JPH0413674B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0413674B2 JPH0413674B2 JP56211567A JP21156781A JPH0413674B2 JP H0413674 B2 JPH0413674 B2 JP H0413674B2 JP 56211567 A JP56211567 A JP 56211567A JP 21156781 A JP21156781 A JP 21156781A JP H0413674 B2 JPH0413674 B2 JP H0413674B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- detection element
- backscattered electron
- backscattered
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/29—Measurement performed on radiation beams, e.g. position or section of the beam; Measurement of spatial distribution of radiation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子線マイクロアナライザ等に用いら
れる反射電子検出器に関する。
れる反射電子検出器に関する。
従来電子線マイクロアナライザ等で電子線によ
つて照射された試料からの反射電子を検出して試
料表面の原子番号依存性の情報を得る場合には、
対物レンズの下面に電子線検出器を取付けるよう
な方法を用いていた。このような方法によるとき
は、反射電子検出用の検出器を取付けるための機
構を対物レンズ下面に用意しておく必要があり、
反射電子を全方位的に検出する場合に備えて複数
の検出器を対物レンズ下面に取付け得るようにし
ておく必要があるから、構造的に複雑で高価にな
り、検出器の着脱が面倒であつた。本発明は試料
からの反射電子を検出するに当つて従来例の上述
したような問題点を解消することを目的とするも
のである。
つて照射された試料からの反射電子を検出して試
料表面の原子番号依存性の情報を得る場合には、
対物レンズの下面に電子線検出器を取付けるよう
な方法を用いていた。このような方法によるとき
は、反射電子検出用の検出器を取付けるための機
構を対物レンズ下面に用意しておく必要があり、
反射電子を全方位的に検出する場合に備えて複数
の検出器を対物レンズ下面に取付け得るようにし
ておく必要があるから、構造的に複雑で高価にな
り、検出器の着脱が面倒であつた。本発明は試料
からの反射電子を検出するに当つて従来例の上述
したような問題点を解消することを目的とするも
のである。
本発明は中央に孔のあいた円板状の電子線検出
素子を試料ホルダの上部に取付けた構造の反射電
子検出器を提供するものである。以下実施例によ
つて本発明を説明する。
素子を試料ホルダの上部に取付けた構造の反射電
子検出器を提供するものである。以下実施例によ
つて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す。１は試料ホ
ルダ、２は試料ホルダ上縁に設けられた絶縁材
で、３は試料である。４が反射電子検出素子でカ
ーボンのような電子吸収体であり、上記絶縁材２
の上面に取付けられるようになつている。５は反
射電子検出素子４から導出された信号線のシール
ドワイヤで増幅回路に接続される。反射電子検出
素子４の中央には開口４１が設けられており、上
方から電子ビーム７によつて試料が照射できるよ
うになつている。１２は対物レンズである。８，
９は試料から出た反射電子を例示したもので、８
は検出素子４に入射して直接検出される。９は検
出素子４の開口４１を通過してしまうので直接検
出されないが、対物レンズ１２の下面に衝突して
対物レンズ１２の下面から２次電子１１を放出さ
せてこれが検出素子４に入射して反射電子検出電
流を与えることになる。１０は試料３から放射さ
れた２次電子で、これも反射電子検出素子４に捕
捉される。
ルダ、２は試料ホルダ上縁に設けられた絶縁材
で、３は試料である。４が反射電子検出素子でカ
ーボンのような電子吸収体であり、上記絶縁材２
の上面に取付けられるようになつている。５は反
射電子検出素子４から導出された信号線のシール
ドワイヤで増幅回路に接続される。反射電子検出
素子４の中央には開口４１が設けられており、上
方から電子ビーム７によつて試料が照射できるよ
うになつている。１２は対物レンズである。８，
９は試料から出た反射電子を例示したもので、８
は検出素子４に入射して直接検出される。９は検
出素子４の開口４１を通過してしまうので直接検
出されないが、対物レンズ１２の下面に衝突して
対物レンズ１２の下面から２次電子１１を放出さ
せてこれが検出素子４に入射して反射電子検出電
流を与えることになる。１０は試料３から放射さ
れた２次電子で、これも反射電子検出素子４に捕
捉される。
反射電子検出素子４は原則的には孔あきの円板
状であるが第２図に示すように起立縁４２を有す
る皿状にしてもよく、このようにすると検出素子
４が試料３を望む立体角が拡大され、試料面から
低い角度で出る反射電子まで捕捉でき検出感度が
向上する。
状であるが第２図に示すように起立縁４２を有す
る皿状にしてもよく、このようにすると検出素子
４が試料３を望む立体角が拡大され、試料面から
低い角度で出る反射電子まで捕捉でき検出感度が
向上する。
上例では反射電子検出素子はカーボンのような
２次電子放射の低い導体で自身増幅作用は持たな
い。検出素子に半導検出器を使用することにより
反射電子検出素子自身に増幅作用を持たせること
もできる。
２次電子放射の低い導体で自身増幅作用は持たな
い。検出素子に半導検出器を使用することにより
反射電子検出素子自身に増幅作用を持たせること
もできる。
本発明反射電子検出器は上述したような構成で
反射電子検出素子が試料ホルダの一部になつてい
るので、反射電子検出素子を取付けるための機構
を対物レンズ等に設けておく必要がなく、従つて
構造的に簡単で低コストであり、かつ取扱いが簡
単である。また試料中心に対して全周均等な構造
であるから、無陰影のきわめて良好な試料組織像
を得ることができる。
反射電子検出素子が試料ホルダの一部になつてい
るので、反射電子検出素子を取付けるための機構
を対物レンズ等に設けておく必要がなく、従つて
構造的に簡単で低コストであり、かつ取扱いが簡
単である。また試料中心に対して全周均等な構造
であるから、無陰影のきわめて良好な試料組織像
を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例装置の縦断側面図、
第２図は本発明の他の実施例装置の要部縦断側面
図である。 １……試料ホルダ、２……絶縁材、３……試
料、４……反射電子検出素子、１２……対物レン
ズ。
第２図は本発明の他の実施例装置の要部縦断側面
図である。 １……試料ホルダ、２……絶縁材、３……試
料、４……反射電子検出素子、１２……対物レン
ズ。
Claims (1)
- １ 試料を保持して分析装置内に出入れされる試
料ホルダの上縁に、試料の真上に当る中央部に開
口を有し、内面を電子検出面とする蓋状の電子検
出素子を電気的に絶縁して取付けたことを特徴と
する反射電子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56211567A JPS58115383A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 反射電子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56211567A JPS58115383A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 反射電子検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58115383A JPS58115383A (ja) | 1983-07-09 |
| JPH0413674B2 true JPH0413674B2 (ja) | 1992-03-10 |
Family
ID=16607917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56211567A Granted JPS58115383A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 反射電子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58115383A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG102573A1 (en) * | 2000-05-04 | 2004-03-26 | Univ Singapore | A lens for a scanning electron microscope |
| WO2007021163A1 (en) * | 2005-08-18 | 2007-02-22 | Cebt Co. Ltd. | Detector for electron column and method for detecting electrons for electron column |
| CN114644335B (zh) * | 2020-12-17 | 2023-07-18 | 清华大学 | 电子黑体腔体及二次电子探测装置 |
| CN114646689B (zh) * | 2020-12-17 | 2025-07-22 | 清华大学 | 二次电子探头及二次电子探测器 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS478874U (ja) * | 1971-02-27 | 1972-10-03 | ||
| JPS52102891A (en) * | 1976-02-25 | 1977-08-29 | Doryokuro Kakunenryo | Fluorescent substances for scintillation detectors |
| JPS5418269A (en) * | 1977-07-11 | 1979-02-10 | Jeol Ltd | Electron beam detector |
| JPS553129A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-10 | Jeol Ltd | X-ray analyzer for scanning electron microscope or the like |
-
1981
- 1981-12-29 JP JP56211567A patent/JPS58115383A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58115383A (ja) | 1983-07-09 |
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