JPH04152203A - 走査型光学式寸法測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、光源から出射される光線を平行走査光線にす
る平行走査光線発生部と測定物によって遮られて生じる
前記平行走査光線の明暗に基ずく光電信号を検出する信
号検出部とを含む寸法測定部と、前記信号検出部からの
光電信号を波形整形してそれに対応する前記平行走査光
線の走査時間を求めて測定物の寸法を演算して表示する
制御表示部とを有する走査型光学式寸法測定装置の改良
に関する。

［従来の技術］ 第１０図は従来の走査型光学式寸法測定装置を示す。第
１０図において、符合２は平行走査光線発生部と信号検
出部を備える寸法検出部寸法を示し、符合１は測定物２
２の寸法を演算して表示したり、制御信号を与えたりす
る制御表示部を示す。符合２３は測定物２２を置く測定
物台、符合１５２は測定結果や制御命令のモードを表示
する制御表示部表示面である。

第９図は、寸法検出部２と制御表示部１のブロック図を
示す。

寸法測定部２は、平行走査光線発生部５と信号測定部６
を備える。平行走査光線発生部５において、レーザ光源
１０から射出される光線１２はミラー２８で反射され、
回転モータ３０の上に備えられて回転するたポリゴンミ
ラー１４に導かれて回転走査光線１６にされ、コリメー
タレンズ１８に入り、平行走査光線２０になる。信号測
定部６において、平行走査光線発生部５からの平行走査
光線２０は、測定物２２に照射されて部分的に遮られ明
暗を生じ、集光レンズ２４によって集光されて受光素子
２６に導かれ、そこで光電変換されて光電信号が生成さ
れ、更にアンプ３４によって増幅される。

制御表示部１においては、信号測定部６から光電信号を
受は信号処理して測定寸法を演算して表示する。アンプ
４かものスキャンニイング信号５ＩＧ６６はエツジ検出
回路３６に入力する。エツジ検出回路３６では、ピーク
回路によって作成されるスライスレベルでスキャンニン
グ信号５ＩＧ６６をスライスして波形整形をし、明から
暗、暗から明に変わるエツジが検出される。エツジ検出
回路５６の出力はゲート回路３８に入力し、そこでセグ
メント選択、即ちエツジ検出回路３６で求めたエツジの
うちどのエツジ間の寸法を求めるかのゲートが選択され
、カウンタ４０によってそのゲートに含まれるクロック
４４からのクロックパルス数が計数される。計数された
クロックパルス数は平行走査光線の走査速度を考慮して
長さ寸法単位に演算され、キーポルド表示回路５０で表
示される。クロック４４のクロックパルスはゲート回路
３８の他にモータ同期信号発生器４６に供給さる。それ
により、モータドライバ６２によってモータ３０はクロ
ックパルスに同期的に駆動され、測定精度を高めるよう
にしである。入出力回路５２は、測定結果を外部機器に
出力したり外部機器の入力を受けるものである。ＣＰｔ
Ｊ４８は、ＣＰＵバス５４を通じて、ＲＯＭ、ＲＡＭ４
２゜カウンタ４０、ゲート回路３８、入出力装置５２や
キーボード表示回路５０等と所定の制御信号やデータを
送受信する。

制御信号回路６０、ＡＰＣ回路６４は半導体レーザ光源
の戻り光の影響を除去するためのものであり５詳しくは
本出願人による特願平１〜２６５５２０に詳しく記載さ
れている。

Ｅ発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来は１個の制御表示部１に対し１個の
寸法測定部が原則として用いられていた。そして特別の
場合、例えば、Ｘ軸方向とＹ軸方向の２軸方向の寸法を
求める場合に、エツジ検出回路３６、ゲート回路３８や
カウンター４０等のハード部を複数設け、Ｘ軸方向、Ｙ
測方向の測定結果を共通のキーボード表示回路５０を用
いて表示している程度であった。

そのため、測定物２２が２以上ある場合において、各測
定物２２を常に同時に測定する必要がない場合であって
、測定物２２の数に対応する台数の寸法測定部２のみな
ら、制御表示部１についても測定物２２の数に対応する
台数を利用せざるを得なかった。

ここで、各測定物２２を常に同時に測定する必要がない
場合とは、例えば、電線製造ラインにおいて複数の製造
ラインが流れている場合であって各電線の太さが所定の
太さで製造されているかを監視する場合において、不良
が生じるのは稀であるため実際には連続的に常に監視す
る必要がない場合等である。

