JPH04142691A - 自動光電式映像計数システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 半導体工場がウェｒ−ハ（ｖｉｆｅ、ｒ）を製作完成せ
る後、ウェーハはチルスト及び切出しを経てダイス（ｄ
ｉｃｅ）に仕上げ、更に分離して劣等品を検出する過程
を経るが、最後の一枚のウェーハ上のダイスの数量は確
定し難く、新たに正確に計数をしなければならない。さ
もなくば工場内部の物量の流れ及び市場の取り引きの時
の物量の棚卸ろしと販売時の検収に困難を来たす。現在
、工場で二のような計数は目視で見積っている。ダイス
（ｄｉｃｅ）が粘性のプラスチック・フィルム上での拡
張分離した後はすでに規則的な配列形状となっていない
ので、人工計数の正確性は頼りな（且つ極めて時間がか
かるものである。例えば発光ダイオード（Ｌ　Ｅ　Ｄ）
のような個別素子は細かく、量が多く、且つ値段が低い
ので、もしも人工計数を用いてすればコストが更に高く
なり、利益が低下する。それゆえ、自動化計数システム
を設計して、人力を節約するのは５警の急務である。

以前にこの問題に対して一つのシステムを設計し し、前記の欠点を改善φようとした。その構造は、テレ
ビカメラ（ＣＣＴＶ）を用いて撮影し、グイレフト・メ
モリ・アクセス（Ｄ　Ｍ　Ａ、　ＤｉｒｅｃｉＭｅｍｏ
＋７　Ａｃｃｅｓｓ）の方式で映像データをホスト・コ
ンピュータのメモリに書き込んだ。しかし一般のＣＣＴ
Ｖの解像力の制限を受けたので、その機能はただ子側の
ダイス（＋ｌ　ｉ　ｃ　ｅ）の数量しか計数できなかっ
た。数がもっと多くなった場合は、解像力が不足して正
確な計数ができなかった。現時のダイスの製造プロセス
は大いに改善され、１つのウェーハ上のダイスの粒は１
．２万個以上に達し、上記のシステムは使用出来なくな
った。

われわれが前記システムを設計した後に、ある日本の会
社も又類似した計数システムを開発していた。その光学
及びハードウェアは８００Ｘ　１０４８の度 高解像ｐｃｃＴｖを採用しているので、撮影した映像が
よりよく、数のもっと多いダイスの計算に用いることが
できた。しかしその高解像度の光学及びハードウェアコ
ストがかなり高く、システムの販売価格は台湾ドル百方
元以上であった。

発明の概要 本発明は上記の問題に対して、一つの線形ＣＣＤスキャ
ナ（ｓｃａｎｎｅｒ）を利用し、またそれに負還フィー
ドバック作用を有して安定な輝度の光投影の構造と回路
を付して走査で映像をとり、ソフトウェア処理をして迅
速正確に計数の目的を達成するものである。このような
走査撮影の構造は一般の映像走査機と似ており、それゆ
えその構造を改造して組合わせを完成して、コストを非
常に安いものとしたが、僅か台湾ドル十万元で仕上り、
上記ＣＣＴＶ組合わせ装置の十分の−にすぎず十分に経
済的実用の効果を有する。

実　　施　　例 １、システム原理 第１図は本発明に係わるシステム構造図である。

この系統は主としてパソコンあるいはマイクロプロセッ
サ１、光源光投影２、走査器３、映像信号処理及び計数
装置４、プリンタ５及びモニタ６を含む。その構造は第
１図に示す如くである。本発明は更に１つの永久光源（
輝度安定の光源）フィードバック制御回路２１（第２図
に示す）及び拡散板２２を含み、これらは光源から発射
する光の輝度を制御し走査器の照明設備２となっている
。走査器ブロックは撮影設備（図に表示せず）、及び映
ｚ 像信号処理（図φ表示せず）を含み、走査器の主な部分
はリニアチャージカップリングデイバイス（Ｉｉｎｅｒ
ｒ　ｃｈｘｒｇｅ　ｃｏｕｐｌｉＢ　ｄｅｖｉｃｅ　　
ＣＣＤ）とし、分散して出るダイスの映像を取り、且つ
得られたデジタル映像をデータをＤＭＡ方式で本図中の
コンピュータブロックｌに入力する。コンピュータブロ
ックｌ及び計数処理ブロック４はソフトウェア計数処理
に関する所である。モニターブロック６は得られた映像
の表示をし、且つ計数完了後に計数結果を表示する。プ
リンタブロック５はコンピュータに取り入れられた映像
及び計数結果を印字する。

