JPH04131812A - 光ビーム走査装置 - Google Patents

光ビーム走査装置

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JPH04131812A
JPH04131812A JP2253745A JP25374590A JPH04131812A JP H04131812 A JPH04131812 A JP H04131812A JP 2253745 A JP2253745 A JP 2253745A JP 25374590 A JP25374590 A JP 25374590A JP H04131812 A JPH04131812 A JP H04131812A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、光源からの光ビームを第1結像光学系を介
して整形した後、回転多面鏡で反射し、第2結像光学系
を介して、被走査面を光走査する光ビーム走査装置に関
する。
(従来の技術) 第9図は、従来の光ビーム走査装置を示す図である。こ
の光ビーム走査装置では、同図に示すように、光源1か
らの光ビームL1が第1結像光学系2を介して回転軸3
bまわりに矢印方向Aに回転する回転多面鏡3に入射さ
れる。
この第1結像光学系2は、第10A図および第10B図
に示すように、凹レンズ21aと凸レンズ21bとを貼
り合わせてなるコリメートレンズ21と、回転軸方向、
っまりY方向にのみパワーを有するシリンドリカルレン
ズ22とで構成されている。すなわち、光源1からの発
散光ビームL1は、コリメートレンズ21によって平行
光ビームL2に整形された後、さらにシリンドリカルレ
ンズ22によってY方向についてのみ回転多面鏡3の鏡
面3aに集光する(第10A図)集束光ビームL3に整
形される。
この光ビームL3は回転多面鏡3によって反射偏向され
、その偏向光ビームL4が、走査レンズ41と回転軸方
向(Y方向)にのみパワーを有するシリンドリカルレン
ズ42とからなる第2結像光学系4を介して被走査面5
に結像される。
なお、第10A図および第10B図では、図面説明の便
宜上、光軸の方向が光ビーム走査装置の光学系の途中で
変化しても、光軸を常にZ方向とみなしている。
このように光学系を構成することによって、第10A図
に示すように、Y方向について、回転多面鏡3の鏡面3
aが被走査面5と光学的に共役となる。その結果、鏡面
3aの面倒れが補正され、被走査面5に記録される画像
が高品質に保たれる。
(発明が解決しようとする課題) ところで、上記のようにして光ビームを被走査面5上で
主走査方向に高精細に結像させるには、光ビームL3の
X方向におけるビーム系φ8を大きくすればよい。さら
に言えば、コリメートレンズ21からの平行光ビームL
2のビーム径φ(−φ −φY)を大きくすればよい。
しかしながら、光ビームL2のビーム径φを大きくする
につれて、第1結像光学系2の光路長が長くなるという
問題か生しる。というのも、回転多面鏡3側ρ開口数N
Ap (すなわち、角度θ、)は第2結像光学系4の構
成によって先に決定されてしまうからである。つまり、
角度θ か決まると、光ビームL2のビーム径φを大き
くするには、必然的にシリンドリカルレンズ22のY方
向の焦点距離f2□を長くする必要がある。しがも、光
源1側の開口数NAo (すなわち、角度θ。)が−定
であるという条件下では、光ビームL2のビーム径φを
大きくするには、焦点距離f21が長いコリメートレン
ズ21を用いる必要がある。
例えば、以下の設計条件 光ビームL2のビーム径φ −19l1I光源側の開口
数NAo   −0,1 回転多面鏡側の開口数N A  −0,(+(135を
満足する光ビーム走査装置の第1結像光学系2としては
、例えば第1表に示すレンズデータを有するものがある
第1表 なお、以下の説明の便宜がら、光軸中心でのX方向につ
