JPH04137049U - バーンインシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 環境試験装置において、複数の恒温槽に対し
１台の熱発生装置で設定温度条件の雰囲気の供給を可能
にする。 【構成】 恒温槽１、又は供給管１２ａに設置された吸
入調節弁９ａを開き、吸入用ファン１０ａを作動するこ
とにより、１台の熱発生装置２ａの温度供給室１１ａか
ら高温の雰囲気を空気を媒体として供給管１２ａを通じ
て複数の恒温槽１へ供給する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は半導体集積回路の試験装置に関し、特に、ある一定に維持された温度 環境下で半導体集積回路の初期不良の除去や、信頼性試験を行う環境試験装置に 関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のバーンインシステムは、図３に示すように恒温槽１の内部に被試験半導 体集積回路を収納し、試験を行う試験室３と、この試験室３に熱を供給するため の熱源１３ｃと、熱源１３ｃにより発生させた熱を温風として試験室３に送風す る攪拌ファン４ａと、試験室３と熱源１３ｃ間に温風を循環させる通路の役目を する風洞５と、風洞５に連接された吸排気口６と、試験室３内に送風された温風 を設定された温度に制御する温度調節計７ａと、試験室３内に設置され試験室３ 内の温度を検知する温度センサ８ａとを備え、恒温槽１毎に熱源１３ｃが構成さ れていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

この従来のバーンインシステムは、１台の恒温槽１毎に熱源１３ｃを有してい るため、各恒温槽毎に熱源のコストが発生し、装置形状も大きくなり、熱源のメ ンテナンスは装置個々に行わなければならなく面倒であり、消費電力も増大する というような問題点があった。

【０００４】 本考案の目的は前記課題を解決したバーンインシステムを提供することにある 。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

前記目的を達成するため、本考案に係るバーンインシステムにおいては、温度 調節計により熱源を制御し、常に一定の温度を保つ温度供給室を有する熱発生装 置と、 被試験半導体集積回路を収納する試験室と、 通路の役目をする風洞と、 試験室と風洞との間に空気を循環させる攪拌ファンと、 試験室内を常に一定の温度に制御する温度調節計を有する恒温槽と、 熱発生装置の温度供給室から恒温槽の風洞へ温度雰囲気を伝達する供給管と、 恒温槽又は、供給管に取付けられ、熱発生装置の温度供給室から恒温槽の風洞 へ温度雰囲気を吸入する吸入用ファンと、 吸入を調節する吸入調節弁とを有し、 前記熱発生装置１台に複数の恒温槽を供給管により接続し、１台の熱発生装置 で複数の恒温槽の温度条件を設定するようにしたものである。

【０００６】 また、前記複数の恒温槽内に低温雰囲気を供給する冷凍機を設置した低温用の 温度供給室を有するものである。

【０００７】

【作用】

本考案では、複数の恒温槽に対して１台の熱発生装置で温度条件を設定可能と したものである。

【０００８】

【実施例】

次に本考案について図面を参照して説明する。

【０００９】 （実施例１）図１は、本考案の実施例１に係るバーンインシステムを示す構成 図である。図において、本実施例では、複数の恒温槽１と、１台の熱発生装置２ ａとにより構成されている。

【００１０】 恒温槽１の風洞５の内部に設置されている攪拌ファン４ａにより風洞５と試験 室３の間に温風を循環させ、これにより、被試験半導体集積回路を収納し試験を 行う試験室３内の温度分布を均一に保持する。

【００１１】 又、試験室３内に設置されている温度センサ８ａにより試験室３内の温度を検 知し、温度調節計７ａにより、試験室３内の温度は、設定されている試験温度に 維持、制御されている。

【００１２】 試験室３内の温度の制御は、設定温度より低い場合は吸入調節弁９ａが開き、 吸入用ファン１０ａが作動し、熱発生装置２ａの温度供給室１１ａより熱が空気 を媒体として供給管１２ａを通じて恒温槽１の風洞５に吸入され、温度を上昇さ せる。

【００１３】 設定温度より高い場合は、吸入調節弁９ａが閉じ、吸入用ファン１０ａが停止 し、温度供給室１１ａからの空気を遮断し、温度の上昇分は風洞５に連接された 吸排気口６が開き外部に排気し、又、外気を吸い込み試験室３内の温度を下降さ せる。

【００１４】 供給管１２ａは、恒温槽１の風洞５と、熱発生装置２ａの温度供給室１１ａと に配管され、温度供給室１１ａで発生させた熱を空気を媒体として風洞５に伝達 することができる。吸入調節弁９ａと吸入用ファン１０ａは共に恒温槽１、又は 、供給管１２ａの内部に取付けられている。

【００１５】 熱発生装置２ａの温度供給室１１ａの内部温度は、温度センサ８ｂにより検知 され、温度調節計７ｂにより熱源１３ａを制御し、本実施例のバーンインシステ ムで接続されている複数の恒温槽の内、一番高い使用温度条件以上の温度に制御 、設定されている。温度供給室１１ａより供給管１２ａを通して恒温槽１に熱が 空気を媒体として伝達されると、伝達された分の空気を吸気口１４ａより吸入す る。攪拌ファン４ｂは、温度供給室１１ａの温度分布を一定に調節するためのも のである。

