JPH04140077A - 超音波モータの駆動制御装置 - Google Patents

超音波モータの駆動制御装置

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JPH04140077A
JPH04140077A JP2261872A JP26187290A JPH04140077A JP H04140077 A JPH04140077 A JP H04140077A JP 2261872 A JP2261872 A JP 2261872A JP 26187290 A JP26187290 A JP 26187290A JP H04140077 A JPH04140077 A JP H04140077A
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JP
Japan
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frequency
ultrasonic motor
voltage
level
motor
Prior art date
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Pending
Application number
JP2261872A
Other languages
English (en)
Inventor
Seishi Arama
荒間 清史
Takahito Sasaki
佐々木 孝人
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Anritsu Corp
Original Assignee
Anritsu Corp
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Publication date
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Publication of JPH04140077A publication Critical patent/JPH04140077A/ja
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く本発明の産業上の利用分野〉 本発明は、超音波モータの駆動11J II I置に関
する。
く従来技術〉 近年、従来の直流モータに代えて、小型でトルクが大き
く、磁気発生のない超音波モータが多く利用されている
超音波モータは、第4図に示すように、中心に回転軸1
を有する円板状の回転子2ど、環状に配列された複数の
圧電体31〜3n 、’!11〜4n、5および圧電セ
ンサ6の上面に弾性体7が接着された固定子8とによっ
て構成されている。
圧電体31〜3n 、41〜4nは、極性が互い違いと
なるように並んでおり、第5図に示すように、左側の圧
電体31〜3nと右側の圧電体41〜4nに対して、圧
電体の共振周波数に近い周波数で90度位相が興なる交
流信号を電極9a、9b、10a、10bより印加する
と、圧電体3】〜3n 、41〜4nは円周方向に屈曲
振動し、左右の波が中間の圧電体5を介して干渉し、第
6図に示すように、弾性体7の表面には、円周方向に沿
って進行する弾性波が生じる。
このため、弾性体7に上方から圧接している回転子2は
、弾性波の進行する方向と反対の方向に回転駆動される
なお、回転子20回転速度は、弾性波の振幅が大きい程
、弾性波の進行速度に対する理れが少なくなって速くな
り、弾性波の振幅は、第7図に示すように、印加される
交流信号の周波数が圧電体31〜3n141〜4nの共
振周波数fOに近い程大きくなる。
したがって、第8図に示す駆動制御装置のように、可変
抵抗器11の電圧Vcに比例した周波数で発振する電圧
制御発振器(VCO)12からの信号を、移相113で
90度位相が異なる交流信号にして超音波モータMの圧
電体31〜3n、41〜4nに印加するように構成すれ
ば、電圧Vcの値に応じた回転速度で超音波モータMを
回転させることができる。
なお、超音波モータMに印加される交流信号の周波数は
、一般に第7図の共振周波数fOより高い方のfj”f
2の周波数範囲が用いられており。
電圧VCを高くすると交流信号の周波数が高くなってモ
ータの回転速度は遅くなり、逆に電圧VCを低くすれば
回転速度は速くなる。
く解決しようとする課題〉 しかしながら、前記のような駆動制御[IH置で超音波
モータMを起動する場合、定常周波数の回転速度に対応
した電圧でいきなり起動させることは、モータ寿命を知
かくし、モータに駆動される機械系の円滑な動きを妨げ
る場合がある。
このため、モータ起動時には、電圧VCを高い値から低
い値へ変化させて、超音波モータMを遅い回転速度で起
動して、徐々に速くしていく方法が考えられる。
ところが、超音波モータMは、前述したように回転子2
が固定子8に圧接しているため、回転子2が弾性体7表
面にくい込んでしまう状態がケじ、この状態からモータ
起動した場合、印加する交流信号の周波数変化の速度に
対するモータ回転速度の追従が極端に遅れてしまう。
このため、印加する交流信号の周波数が圧電体の共振周
波数f、以下となる範囲まで電圧VCの可変がなされて
しまい、モータを起動させることができなくなる。
この場合、再び交流信号の周波数を、共振周波数fOよ
り高い所定周波数へ戻して、起動をやり直すという煩雑