いての曲率半径を半径rxとし、Y方向についてのそれ
を半径ryとする。また、同表において” XI” Y
iは、それぞれ光源1がら数えてi番目(i−1〜5)
のレンズ面の曲率半径’ Xi’rYiである。dlは
光源1側がら数えてi番目(i−1〜4)−のレンズ面
と(i+1)番目のレンズ面との光軸上のレンズ面間距
離であり、d5はシリンドリカルレンズ22と鏡面3a
との距離である。nl +  12 、Jはそれぞれ波
長780nmに対する凹レンズ21a、凸レンズ21b
およびシリンドリカルレンズ22の屈折率である。なお
、以下に説明する実施例においても、同様の符号を用い
、その説明については省略する。
このように構成された第1結像光学系2ては、コリメー
トレンズ21の焦点距離f 、シリンドリカルレンズ2
2のY方向の焦点距” f22は、それぞれ f   −95gm f      −2714,284m11であり、光源
1から第1番目のレンズ面までの距111doは、 d o−91,923mm である。したがって、第1結像光学系2の光路長dは、 d   〜  2852mm にもなる。
(発明の目的) この発明は、上記課題を解消するためになされたもので
、小型で、しかも面倒れ補正機能を有する光ビーム走査
装置を提供することを目的とする。
(目的を達成するための手段) この発明は、光源からの光ビームを第1結像光学系によ
って回転多面鏡の回転軸方向にのみ集光させ、さらにそ
の回転多面鏡によって反射偏向された光ビームを、第2
結像光学系を介して被走査面上を前記回転軸方向に対し
ほぼ直交する主走査方向に走査する光ビーム走査装置に
向けられたものである。そして、上記目的を達成するた
めに、前記第1結像光学系を、前記回転軸方向に正のパ
ワーを有するシリンドリカルレンズあるいは、前記回転
軸方向に正のパワーを有するとともに、前記主走査方向
に負のパワーを有するトロイダルレンズからなる第1レ
ンズと、前記主走査方向に正のパワーを有するシリンド
リカルレンズからなる第2レンズとで構成するとともに
、前記第1および第2レンズを前記光源側から前記回転
多面鏡側にこの順で配置している。
(作用) この発明によれば、第1レンズは回転多面鏡の回転軸方
向に正のパワーを有するシリンドリカルレンズによって
構成されており、光源からの光ビームを前記回転多面鏡
の前記回転軸方向にのみ集光させる。そのため、前記回
転多面鏡の反射面と被走査面とが前記回転軸方向におい
て光学的に共役となり、面倒れか補正される。
また、第2レンズは主走査方向に正のパワーを有するシ
リンドリカルレンズによって構成されており、前記光源
からの前記光ビームを、前記主走査方向において所定の
ビーム径を有する平行光ビームに変換する。
したがって、この構成にすれば、第2レンズにより、前
記主走査方向における所定ビーム乎行光に変換するため
の光路長が決まれば、第1レンズはこの光路長と回転軸
方向の光源側、回転多面鏡側の両開口数とにより、焦点
距離かどんな場合でも1つ決定される。
従って、第2レンズで平行ビームにするだけで、第1結
像光学系が構成できるので、前記第1結像光学系をコン
パクトにすることが出来、さらには光ビーム走査装置を
小型化することが出来る。前記主走査方向におけるビー
ム径にする為の光路長だけて、回転軸方向の回転多面鏡
側の開口数に関係なく、第一結像光学系が構成出来る。
その結果、前記第1結像光学系をコンパクトにすること
ができ、さらには光ビーム走査装置を小型化することが
できる。
(実施例) 上述したように、先ビーム走査装置では、光ビームを被
走査面上で主走査方向に高精細に結像させるために、第
1結像光学系から回転多面鏡に向けて出射される光ビー
ムの主走査方向Xにおけるビーム径φ、を大きくする必
要がある。また同時に、回転多面鏡の鏡面の面倒れを補
正するために、主走査方向Xに対して垂直な方向Y(つ
まり、回転多面鏡の回転軸方向)についてその鏡面と被
