JPH0415143U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0415143U JPH0415143U JP5675590U JP5675590U JPH0415143U JP H0415143 U JPH0415143 U JP H0415143U JP 5675590 U JP5675590 U JP 5675590U JP 5675590 U JP5675590 U JP 5675590U JP H0415143 U JPH0415143 U JP H0415143U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning component
- jig base
- electrode
- jig
- vertical positioning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図ａ
は第１図の治具を調整対象の電極が設けられてい
るイオン源ハウジングに取付けた状態の縦面図、
同図ｂは断面図、第３図ａは第２図のイオン源ハ
ウジングの縦面図、同図ｂは断面図である。 １……治具基体、２……支持アーム、２ａ……
固定部、３……水準器用台、４……溝穴、５……
上下位置決め部品、６……空所、７……上下目盛
、８……奥行位置決め部品、９……ストツパ、１
１……イオン源ハウジング、１２……ソースブツ
シング、１３……電極、１４……スリツト。
は第１図の治具を調整対象の電極が設けられてい
るイオン源ハウジングに取付けた状態の縦面図、
同図ｂは断面図、第３図ａは第２図のイオン源ハ
ウジングの縦面図、同図ｂは断面図である。 １……治具基体、２……支持アーム、２ａ……
固定部、３……水準器用台、４……溝穴、５……
上下位置決め部品、６……空所、７……上下目盛
、８……奥行位置決め部品、９……ストツパ、１
１……イオン源ハウジング、１２……ソースブツ
シング、１３……電極、１４……スリツト。
Claims (1)
- 調整対象の電極が設けられているイオン源ハウ
ジングに固定するための固定部および水準器用台
を有する治具基体と、この治具基体にあけられて
いる溝穴に挿入され、上下にスライド可能な上下
位置決め部品と、前記上下位置決め部品の中央空
所に挿入され、この挿入方向の位置決めストツパ
を有する奥行位置決め部品とを有することを特徴
とするイオン注入装置の電極調整治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5675590U JPH0415143U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5675590U JPH0415143U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0415143U true JPH0415143U (ja) | 1992-02-06 |
Family
ID=31580865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5675590U Pending JPH0415143U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0415143U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003151485A (ja) * | 2001-11-19 | 2003-05-23 | Showa Shinku:Kk | イオンガン本体への付属部品の取付け方法及び取付け構造 |
-
1990
- 1990-05-30 JP JP5675590U patent/JPH0415143U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003151485A (ja) * | 2001-11-19 | 2003-05-23 | Showa Shinku:Kk | イオンガン本体への付属部品の取付け方法及び取付け構造 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0415143U (ja) | ||
| JPS6445389U (ja) | ||
| JPS62117055U (ja) | ||
| JPS61166327U (ja) | ||
| JPH03129396U (ja) | ||
| JPH0412892U (ja) | ||
| JPS62142587U (ja) | ||
| JPH0256335U (ja) | ||
| JPS61192470U (ja) | ||
| JPS5872517U (ja) | 固定保持具 | |
| JPS6350023U (ja) | ||
| JPS61206817U (ja) | ||
| JPH0471572U (ja) | ||
| JPS5990203U (ja) | 蓋体の取付装置 | |
| JPS5962144U (ja) | コンクリ−ト床厚調整装置 | |
| JPS6452215U (ja) | ||
| JPS5825493U (ja) | 面格子の取付装置 | |
| JPS58124879U (ja) | 自動販売機 | |
| JPS59145209U (ja) | 架台装置 | |
| JPH0181964U (ja) | ||
| JPS59167149U (ja) | コンクリ−ト床厚調整装置 | |
| JPS60185315U (ja) | 連結電気機器 | |
| JPH0158320U (ja) | ||
| JPS61172651U (ja) | ||
| JPS59164613U (ja) | 義歯床の研摩用保持具 |