JPH04133014A - 反射鏡支持機構 - Google Patents
反射鏡支持機構Info
- Publication number
- JPH04133014A JPH04133014A JP25836790A JP25836790A JPH04133014A JP H04133014 A JPH04133014 A JP H04133014A JP 25836790 A JP25836790 A JP 25836790A JP 25836790 A JP25836790 A JP 25836790A JP H04133014 A JPH04133014 A JP H04133014A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- force
- support
- lever
- load shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、反射鏡支持機構に関し、特に該機構に使用さ
れる[てこJの改良に関するものである。
れる[てこJの改良に関するものである。
第5図は従来から用いられている反射鏡の支持機構を示
す図である。
す図である。
図において、1は反射鏡、2はセル、8,9は単位支持
機構である「てこJを示し、「てこJか支持する鏡の面
に対応して裏面支持てこ8と側面支持てこ9とに分類さ
れる。
機構である「てこJを示し、「てこJか支持する鏡の面
に対応して裏面支持てこ8と側面支持てこ9とに分類さ
れる。
そしていずれの「てこ」も基本的には第6図に示すよう
に構成されており、図において、3は反射鏡を支える負
荷軸、4は短腕、5は[てこJの支点部、6は長腕、7
は重り、10.11はナツトである。
に構成されており、図において、3は反射鏡を支える負
荷軸、4は短腕、5は[てこJの支点部、6は長腕、7
は重り、10.11はナツトである。
この支持機構は「てこ」の支点部5かセル2に取り付け
られ、「てこ」の負荷軸3か側面支持てこ9では反射鏡
1の側面に取り付けられた取付は部材を、また裏面支持
てこ8では反射鏡1の裏面に取り付けられた図示しない
受皿をそれぞれ支持するように構成されている。
られ、「てこ」の負荷軸3か側面支持てこ9では反射鏡
1の側面に取り付けられた取付は部材を、また裏面支持
てこ8では反射鏡1の裏面に取り付けられた図示しない
受皿をそれぞれ支持するように構成されている。
次に動作について説明する。
反射鏡lが第5図のように天頂方向を向く場合には該反
射鏡1の重量は裏面支持てこ8にのみ作用し、側面支持
てこ9には作用しない。このとき、裏面支持でこ8の重
り7の重量と支点部5から上記重り7までの腕の長さと
をあらかじめ適切に調整しておくことにより、上記裏面
支持てこ8の負荷軸3が出す力の和を上記反射鏡1の重
量に釣り合わせることが可能である。このようにすると
、反射鏡1をセル2に触れさせることなく、裏面支持で
二8にのみよって宙に保持することができるようになる
。またナツト10.11は重りの調整時は緩めて重りと
の間には十分な間隔をとり、調整後は重りは両側から締
付けて、「てこ」の通常の使用状態において重りが勝手
に移動することを防止する。なお、この調整作業は一般
に、「てこ」をセルに取りつける前に行う。
射鏡1の重量は裏面支持てこ8にのみ作用し、側面支持
てこ9には作用しない。このとき、裏面支持でこ8の重
り7の重量と支点部5から上記重り7までの腕の長さと
をあらかじめ適切に調整しておくことにより、上記裏面
支持てこ8の負荷軸3が出す力の和を上記反射鏡1の重
量に釣り合わせることが可能である。このようにすると
、反射鏡1をセル2に触れさせることなく、裏面支持で
二8にのみよって宙に保持することができるようになる
。またナツト10.11は重りの調整時は緩めて重りと
の間には十分な間隔をとり、調整後は重りは両側から締
付けて、「てこ」の通常の使用状態において重りが勝手
に移動することを防止する。なお、この調整作業は一般
に、「てこ」をセルに取りつける前に行う。
また反射鏡1が水平方向を向く場合には、鏡の重量は側
面支持てこ9にのみ作用し、裏面支持てこ8には作用し
ない。このときも上記裏面支持でこの場合と同様にして
、重り7の重量と支点部5から上記重り7までの腕の長
さとを適切に調整することによって、反射鏡lを側面支
持てこ9のみによって宙に保持することができるように
なる。
面支持てこ9にのみ作用し、裏面支持てこ8には作用し
ない。このときも上記裏面支持でこの場合と同様にして
、重り7の重量と支点部5から上記重り7までの腕の長
さとを適切に調整することによって、反射鏡lを側面支
