JPH04132980A - ディジタルｓｑｕｉｄ磁束計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 微小磁束の高感度測定に用いられるディジタルＳＱＵＩ
Ｄ磁束計に関し、 高分解能測定を保持しつつ高速応答測定を実現できるよ
うにすることを目的とし、 ＳＱＵＩＤに交流バイアスを印加することで、ＳＱＵＩ
Ｄに入力される磁束に応じたパルス列を得て、このパル
ス列の累積値に従って測定対象の磁束を打ち消すフィー
ドバック用の磁束を発生させでいくことで磁束値を測定
するディジタル５ＱｔＪＩＤ磁束計において、ＳＱＵＩ
Ｄの出力するパルスの発生頻度やパルス幅値等に従って
、測定対象の磁束が大きいことを検出するときには、フ
ィードバック用の磁束単位を大きく設定していくことで
高速応答の測定を実現するとともに、測定対象の磁束が
小さいときや、フィードバックしていく磁束が測定対象
の磁束に近づくときには、フィードバック用の磁束単位
を定常時のものに設定していくことで高分解能の測定を
実現するように構成する。

（産業上の利用分野〕 本発明は、微小磁束の高感度測定に用いられるディジタ
ルＳＱＵＩＤ磁束針に関し、特に、高分解能測定を保持
しつつ高速応答測定を実現できるディジタルＳＱＵＩＤ
磁束計に関するものである。

近年、生体などから発生する微小磁界の測定にＳＱＵＩ
Ｄ（超伝導量子干渉素子）を用いる高感度の磁束計が利
用されている。特に、脳や心臓の磁界分布を測定するこ
とにより、磁界を発生させている電流源の推定が可能で
あり、これは、診断上、非常に有意義な情報を提供する
とともに、生体内の神経活動の解明に役立つことが指摘
されている。このような微小磁束の測定においては、生
体内の電流源の位置を正確に推定していくためにも、可
能な限りの高分解能測定を実現していく必要がある。一
方、最近では、磁界分布を一度に測定するために、ＳＱ
ＵＩＤを複数個並べるマルチチャンネルのＳＱＵＩＤ磁
束計を用いられてきており、このようなＳＱＵＩＤ！束
計では、ＳＱＵＩＤセンサを高速で切り換えるようにす
るために、可能な限りの高速応答測定を実現していく必
要がある。このように、生体の磁界計測等を中心にして
、応答時間の速い高感度なＳＱＵＩＤ磁束針の提供が強
く望まれているのである。

〔従来の技術〕

第６図に、パルス出力の得られるディジタルＳＱＵＩＤ
磁束計の従来構成を図示する。

図中、１０はＳＱＵＩＤ、１１はピックアップコイルで
あって、測定対象の磁束を検出又はピックアップするも
の、１２は磁束伝達トランスであって、ピックアップコ
イル１１で拾う磁束をＳＱＵＩＤＩＯに伝達するもの、
１３はフィードバックコイルであって、ＳＱＵＩＤＩＯ
に鎖交する測定磁束を打ち消すように動作するフィード
バック磁束をＳＱＵＩＤＩＯに与えるもの、１４は交流
電流源であって、ＳＱＵＩＤＩＯにパルス出力の発生の
ためのＡＣバイアスを供給するもの、１５は前置増幅器
であって、ＳＱＵＩＤＩＯの出力するパルス出力を増幅
するもの、１６はアップダウンカウンタであって、ＳＱ
ＵＩＤＩＯの出力するパルス出力をアップダウン形式で
計数するもの、１７はＤ／Ａコンバータであって、アッ
プダウンカウンタ１６の保持する計数値をアナログ電圧
値に変換するもの、１８はフィードバック抵抗であって
、Ｄ／Ａコンバータ１７の出力するアナログ電圧値に応
じた電流値をフィードバックコイル１３に与えるもので
ある。

ＳＱＵＩＤＩＯは、昭和６２年特許願第１２５４６９号
で説明されているように、第７図に示すような臨界電流
ｒｃ（超伝導状態が崩れて電圧を発生することになる電
流）の特性を有しているものであって、ＳＱＵＩＤＩＯ
に鎖交する磁束Φ、がゼロ値の状態では、正負の臨界電
流ＩＣが等しくなるために何らパルスを出力しないのに
対して、正の磁束Φ、が鎖交すると、＋側の臨界電流Ｉ
ｃが小さくなることから、印加されるＡＣバイアスの正
の半周期で電圧状態に転移して正のパルスを出力すると
ともに、負の磁束Φ、が鎖交すると、−例の臨界電流１
ｃが小さくなることから、印加されるＡＣバイアスの負
の半周期で電圧状態に転移して負のパルスを出力するこ
とになる。

従来のディジタルＳＱＵＩＤ磁束計では、この特性を利
用して、交流電流源１４によりＳＱＵＩＤＩＯにＡＣバ
イアスを印加させることで、ピックアップコイル１１の
拾う磁束に応じた正負のパルス出力を発生させるように
する。そして、アップダウンカウンタ１６でこの正負の
パルスを計数し、Ｄ／Ａコンバータ１７でもって、この
計数値に応じたフィードバック電流をフィードバックコ
イル１３に与えてい（ことで、測定磁束がフィードバッ
ク磁束により打ち消されることでＳＱＵＩＤＩＯからパ
ルス出力が出力されない状態に制御して、そのときのア
ップダウンカウンタ１６の計数値やＤ／Ａコンバータ１
７の出力電圧値でもって、測定対象の磁束値を測定する
よう処理していたのである。

〔発明が解決しようとする課題〕

このように動作する従来のディジタルＳＱＵＩＤ磁束計
では、測定対象の磁束値が得られるまでの応答時間は、
測定対象の磁束を打ち消すフィードバック磁束が得られ
るまでの時間に従うものであることから、第８図に示す
ように、そのスルーレー）ＳＲは、 ＳＲ−ΔΦ・ｆ。

ΔΦ：１パルス当たりのフィード バック磁束単位　　　　　　（１）式 ｆｌ　　：ＡＣバイアスの周波数 で表されることになる。ここで、１パルス当たりのフィ
ードバック磁束単位を表すΔΦは、ＳＱＵＩＤＩＯとフ
ィードバックコイル１３との間の結合係数と、フィード
バック抵抗１８の抵抗値と、Ｄ／Ａコンバータ１７の分
解能とにより定まることになる。

これから、従来のディジタルＳＱＵＩＤ！束計において
、測定磁束を高速に測定できるようにするためには、Ａ
Ｃバイアスの周波数ｆ、を同一のもので扱う場合、フィ
ードバック磁束単位ΔΦを大きく設定していく方法を採
るしかないことになる。しかしながら、フィードバック
磁束単位ΔΦを大きく設定すると、磁束値の測定の分解
能が悪くなってしまい微小磁束を高感度で測定できない
という問題点がでてくることになる。

本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、高
分解能測定を保持しつつ高速応答測定を実現できる新た
なディジタルＳＱＵＩＤ磁束針の提供を目的とするもの
である。

〔課題を解決するための手段］ 第１図は本発明の原理構成図である。ここで、第１図（
ａ）は、ＳＱＵＩＤの出力するパルスの持つ属性を利用
する本発明の原理構成図であり、第１図（ｂ）は、ＳＱ
ＵＩＤの出力するパルス頻度を利用する本発明の原理構
成図である。

第１図（ａ）において、１はＳＱＵＩＤ、２は交流電流
源であって、ＳＱＵＩＤＩにパルス出力の発生のための
ＡＣバイアスを供給するもの、３はアップダウンカウン
タであって、ＳＱＵＩＤＩの出力するパルス出力をアッ
プダウン形式で計数するもの、４はフィードバック手段
であって、アップダウンカウンタ３の保持する計数値か
らフィードバック用の磁束値を決定してＳＱＵＩＤＩに
与えていくもの、５は検出手段であって、ＳＱＵＩＤＩ
の出力するパルスのパルス幅か直流レベルを検出するも
の、６は増幅手段であって、検出手段５の検出する検出
値が大きいときに、フィードバック手段４の発生するフ
ィードバック用の磁束値を増幅させるものである。