走査面5とが光学的に共役となるようにする必要もある
そこで本発明においては、光ビームL1を、Y方向のビ
ーム径φ7を大きくすることなく (つまり、小さいビ
ーム径φYのままで)、X方向についてのみ大きなビー
ム径φXに整形することにより、第1結像光学系2の光
路長を短くすることを可能とした。
以下、実施例に従って具体的に説明する。
A、第1実施例 第1図は、この発明にかかる光ビーム走査装置の第1実
施例を示す図である。また、第2A図および第2B図は
、それぞれYZ平面、XZ平而面の光ビーム走査装置の
光学系を示す図である。これらの図に示すように、この
光ビーム走査装置は、第1結像光学系2の構成を除いて
、先に説明した従来例(第9図、第10A図、第10B
図)と同一構成である。したがって、第1結像光学系2
の構成については、以下において詳細に説明する一方、
その他の構成については、同一符号を付し、その説明を
省略する。
第1結像光学系2は、回転軸方向(Y方向)に正のパワ
ーを有するシリンドリカルレンズからなる第1レンズ2
6と、主走査方向Xに正のパワーを有するシリンドリカ
ルレンズからなる第2レンズ27とで構成されている。
これら第1および第2レンズ26.27はこの順で光源
1側から回転多面鏡3側に配置されている。
そのため、光源1がらの発散光ビームL1 (図示省略
しているが、光源側の開口数はNAo (発散角度θ 
)である)は、まず第1レンズ26によってY方向につ
いて所定角度θ で鏡面3aに集光するように整形され
る。一方、この第1レンズ26はX方向にパワーを持た
ないので、第1レンズ26を通過した光ビームはX方向
について角度θ。で発散する発散光のままである。
そして、第1レンズ26がらの光ビームが第2レンズ2
7を通過すると、その通過光ビームL3は、Y方向につ
いては、第2レンズ27はパワーを持たないため、角度
θ、の集束光のまま、回転多面鏡3の鏡面3aに集光さ
れ、一方X方向にっいては平行光となるように整形され
る。
この光ビームL3は回転多面鏡3によって偏向される。
そして、この偏向光ビームL4は走査レンズ41および
シリンドリカルレンズ42からなる第2結像光学系4を
介して被走査面5に結像される。
以上のように、この第1実施例の第1結像光学系2では
、発散光ビームL1を平行光ビーム(φX−φY)に整
形することなく、第2レンス27によって、Y方向につ
いてのみ所定角度θ で回転多面鏡3の鏡面3aに集光
する集束光ビームに整形している。したがって、光ビー
ムL3のX方向についてのビーム径φXの′大きさと無
関係に、Y方向について鏡面3aに集光することができ
ろ。
例えば、第2A図に示すように、第1レンズ26を光源
1の近傍に配置することも可能であり、光源1に近づけ
るにしたがって、第1レンズ26と回転多面鏡3との距
離を短くすることができる。
ただし、光ビームL3のX方向についてのビーム径φX
を所定サイズに調整する必要があるため、そのビーム径
φ8に対応した距離、すなわち第2レンズ27の焦点距
離だけ第2レンズ27を光源1から離隔配置する必要が
ある。したがって、第1結像光学系2の光路長を、この
距離(第2レンス27の焦点距離)よりもさらに短くす
ることは不可能である。しかし、逆に言えば、この実施
例によれば、第1結像光学系2の光路長を第2レンズ2
7の焦点距離まで縮めることが原理的に可能である。
次に、この実施例によれば、どの程度、第1結像光学系
2の光路長を縮めることができるのがを検証するために
、従来例と同−設計条件を満足する具体的実施例を示し
、従来例(第1表)と比較説明する。
この具体的実施例では、特に球面収差等を小さくするた
めに、第1レンズ26は非球面シリンドリカルレンズに
より構成されている。すなわち、第1レンズ26におい
て回転多面鏡3側を向いた面S26が次式によって表さ
れる面に仕上げられている。
二こて、x、y、zは、原点を第1レンズ26の面S2