本発明は係る状況に鑑みなされたものであり、その目的
とするところは、上記問題点を解決するために制御結合
部３を設けて、１個の制御表示部の下に１以上の寸法測
定部を駆動させる走査型光学式寸法測定装置を提供する
ことである。

［課題を解決するための手段］ そのために本発明は、１個の制御表示部の下に１以上の
寸法測定部を、いわば時分割的に駆動させることによっ
て、上記課題を解決する。

具体的には、光源から出射される光線を平行走査光線に
する平行走査光線発生部と測定物によって遮られて生じ
る前記平行走査光線の明暗に基ずく光電信号を検出する
信号測定部とを含む寸法測定部と、前記信号測定部から
の光電信号を波形整形してそれに対応する前記平行走査
光線の走査時間を求めて測定物の寸法を演算して表示す
る制御表示部とを有する走査型光学式寸法測定装置にお
いて、前記寸法測定部が１以上膜けられ、前記１以上の
寸法測定部の出力が入力される制御結合部であって、所
定プログラムに従って前記１以上の寸法測定部のうちの
１個の寸法測定部が所定時間逐次指定されて、その指定
された寸法測定部の出力を前記制御表示部の入力部に送
る制御結合部を設けたことを特徴とすることによって前
記課題を解決する。

前記所定プログラムは、各前記寸法測定部を所定時間、
逐次自動的に指定してゆく自動モードと、所望の寸法測
定部を適宜指定するマニュアルモードとを備えることが
好適である。また、前記所定プログラムが前記自動モー
ドであって、指定された寸法測定部に対応する測定物の
寸法が所定の許容範囲にあるかないかの演算結果を表示
する場合において、各前記寸法測定部の前記演算結果を
逐次表示する逐次表示モードの他に５所定の設定プログ
ラムに従って各前記寸法測定部の演算結果をまとめて表
示する一括表示モードを備えることが好適である。また
、前記所定プログラムが前記自動モードであって、指定
される各前記寸法測定部のうちの特定の寸法測定部のみ
寸法測定データを表示する手段を備えることが好適であ
る。また、前記所定の設定プログラムが、各寸法測定部
を一巡する毎に一括して前記測定結果を表示する手段を
備えることが好適である。また、光源からの光線の強度
が所定強度あるかを検出して個々の前記平行走査光線発
生部が正常に駆動されているかを監視する監視信号が各
寸法測定部で発生されこれらの監視信号より全部の平行
走査光線が正常に駆動されているかを常に監視する監視
信号手段を備えることが好適である。また、前記監視信
号手段は、リトリガブルバイブレータ、カウンター又は
フリップフロップを用いていることが好適である。また
、前記制御結合部において、指定された寸法測定部の出
力に切り替えてその出力を前記制御測定部に送るための
スイッチ手段として、機械式リレー、アナログスイッチ
又はデジタルスイッチを用いることが好適である。

［作用］ １以上の寸法測定部２を制御結合部３に接続して制御結
合部３の出力を１個の制御表示部ｌに接続する。

所定プログラムにおいて自動モードが選択されると、所
定の順番に従い、ある寸法測定部２−１を指定し、指定
された寸法測定部２−１と制御結合部３は、通常の走査
型光学式寸法測定装置と同様に測定物を測定して測定結
果を演算処理し、それが終ると次の寸法測定部２−２を
指定し、その寸法測定部２−２と制御表示部１は、通常
の走査型光学式寸法測定装置として寸法測定部２−１の
場合と同様の測定、演算処理する。このようにして各寸
法測定部を逐次指定して、最終順番の寸法測定部２−Ｎ
まで進んだ後、ストップ命令が無い限り最初の指定され
た寸法測定部に戻り、同様のことを繰り返す。

所定プログラムにおいてマニュアルモードが選択される
と、制御結合部３に接続される複数の寸法測定部２のう
ち、例えば特に重視して監視することを要する寸法測定
部２を指定して、その寸法測定部２と制御表示部１が通
常の走査型光学式寸法測定装置として測定、演算処理す
る。

