JPH04126538A - 無機質球状化粒子の製造方法 - Google Patents
無機質球状化粒子の製造方法Info
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- JPH04126538A JPH04126538A JP24730790A JP24730790A JPH04126538A JP H04126538 A JPH04126538 A JP H04126538A JP 24730790 A JP24730790 A JP 24730790A JP 24730790 A JP24730790 A JP 24730790A JP H04126538 A JPH04126538 A JP H04126538A
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- particles
- exhaust gas
- sphered
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えばＩＣの封止材料として用いられる溶
融球状化した無機質粒子の製造装置に関するものである
。
融球状化した無機質粒子の製造装置に関するものである
。
ＩＣの封止剤には、電気絶縁性、低熱膨張率等の機能が
要求される。そこで、一般には溶融処理したアモルファ
ス状のシリカ粒子などの無機質粒子にエポキシ樹脂など
の熱硬化性樹脂を混ぜて、この混合物を用いて封止を行
なっている。近年、この無機質粒子として球形状の粒子
を用いると、流動性に優れ樹脂封止を行ないやすいとい
う長所があることがわかり、球形状の溶融無機質粒子が
多く用いられるに至っている。この球形状の無機質粒子
の製造方法は、例えば特開昭５８−１４５６１３号公報
等に開示されている。この従来の方法においては、球状
化のための溶融炉とその下部に接続された冷却用の熱交
換器により構成され、炉の頂部より原料粉末と共に火炎
を噴射して原料粉末の表面もしくは全体を溶融し、その
表面張力で原料粉末を球状化させている。このようにし
て球状化処理された原料粉末は熱交換器で冷却固化され
て、後続の捕集系に導かれる。上記捕集系には例えばサ
イクロン、バグフィルタ−等の捕集機が設置されている
。
要求される。そこで、一般には溶融処理したアモルファ
ス状のシリカ粒子などの無機質粒子にエポキシ樹脂など
の熱硬化性樹脂を混ぜて、この混合物を用いて封止を行
なっている。近年、この無機質粒子として球形状の粒子
を用いると、流動性に優れ樹脂封止を行ないやすいとい
う長所があることがわかり、球形状の溶融無機質粒子が
多く用いられるに至っている。この球形状の無機質粒子
の製造方法は、例えば特開昭５８−１４５６１３号公報
等に開示されている。この従来の方法においては、球状
化のための溶融炉とその下部に接続された冷却用の熱交
換器により構成され、炉の頂部より原料粉末と共に火炎
を噴射して原料粉末の表面もしくは全体を溶融し、その
表面張力で原料粉末を球状化させている。このようにし
て球状化処理された原料粉末は熱交換器で冷却固化され
て、後続の捕集系に導かれる。上記捕集系には例えばサ
イクロン、バグフィルタ−等の捕集機が設置されている
。
以上のような球状化粒子の製造装置においては、炉から
排出される高温の排気ガスから溶融球状化した粉末を捕
集する方法としては、高温のガス中に水を吹き込み捕集
する湿式法（ベンチュリースクラーバ方弐など）、捕集
装置のフィルターの耐熱温度が低いために熱交換器等を
設けてガス温度を十分に下げてから捕集を行う乾式法等
がある。
排出される高温の排気ガスから溶融球状化した粉末を捕
集する方法としては、高温のガス中に水を吹き込み捕集
する湿式法（ベンチュリースクラーバ方弐など）、捕集
装置のフィルターの耐熱温度が低いために熱交換器等を
設けてガス温度を十分に下げてから捕集を行う乾式法等
がある。
しかし、湿式法では捕集した粉末を乾燥するために費用
が掛かることが問題であった。一方、乾式法では熱交換
器のパイプがガス中に含まれる無機質粉末によって摩耗
し、粉末中に削り取ったパイプの金属成分が不純物とし
て混入することが問題であった。そこで、熱交換器のパ
イプ表面にセラミックスをコーティングすることが試み
られているが、ガスとパイプ内を流れる水との温度差が
大きいことからセラミックが剥がれやすく実用に耐えな
い。
が掛かることが問題であった。一方、乾式法では熱交換