6と光軸とが交差する点とした3次元直交座標系を構成
し、また C ・・・Y方向についての而S26の曲率半径ryの
逆数、 k・・・非球面係数 である。
また、第2レンズ27も、第1レンズ26と同様に、回
転多面鏡3側を向いた面S27が次式によって表される
面に仕上げられている。
ここては、x、y、zは、原点を第2レンズ27の面S
27と光軸とが交差する点とした3次元直交座標系を構
成し、また C ・・・X方向についての面S27の曲率半径rxの
逆数、 k・・非球面係数 である。
第2表は、この具体的実施例にかかる第1結像光学系2
のレンズデータを示すものである。
第2表 第3図は、上記レンズデータを有する第1結像光学系2
のY方向の球面収差を示す図である。
このように構成された第1結像光学系2ては、第1レン
ズ(シリンドリカルレンズ26)のY方向での焦点距離
f  、第2レンズ(シリントリ6Y カルレンズ)27のX方向での焦点距離f  は、7X それぞれ t 26Y−3,921■ f 27 X  ””  951 であり、光源1から第1番目のレンズ面までの距離d。
は、 d o−3,013mm である。したかって、第1結像光学系2の光路長dは、
   d  4 12:’+v と、従来例(d = 28521)よりも大幅に短くな
っている。
なお、この実施例では、第1レンズ26の而S26を非
球面形状に仕上げているか、これは必須要件でなく、通
常のシリンドリカル面に仕上げてもよい。但し、上述の
ように、球面収差等を補正する上では、非球面形状に仕
上げるのが望ましい。
また、第1レンズ26の両面を非球面に仕上げてもよい
。第2レンズ27についても、第1 L−ンズ26と同
様に、上記のように仕上げることかできる。
B、第2実施例 上記第1実施例では、第1および第2レンズ2627を
、それぞれ単レンズで構成したが、第ルンス26および
/または第2レンズ27を複数枚のレンズで構成しても
よい。例えば、第4A図、第4B図に示すように、2枚
のレンズ26a26bを貼り合わせて、回転軸方向Yに
正のパワを有する組み合わせシリンドリカルレンズ(第
ルンス)26を形成するとともに、同じく2枚のレンズ
27a  27bを貼り合わせて、主走査方向Xにのみ
正のパワーを有する組み合わせシリンドリカルレンズ(
第2レンズ)27を形成してもよく、上記と同様の効果
か得られる。
この第2実施例についても、上記第1実施例と同様に、
従来例と同−設計条件を満足する具体的実施例を示し、
従来例(第1表)と比較説明する。
第3表は、この具体的実施例にかかる第1結像光学系2
のレンズデータを示すものである。
第3表 第5図は、上記レンズデータを有する第1結像光学系2
のY方向の球面収差を示す図である。
このように構成された第1結像光学系2ては、組み合わ
せシリンドリカルレンズ(第1レンズ)26のY方向で
の焦、屯距離f  1組み合わせン6Y ノントリカルレンズ(第2レンズ)27のX方向での焦
点距離f  は、それぞれ 7X (26Y−3,921mm f 2−t x   噛95 if 11てあり、光源
1から第1番目のレンズ面までの距離d。は、 d o−2,051mm である。したかって、第1結像光学系2の光路長dは、 d   ’F   122■菖 と、従来例(d −2852n+m)よりもかなり短く
なっている。
C1第3実施例 第6A図および第6B図は、この発明にかかる光ビーム
走査装置の第3実施例の第1結像光学系を示す図である
。この第1結像光学系2は、回転軸方向Yに正のパワー
を有するとともに、主走査方向Xに負のパワーを有する
トロイダルレンズからなる第1レンズ26と、主走査方
向Xに正のパワーを有するシリンドリカルレンズからな
る第2レンズ27とで構成されている。そして、これら
第1および第2レンズ26.27はこの順で光源1側か
ら回転多面鏡3側に配置されている。また、この第1レ
ンズ(トロイダルレンズ)26ては、光源1側に向いた