な作業や制御が必要となる。
本発明は、この課題を解決した超音波モータの駆動制御
装置を提供することを目的としている。
<1!題を解決するための手段〉 前記課題を解決するため、本発明の超音波モータの駆動
制御@置は、 圧電体に印加される交流信号で生じた弾性波により回転
駆動され、弾性波振動を検出する圧電センサを有する超
音波モータを、周波数が可変できる交流信号で駆動する
超音波モータの駆動制御装置において、 超音波モータの起!lJ時に、交流信号の周波数を圧電
体の共振周波数方向に掃引する起動掃引手段と、 圧電センサからの信号レベルを検出するレベル検出器と
、 レベル検出器で検出された信号レベルが、交流信号の掃
引中に所定値より大きくなったことを検知する比較器と
、 比較器からの検知信号を受け、起動線引手段による交流
信号の周波数の究明を視制する線引規制手段とを備えて
いる。
く作用〉 したがって、モータ起動時に、印加される交流信号の周
波数が、圧電体の共振周波数方向に掃引され、この掃引
中に、圧電センサから検出された信号レベルが、所定値
より大きくなると、この揺引が短詞される。
〈本発明の実施例〉 以下、図面に基づいて、本発明の一実施例を説明する。
第1図は、本発明の一実施例の超音波モータの駆動側w
J装@(以下、駆動制御l装置と略記する)2oの構成
を示すブロック図である。
第1図において、21は、超音波モータMの起動後の回
転速度を設定するスピード設定回路であり、設定速度に
対応した電圧Vaを出力する。
22は起動掃引回路であり、起動信号を受けると“H”
レベルのタイマ信号を所定時間■出力する起動タイマ2
3と、伴用制御スイッチ25を介してタイマ信号を受け
ている間、所定のスタート電圧VSから所定速度で低下
する掃引電圧vbを出力する電圧掃引回路24で構成さ
れている。
このスタート電圧Vsは、印加する交流信号の周波数が
第7図に示した周波数f2より高い周波数fsとなる電
圧に予め設定されている。
26は、スピード設定回路21の電圧Vaと電圧掃引回
路24の掃引電圧vbのいずれかを、■co3oに対す
る制wJ電圧VCとして選択する切換スイッチであり、
タイマ信号が“H″レベル間は、出力電圧vbを選択し
、“L″レベル間は、出力電圧Vaを選択する。
VCO30は、入力される制御ip雷電圧aの変化に比
例して周波数変化するパルス信号を移相回路31へ出力
する。
移相回路31は、入力されたパルス信号を1/4分周す
ることにより、90度位相の興なる2相信号を出力する
32.33は、2相信号によってトランス34.35の
一次コイル34a、35aを電流駆動するドライバであ
り、トランス34.35の2次コイル34b、35bで
所定の電圧まで電圧された2相の交流信号は、超音波モ
ータMの各圧電体31〜3n、41〜4nに出力されて
いる。
4oは、超音波モータMの圧電センサ6で検出される信
号のレベルを検出するレベル検出回路、41は、レベル
検出回路40で検出されるレベルが所定の基準電圧V「
より大きいとき、“H″レベル信号を出力するコンパレ
ータである。
このコンパレータ41の“H″レベル出力、起動掃引回
路22の掃引制卸スイッチ25をオフさせ、電圧掃引回
路24の掃引を停止させる。
42は、コンパレータ41に基準電圧Vrを出力する基
準電圧発生器であり、超音波モータMが、スピード設定
回路21から出力される電圧Vaに対応した移相器31
の出力周波数で定常回転しているときのレベル検出回路
40の出力レベルより、僅かに高い基準電圧Vrを常に
出力する。
次にこの駆動制御1装置の動作について説明する。
第2図の(a)に示す起動信号がt1時に入力されると
、起動タイマ23の出力が同図の(b)に示すように1
時間“Hルーベルとなる。
このため、VOC30には、同図の(C)に示すように
、スタート電圧VSの掃引電圧が電圧掃引回路24から
入力され、超音波モータMに印加される交流信号の周波
数も、この電圧罫引に対応して、同図の(d)に示すよ
うに周波数fsから共振周波数方向へ掃引される。
この周波数掃引にともなって、超音波モータMの弾性波
振幅は増大し、圧電センサ6からの検出信号のレベルも
同図の(e)に示すように増大する。
このレベル増大に対して、実際のモータ回転速度は、回
転子2と固定子8の圧接状態により、同図の(f)に示
すように緩慢に増加するが、t2時に圧電センサ6から
の検出信号のレベルが基準電圧V「を越えると、起動掃
引回路24の掃引が停止し、VCO30に入力される電
圧VCは、■pで保持され、超音波モータMに印加され
る交流信号の周波数もfpで保持される。
この状態は、起動タイマ22のタイマ時間中継続するが
、この間に、超音波モータMの回転速度は、交流信号の
周波数fpに対応した速度Spに遠し、タイマ時間が終
了する13時には、スピード設定回路21からの電圧■
aに対応した周波数(fpより優かに高い周波数)の交
流信号が印加される。
したがって、超音波モータMの回転速度は、優かに遅く
なり、電圧■aに対応した速度Saとなる。
このように定常回転している状態でスピード設定回路2
1の出力型Eを可変すれば、モータ回転速度は、この電
圧の可変に追従して円滑に変化する。
なお、定常回転に移行したときは、常に超音波モータM
の回転速度が優かに遅くなるため、レベル検出回路40
からのレベルが基準電圧■「を越えることがなく、起動
状態に戻る恐れはない。
く本発明の他の実施例〉 なお、前記実施例では、定常回転時のモータ回転速度を
可変できる駆動制′a装置について説明したが、定常時
のモータ回転速度が固定である場合は、基準電圧■「を
スピード設定回路21の設定電圧に連動させる必要はな
い。
また、前記実施例では、起動タイマにより起動時間を設
定するようにしていたが、第3図に示すように、コンパ
レータ41への基準電圧■「として、所望の定常回転速
度時の検出レベルに等しい電圧Vr−をスピード設定口
M21’から出力させ、起動信号でセットされるフリッ
プフロップ45の出力により電圧掃引回路24の掃引を
制縄するようにしてもよい。
この場合、前記実施例のように定常回転中に速度の変更
はできないが、コンパレータ41出力の立上りでフリッ
プフロップ45をリセットするように構成すれば、交流
信号の周波数は、所望の回転速度を与える周波数まで掃
引されて固定されるため、回転子の回転起動が極端に遅
い場合にも対応することができる。
く本発明の効果〉 本発明の超音波モータの駆動側′a装置は、前記説明の
ように、モータ起動時に、印加する交流信号の周波数を
、圧電体の共振周波数に近づけるように掃引し、この掃
引中に圧電センサからの検出信号のレベルが所定値より
大きくなると、この掃引を規制するように構成されてい
るため、掃引過剰によるモータ起動の失敗がなく、常に
円滑な起動を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例の構成を示すブロック図、
第2図は、一実施例の動作を説明するためのタイミング
図、第3図は、本発明の他の実施例の構成を示すブロッ
ク図である。 第4図は、超音波モータの構成を示す斜視図、第5図は
、超音波モータの要部の正面図、第6図は、超音波モー
タの動作を説明するための概略図、第7図は、超音波モ
ータの印加周波数に対する弾性波振幅の変化を示す特性
図、第8図は、従来装置の構成を示すブロック図である
。 M・・・・・・超音波モータ、33〜3n、4r〜4n
・・・・・・圧電体、6・・・・・・圧電センサ、7・
・・・・・弾性体、2o・・・・・・超音波モータの駆
動制御l装置、21・・・・・・スピード設定回路、2
2・・・・・・起動掃引回路、23・・・・・・起動タ
イマ、24・・・・・・電圧掃引回路、25・・・・・
・掃引制御スイッチ、26・・・・・・切換スイッチ、
30・・・・・・■C0131・・・・・・移相回路、
40・・・・・・レベル検出回路、41・・・・・・コ
ンパレータ、42・・・・・・1準電圧発生器。 第4 図 第5図 第6図 第7図 第8 図 手続補正書(自発) 平成2年12月3日 特許庁長官 柚 松   敏 殿 1、事件の表示 平成2年 特許願 第261872号 2、発明の名称  超音波モータの駆動制御装置3、補
正をする者 事件との関係  特許出願人 住所 東京都港区南麻布5丁目10番27号名称 (0
57)アンリツ株式会社 代表者  菅 居 紳 至 4、代理人〒141  電話490−4516住所 東
京部品用区大崎1−17−5 6、補正の内容

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  圧電体に印加される交流信号で生じた弾性波により回
    転駆動され、前記弾性波振動を検出する圧電センサを有
    する超音波モータを、周波数が可変できる交流信号で駆
    動する超音波モータの駆動制御装置において、 前記超音波モータの起動時に、前記交流信号の周波数を
    前記圧電体の共振周波数方向に掃引する起動掃引手段と
    、 前記圧電センサからの信号レベルを検出するレベル検出
    器と、 前記レベル検出器で検出された信号レベルが、前記交流
    信号の掃引中に所定値より大きくなつたことを検知する
    比較器と、 前記比較器からの検知信号を受け、前記起動掃引手段に
    よる前記交流信号の周波数の掃引を規制する掃引規制手
    段とを備えたことを特徴とする超音波モータの駆動制御
    装置。
JP2261872A 1990-09-29 1990-09-29 超音波モータの駆動制御装置 Pending JPH04140077A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0783184A1 (en) 1996-01-08 1997-07-09 Canon Kabushiki Kaisha Vibration type driving apparatus
JP2001025272A (ja) * 1999-07-09 2001-01-26 Asahi Optical Co Ltd 超音波モータの駆動制御装置
US10833610B2 (en) 2016-10-05 2020-11-10 Canon Kabushiki Kaisha Control apparatus for vibration-type actuator, control method for vibration-type actuator, vibration-type driving apparatus, and electronic apparatus that improve acceleration performance and deceleration performance in driving vibration-type actuator

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