器のパイプがガス中に含まれる無機質粉末によって摩耗
し、粉末中に削り取ったパイプの金属成分が不純物とし
て混入することが問題であった。そこで、熱交換器のパ
イプ表面にセラミックスをコーティングすることが試み
られているが、ガスとパイプ内を流れる水との温度差が
大きいことからセラミックが剥がれやすく実用に耐えな
い。
本発明はこれらの欠点を解決して、安価で不純物汚染の
心配がなく安定して捕集できる無機質球状化粒子の製造
装置を提供することを目的としている。
心配がなく安定して捕集できる無機質球状化粒子の製造
装置を提供することを目的としている。
本発明は上記目的を達成した無機質球状化粒子の製造装
置を提供するものであり、かかる装置は炉内に高温火炎
を形成し、その中で無機質原料粉末を溶融球状化してこ
れを排気ガス中から捕集する装置において、溶融球状化
粒子の捕集装置の後流側に排風機を設け、炉体からの排
気ガスを前記捕集装置に導（接続管には空気吸引口を設
けたことを特徴としている。
置を提供するものであり、かかる装置は炉内に高温火炎
を形成し、その中で無機質原料粉末を溶融球状化してこ
れを排気ガス中から捕集する装置において、溶融球状化
粒子の捕集装置の後流側に排風機を設け、炉体からの排
気ガスを前記捕集装置に導（接続管には空気吸引口を設
けたことを特徴としている。
炉内に高温火炎を形成し、その中で無機質原料粉末を溶
融球状化するために本発明の装置はバーナーを付設した
溶融炉を有する。
融球状化するために本発明の装置はバーナーを付設した
溶融炉を有する。
バーナーは燃料ガス吐出孔、助燃ガス吐出孔及び原料粉
末供給口を有するものであればよく、原料粉末を予め燃
料ガスに混合して供給する場合には原料粉末供給口を別
途設ける必要がない。このバーナーには公知のものを用
いればよく、例えば市販の溶射用バーナーをそのまま使
用することができる。原料粉末を溶融する溶融炉も公知
の如何なるものであってもよい。
末供給口を有するものであればよく、原料粉末を予め燃
料ガスに混合して供給する場合には原料粉末供給口を別
途設ける必要がない。このバーナーには公知のものを用
いればよく、例えば市販の溶射用バーナーをそのまま使
用することができる。原料粉末を溶融する溶融炉も公知
の如何なるものであってもよい。
溶融炉の出口側には排気ガスを捕集装置に導く接続管が
取付けられる。従来はこの接続管の前又は後に冷却用熱
交換器が設置されていたが本発明においては、この熱交
換器の代わりに接続管に空気吸引口を設けたところに特
徴がある。空気吸引口は高温の排気ガスと空気とが十分
混合するように接続管の周方向に均等に設け、回収装置
までの混合距離を十分にとることが望ましい。空気吸引
口の数、開口面積等は排気ガスが所定程度、例えば２０
０℃以下、好ましくは１２０°Ｃ以下にまで冷却され、
かつ排風機による炉からの排気ガスの吸引力がなるべく
損なわれないように設定される。これは炉の運転条件、
補集装置の種類、材質、排風機の能力等によって最適範
囲が異なるで予め試験をして定めるのがよい。
取付けられる。従来はこの接続管の前又は後に冷却用熱
交換器が設置されていたが本発明においては、この熱交
換器の代わりに接続管に空気吸引口を設けたところに特
徴がある。空気吸引口は高温の排気ガスと空気とが十分
混合するように接続管の周方向に均等に設け、回収装置
までの混合距離を十分にとることが望ましい。空気吸引
口の数、開口面積等は排気ガスが所定程度、例えば２０
０℃以下、好ましくは１２０°Ｃ以下にまで冷却され、
かつ排風機による炉からの排気ガスの吸引力がなるべく
損なわれないように設定される。これは炉の運転条件、
補集装置の種類、材質、排風機の能力等によって最適範
囲が異なるで予め試験をして定めるのがよい。
球状化粒子の捕集装置は公知の乾式のものでよく、サイ
クロン、バグフィルタ−等が適当である。
クロン、バグフィルタ−等が適当である。
捕集装置の後流側には排風機を設ける。この排風機は従
来と同じ能力のものでよい。
来と同じ能力のものでよい。
高温火炎は無機質原料粉末を溶融して球状化しうる温度
と熱量を有するものであればよく、例えば水素ガス、メ
タン、エタン、プロパン、ブタン、エチレン、アセチレ
ン、ＬＮＧ、ＬＰＧ等の炭化水素ガス、ベンゼン、トル
エン、ガソリン、軽油、灯油等の常温では液状の炭化水
素等の燃料ガスに酸素等の助燃ガスを混合し燃焼させて
形成する。
と熱量を有するものであればよく、例えば水素ガス、メ