前記自動モードにおいて、指定された寸法測定部２に対
応する測定物の寸法が所定の許容範囲にあるかないかの
演算結果を、前記制御結合部３あるいは他の表示器に表
示する場合に、各寸法測定部２の演算結果を逐次表示し
たい場合は逐次モードを、演算結果をまとめて表示した
い場合は一括モードを選択する。

例えば回転モータ３０が故障等で停止した場合に、光源
１０からのレーザ光線は正規の経路にないために不注意
に目で覗いたりする危険があるため、それを監視する監
視信号が各寸法測定部２につくられているが、制御表示
部ｌとの関係で指定されていない間であっても常に、各
寸法測定部２の監視信号は制御結合部３を経て、制御表
示部１に送られている。

［実施例］ 本発明に係る実施例を挙げ、添付図面を参照して詳細に
説明する。

第１図は、本発明の全体の構成を示すブロック図である
。所望の数Ｎ個の寸法測定部２−１．２−２・・・・２
−Ｎが制御結合部３に接続されており、その制御結合部
３の出力が制御表示部１に接続されている。制御表示部
１は、所定プログラムを書いたＲＯＭ、ＲＡＭに置換し
たことを除けば、従来の走査型光学式寸法測定装置の制
御表示部と変わり無い。従来の走査型光学式寸法測定装
置に比べ、新たに制御結合部３を設けたことが本発明の
特徴的な構成である。

第２図は、Ｎ個の寸法測定部２−１．２−２・・・・２
−Ｎとの結合を示す制御結合部３のブロック図である。

寸法測定部２の構成は従来のものと同じものであり、従
来技術で説明したので重複する説明は省略する。ここで
、リセット信号Ｒ５は、第９図に示されるように、受光
素子３２によって検出され、リセット回路５６において
波形整形される。

−回の平行走査光線２０により検出されるスキャンニン
グ信号ＳＩＧ　　６６は、ゲート回路に送られこのリセ
ット信号Ｒ５６８を検出したことを合図にその測定デー
タを取り込むようになっている。また一方、スキャンニ
ング信号ＳＩＧ　　６６は、所定強度のそれを検出した
かを調べることによって、回転モータ３０の故障等がな
く平行走査光線発生部５が正常に駆動されているかを監
視する監視信号手段の役割をも兼ねている。

第２図において、各寸法測定部２−１．２−２・・・・
２−Ｎからはスキャニング信号５ＩＧ１．５ＩＧ２・・
・−３ＩＧＮ、リセット信号Ｒ５Ｉ、ＲＳ２・・・・Ｒ
５Ｎが制御結合部３の寸法測定部切替回路１１０に送ら
れる。寸法測定部切換回路１１０は、ＲＯＭ、ＲＡＭ４
２に書かれた内容に基ずくＣＰＵ４８による命令をＣＰ
Ｕバス５４を通じて受け、自動モードが選択されるとま
ず寸法測定部２−１を指定して所定時間そのスキャニン
グ信号Ｓ　ＩＧＩ及びリセット信号Ｒ５Ｉが寸法測定部
切換回路１１０から出力され、５ＩＧ１３０、Ｒ５１３
２として制御表示部ｌにあるエツジ検出回路３６、リセ
ット回路５６に各々送られる。次に寸法測定部２−２が
指定され同様のことが繰り返され、以下逐次他の寸法測
定部２においても同様のことが繰り返えされる。

各寸法測定部２−１．２−２・・・・２−Ｎがらのリセ
ット信号ＲＳＩ、Ｒ３２・・・・ＲＳＮはまたエラー検
出回路１０８に送られており、前述したように回転モー
タ３０の異常等を監視する監視信号手段として機能する
。ここでは、寸法測定部切換回路１１０を経ないで寸法
測定部２から直接リセット信号ＲＳをエラー検出回路１
０８に送るのは、寸法測定部切換回路１１０に指定され
ていない時でも常に回転モータ３０の異常等の有無を監
視し続ける必要があるからである。

設定スイッチ１０６は、接続可能の寸法測定部２の数に
対応した個数ある、モードがＯＮ、ＯＦＦであるスイッ
チ群であり、あるスイッチをＯＦＦにしておくと対応す
る寸法測定部２は飛ばされ指定されないようになってい
る。

判定ＬＥＤ１０４は制御結合部３のパネル面にあり、測
定物２２の寸法が所定の許容範囲にあるかないかの演算
結果を表示するものである。この判定ＬＥＤ１０４は、
各寸法測定部２の結果が得られ次第、逐次表示する逐次
表示モードで表示される。

一方、判定出力１０２は、判定ＬＥＤ１０４と同様に、
測定物２２の寸法が所定の許容範囲にあるかないかの演
算結果を表示するものであるが、主に走査型光学式寸法
測定装置と離れた遠方において判定結果を知りたい場合
のものである。この場合は、前記逐次表示モードではな
く、各寸法測定部２の測定結果をまとめて表示する一括
モード表示で表示するようになっている。第６図は、括
表示モードについて示したものである。Ｎ個の寸法測定
部２において、所定の平均回数の測定を行ない一巡する
と一巡毎に、第６図（ｂ）に示すように判定出力表示器
１７２（第２図には図示していない）に−括表示する。

Ｎ個のＬＥＤにより、赤色は許容範囲にないことを、青
色は許容範囲にあることを一目瞭然に示す。なお、ここ
で−括表示モードにしたのは、走査型光学式寸法測定装
置から離れた遠方で結果を見る場合に、逐次表示モード
であると測定物２２と判定結果との対応がつきにくいか
らである。

次に第３図において、寸法測定部切換回路１１０の内部
を詳細に示す。寸法測定部切換回路１１Ｏは、ＣＰＵバ
ス５４からの命令をラッチするラッチ１３８と、寸法測
定部２からのスキャニング信号５ＩＧＩ・・・・５ＩＧ
Ｎのスイッチングをするスイッチ５Ｗａ１３４、リセッ
ト信号Ｒ５Ｉ・・・・ＲＳＮのスイッチングをするスイ
ッチＳＷｂ、リセット信号Ｒ５Ｉ・・・・ＲＳＮを受け
て所定の幅のパルスをつくるリトリガブルマルチ１４０
とを備える。ラッチ１３８はＣＰＵバス５４がらの命令
に対応してスイッチＳＷａ、ＳＷｂの指定されるスイッ
チのゲートを開き、スキャニング信号ＳＩＧ及びリセッ
ト信号を出力する。

符合１４０はリトリガブルモノマルチであり、各寸法測
定部２からのリセット信号が所定のタイミングに受信さ
れる毎にパルスを発生するものである。ここで、リトリ
ガブルモノマルチの代わりにカウンター、又はフリップ
フロップを用いることも可能である。

第４図は、一つの測定物についてＸ軸方向とＹ軸方向と
の二軸の測定を同時に行なう場合の、第３図に示す寸法
測定部切換回路１１０の変形例を示す。リセット信号Ｒ
５については第３図と同様なので省略しである。第４図
において、寸法測定部は１０個あり、各２−１と２−６
、・・・・２−５と２−ＩＯとが組になってＸ軸方向と
Ｙ軸方向を受は持つ。寸法測定部切換回路１１０は、Ｃ
ＰＵバス５４からの命令をラッチする２個のラッチ１３
８．１７６、ラッチ１３８の出力を受けてスキャン信号
５ＩＧＩ・・・・５ＩＧ５及びスキャン信号５ＩＧ６・
・・・５ＩＧＩＯをスイッチングするスイッチ５Ｗａｌ
及びＳ　Ｗ　ａ　２、ラッチ１７６の出力を受けてスイ
ッチ５Ｗａｌ、５Ｗａ２の出力をゲートするスイッチＳ
Ｗｃ、ＳＷｄが備えられている。スイッチＳＷｃ　１４
６をＯＮ、５Ｗｄ１７４をＯＦＦにする場合は、Ｘ軸方
向、Ｙ軸方向の二軸測定する場合に相当し、例えば５Ｉ
ＧＡ１４８がＸ軸方向の測定データを、５ＩＧＢ１５０
がＹ軸方向の測定データを与える。一方、ＳＷｃ　１４
６をＯＮ、５Ｗｄ１７４をＯＮにして寸法測定部２−１
から２−１０を逐次指定することにより１０個の寸法測
定部で１０の測定物を測定することができ、第３図に示
した通常の場合に相当する。

このようにすることにより、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の二
軸を測定する場合にのみオプションとして５ＩＧＢ１５
０を受けるハード部を増設すればよいことになり、通常
の一軸測定の場合はそのオプションのハード部を用いず
第３図に対応する使用が可能となる。