持てこ9のみによって宙に保持することができるように
なる。
以上のようにして、「てこ」の調整を天頂、水平の各方
向に対して行っておくと、反射鏡1が天頂、水平の中間
方向を向く場合でも側面支持てこ9と裏面支持てこ8が
分担して上記反射鏡lを宙に保持するようになる。
向に対して行っておくと、反射鏡1が天頂、水平の中間
方向を向く場合でも側面支持てこ9と裏面支持てこ8が
分担して上記反射鏡lを宙に保持するようになる。
これらの「てこ」は、反射鏡が重力方向に対して姿勢を
変えるとき、反射鏡をセルとの相対位置関係が不変とな
るよう保持、あるいは副反射鏡を相対させた光学系を構
成して用いる場合には副反射鏡との相対位置関係を保持
させる、保持精度の確保の目的に加え、鏡面に生じる重
力変形を抑制して鏡自身の結像能力の劣化を防止する、
いわゆる分解能の確保を目的として、重りの重量、腕の
長さ、 「てこ」の個数、各面での支持位置などの「て
こ」のパラメータを適切に選択して取り付けられる。
変えるとき、反射鏡をセルとの相対位置関係が不変とな
るよう保持、あるいは副反射鏡を相対させた光学系を構
成して用いる場合には副反射鏡との相対位置関係を保持
させる、保持精度の確保の目的に加え、鏡面に生じる重
力変形を抑制して鏡自身の結像能力の劣化を防止する、
いわゆる分解能の確保を目的として、重りの重量、腕の
長さ、 「てこ」の個数、各面での支持位置などの「て
こ」のパラメータを適切に選択して取り付けられる。
従来の反射鏡支持機構に適用されている「てこ」は以上
のように構成されているが、負荷軸が出す力の値につい
ては重りと腕の長さから決まるモーメントの理論値に基
づいて決定される程度であり、その実際の設定精度につ
いてはあまり関心が払われていなかった。
のように構成されているが、負荷軸が出す力の値につい
ては重りと腕の長さから決まるモーメントの理論値に基
づいて決定される程度であり、その実際の設定精度につ
いてはあまり関心が払われていなかった。
また、実際に重りを腕に沿って移動させる際、重りを動
かす方向を変えるとガタやバックラッシュの存在のため
に設定が理論通りにならないという問題もあった。
かす方向を変えるとガタやバックラッシュの存在のため
に設定が理論通りにならないという問題もあった。
さらに「てこJの重りの調整時以外は重り勝手に位置を
変えることがないように、なんらかのストッパーで腕に
固定される必要かあるが、重りを位置設定して負荷軸の
出す力を精度よく設定したとしても、このストッパーの
機能を働かせるのは重りの位置設定の後であるため、そ
の時点で負荷軸の力の設定精度が劣化するという問題が
あった。
変えることがないように、なんらかのストッパーで腕に
固定される必要かあるが、重りを位置設定して負荷軸の
出す力を精度よく設定したとしても、このストッパーの
機能を働かせるのは重りの位置設定の後であるため、そ
の時点で負荷軸の力の設定精度が劣化するという問題が
あった。
この劣化を考慮した設定を行うためには、経験と勘とを
必要とし極めて困難な作業となっていた。
必要とし極めて困難な作業となっていた。
しかし、高い集光能力を期待されて使用される大型反射
鏡においては、より高い保持精度と分解能を確保するた
めに、負荷軸の出す力を精度よく設定できる必要があり
、これを実現し得るための機能が必要とされるようにな
ってきた。
鏡においては、より高い保持精度と分解能を確保するた
めに、負荷軸の出す力を精度よく設定できる必要があり
、これを実現し得るための機能が必要とされるようにな
ってきた。
本発明は上記のような要求に鑑みてなされたもので、負
荷軸が出す力を精度良く設定るために、重りの位置調整
を精密に行い得るとともに、その調整が容易な力調整機
構を備えた反射鏡支持機構を提供することを目的とする
。
荷軸が出す力を精度良く設定るために、重りの位置調整
を精密に行い得るとともに、その調整が容易な力調整機
構を備えた反射鏡支持機構を提供することを目的とする
。
この発明に係る反射鏡支持機構は、その単位支持機構と
して、支点に支持された腕と敏腕の一端に取り付けられ
反射鏡裏面および側面を支持する負荷軸と、上記腕の他
端に取り付けられた重りとからなる裏面および側面支持
てこを用いたものにおいて、支持てこの重り側の腕に原
則として異なる重さの重りを複数個設けるようにしたも
のである。
して、支点に支持された腕と敏腕の一端に取り付けられ
反射鏡裏面および側面を支持する負荷軸と、上記腕の他
端に取り付けられた重りとからなる裏面および側面支持
てこを用いたものにおいて、支持てこの重り側の腕に原
則として異なる重さの重りを複数個設けるようにしたも
のである。
この発明においては、反射鏡支持機構を構成する単位支
持機構である「てこ」において、裏面および側面支持で
この支持側とは反対側の腕に原則として異なる重さの重
りを複数個設けて力調整機構を構成したため、これらの
重りのうち重たいものから順に調整していくことにより
、負荷軸が出す力を精度よく、しかも容易に調整するこ
とができる。
持機構である「てこ」において、裏面および側面支持で
この支持側とは反対側の腕に原則として異なる重さの重
りを複数個設けて力調整機構を構成したため、これらの
重りのうち重たいものから順に調整していくことにより
、負荷軸が出す力を精度よく、しかも容易に調整するこ
とができる。
以下この発明の実施例を図について説明する。
第1図は本発明の一実施例による反射鏡支持機構を示し
、特にその裏面支持でこの力調整機構を例にとって示す
図である。図において、7aは重りa、7bは重りbて
あり、重りbの重力は重りaの11b0程度とする。ま
た10a、10b。
、特にその裏面支持でこの力調整機構を例にとって示す
図である。図において、7aは重りa、7bは重りbて
あり、重りbの重力は重りaの11b0程度とする。ま
た10a、10b。
11a、llbはナツトである。
次に動作について説明する。
ここで「てこ」の動作自体は従来例と同一であるので省
略し、本発明に係る力調整機構の動作についてのみ、裏
面支持で二8を例にとって説明する。
略し、本発明に係る力調整機構の動作についてのみ、裏
面支持で二8を例にとって説明する。
第1図に示した本実施例における力調整機構では、まず
重り7aを「てこ」の理論に従って位置調整することに
よってナツト10a、llaの締付けまでを実施する。
重り7aを「てこ」の理論に従って位置調整することに
よってナツト10a、llaの締付けまでを実施する。
ナツトの締付は時に負荷軸の出す力に誤差か生じるので
、その分を重量の小さい重り7bを調整することよって
除去する。このとき、ナツト10b、llbの締付によ
って再び負荷軸の出す力に誤差か生じるか、その値は重
り7aの調整後に生じる誤差に比べてオーダーか2桁程
度低くなるので通常は問題にならない。
、その分を重量の小さい重り7bを調整することよって
除去する。このとき、ナツト10b、llbの締付によ
って再び負荷軸の出す力に誤差か生じるか、その値は重
り7aの調整後に生じる誤差に比べてオーダーか2桁程
度低くなるので通常は問題にならない。
なお、上記実施例では重り7b重量を重り7aの11b
0程度としたが、この比率は本発明の本質とは無関係で
あり、任意に設定して良い。
0程度としたが、この比率は本発明の本質とは無関係で
あり、任意に設定して良い。
また、上記実施例では重り7bをナツト10b。
11bとは別個に設けたか、これらのナツトの重量如何
によっては第2図に示すように重り7bを省略し、ナツ
ト10b、llbがその役割を兼ねるようにしても差し
つかえない。
によっては第2図に示すように重り7bを省略し、ナツ
ト10b、llbがその役割を兼ねるようにしても差し
つかえない。
さらに上記実施例では力調整機構に要する重りの数を2
個としたか、第3図に示すようにこれらを3個以上とし
て力調節機構を構成してもよいことは言うまでもない。
個としたか、第3図に示すようにこれらを3個以上とし
て力調節機構を構成してもよいことは言うまでもない。
さらに、第1図の実施例では重り7aが重り7bよりも
腕の端部側にある場合について示したが、第4図に示す
ようにこれらの順序は逆であってもよい。
腕の端部側にある場合について示したが、第4図に示す
ようにこれらの順序は逆であってもよい。
以上のように、本発明に係る反射鏡の支持機構によれば
、その機構を構成する裏面および側面支持てこの腕にそ
れぞれ負荷軸が出す力を調節する力調節機構を設けたの
で、裏面および側面支持てこを負荷軸の出す力を容易に
調節でき、力支持精度の高い反射鏡支持機構を実現でき
る効果がある。
、その機構を構成する裏面および側面支持てこの腕にそ
れぞれ負荷軸が出す力を調節する力調節機構を設けたの
で、裏面および側面支持てこを負荷軸の出す力を容易に
調節でき、力支持精度の高い反射鏡支持機構を実現でき
る効果がある。
第1図は本発明の一実施例による反射鏡支持機構におけ
る裏面支持てこの力調節機構とその構成の詳細を示す図
、第2図は本発明の第2の実施例を示す図、第3図は本
発明の第3の実施例を示す図、第4図は本発明の第4の
実施例を示す図、第5図は従来の反射鏡支持機構を示す
図、第6図は従来の反射鏡支持機構に用いられている「
てこ]を示す図である。 図において、■は反射鏡、2はセル、3は負荷軸、4は