面S ′はトロイダル形状に、また鏡面3a側に向いた
面S26は非球面形状に仕上げられている。一方、第2
レンズ(シリンドカルレンズ)27では、鏡面3a側に
向いた面S27は非球面形状に仕上げられている。なお
、各面S 、S は必ずしも常に非球面形状に仕上げな
ければならないというものでなく、通常のシリンドリカ
ル面に仕上げてもよい。しかしながら、球面収差等を小
さくするためには、非球面形状に仕上げるのか望ましい
すなわち、この第3実施例か第1実施例と大きく相違し
ている点は、第1レンズ26か回転軸方向Yに正のパワ
ーを有しているたけなく、主走査方向Xにも負のパワー
を有している点である。
したがって、上記第1実施例と同様の効果が得られるだ
けでなく、合成焦点距離は、第1.第2実施例の第2レ
ンズの焦点距離と同しであるが、第1レンズは主走査方
向において負のパワーを有しているので、光源と第2レ
ンズの距離を短くてきる。
その結果、第3実施例では、第1.第2実施例に比べ、
光源からの開口数を変えることなく第1結像光学系の光
路長かより短くなり、光ビーム走査装置をより小型化す
ることが出来る。
次に、この第3実施例では、どの程度、光路長がさらに
縮まるかを検証するために、上記設計条件を満足する具
体的実施例を示し、その効果について説明する。
この具体的実施例では、第1および第2レンズ26.2
7の面S  、S  はともに、第1実施例と同様に、
非球面に仕上げられている。
第4表は、この具体的実施例にかかる第1結像光学系2
のレンズデータを示すものである。
第4表 光学系2のY方向の球面収差を示す図である。
このように構成された第1結像光学系2ては、第ルンス
(トロイダルレンズ)26のX方向Y方向ての焦点距離
f   、f    第2レンズ26X   26Y (シリンドリカルレンズ)27のX方向での焦点距離f
  は、それぞれ 7X f    −−2,185sv 6X f    −2,614m11 6Y f    −47,5av 7X であり、光源1から第1番目のレンズ面までの距離d。
は、 d o−2,187mm である。したがって、第1結像光学系2の光路長dは、 d   kP  79■ と、従来例(d −2852mm)よりもかなり短く、
しかも第1,2実施例(d −122av )と比べて
もより短くなっている。
D、その他の実施例 第7図は、上記レンズデータを有する第1結像上記第1
ないし第3実施例では、設計条件光ビームL2のビーム
径φ −195+w光源側の開口数NAo   −0,
1 回転子面鏡側の開口数N A  −0,0085を満足
する光ビーム走査装置の第1結像光学系2について説明
してきたが、この発明は上記装置に限定されるものでは
なく、例えば次の設計条件光ビームL2のビーム径φ 
−301 光源側の開口数N A o−0,4 回転子面鏡側の開口数N A  −0,01を満足する
光ビーム走査装置にも適用可能であり、上記第1ないし
第3実施例と同様の効果を奏する。
この場合、例えば第1結像光学系2を第1実施例(第2
A図、第2B図)と同一のレンズ構成によって構成する
ことができる。ただし、球面収差等を小さくするために
、第2レンズ27の各面がそれぞれ次式によって表され
る面に仕上げられている。
+Ay  +13y6 ・・(3) ここで、x、y、zは、原点を第2レンス27の当該面
と光軸とが交差する点とした3次元直交座標系を構成し
、また c 、 −= Y方向についてのその面の曲率半径ry
の逆数、 k、A、B・・非球面係数 である。
また、第2レンズ27の各面は、それぞれ次式によって
表される面に仕上げられている。
・・ (4) ここで、x、’/、Zは、原点を第2レンス27の当該
面と光軸とが交差する点とした3次元直交座標系を構成
し、また C8・・・X方向についてのその面の曲率半径rXの逆
数、 k、A・・・非球面係数 である。
第5表は、そのように構成された第1結像光学系のレン
スデータを示すもである。