第５図は、寸法測定部ｋ、寸法測定部に＋１のリセット
信号Ｒ５、ラッチ１３８からの切換信号のタイミング関
係を示す。切換信号１６８により寸法測定部ｋから寸法
測定部に＋１にスキャニング信号ＳＩＧが切り替わるが
、リセット信号１６０に対応する測定データは測定演算
に取り込まれずに捨てられる。同様にリセット信号１７
０に対応する測定データも捨てられる。このようにする
理由は、切換のタイミングが測定結果に影響を及ぼさな
いようにするためである。

次に第７図及び第８図において、本発明に係るフローチ
ャートを示す。

第７図において、ステップ１７８で電源をＯＮにした後
、ステップ１８０でＲＡＭ４２の初期化をし、ステップ
１８２で制御結合部３が結合されているかを判断し、Ｎ
ｏの場合はステップ１９０に進み、ストップ１９４があ
るまで従来の寸法測定装置としての機能を実行し、ステ
ップ１８２がＹＥＳの場合は、ステップ１８４で自動モ
ードかを判断し、Ｎｏの場合はステップ１８６でストッ
プ１９４があるまでマニュアルモードを実行し、ステッ
プ１８４でＹＥＳの場合はステップＡ　１．９６に入る
。ステップ１８４でＮｏの場合は、ステップ１８６でマ
ニュアルモードを実行し、ストップ命令があるまで繰り
返される。

第８図において、ステップＡ１９６の次にステップ１９
８で制御表示部ｌに結合すべき寸法測定部（寸法検出部
）２を制御結合部３において選択する際に、より小さい
番号に対応する寸法測定部２を選択し、次にステップ２
００において、制御表示部１は、切換信号の受信後１回
目のリセット信号ＲＳに対応するスキャンニング信号Ｓ
ＩＧを捨て（第５図香照）、次にステップ２０２におい
て所定の平均回数である測定回数の測定が終るまで、指
定された寸法測定部２で測定を繰り返し、所定の平均回
数の測定を終るとステップ２０４で取り込んだデータの
総計を測定回数で割算をして平均化を行ない、次にステ
ップ２０６において、測定寸法が所定の許容範囲にある
かないか等の演算し、特に表示においては逐次表示をし
１次にステップ２０８において次に指定すべき寸法測定
部２は最後のものかを判断し、ステップ２０８でＮＯな
らばステップ２１４で次の寸法測定部２の番号をサーチ
してステップ２００に戻り、ステップ２０８でＹＥＳな
らばステップ２１０で全部の寸法測定部２の判定出力結
果を判定出力１０２から一括表示モードするために出力
し、次にステップ２１２においてストップか否かを調べ
Ｎｏならばステップ１９８に戻り、ステップ２１２でＹ
ＥＳならばステップ１９４でストップする。

電線製造ライン等において複数の製造ラインが流れてい
る場合であって各電線の太さが所定の太さで製造されて
いるかを監視する場合において、不良が生じるのは稀で
あるため実際には連続的に常に監視する必要がない。こ
のような場合に本実施例によれば、制御結合部３を用い
ることにより複数の寸法測定部２をいわば時分割して指
定することにより、１個の制御表示部１の下に複数の測
定物を実質的に同時測定できる。

以上、本発明に係る走査型光学式寸法測定装置の実施例
について説明した。前記実施例においては、制御表示部
１と制御結合部３とを別体とじて図示したが、両者を一
体にしても勿論構わない。

また光源１０はレーザ光源としたがレーザ光源ではなく
　ＬＥＤ等であっても構わない。第２図の判定出力１０
２において、−括表示モードについて用いることを述べ
たが、表示以外の他の用い方をすることも勿論可能であ
る。