短腕、5は支点部、6は長腕、7.7a。 7b、7cは重り、8は裏面支持てこ、9は側面支持て
こ、10.10a、10b、10c、11゜11a、l
lb、llcはナツトである。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
る裏面支持てこの力調節機構とその構成の詳細を示す図
、第2図は本発明の第2の実施例を示す図、第3図は本
発明の第3の実施例を示す図、第4図は本発明の第4の
実施例を示す図、第5図は従来の反射鏡支持機構を示す
図、第6図は従来の反射鏡支持機構に用いられている「
てこ]を示す図である。 図において、■は反射鏡、2はセル、3は負荷軸、4は
短腕、5は支点部、6は長腕、7.7a。 7b、7cは重り、8は裏面支持てこ、9は側面支持て
こ、10.10a、10b、10c、11゜11a、l
lb、llcはナツトである。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- (1)重力方向に対して姿勢が変化する反射鏡の裏面お
よび側面に配設され、 支点に支持された腕と、 該腕の一端に取付けられ、上記反射鏡裏面および側面を
支持する負荷軸と、 上記腕の他端側にその位置を調整可能に取り付けられた
重りとからなる支持てこからなり、該反射鏡を支持する
複数の単位底面および単位側面支持機構を備え、 該反射鏡をその姿勢変化に伴う鏡面変形が抑制されるよ
うに保持する反射鏡支持機構において、1個のてこにつ
き2個以上設置された上記重りからなり、上記支持てこ
の負荷軸が出す力を調整する力調整機構を設けたことを
特徴とする反射鏡支持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25836790A JPH04133014A (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 反射鏡支持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25836790A JPH04133014A (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 反射鏡支持機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04133014A true JPH04133014A (ja) | 1992-05-07 |
Family
ID=17319261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25836790A Pending JPH04133014A (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 反射鏡支持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04133014A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6043863A (en) * | 1996-11-14 | 2000-03-28 | Nikon Corporation | Holder for reflecting member and exposure apparatus having the same |
| CN115308874A (zh) * | 2022-09-06 | 2022-11-08 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种大口径反射镜的无干扰力重力卸载机构 |
-
1990
- 1990-09-25 JP JP25836790A patent/JPH04133014A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6043863A (en) * | 1996-11-14 | 2000-03-28 | Nikon Corporation | Holder for reflecting member and exposure apparatus having the same |
| CN115308874A (zh) * | 2022-09-06 | 2022-11-08 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种大口径反射镜的无干扰力重力卸载机构 |
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