・・液体ガラス原料
２図は本発明装置の第二実施例を略示した説明図、第３
図は本発明装置の第三実施例を略示した説明図、第４図
、第５図は本発明装置における気化容器の圧力変動、ガ
ラス原料ガスの発生量に関する実験結果を示した図、第
６図、第７図は各種の従来装置を略示した説明図である
。 ３１・・・・・・原料タンク ３２・・・・・・原料供給管 ３３・・・・・・吸入端部 ３４・・・・・・吐出端部 ３６・・・・・・流量制御器 ３７・・・・・・気化容器 ３８・・・・・・ヒータ ４０・・・・・・気化部 ４２・・・・・・電極 ４３・・・・・・電極 ４４・・・・・・電源 ４５・・・・・・液体ガラス原料
Claims (1)
- 原料液タンクと気化容器とにわたり、流量制御器を有す
る原料液供給管が配管されて、原料液供給管の吸入端部
が原料液タンクに、原料液供給管の吐出端部が気化容器
にそれぞれ連結されているガラス原料ガス発生装置にお
いて、対をなす電界発生用の電極が、前記原料液供給管
の吐出端部側と前記気化容器の気化部側に相対配置され
ていることを特徴とするガラス原料ガス発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23824090A JPH04119928A (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | ガラス原料ガス発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23824090A JPH04119928A (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | ガラス原料ガス発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04119928A true JPH04119928A (ja) | 1992-04-21 |
Family
ID=17027231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23824090A Pending JPH04119928A (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | ガラス原料ガス発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04119928A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0908418A1 (en) * | 1997-10-09 | 1999-04-14 | Nikon Corporation | Manufacturing method of synthetic silica glass |
| US6094940A (en) * | 1997-10-09 | 2000-08-01 | Nikon Corporation | Manufacturing method of synthetic silica glass |
| JP2020029389A (ja) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法および製造装置 |
-
1990
- 1990-09-07 JP JP23824090A patent/JPH04119928A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0908418A1 (en) * | 1997-10-09 | 1999-04-14 | Nikon Corporation | Manufacturing method of synthetic silica glass |
| US6094940A (en) * | 1997-10-09 | 2000-08-01 | Nikon Corporation | Manufacturing method of synthetic silica glass |
| US6378340B2 (en) | 1997-10-09 | 2002-04-30 | Nikon Corporation | Manufacturing method of synthetic silica glass |
| JP2020029389A (ja) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法および製造装置 |
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