［発明の効果コ 本発明のよれば制御結合部を備える構成にしたことによ
り、１個の制御表示部の下に、１以上の寸法測定部を駆
動させることができ、複数の測定物を実質的に同時測定
できる走査型光学式寸法測定装置を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例の全体の構成概略図である。 第２図は、制御結合部と寸法測定部の関係を示すブロッ
ク図である。第３図は、制御結合部をの詳細に示すブロ
ック図である。第４図は、他の実施例における制御結合
部をの詳細に示すブロック図である。第５図は、切換信
号の直後のリセット信号に対応する測定データを捨てる
ことを示した図である。第６図は、測定結果の一括表示
モードを示す図である。第７図は、本発明の一実施例の
動作を示すフローチャート図であり、第８図は第７図の
続きである。第９図は、従来の走査型光学式寸法測定装
置の全体ブロック図である。 第１０図は従来の走査型光学式寸法測定装置の構成を示
す図である。 １・・・制御結合部、２・・・寸法測定部、３・・・制
御結合部、５・・・平行走査光線部、６・・・偲号検出
分、１０・・・レーザ光源、２２・・・測定物、３０・
・・回転モータ、３６・・・エツジ検出回路、４８・・
・ＣＰＵ、１０２・・・判定出力、１０８・・・エラー
検出回路、１１０・・・寸法測定部切換回路、１５２・
・・制御表示部表示面、１′５４・・・制御結合部表示
面、１５６〜１７０・・・パルス、１７２・・・判定出
力表示器 第５図 ＋均（ｉｉＩ敬 を刀１更・鑓′号 「６８ １／Ｌｌ 第６図 （ｂ） 手続補正書 （自発） 平成 ２年１０月１７日 株式会社ミツトヨである特許願 住所 〒１０８ 東京都港区芝五丁目３１番１９号 名称 株式会社 ミツトヨ 代表者 沼田 恵照 ４　。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）光源から出射される光線を平行走査光線にする平
   行走査光線発生部と測定物によって遮られて生じる前記
   平行走査光線の明暗に基ずく光電信号を検出する信号検
   出部とを含む寸法測定部と、前記信号検出部からの光電
   信号を波形整形してそれに対応する前記平行走査光線の
   走査時間を求めて測定物の寸法を演算して表示する制御
   表示部とを有する走査型光学式寸法測定装置において、
   前記寸法測定部が１以上設けられ、 前記１以上の寸法測定部の出力が入力される制御結合部
   であって、所定プログラムに従って前記１以上の寸法測
   定部のうちの１個の寸法測定部が所定時間逐次指定され
   て、その指定された寸法測定部の出力を前記制御表示部
   の入力部に送る制御結合部を設けたことを特徴とする走
   査型光学式寸法測定装置。
2. （２）前記所定プログラムは、各前記寸法測定部を所定
   時間、逐次自動的に指定してゆく自動モードと、所望の
   寸法測定部を適宜指定するマニュアルモードとを備える
   ことを特徴とする請求項（１）に記載の走査型光学式寸
   法測定装置。
3. （３）前記所定プログラムが前記自動モードであって、
   指定された寸法測定部に対応する測定物の寸法が所定の
   許容範囲にあるかないかの演算結果を表示する場合にお
   いて、各前記寸法測定部の前記演算結果を逐次表示する
   逐次表示モードの他に、所定の設定プログラムに従って
   各前記寸法測定部の演算結果をまとめて表示する一括表
   示モードを備えることを特徴とする請求項（２）に記載
   の走査型光学式寸法測定装置。
4. （４）前記所定プログラムが前記自動モードであって、
   指定される各前記寸法測定部のうちの特定の寸法測定部
   のみ寸法測定データを表示する手段を備えることを特徴
   とする請求項（２）又は（３）に記載の走査型光学式寸
   法測定装置。
5. （５）前記所定の設定プログラムが、各寸法測定部を一
   巡する毎に一括して前記測定結果を表示する手段を備え
   ることを特徴とする請求項（３）又は（４）に記載の走
   査型光学式寸法測定装置。
6. （６）光源からの光線の強度が所定強度あるかを検出し
   て個々の前記平行走査光線発生部が正常に駆動されてい
   るかを監視する監視信号が各寸法検出部で発生され、こ
   れらの監視信号より全部の平行走査光線が正常に駆動さ
   れているかを常に監視する監視信号手段を備えることを
   特徴とする請求項（１）に記載の走査型光学式寸法測定
   装置。
7. （７）前記監視信号手段は、リトリガブルバイブレータ
   、カウンター又はフリップフロップを用いていることを
   特徴とする請求項（６）に記載の走査型光学式寸法測定
   装置。
8. （８）前記制御結合部において、指定された寸法測定部
   の出力に切り替えてその出力を前記制御測定部に送るた
   めのスイッチ手段として、機械式リレー、アナログスイ
   ッチ又はデジタルスイッチを用いたことを特徴とする請
   求項（１）に記載の走査型光学式寸法測定装置。