タン、エタン、プロパン、ブタン、エチレン、アセチレ
ン、ＬＮＧ、ＬＰＧ等の炭化水素ガス、ベンゼン、トル
エン、ガソリン、軽油、灯油等の常温では液状の炭化水
素等の燃料ガスに酸素等の助燃ガスを混合し燃焼させて
形成する。
無機質原料粉末はシリカ、アルミナ、マグネシア等であ
り、粒径は０．１〜５００ｎ程度、好ましくは３〜４０
ｎ程度のものが適当である。
り、粒径は０．１〜５００ｎ程度、好ましくは３〜４０
ｎ程度のものが適当である。
溶融球状粉体を含む高温の排気ガスは、空気と共に捕集
装置に吸引されるがこの段階で排気ガスの温度は急激に
下がる。従って、熱交換器を設けずにバグフィルタ−等
の捕集装置でガス中の粒子を捕集可能である。
装置に吸引されるがこの段階で排気ガスの温度は急激に
下がる。従って、熱交換器を設けずにバグフィルタ−等
の捕集装置でガス中の粒子を捕集可能である。
本発明の装置の一実施例を第１図に示す。この装置は、
溶融炉の炉体３の頂部に炉内に高温火炎を形成するバー
ナー１が取付けられている。バーナーには燃料ガス供給
管、助燃ガス供給管（いずれも図示されていない、）及
び原料供給管が接続されている。無機質原料粉末は原料
ホッパー２がら定量供給される。炉体３の出口側には炉
体からの排気ガスを捕集装置であるバグフィルタ−５に
導ぐ接続管４が接続され、バグフィルタ−５の後流側に
排風機６が取付けられている。前記接続管４には３２個
の空気吸引ロアが設けられている。炉体の内容積は１５
ホで接続管径は６１ｃｍであり、排風機の能力は８００
ｍ／ｓｉｎである。穿設した空気吸引ロアの合計面積は
３００ｄである。
溶融炉の炉体３の頂部に炉内に高温火炎を形成するバー
ナー１が取付けられている。バーナーには燃料ガス供給
管、助燃ガス供給管（いずれも図示されていない、）及
び原料供給管が接続されている。無機質原料粉末は原料
ホッパー２がら定量供給される。炉体３の出口側には炉
体からの排気ガスを捕集装置であるバグフィルタ−５に
導ぐ接続管４が接続され、バグフィルタ−５の後流側に
排風機６が取付けられている。前記接続管４には３２個
の空気吸引ロアが設けられている。炉体の内容積は１５
ホで接続管径は６１ｃｍであり、排風機の能力は８００
ｍ／ｓｉｎである。穿設した空気吸引ロアの合計面積は
３００ｄである。
以上述べた装置で、バーナーから可燃ガスとしてＬ Ｐ
Ｇ １５Ｎｍ’／ｈｒ、助燃ガスとして酸素７５Ｎｍ
’／ｈｒ、原料粉末として平均粒径５０ｎのシリカ粉末
を１００ ｋｇ ／ ｈ ｒの条件で炉内に噴射して溶
融球状化を行い、球状化した粒子の捕集を行った結果を
第１表に示す。尚、バグフィルタ−直前の排気ガス温度
は８０℃であった。
Ｇ １５Ｎｍ’／ｈｒ、助燃ガスとして酸素７５Ｎｍ
’／ｈｒ、原料粉末として平均粒径５０ｎのシリカ粉末
を１００ ｋｇ ／ ｈ ｒの条件で炉内に噴射して溶
融球状化を行い、球状化した粒子の捕集を行った結果を
第１表に示す。尚、バグフィルタ−直前の排気ガス温度
は８０℃であった。
一方、比較のために第２図に示す従来の装置を用いて同
様に溶融球状化し球状化粒子の捕集試験を行なった。こ
の装置は接続管４に空気吸引ロアがなく、その代わりに
途中に熱交換器８を設けたほかは実施例と同様である。
様に溶融球状化し球状化粒子の捕集試験を行なった。こ
の装置は接続管４に空気吸引ロアがなく、その代わりに
途中に熱交換器８を設けたほかは実施例と同様である。
得られた結果を併せて第１表に示す。
第１表
〔発明の効果〕
本発明によれば安価に、安定して粉末を捕集できる。し
かも熱交換器が不要になるなど設備費の軽減がはかれる
。
かも熱交換器が不要になるなど設備費の軽減がはかれる
。
第１図は本発明の実施例である装置の概略図であり、第
２図は従来の装置の一例の概要図である。 １・・・バーナー ２・・・原料ホンバー ３・・・炉体 ４・・・接続管 ５・・・バグフィルタ− ６・・・排風機 ７・・・空気吸引口 ８・・・熱交換器
２図は従来の装置の一例の概要図である。 １・・・バーナー ２・・・原料ホンバー ３・・・炉体 ４・・・接続管 ５・・・バグフィルタ− ６・・・排風機 ７・・・空気吸引口 ８・・・熱交換器
Claims (1)
- 炉内に高温火炎を形成し、その中で無機質原料粉末を溶
融球状化してこれを排気ガス中から捕集する装置におい
て、溶融球状化粒子の捕集装置の後流側に排風機を設け
、炉体からの排気ガスを前記捕集装置に導く接続管には
空気吸引口を設けたことを特徴とする無機質球状化粒子