本発明は自動的に広い区域に分散するダイスの数を計数
するシステムに係わるもので、操作中の状態を下のよう
な四つの方面から説明する。

Ａ、操作原理 第１図はシステム構造の説明図である。先ず図２に示す
永久光源フィードバック制御回路上の一つの可変抵抗２
１８を調整し、光源を最適な映像の輝度レベルにロック
し、光を更に１つの拡散板２２を透過させて均一な光源
を生じさせ、そして上側から計測を待っているサンプル
２３上に投射する。

しかる後に線型ＣＣＤ走査器３でサンプル下側で一次元
の機械的走査をして物体の二次元映像をとらえる（　ｇ
ｒａｂｂｉｎｇ）。それからとらえた映像データをアナ
ログ信号からデジタル信号に変換し更にコンピュータの
メモリに入力して、ソフトウェア処理を実行する。一方
では走査して映像をとり、一方でＤＭＡ方式でデータを
コンピュータに入力し、更に記憶する前に１つの灰色階
度グレイスケル・レベル（ｇｒｅ７５ｃｔｌｅ　ｌｅｗ
ｅｌ）と比較して二級のグレイスケールの１ビット信号
に変換する。このような処理をなすため、映像データ処
理が必要とする速度及びメモリの容量が多（節約される
のでソフトウェア処理の作業を簡素化することができる
。ソフトプログラムは走査で得られた映像をモニタ上に
表示できるので、得られた映像のよしあしをチエツクす
るに便利である。プリンタは映像を原物大の映像にプリ
ントアウトしてファイル＋− φして検査用とすることができる。

映像の品質が要求に適合することを確定後に、特殊法則
の計数方法を用いてすべての分離されたダイス（ｄｉｃ
ｅ）の個数を迅速且つ正確に計数して、その結果を表示
しさらに記憶する。それからこれら数値に対して統計的
に修正を行ない、少数の映像の重なり合っているダイス
数を判断し、もつと正確な計数を達成することができる
。

光学投影の設計はもともと平行光線を利用できれば最適
であるが、１つの大きさで十分に足る平行面光源を約１
５Ｘ１５ａｎ四方の光源で設計するのは容易でなく、且
つまた不経済である。それゆえシステムの光投影の設計
は本発明から見ればかなり重要な技術であり、良好で均
一な投影であって初めて有効な映像が生まれ、計数の結
果もまた正確となる。

第１図に示す如く、光源２の下側に１つの拡散片があっ
てそれが均一な面光線を生じてダイス（ｄｉｃｅ）　３
の上に投射する。このような投影方式は物像の敏感度を
増し、背景のノイズを減少して、ダイスの映像が互いに
連なることを発生するのを避けることができ、分離でき
ない見掛は重合（ａｌｉａｘｉｎｇ）現象を来たし、計
数誤差を発生する。

本システムの光投影構造は１つの白熱光源２を利用する
（第２図に示すランプＲ，）。その輝度は１つの特殊設
計の（第２図に示すような）永久光源フィードバック制
御回路２１で完成でき、１つの安定した光源輝度を生じ
る。ランプが老化しあるいは電源が変動して輝度に変化
をもたらした時には、この回路は負帰還マイナス・フィ
ードバック作用により自動的に調整されて、元来設定し
た輝度レベルに保持することができる。

安定した輝度のフィードバック制御回路を発生するには
多くの方法がある。第２図は本発明が設計した永久光源
フィードバック制御回路である。

この回路は１つの交流パワーサプライ（ｐｏｗｅｒｓｕ
ｐｐｌｒ）　２１１　、４　ツのダイオードＤ　　１Ｄ
　　。

整 Ｄ３、Ｄ　からなるブリッジ芦流器２１２、単結合トラ
ンジスタＱ２１３、トランジスタＱ３２１５、器 トランジスタＱ４２１６、増幅−２１７などを含む。

この回路の動作は１つのＵ　Ｊ　Ｔ。

（ｕｎｉ− ｊｕｎｃｔｉｏｎ　Ｔｒ＊ｎ５ｉｊｏ＋）で１つのＳＣ
Ｒ，Ｑ２２１４（Ｓｉ１ｉｃｏｎ−ｅｏｉｒｏｌｌｅｄ
−Ｒｅｃｔｉｆｉｅｒ）をトリガして位相角（ｐｈａｓ
ｅ　ｔｎｇｌりをトリガして、光の調整及びロックの方
法が得られる。この回路において電源が正の半サイクル
にある場合は、ダイオードＤ　とダイオードＤ３は順序
方向のバイアスであす、ＳＣＲが導通する時は、電源電
圧は１−２−３−＾−に−４−５−６−７を経て白熱燈
ＲＬ２上に加わる。電源がマイナス半周期にある時は、
ダイオードＤ３とダイオードＤ４は順ｆ方向のバイアス
となる。

Ｓ　ＣＲ２１４が導通の場合は、電源はまた７−６−３
−＾−に−４−５−２−１を経て負荷の上に供給する。

ＳＣＲトリガのフィードバック制御は下記に示（す通り
で、フィードバックダイオードＤ、とフィードバック電
気抵抗Ｒ，及び運算アンプリファイ：゛（ヤｏｐｉが１
′。電流−電圧（１）ト５：′ｘ−＜＞器 ピーダンス増幅−（Ｔ＋ｘｎ＋ｉｍｐｅｄａｎｃｅ　１
１１１１１百ｉｅｒ。

Ｔ　Ｉ　Ａ）を構成する。Ｄ、が白熱燈ＲＬ２の感光を
受けた後に１つの対応する短絡電流を生じ、そしてトラ
ンジスタＱ４２１６の対極Ｅ上に於いて１つの電圧ＶＥ
をロックするので、対極抵抗Ｒ２上に電流Ｉ　Ｅ＝ＶＥ
／Ｒ２を生ずる。このドレンは傷 ＪＦＥＴトランジスタＱ３２１５が提供した定厚電流１
ｄｓｓがキャパシタＣＴ　２１９上の充電時間に影響す
る。充電がＵＪＴのピーク値電圧Ｖｐに達した時にＵＪ
Ｔはターンオン（陶ｒｎＯＮ）Ｌ、１つのパルス電流を
発生してＣＴ預端からＲ４に流れる。

それによりＢｌｆｊＩ端の該Ｒ４が１つのパルス電圧を
生じ、このパルス電圧は５ＣＲ２１４のゲートＧにかか
り５ＣＲ２１４をして導通させる。白熱燈ランプ２の負
荷（輝度）は可変抵抗２１８で調整し、そして可変抵抗
２１８のインピーダンスＲが高値の時はＶ　ｂ２ｂｌは
減少しＶ　＝ηＶ　ｂ２ｂｌ＋　　０．６Ｖの／Ｔ 関係式より７丁もまた減少することが分かる。そのため
ＣＴの充電時間が短くなって、ＬＩＪＴ２１３とＳ　Ｃ
Ｒ２１４が全て早く導通する。それでランプは比較的高
い平均負荷電流及び輝度が得られる。

反対にもＩＲ２１８が低値である場合は、即ち充電も比
較的長くなり、導通ちまた比較的遅くなり、それゆえ比
較的低い平均負荷電流が得られ、且つ輝度も相対的に低
下し、総じていえば可変抵抗Ｖ　Ｒ２１Ｂを輝度調整の
機能とすることができる。

白熱燈が電源電圧の変動により、或いは老化等種々の外
来要因によって輝度が変動した場合は、フィードバック
の光誘導電流ＩＰがそれによって相対的に変化する。も
しもロックした輝度を超した場合Ｉ、が増大し、Ｒ］を
流れる電流もまたそれにつれて増大し、ＶＥが相対的に
増大し、ＩＥ及びＩＣもまたそれにつれて増大するので
、ＶＴの電圧が増大し、ｌ１ｉｉが減少し、キャパシタ
ＣＴ２１９の充電時間及びトリガ時間がそれによって遅
延し、負荷の平均電流、動力及び輝度がそのため低下す
る。逆にもしもランプが設定値より暗くなれば、早めに
トリガして負荷動力及び輝度を増大する。そのためＶ　
Ｒ２１８を調整してＲｅ値を固定した後、ランプの輝度
が最適映像と認めた適当なレベルにロックされて、一つ
の安定な光度のフィードバック制御が得られる。トリガ
及びフィードバック制御回路に必要とする直流電源は、
１つの制限電流抵抗Ｒｄ及び１つの逆向きバイパスのツ
ェナーダイオード（２ｅｎｅｒ　ｄｉｏｄｅ）　Ｄ　５
２２７　、直列及び分圧を利用して一つの電圧降下が２
６Ｖの電源を上記の制御回路図を提供する。

Ｂ、走査器映像撮影 ÷− ツブリング素子（表示ない）とを含む。光源が上だ 方より下に向けてダイス（ｄｉｃｅ）　３３に投射し場
合、透射光は鏡面反射された後に更にレンズを経て物１
′：＋ 像が線型カップリング素子上φ絞られる。映像データは
Ａ／Ｄコンバータを経てデータをデジタル法によって迅
速にデータをメモリに書き込んで記憶する。ここにおい
て注意しなければならないことは、もしも黒白グレイス
ケールの臨界レベルが高すぎれば映像を黒（しすぎ、隣
のダイスの映像とまぎられしくさせる。逆に低臨界レベ
ルの場合は、ダイス（ｄｉｃｅ）の映像の画素数が少な
すぎて雑音点と見分けることができない現象を来したの
で計数が正確でないこととなる。総じて良好な光投影か
らは良好な映像及び適当な臨界値が得られ、に大きく影
響する。

上記の如（走査構造の特典の１つは、現在よく使われて
いる安い映像走査機（ｉｍａｇｅ　１ｃａｎｎｅｒ）を
使用することができ、容易に改造により得られるので装
置のコストを大幅に低下することができる。

走査機中のＣＣＤ３２の空間解析度（Ｒｅｓｏｌｕｔｉ
ｏｎ）は３００Ｄ　Ｐ　Ｉに達することを必要とする、
即ち各インチ３００点である。計測されるサンプルの寸
法は約４インチであるので、従来システムが採用してい
るＣＣＴＶ撮影管が有するＩＱＯＯＸ　８００の解像力
よりも１２００ｘ　１２００で良いものであり、もっと
大きいダイス３３数を計数できる。一次元で映像を毎回
１本の線で取り、走査速度の各１本毎は０．００３秒で
あり、もしも４インチ×４インチの大きさのファインダ
であれば走査時間は３．６秒かかる。この時間はソフト
ウェア計数時間（約９０秒）に対しでは重要なことでな
い。

デジタル化の映像信号はバイナリ・イメージ（ｂｉｏ＊
ｒ７　ｉｍａｇｅ）に変換させる後は、データはただ０
と１の２つの状態であり、１つの画素はただ１ビツトの
記憶を必要とする。１ダイス（＋１ｉｃｅ）の映像は１
グループの画素（ｐｉｌｅｌ）で組成されている。この
１グループの画素は隣り合った状態であることを必要と
する。それゆえダイス（＋１ｉｅｅ）の数を計数する場
合は、ただ幾つのグループの画素が集合しているかを知
ればよい。

Ｃ１計数原理の説明 計数法則は１つの送り戻し原理に基づき、二次元の映像
平面上の各１座標の位置が１つの画素に対応している。

その周囲境界の位置の他に、その本 他の如何なる位置に於いても８つの異なる方向で物像を
探すことができる。もしも目下Ａの位置をさがしあてた
とするとその座標は（ｉ）　（ｉ）である。

即ちＡとその８つの隣接点の関係は図４に示すごときで
あり、時計回り方向によりそれぞれ０隣接点、１隣接点
〜７隣接点と称する。画素Ａをその他８つの隣接点画素
の探し中心と称する。映像平面上の全ての画素は探しと
計数の過程において、探し中心になる機会があり、これ
でその隣接点が物の画素集合の１つであるかを識別でき
る。

本システムのデジタルデータはただ０と１の２種類しか
ないので、物のデジタル映像は０と１とで構成された映
像平面である。第５ａ図に例示するごとく、バイナリ映
像平面上の黒色点を黒画素と称し、そのデジタル値は１
１′である。別の空白黒値１０′を白画素（ｖｈｉｊｅ
　ｐｉｘｅｌ）　　と称する。

水平方向をＸ軸と称し、そして垂直方向をＹ軸と称する
。第５図の左上頂点座標は（０，Ｑ）である。

本考案は位置（０，０）より探し作業を始める。この図
中において画素が互いに隣り合った、両黒画素の最大集
合（Ａ、〜Ａ７）と（Ｂ１〜Ｂ４）は第５ｂ図に示すご
とく２つのダイスを代表する。その他の例えば（Ａ　　
ＳＡ　　ＳＡ　　１）、（Ｂｌ。

Ｂ２）などは全て集合を接続するもので最大の黒画素の
接続集合でないのでまだ完全に１個のダイス映像を表示
できない。

計数法は堆積（＋ｔａｃｋｉｎｇ）と試行錯誤法（ｌｒ
７ａｎｄ　ｅｒｒｏｒ）を利用して送り戻す動作を実行
してダイス（ｄｉｃｅ）の個数を計数するものである。

堆積エレメントのデータ構造は下記に示している。

５ＴＡＣＫ　ＥＬＥＭＥＮＴ 画素方向：記録は位置（ｉ、　ｉ）から（ｇ、　ｈ）に
移る時は方向ｄを経る。方向の整理番号は第４図の示す
ごとくである。括号の数字は探し中心の移動方向の番号
に対応する。

画素アドレス二目下の探し中心（１）と垂直位置（ｉ）
を記録する。

ダイス（＋１ｉｅｅ） 個数の計数はこの二次元のパイ ナリ映像平面の最左上角より始め、水平走査線で黒画素
を探す。第１の黒画素を探した時は、それを探し中心と
する。且つそれの記号（ｍａｒｋ）をつけてすでに探し
た黒画素とする。各探し中心に８つの隣接点があるので
、探す時は８つの方向が選択できる。時計回り方向に隣
接点を選択する。ある隣接点が黒画素であることを選び
且つ又記号をつけていない場合は、この新しく探した黒
画素を探し中心として、前の探し中心の黒画素に記号を
つけてそれがすでに探した黒画素であることを表し且つ
それを堆積（＋１ｘｃｋ）の中に置き入れる。その後も
しも再び探したら、更にそれを黒画素と見なさず、続け
て次の隣接点を探す。ある黒画素の８つの隣接点に黒画
素がなくあるいは黒画素でマクをつけたものは、堆積上
から前の１個の探し中心を探し戻して、続いてそれの次
の１個の隣接点を探す。このように繰り返しさがし、全
てのこの最大の黒画素が接続して集合した黒画素の構成
を全部探し出した時に、即ち１つの完全なダイス（ｄｉ
ｃｅ）が探し出された時にカウンタにこれが加えられる
。全体のデジタル映像平面の画素が全部探し終ると、カ
ウンタの計数記録は物の平面のダイス総数となる。

Ｄ、統計分析と修正 もしちびかびか光らせると各個のダイス（ｄｉｃｅ）の
映像デジタル化後がバイナリ映像平面上の大きさに影響
する。もしも暗すぎると見掛は重合（ａｌｉａ＋ｉｎｇ
）現象を来たし分離せるダイスが互いに接続する。もし
も光りすぎるとダイスが消失する可能性がある。ダイス
のデジタルバイナリ映像の平面の大きさも又計算時間に
影響する。大きければ大きい程処理時間が長くなり、逆
であれば短くなるので、光る程度の決め方は本装置の機
能に対して相当の重要性を有する。

第６図中の３本の曲線は３つの異なった光り具合の下で
測定した結果である。曲線３が一番光っており、２はそ
の次で１は更にその次であって、その誤差は全て０．０
５％以下であるが速度は異なっている。これより分かる
ように光っている程度のフィードバックは適当なレベル
にロックすることは正確度及び速度に重要な影響がある
。

別にウェーハが切断されてダイスになって拡張量 分離された後に物屏として輸送する場合に、時には極め
て少数のダイスが互いに接続しているので、これも又映
像が互いに連結し合う状況となる。この現象下にあって
はダイスの画素数は多く増えそして一般の平均値と異な
る。それゆえ画素数の平均値及び標準偏差を求めて統計
し更にいささかの修正を加えてもっと正確な結果を求め
ることができる。添付する第１表は本システムの計数テ
ストのデータであり。表中から分るように誤差が極めて
小さく、その結果は十分満足できるものである。

上記の装置と使用の計数法則は非常に便利なもので、迅
速且つ正確に、量が多くて微小で且つ一せ 平面上に放置された半導体のダイソ軒算ｌすることがで
きる。本発明の装置は又これに類推してその他類似の物
体に応用することができる。このような方法は現在側わ
れている構造よりも更にコストが低く且つ実用性で優れ
た点があり、創新の価値がある。

本発明は説明され且つ表示された各実施例に限るもので
なく、そのいかなる変化の所見するものをもカバーする
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるシステム構造図、第２図は本発明
の設計による光電フィードバック制御回路図、第３図り
中の走査器の構造図、第４図は計数法則中の任意の画素
とその８つの隣り合う画素の座標関係図、第１面及び第
５ｂ図は本システムのデジタル映像データ中の、最大な
２つの黒画素が連結集合したダイス（ｄｉｃｅ）の配置
図、第６図は光源輝度とダイス数対感知計数時間の関係
図である。 ３０・・・・・・反射観、　　３ト・・・・　レンス゛
セット、３２・・・・・・ＣＣＯ式置装３３・・・・・
・　ダイス。 第 図 第 図 第　５゛　ト　壺り

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）一種の分離したあるいは分散された物体の集合体
   を光学的に計数する自動光電式映像計数システムであっ
   て、光線を均一に計数されるべき物体に投射する光線投
   射装置と、一つの側から物体に機械的走査を施して二次
   元映像を信号処理する光電式線型配列装置と、前記物体
   の上記映像の電気信号をバイナリ・デジタルデータに変
   換する回路と、 前記デジタルデータと前記物体の計数値を記憶する適当
   な周辺設備を有するパソコンとを含む自動光電式映像計
   数システム。
2. （２）計数されるべき前記物体の集合体が、切断され広
   げられ且つ分離された半導体ダイスであって、展開可能
   なプラスチック・フィルムに貼られたものである特許請
   求の範囲第１項に記載の自動光電式計数システム。
3. （３）光線投射装置が拡散板上に置かれてあって、且つ
   それと共に光源を有し、前記拡散板が計数されるべき物
   体の面積より大きく、且つ均一な拡散光線を発生する光
   源の前にセットされており、前記光源が回路フィードバ
   ック原理によって安定な輝度を有し、且つ上記物体の均
   一な映像を得られるものである特許請求の範囲第１項に
   記載の自動光電式映像計数システム。
4. （４）更にＳＣＲ制御された前記光源の光線投射装置を
   一定のレベルの輝度にロックする光線ネガチブ・フィー
   ドバック回路が設けられており、前記光線ネガチブ・フ
   ィードバック回路の光線強度の感知がフォトダイオード
   によって適当な位置で感知信号で得られるものであって
   、前記感知信号が電流−電圧変換のためにトランスイン
   ピーダンス増幅器にフィードバックされ、その後、得ら
   れた電圧信号は電圧制御された電流源に加えられて電流
   を制御し、トランジスタのコレクタ・ゲートにセットさ
   れた負荷が電位差によって上記電流を変化させ、前記電
   流を供給してシリコン制御されたトリガ装置の入力ター
   ミナルにセットされたキャパシタのチャージング時間に
   影響を与え、それにより、シリコン制御されたトリガ装
   置のトリガフェースに相当的変化を引き起こすので光線
   の輝度が自動的に調整され、前記光源は可変抵抗器によ
   って予めセットされた輝度レベルにロックされるので光
   線は老朽あるいは電力の変動により影響を受けない特許
   請求の範囲第１項に記載の自動光電式映像計数システム
   。
5. （５）映像走査の光電装置が、リニア・チャージ・カッ
   プル装置及び一次元走査のための機械駆動装置と、前記
   チャージ・カップル装置ＣＣＤにおいて前記物体の映像
   の焦点を合わす光学式映像形成システムと、アナログ信
   号出力を前記チャージ・カップル装置からバイナリ・デ
   ジットに変換するためのコンパレータと、それと前記デ
   ジタル映像データを直接メモリ・アクセスするための同
   期回路とを有し、これによって映像データがコンピュー
   タのソフトウェアによって処理される特許請求の範囲第
   １項に記載の自動光電式映像計数システム。
6. （６）逓廻ルールを用いて完全に全体のグループの画素
   を探し出し、互いに隣り合わせにある前記画素を１つの
   ユニットとして計数するものであり、それから複数に分
   散と分離された物体を上記のルールによってグループで
   計数されたダイスの総数を正確に決定する計数の演算法
   。
7. （７）更に連結された物体の大きい画素グループの映像
   の適正な数を決定する修正方法が統計手段によって行な
   われるものを含み、それにある画素グループが余り大き
   く且つ不正常（即ち形成された映像が不正常にはっきり
   しない）の場合は自動的に警告信号を発して作業員に計
   数される物体をチェックするように警告することを含む
   特許請求の範囲第６項に記載の計数の演算法。