【００１６】 （実施例２）図２は、本考案の実施例２に係るバーンインシステムを示す構成 図である。図において、本実施例では、熱発生装置２ｂは、高温用の温度供給室 １１ｂと低温用の温度供給室１１ｃとにより構成されている。高温用の温度供給 室１１ｂは、内部温度が温度センサ８ｃにより検知され、温度調節計７ｃにより 熱源１３ｂを制御し本実施例のバーンインシステムで接続されている複数の恒温 槽の内、一番高い使用温度条件以上の温度に制御、設定され高温雰囲気を維持し ている。

【００１７】 低温用の温度供給室１１ｃは、内部温度が温度センサ８ｄにより検知され、温 度調節計７ｄにより冷凍機１５を制御し本実施例のバーンインシステムで接続さ れている複数の恒温槽の内、一番低い使用温度条件以下の温度に制御、設定され 低温雰囲気を維持している。

【００１８】 熱発生装置２ｂの高温用の温度供給室１１ｂと低温用の温度供給室１１ｃは、 本実施例のバーンインシステムで接続されている複数の恒温槽１の風洞５とそれ ぞれ供給管１２ｂ，１２ｃで配管されている。

【００１９】 恒温槽１の風洞５に高温の雰囲気を吸入する場合は、吸入調節弁９ｂが開き、 吸入用ファン１０ｂが作動し、供給管１２ｂを通じて高温用の温度供給室１１ｂ から風洞５へ高温雰囲気が吸入される。

【００２０】 低温の雰囲気を吸入する場合は、吸入調節弁９ｃが開き、吸入用ファン１０ｃ が作動し、供給管１２ｃを通じて低温用の温度供給室１１ｃから風洞５へ低温雰 囲気が吸入される。

【００２１】 温度供給室１１ｂより供給管１２ｂを通して恒温槽１に熱が空気を媒体として 伝達されると、伝達された分の空気を吸気口１４ｂより吸入する。同様に温度供 給室１１ｃより供給管１２ｃを通して恒温槽１に低温の温度雰囲気が空気を媒体 として伝達されると、伝達された分の空気を吸気口１４ｃより吸入する。攪拌フ ァン４ｃ，４ｄは、それぞれ温度供給室１１ｂ，１１ｃの温度分布を一定に調節 するためのものである。

【００２２】 本実施例では、熱発生装置に低温の温度供給室を設けたため、熱発生装置１台 で複数の恒温槽に低温条件下での試験が実行可能となり、又、高温状態から急激 に温度を下降させることが可能である。

【００２３】

【考案の効果】

以上説明したように本考案は、複数の恒温槽に対して、温度条件を温度供給室 を有する熱発生装置１台で供給しているため、個々の恒温槽にそれぞれ熱源を必 要とせず低コストになり、しかも形状も小さくでき、さらに熱源のメンテナンス は熱発生装置のみ行えば良く、このため簡単化できる。又、消費電力も少なくす ることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例１に係るバーンインシステムを
示す構成図である。

【図２】本考案の実施例２に係るバーンインシステムを
示す構成図である。

【図３】従来のバーンインシステムを示す構成図であ
る。

【符号の説明】

１ 恒温槽 ２ａ，２ｂ 熱発生装置 ３ 試験室 ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ 攪拌ファン ５ 風洞 ６ 吸排気口 ７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ 温度調節計 ８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ 温度センサ ９ａ，９ｂ，９ｃ 吸入調節弁 １０ａ，１０ｂ，１０ｃ 吸入用ファン １１ａ，１１ｂ，１１ｃ 温度供給室 １２ａ，１２ｂ，１２ｃ 供給管 １３ａ，１３ｂ，１３ｃ 熱源 １４ａ，１４ｂ，１４ｃ 吸気口 １５ 冷凍機

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 温度調節計により熱源を制御し、常に一
   定の温度を保つ温度供給室を有する熱発生装置と、被試
   験半導体集積回路を収納する試験室と、通路の役目をす
   る風洞と、試験室と風洞との間に空気を循環させる攪拌
   ファンと、試験室内を常に一定の温度に制御する温度調
   節計を有する恒温槽と、熱発生装置の温度供給室から恒
   温槽の風洞へ温度雰囲気を伝達する供給管と、恒温槽又
   は、供給管に取付けられ、熱発生装置の温度供給室から
   恒温槽の風洞へ温度雰囲気を吸入する吸入用ファンと、
   吸入を調節する吸入調節弁とを有し、前記熱発生装置１
   台に複数の恒温槽を供給管により接続し、１台の熱発生
   装置で複数の恒温槽の温度条件を設定するようにしたこ
   とを特徴とするバーンインシステム。
2. 【請求項２】 前記複数の恒温槽内に低温雰囲気を供給
   する冷凍機を設置した低温用の温度供給室を有すること
   を特徴とする請求項１に記載のバーンインシステム。