第１図（ｂ）において、第１図（ａ）で説明したものと
同じものについては同一の記号で示してあり、７は増幅
手段であって、ＳＱＵＩＤＩの出力するパルス数が多い
とき、すなわち、アンプダウンカウンタ３の計数値の絶
対値が大きいときに、フィードバック手段４の発生する
フィードバック用の磁束値を増幅させるもの、８は停止
手段であって、増幅手段７により増幅されるフィードバ
ック用の磁束値が規定値よりも大きくなるときに、増幅
手段７の増幅機能を停止させるものである。

〔作用〕

第１図（ａ）の本発明では、検出手段５は、ＳＱＵ　Ｉ
　Ｄ　１の出力するパルスのパルス幅値か直流レベル値
を検出する。このＳＱＵＩＤＩの出力するパルスは、第
２図に示すように、ＳＱＵＩＤＩに鎖交する磁束が大き
いときには、そのパルス幅が大きくなるとともに、それ
に応じて直流レベルが大きくなるという特性を持つ。

この検出手段５の検出処理を受けて、増幅手段６は、検
出手段５の検出する検出値が大きいときには、測定対象
の磁束値が大きいことに対応させて、フィードバック手
段４のフィードバックしていく磁束値を増幅していくよ
う処理する。そして、この増幅されたフィードバック用
の磁束により、ＳＱＵＩＤＩに鎖交する測定対象の磁束
が概略打ち消されてくることで、検出手段５の検出する
検出値が小さくなってくると、増幅手段６は、その増幅
処理を停止する。これにより、フィードバック手段４は
、本来のフィードバック磁束であるアップダウンカウン
タ３０１カウント値分ずつ増加していくフィードバック
磁束を発生して、ＳＱＵＩＤＩにフィードフィックして
いくことで測定対象の磁束を打ち消すフィードバック磁
束を発生していく。

このようにして、第１図（ａ）の本発明では、最初に、
フィードバック磁束の増加を大きく設定することで、測
定対象の磁束値近傍までフィードバック磁束を高速に立
ち上げていくとともに、概略立ち上げると、フィードバ
ック磁束の増加を本来の細かなものに設定することで、
測定対象の磁束値を打ち消す正確なフィードバック磁束
を発生して、高分解能かつ高速応答の磁束測定を実現す
るのである。

第１図（ｂ）の本発明では、増幅手段７は、アップダウ
ンカウンタ３の計数値が大きいときには、測定対象の磁
束値が大きいことに対応させて、フィードバック手段４
のフィードバックしていく磁束値を増幅していくよう処
理する。そして、停止手段８は、フィードバックしてい
く磁束値が規定値よりも大きくなることで、フィードバ
ックしていく磁束値が測定対象の磁束値に近づくことを
検出すると、増幅手段７の増幅処理を停止させる。

これにより、フィードバック手段４は、本来のフィード
バック磁束であるアップダウンカウンタ３の１力ウント
値分ずつ増加していくフィードバック磁束を発生して、
ＳＱＵＩＤＩにフィードバックしていくことで測定対象
の磁束を打ち消すフィードバック磁束を発生していく。

このようにして、第１図（ｂ）の本発明では、最初に、
フィードバック磁束の増加を大きく設定することで、測
定対象の磁束値近傍までフィードバック磁束を高速に立
ち上げていくとともに、概略立ち上げると、フィードバ
ック磁束の増加を本来の細かなものに設定することで、
測定対象の磁束値を打ち消す正確なフィードバック用磁
束を発生して、高分解能かつ高速応答の磁束測定を実現
するのである。

この第１図（ｂ）の本発明にあって、第１図（ａ）の本
発明で用いた検出手段５により、測定対象の磁束値が小
さいことが検出されるときには、増幅手段７の増幅処理
を機能させないことで、フィードバック手段４がアップ
ダウンカウンタ３の１力ウント値分ずつ増加していく本
来のフィードバック磁束を発生してい（ように処理して
いくことが好ましい、このようにすると、測定対象の磁
束値が停止手段８の設定する規定値以下のものである場
合にも、高分解能の磁束測定を実現することができる。

また、この第１図（ｂ）の本発明にあって、第１図（ａ
）の本発明で用いた検出手段５により、測定対象の磁束
値が大きいことが検出されるときには、停止手段８の設
定する規定値を大きなものに設定し、小さいことが検出
されるときには、小さなものに設定するように処理して
いくことが好ましい、このようにすると、アップダウン
カウンタ３の計数値の到達値を予測して増幅手段７の増
幅機能を停止させる規定値を設定することができるので
、より高速応答の磁束測定を実現できるようになるので
ある。

〔実施例〕

以下、実施例に従って本発明の詳細な説明する。

第３図に、本発明の一実施例を図示する０図中、第６図
で説明したものと同じものについては同一の記号で示し
である。１９は加算回路であって、アップダウンカウン
タ１６の計数値が変化する度毎に、その計数値を例えば
１パルス当たり“±３″というように増幅させた値でも
って計数していくもの、２０は同期検波回路であって、
ＳＱＵ　Ｉ　Ｄｌｏの出力パルスと交流電流源１４のＡ
Ｃバイアスとの積を演算することで、ＳＱＵＩＤＩＯの
出力する出力パルスの直流レベル値を検出するもの、２
１ば設定回路であって、同期検波回路２０の検出する直
流レベル値が基準値以上のときに、加算回路１９をイネ
ーブル状態に設定することで計数値の増幅機能を活性状
態に設定するとともに、基準値以下のときに、加算回路
１９をディスイネーブル状態に設定することで計数値の
増幅機能を非活性状態に設定するものである。

第２図で説明したように、ＳＱＵＩＤＩＯに鎖交する磁
束が大きいときには、ＳＱＵＩＤＩＯの出力するパルス
のパルス幅が大きくなることでその直流レベル値が大き
くなるという特性を持つ。

設定回路２１は、この特性を受けて、同期検波回路２０
により検出されるＳＱＵＩＤＩＯの出力パルスの直流レ
ベル値が大きいことで測定対象の磁束値が大きいことを
判断すると、加算回路１９をイネーブル状態に設定する
。

このようにしてイネーブル状態に設定されると、加算回
路１９は、アップダウンカウンタ１６の計数値を増幅し
ていく処理を実行する。すなわち、アップダウンカウン
タ１６の計数値が１ずつカウントアツプするときに、例
えば３ずつカウントアツプしていく処理を実行し、また
、アップダウンカウンタ１６の計数値が１ずつカウント
ダウンするときに、例えば３ずつカウントダウンしてい
（処理を実行するのである。Ｄ／Ａコンバータ１７は、
このようにして増幅されたアップダウンカウンタ１６の
計数値を対応するアナログ電圧値に変換し、これを受け
て、フィードバック抵抗１８は、大きく増加された電流
をフィードバックコイル１３に印加していくことで、５
ＱＵｔＤ１０に対して、上述の（１）式に示した１パル
ス当たりのフィードバック磁束単位ΔΦよりも大きく増
加されたフィードバック磁束を与えていくよう動作する
。

この増幅処理に従って、ＳＱＵＩＤＩＯに鎖交する測定
磁束は従来よりも急速に打ち消されていくことになる。

そして、測定磁束が概略打ち消されてくることで、同期
検波回路２０の検出する直流レベル値が小さくなって（
ることを判断すると、設定回路２１は、加算回路１９を
ディスイネーブル状態に設定する。このようにしてディ
スイネーブル状態に設定されると、加算回路１９は、加
電機能を停止させて、例えばディスイネーブル状態に設
定される直前の増幅された計数値が“１００′″である
ならば、その“１００”から１ずつ計数値を歩進してい
くように処理する。この処理を受けて、フィードバック
抵抗１８は、ＳＱＵＩＤＩＯに対して、上述の（１）式
に示した１パルス当たりのフィードバック磁束単位ΔΦ
と同じ増加値を持つフィードバック磁束を与えていくこ
とで、測定磁束を正確に打ち消すフィードバック磁束を
発生していくことになる。

このようにして、最初に、フィードバック磁束の増加を
大きく設定することで、測定対象の磁束値近傍までフィ
ードバック磁束を高速に立ち上げていくとともに、概略
立ち上げると、フィードバック磁束の増加を本来の細か
なものに設定することで、測定対象の磁束値を打ち消す
正確なフィードバック磁束を発生していくことにより、
高分解能かつ高速応答の磁束測定が実行されていくこと
になる。

この実施例では、加算回路１９の増幅する増幅値を固定
的なもので開示したが、同期検波回路２０の検出する直
流レベル値が大きいときには、それに応じてその増幅値
を大きく設定するというような構成を採ることも可能で
ある。また、この実施例では、同期検波回路２０により
ＳＱＵＩＤＩＯの出力する出力パルスの直流レベル値を
検出して、フィードバック磁束の増幅処理の実行の有無
を決定するもので開示したが、ＳＱＵＩＤＩＯの出力す
る出力パルスのパルス幅値を検出していくことで、この
増幅処理の実行の有無を決定していく構成を採ることも
可能である。

第４図に、本発明の他の一実施例を図示する。

この第４図の実施例は、同期検波回路２０のようなＳＱ
ＵＩＤＩＯの出力パルスのパルス属性を検出する手段を
備えなくても済ませられる本発明を開示するものである
。

図中、第６図で説明したものと同じものについては同一
の記号で示しである。２２は遅延加算回路であって、１
つ前の処理ステップ（１つ前のＡＣバイアスの周期）の
計数値をホールドするラッチ回路２３と、アップダウン
カウンタ１６の計数値とラッチ回路２３のホールド値と
を加算して、ラッチ回路２３のホールド値をこの加算値
に更新する加算回路２４とを備えるもの、２５はリミッ
タであって、加算回路２４のホールドする加算値が規定
のリミット値を超えるときに、ラッチ回路２３のホール
ド値の更新処理を停止させるものである。

ＳＱυＩＤｌ０に鎖交する磁束が大きいときには、その
磁束を打ち消すために必要となるフィードバック磁束が
大きくなければならないことから、アップダウンカウン
タ１６により計数されるＳＱＵＩＤＩＯの出力パルス数
が多くなるという特性を持つ、そこで、この実施例では
、遅延加算回路２２の処理に従って、アップダウンカウ
ンタ１６の計数値を累積加算して増幅させていくととも
に、リミッタ２５の処理に従って、フィードバック磁束
が測定磁束に近づいてきたときにはこの増幅処理を停止
させていくことで、高分解能を保持しつつ高速応答を実
現できるように構成するのである。

次に、第５図に示す具体例に従って、このように構成さ
れる第４図の実施例の動作処理について説明する。

この第５図に示す例では、ＳＱＵＩＤＩＯに対して、“
２０”という大きさを持つ測定磁束（２０×ΔΦという
大きさの磁束、ΔΦは上述の（１）式に示したもの）が
入力されたことを想定している。

アップダウンカウンタ１６は、この測定磁束に従って、
第５図（ａ）の「ｆ（ｋ）」欄に示すように、その計数
値を交流電流源１４のＡＣバイアスに同期して１つずつ
力うントアップしていく、このとき、ラッチ回路２３は
、ｋ−１の処理ステップでは、ｋ−０の処理ステップの
アップダウンカウンタ１６の計数値が０″にあることに
対応して０″をホールドし、ｋ−２の処理ステップでは
、ｋ−１の処理ステシブにおけるアップダウンカウンタ
１６の計数値“１”とランチ回路２３のホールド値“０
″との加Ｘ値である“１′をホールドし、ｋ＝３の処理
ステップでは、ｋ＝２の処理ステップにおけるアップダ
ウンカウンタ１６の計数値″２″とラッチ回路２３のホ
ールド値“１”との加算値である“３″をホールドする
というように、第５図（ａ）の「Φ、（ｋ−１）」欄に
示すような累積加算値をホールドしていく。

このラッチ回路２３のラッチ処理を受けて、加算回路２
４は、ｋ−１の処理ステップでは、アップダウンカウン
タ１６の計数値“１″とラッチ回路２３のホールド値“
０”との加算値である“１”を、リミッタ２５を介して
Ｄ／Ａコンバータ１７に出力し、ｋ−２の処理ステップ
では、アップダウンカウンタ１６０計数値″２″とラッ
チ回路２３のホールド値“１”との加算値である“３”
を、リミッタ２５を介してＤ／Ａコンバータ１７に出力
し、ｋ−３の処理ステップでは、アップダウンカウンタ
１６の計数値“３”とラッチ回路２３のホールド値″３
”との加算値である“６”を、リミッタ２５を介してＤ
／Ａコンバータ１７に出力するというように、第５図（
ａ）の「Φｆ（ｋ）」欄に示すような累積加電される計
数値をＤ／Ａコンバータ１７に出力していく。

このＤ／Ａコンバータ１７への入力処理を受けて、この
実施例では、第５図（ｂ）に示すように、測定の開始時
には、ＳＱＵＩＤＩＯに対して、急速に立ち上げられる
フィードバック磁束が入力されていくことになる。

このようにしてフィードバック磁束を増加させていくと
きに、ラッチ回路２３のホールドする計数値がリミッタ
２５の設定する例えば“１２″というリミット値を超え
ることになると、リミッタ２５は、ラッチ回路２３０ホ
ールド値の更新処理を停止させる。この処理により、第
５図（ａ）の例で説明するならば、ｋ−６の処理ステッ
プに続く処理ステップ以降では、ラッチ回路２３は“１
０″をホールドし続け、加算回路２４は、このホールド
値“１０”と１つずつ歩進していくアップダウンカウン
タ１６の計数値との加算値を、リミッタ２５を介してＤ
／Ａコンバータ１７に出力していくよう処理する。

このＤ／Ａコンバータ１７への入力処理を受けて、この
実施例では、第５図（ｂ）に示すように、フィードバッ
ク磁束が測定磁束に近づいてくると、ＳＱＵＩＤＩＯに
対して、高分解能のフィードバック磁束が入力されてい
くことになる。

このようにして、最初に、フィードバック磁束の増加を
大きく設定することで、測定対象の磁束値近傍までフィ
ードバック磁束を高速に立ち上げていくとともに、概略
立ち上げると、フィードバック磁束の増加を本来の細か
なものに設定することで、測定対象の磁束値を打ち消す
正確なフィードバック磁束を発生していくことにより、
高分解能かつ高速応答の磁束測定が実行されていくこと
になる。この第５図の具体例で説明するならば、従来で
あれば、”２０”という大きさの測定磁束を２０”の処
理ステップ数で測定していたのに対して、この実施例に
従えば、同じ分解能を維持しつつ“１０″という短い時
間の処理ステップ数で測定できることになる。

この第４図の実施例では、第３図の実施例と異ナリ、Ｓ
ＱＵＩＤＩＯの出力パルスのパルス属性を検出する手段
を備えなくても済ませられるという利点はあるものの、
測定磁束の大きさを予測していないために、リミッタ２
５のリミット値以下の測定磁束に対しては、高速応答を
実現できるものの分解能が落ちてしまうという１ｇ１ｌ
１点がある。

そして、測定磁束がリミッタ２５のリミット値よりかな
り大きい場合には、十分な高速応答を実現できなくなっ
てしまうという問題点がある。

そこで、この第４図の実施例にあっても、第３図で説明
したような同期検波回路２０のようなＳＱＵＩＤＩＯの
出力パルスのパルス属性を検出する手段を備えて、その
検出手段が測定磁束の大きいことを検出することを条件
にして、遅延加算回路２２やリミッタ２５の機能を活性
化させていく構成を採ることが好ましい、このように構
成すると、リミッタ２５のリミット値以下の比較的小さ
な測定磁束に対しても高精度な測定を保証できるように
なる。なお、このような比較的小さな測定磁束に対して
は、フィードバック磁束を迅速に測定磁束まで立ち上げ
ることができるので、高速応答の機能を発揮させなくて
もそれほど大きな問題とはならないのである。そして、
その検出手段の検出値に応じて、大きな測定磁束に対し
てはリミッタ２５のリミット値を大きく設定していくと
いうようにリミット値を変更していく構成を採ることが
好ましい、このように構成すると、大きな測定磁束に対
しても高速応答の測定を実現できるようになる。

図示実施例について説明したが、本発明はこれに限定さ
れるものではない０例えば、実施例では、単体で構成さ
れるディジタルＳＱＵＩＤ磁束計について説明したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、アナログ動作
するＳＱＵＩＤ磁束針と組み合わされるディジタルＳＱ
ＵＩＤ磁束計についてもそのまま適用できるのである。

〔発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、高分解能測定を
保持しつつ高速応答測定を実現できるディジタルＳＱＵ
ＩＤ磁束計を提供できるようになる。これから、ＳＱＵ
ＩＤ磁束計を実用的なものにできるようになるとともに
、特に、複数備えられるＳＱＵＩＤを高速で切り換えら
れるようになることから、マルチチャンネルのＳＱＵＩ
Ｄ磁束計を実用的なものにできるようになるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理構成図、 第２図は本発明の詳細な説明するための説明図、第３図
は本発明の一実施例、 第４図は本発明の他の一実施例、 第５図は第４図の実施例の動作処理の説明図、第６図は
従来技術の説明図、 第７図はＳＱＵＩＤの臨界電流の説明図、第８図は従来
技術の説明図である。 図中、１はＳＱＵＩＤ、２は交流電流源、３はアップダ
ウンカウンタ、４はフィードバック手段、５は検出手段
、６及び７は増幅手段、８は停止手段である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 〔１〕ＳＱＵＩＤに交流バイアスを印加することで、該
   ＳＱＵＩＤに入力される磁束に応じたパルス列を得て、
   該パルス列の累積値に応じてフィードバック用の磁束を
   大きくしていくことで、該ＳＱＵＩＤに入力される磁束
   を打ち消すフィードバック用の磁束を特定して測定対象
   の磁束値を測定するよう処理するディジタルＳＱＵＩＤ
   磁束計において、 ＳＱＵＩＤの出力するパルスのパルス幅値か直流レベル
   値を検出する検出手段（５）と、上記検出手段（５）の
   検出する検出値が大きいときに、フィードバック用の磁
   束値を増幅させる増幅手段（６）とを備えることを、 特徴とするディジタルＳＱＵＩＤ磁束計、 〔２〕ＳＱＵＩＤに交流バイアスを印加することで、該
   ＳＱＵＩＤに入力される磁束に応じたパルス列を得て、
   該パルス列の累積値に応じてフィードバック用の磁束を
   大きくしていくことで、該ＳＱＵＩＤに入力される磁束
   を打ち消すフィードバック用の磁束を特定して測定対象
   の磁束値を測定するよう処理するディジタルＳＱＵＩＤ
   磁束計において、 ＳＱＵＩＤの出力するパルス数が多いときに、フィード
   バック用の磁束値を増幅させる増幅手段（７）と、 上記増幅手段（７）により増幅されるフィードバック用
   の磁束値が規定値よりも大きくなるときに、上記増幅手
   段（７）の増幅機能を停止させる停止手段（８）とを備
   えることを、 特徴とするディジタルＳＱＵＩＤ磁束計。 〔３〕請求項（２）記載のディジタルＳＱＵＩＤ磁束計
   において、 ＳＱＵＩＤの出力するパルスのパルス幅値か直流レベル
   値を検出する検出手段（５）を備え、上記検出手段（５
   ）の検出する検出値が所定値より小さいときには、ＳＱ
   ＵＩＤの出力するパルスの累積値に従ってフィードバッ
   ク用の磁束値を発生するよう構成されてなることを、 特徴とするディジタルＳＱＵＩＤ磁束計。 〔４〕請求項〔２〕記載のディジタルＳＱＵＩＤ磁束計
   において、 ＳＱＵＩＤの出力するパルスのパルス幅値か直流レベル
   値を検出する検出手段（５）を備え、上記検出手段（５
   ）の検出する検出値に従い、該検出値が大きいときには
   停止手段（８）の設定する規定値の値を大きくする態様
   に従って、停止手段（８）の設定する規定値の値を変更
   していくよう構成されてなることを、 特徴とするディジタルＳＱＵＩＤ磁束計。 〔５〕請求項〔２〕記載のディジタルＳＱＵＩＤ磁束計
   において、 ＳＱＵＩＤの出力するパルスのパルス幅値か直流レベル
   値を検出する検出手段（５）を備え、上記検出手段（５
   ）の検出する検出値が所定値より小さいときには、ＳＱ
   ＵＩＤの出力するパルスの累積値に従ってフィードバッ
   ク用の磁束値を発生するとともに、 上記検出手段（５）の検出する検出値に従い、該検出値
   が大きいときには停止手段（８）の設定する規定値の値
   を大きくする態様に従って、停止手段（８）の設定する
   規定値の値を変更していくよう構成されてなることを、 特徴とするディジタルＳＱＵＩＤ磁束計。