の製造装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2247307A JP2871047B2 (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | 無機質球状化粒子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2247307A JP2871047B2 (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | 無機質球状化粒子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04126538A true JPH04126538A (ja) | 1992-04-27 |
| JP2871047B2 JP2871047B2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=17161466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2247307A Expired - Fee Related JP2871047B2 (ja) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | 無機質球状化粒子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2871047B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5743930A (en) * | 1996-09-18 | 1998-04-28 | Nippon Sanso Corporation | Apparatus for producing inorganic spherical particles |
| CN117704829A (zh) * | 2023-12-27 | 2024-03-15 | 山东奥生工业装备有限公司 | 一种温度稳定的连续式粉体球化炉 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58145613A (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-30 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 溶融シリカ球状体、その製造法およびその装置 |
| JPH02286A (ja) * | 1987-12-21 | 1990-01-05 | Delalande Sa | 三還状カルバメート化合物 |
-
1990
- 1990-09-19 JP JP2247307A patent/JP2871047B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58145613A (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-30 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 溶融シリカ球状体、その製造法およびその装置 |
| JPH02286A (ja) * | 1987-12-21 | 1990-01-05 | Delalande Sa | 三還状カルバメート化合物 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5743930A (en) * | 1996-09-18 | 1998-04-28 | Nippon Sanso Corporation | Apparatus for producing inorganic spherical particles |
| CN117704829A (zh) * | 2023-12-27 | 2024-03-15 | 山东奥生工业装备有限公司 | 一种温度稳定的连续式粉体球化炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2871047B2 (ja) | 1999-03-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |