JPH04123443A - オートダイボンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、多品種対応のオートダイボンダに関するも
のである。

〔従来の技術〕

従来のダイボンダとしては、第５図に示すものがあった
。図において、１はマニピュレータであるダイボンダ本
体、２は画像入力のためのＩＴＶカメラ、３はこのＩＴ
Ｖカメラ２に用いる照明、４は位置決めのためのＸ−Ｙ
テーブル、５はチップ、６はチ・ンプトレイ、７はこの
チップｌ−Ｌ−イ６の自動供給を行うトレイロータ、８
はリードフし一ム、９はこのリードフレーム８の自動供
給を行うフレームフィーダ、１０はパターン認識ユニッ
ト、１１はモニタＴＶである。

次に、動作について説明する。

トレイローダ７から１枚のチップ）・し・イ６をＸＹ子
テーブル上に供給し、ＩＴＶカメラ２からの画像入力を
行い、チップ５の存在位置を検索し、寸法を測定する。

チップの追跡を繰り返し、ウェハ上のインク印によって
付けられた不良マークを識別して良品を見付ける。その
良品チップをダイボンダ本体１の吸着点に位置決めし、
ダイボンダ本体１に対してボッディング許可信号を出す
。ダイボンダ本体１はチップトレイ６上のチップ５を吸
着、搬送し、リードフレーム８上に接合する。

全部のチップ５の追跡が終了すると、トレイロダ７から
新しいチップ１−レイロを供給し、すへてのチップトレ
イ６が終了するまで繰り返す。

Ｃ発明が解決しようとする課題〕 従来のダイボンダば以上のように構成されているので、
チップ５の良否をチップ５上のインク印を画像認識して
判定しなければならず、また、不良チップに対しインク
印をつけることが必要であり、イ、りが飛び散るという
問題点があった。

また、ピックアップするチップ５の座標を全チップにつ
いて画像認識して算出しなければならず、処理に時間が
かかるという問題もあった。

この発明は、上記のような問題点解消するためになされ
たもので、チップの良否およびピックアップするチップ
の座標を外部データとして取り込み、自動で段取替え（
品種毎にチップの座標が変オ）るので、異なる品種の製
品対応にダイボンダの設定を切換える）ができるととも
に、認識不良をなくして、正確に、かつ高速に良品チッ
プをピックアップできるオー１−ダイボンダを得ること
を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るオーＩ−ダイボンダは、外部より良品チ
ップ情報およびウェハ上のチップ形状情報を与え、その
上で画像認識をさせ、ワークの位置ズし補正をかけ、ビ
ックア？／　−、／’動作を行わせる外部装置を設けた
ものである。

〔作用Ｊ この発明においては、チップの座標の確定およびチップ
の良否の判定Ｃよ外部からのデータにより、形状情報を
あらかしめ得て、カメラで位置ズし補正を行い、かつ外
部からのチップ良否データに基づき、良品のチップをピ
ックアップするものである。

〔実施例〕

以下、乙の発明の一実施例を図面について説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示すもので、１〜１１は
第５図に示した従来例におけるものと同等のものである
。１２は外部Ｉ／Ｆであり、１３は外部装置である。

第２図はウェハ上のチ、ツブの座標を示すものであり、
図において、１４は第１基準チツプであり、１５は第２
基準チツプであり、１６はウェハを示す。

以下、この発明の一実施例について第１図、第２図およ
び第３図のフローチャー１−を用いて説明する。なお、
第３図の（１）〜（９）は各ステップを示す。

まず、ウェハ１６の形状変更処理の流れを説明４−る。

ｒ７’イボンダ本体１は、外部装置１３からウェハ１６
の形状変更に伴うデータを外部Ｉ／Ｆ１２を介して受け
取り（１）、位置ズレ補正方法および動作ピッチの変更
を行う（２）。外部装置１３から入力される理論の解読
、比較はパターン認識ユニット１０で行われ、これはチ
ップトレイ６毎に１回行才）れ、補正後はめくらでピッ
クアップ動作が行われる。

次に、ウェハ１６上のチップ５をピックアップする処理
の流れを説明する。

トし・イローダ７から１枚のチップ）・レイロをＸ−Ｙ
テーブル４上に供給する。外部装置１３からウェハチッ
プの良否のデータを外部Ｉ　／Ｆ１２を介して受け取る
（３）。ウェハ１６上のチップ５が全て不良の場合はピ
ックアップ不用のため、アイドル状態（プログラムが待
状態）へ戻る（４）。ウェハ１６上のチップ５に良品が
ある場合は、チ・ツブレイアウトの位置ズレを補正する
ため、ＩＴＶカメラ２によって第１．第２基準チップ１
４．１５の計測を行う（５）。計測結果より、第１．第
２基準チップ１４．１５の座標が理論値となるように補
正を行う（６）。良否データによってチップ５が良品か
不良品かを識別しく７）、不良品の場合は次のチップ５
の良否の識別を行う。

良品の場合は、その良品チップをグイボンダ本体１の吸
着点に位置決めし、ダイボンダ本体１に対してボンディ
ング許可信号を出す。チップトレイ６上のチップ５を吸
着、搬送し、リードフレーム８上に接合する（８）。ウ
ェハ１６上の全チップ５が終了するまで繰り返し、終了
すると、トレイローダ７から新しいチップトレイ６を供
給する（９）。

これを全てのチップトレイ６が終了するまで繰り返す。

次に、計測および補正の方法の一実施例について第２図
および第４図を用いてさらに詳しく説明する。第４図は
補正のフローチャー１・であり、（１１）〜（１４）は
各ステップを示す。

ウェハ１６の中心Ｏを基準として、ウェハ１６の中心近
辺の第１基準チツプ１４とウェハ１６周辺の第２基準チ
ツプ１５の理論上の座標（第１基準チツプ１４（ｘ、、
Ｙｌ）、第２基準チツフ１５（Ｘ　２．　Ｙ　２）　）
をあらかじめ持っておく。実際にＴＴＶカメラ２を用い
て、これらの基準チップ１４゜１５の座標（第１基準チ
ツプ１４　（Ｘｉ、　ｙｔ）第２基準チツプ１５　（Ｘ
２−　Ｙ２）　）を計測しく１１）、これらのチップの
位置のズし・量をつかみ、補正をかける。

ナオ、（ｘｓ−”ｔ）　、（Ｘ２−　Ｙ２）は品種毎に
あらかしめ決めておくもので、位置決め済のチップ）・
レイ基準での絶対座標の平均値を予測してセットしてお
くものである。また、（ＸＩ、　Ｙｌ）　。

（Ｘ　２．Ｙ　２）はそれに対応するトレイ毎の実測値
である。

次に、補正について説明する。第１基準チツプ１４と第
２基準チツプ１５との座標において、計算値から算出し
た回転角と理論値から算出した回転角とのズし・をもっ
て回転補正を行う（］２）。回転補正角ｄθは となる。

次に、第１基準チツプ１４の座標において、計測値と理
論値とのズし・をもって原点補正を行う（１３）。原点
補正値は、 （△ｘ＝Ｘ１−Ｘｌ、△ｙ＝Ｙｔ　　ｙｓ）となる。

次に、第１基準チツプ１４と第２基準チツプ１５との座
標において計測値から算出した距離と理論値から算出し
た距離との差をもって倍率補正を行う（１４）。倍率補
正値Ｂは Ｊ　　Ｘ２　　　Ｘｓ　　２＋　　Ｙ２　　　Ｙｌ　２
ｘ２−ＸＩ　　　＋３’２　　　Ｙ＋ である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明は、ダイボンダに外部装
置を設け、外部からの指示により異なるチップサイズ別
に自動で位置ズし・補正方法の変更および動作ピッチ変
更を行えるように構成したので、段取替え時間が短縮で
き、また、正確に早（グイボンドできるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示すオー１−ダイボンダ
の構成図、第２図はこの発明の一実施例のウェハ上のチ
ップ位置の例を示す図、第３図はこの発明の一実施例の
動作のフローチャート、第４図はこの発明の一実施例の
計測と補正のフローチャー１・、第５図は従来のダイボ
ンダの構成図である。 図において、１はダイボンダ本体、２はＩＴＶカメラ、
３は証明、４はＸ−Ｙテーブル、５はチップ、６はチッ
プトレイ、７はｌ・レイローダ、８はリードフレーム、
９はフレームフィーダ、１０ハハターン認識ユニツｌ−
１１１はモニタＴＶ、１２は外部Ｉ／Ｆ、１３は外部装
置、１４は第１基準チツプ、１５は第２基準チツプであ
る。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人　大　岩　増　雄　　　（外２名）第 図 “ｌ トレイ０−ン 第 図 才２基早チッフ。 第 図 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 画像認識によりワークの位置ズレ補正を行い、その上で
   外部より受け取った良品チップ位置情報を基にピックア
   ップ動作を行うダイボンダにおいて、外部から指示を与
   え異なるチップサイズ別に自動で位置ズレ補正方法の変
   更および動作ピッチ変更を行わせる外部装置を設けたこ
   とを特徴とするオートダイボンダ。