JPH04147622A - 水中加工用ウエハチャッキングテーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は水中加工用ウェハチャッキングテーブルに関す
る。

〔従来の技術〕

従来のウェハチャッキングテーブルは、第２図に示すよ
うに、素子が形成されたウェハ２を樹脂跋たは粘着シー
トを介してチャッキングするため、表面は平坦な構造と
なっている。ウェハチャッキングのテーブルＩＡにチャ
ッキングされたウェハ２は、ブレード３の近傍に取付け
られている洗浄ノズル６から純水をかけられ、ブレード
３で切断される。

〔発明が解決しようとする課題〕

この従来のウェハチャッキングテーブルは、表面が平坦
であるため、洗浄水が水平方向に流れながら切断屑を洗
い流しているが、ウェハ表面が凸凹になっている場合、
流れによどみが発生し、完全に切断屑を洗い流せなかっ
た。

また、洗浄水が切断部のみにかかつているために、切断
部以外のウェハ上が乾燥し、この部分に切断屑がこびり
つくため、切断屑の洗浄が困難であるという問題点があ
った。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の水中加工用ウェハチャッキングテーブルは、テ
ーブルの周囲に隔壁を設けると共に、このテーブル上に
純水を導入するための純水注入口をテーブルの底部腋た
は前記隔壁に設けたものである６ 〔実施例〕 次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は、本発明の一実施例の水中加工用ウェハチャッ
キングテーブルの断面図である。

第１図において、テーブル１の周囲には隔壁５が設けら
れ、底面に純水注入口４を有している。

ウェハ２をチャッキングしたのち、テーブル１上に純水
注入口４から純水を注入して、ブレード３にてウェハ２
の切断を行う場合、ウェハ２は水中にあるため乾燥する
ことはなく、また切断屑はテーブル１からの純水７のオ
ーバーフロー作用を利用して排出させることができるた
め、ウェハ２の洗浄は完全なものとなる。

尚、上記実施例においては、純水注入口４をテーブル１
の底面に設けた場合について説明したが、隔壁５に設け
てもよい６ 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明は、ウェハを水中に浸し、純
水をオーバーフローさせることにより、切断屑の早期除
去及び再付着防止ができるという効果を有する。またブ
レード部に洗浄ノスルの取付けが不要になる為、機構が
簡略でき、ブレード交換が容易にできるという効果も有
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は従来例の
断面図である。 １、ＩＡ・・・テーブル、２・・・ウェハ、３・・・ブ
レード、４・・・純水注入口、５・・・隔壁、６・・・
洗浄ノズル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　テーブルの周囲に隔壁を設けると共に、このテーブル
   上に純水を導入するための純水注入口をテーブルの底部
   または前記隔壁に設けたことを特徴とする水中加工用ウ
   ェハチャッキングテーブル。