(以下余白) 第8図は、上記レンズデータを有する第1結像光学系2
のY方向の球面収差を示す図である。
このように構成された第1結像光学系2ては、第1レン
ズ(ンリントリ力ルレンズ)26のY方向での焦点側@
f   、第2レンズ(ンリンドリ13Y カルレンス)27のX方向での焦点側fif   は、
7X それぞれ t 26Y−4,045mm f 27x−37,5nv てあり、光源1から第1番目のレンズ面までの距離d。
は、 d o−3,022mm である。したがって、第1結像光学系2の光路長dは、 d       172Ill耐 と、比較的短くなっている。
(発明の効果) 以上のように、この発明によれば、第1レンズによって
光源からの光ビームを回転多面鏡の回転軸方向にのみ集
光させる一方、その回転多面鏡によって反射偏向された
光ビームか第2結像光学系を介して被走査面を走査する
ように構成されているので、回転多面鏡の反射面と被走
査面とが回転多面鏡の回転軸方向に対して光学的に共役
となり、面倒れを補正することかできる。
しかも、第2レンスによって前記光源からの前記光ビー
ムを、前記主走査方向において所定のビム径を有する平
行光ビームに変換するようにしているので、前記回転軸
方向における前記回転多面鏡への光ビームの集光の度合
い(つまり、回転多面鏡3側の開口数)に全く影響され
ずに、第1結像光学系の光路長を前記ビーム径に対応し
た長さとすることかできる。そのため、前記第1結像光
学系をコンパクトにすることかでき、その結果光ビーム
走査装置を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図′は、この発明にかかる光ビーム走査装置の第1
実施例を示す図、 第2A図および第2B図は、それぞれYZ平面XZ平面
での光ビーム走査装置の光学系を示す図、第3図は、そ
の第1結像光学系のY方向の球面収差を示す図、 第4A図および第4B図は、それぞれこの発明にかかる
光ビーム走査装置の第2実施例の第1結像光学系を示す
図、 第5図は、その第1結像光学系のY方向の球面収差を示
す図、 第6A図および第6B図は、それぞれこの発明にかかる
光ビーム走査装置の第3実施例の第1結像光学系を示す
図、 第7図は、その第1結像光学系のY方向の球面収差を示
す図、 第8図は、この発明にかかる光ビーム走査装置の第3実
施例の第1結像光学系のY方向の球面収差を示す図、 第9図は、従来の光ビーム走査装置を示す図、第10A
図および第10B図は、それぞれYZ平面、XZ平面で
の光ビーム走査装置の光学系を示す図である。 1 光源、 2・・第1結像光学系、 3・・・回転多面鏡、 3a・・鏡面、 4・第2結像光学系、 5・被走査面、 26 第ルンス、 27・・第2レンス X 主走査方向、 Y・回転軸方向

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光源からの光ビームを第1結像光学系によって回
    転多面鏡の回転軸方向にのみ集光させ、さらにその回転
    多面鏡によって反射偏向された光ビームを、第2結像光
    学系を介して被走査面上を前記回転軸方向に対しほぼ直
    交する主走査方向に走査する光ビーム走査装置であって
    、 前記第1結像光学系は、前記回転軸方向に正のパワーを
    有するシリンドリカルレンズあるいは、前記回転軸方向
    に正のパワーを有するとともに、前記主走査方向に負の
    パワーを有するトロイダルレンズからなる第1レンズと
    、前記主走査方向に正のパワーを有するシリンドリカル
    レンズからなる第2レンズとで構成されるとともに、 前記第1および第2レンズが前記光源側から前記回転多
    面鏡側にこの順で配置されていることを特徴とする光ビ
    ーム走査装置。
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