JPH04152308A - Optical fiber device and optical fiber fixing method - Google Patents

Optical fiber device and optical fiber fixing method

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JPH04152308A
JPH04152308A JP2277274A JP27727490A JPH04152308A JP H04152308 A JPH04152308 A JP H04152308A JP 2277274 A JP2277274 A JP 2277274A JP 27727490 A JP27727490 A JP 27727490A JP H04152308 A JPH04152308 A JP H04152308A
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optical fiber
optical
fixing
fixing part
fiber
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JP2277274A
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Japanese (ja)
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Jun Ono
純 小野
Shinichi Onuki
紳一 大貫
Kazuki Kondo
一樹 近藤
Atsushi Yamada
敦史 山田
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Original Assignee
Anritsu Corp
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Abstract

PURPOSE:To stabilize the fixation of an optical fiber by fixing a base substance to a fixing part in a state heated to the highest working temperature or above at the time of racking and providing the optical fiber to the fixing part of the base substance having a linear expansion coefficient being larger than that of the optical fiber. CONSTITUTION:The tip of an optical fiber 2 is subjected to optical axis alignment to an optical element 1, and thereafter, to a first fixing part 3 on a base substance 5, the fiber 2 is fixed by soldering. Subsequently, the base substance 5 is heated to the prescribed temperature of the highest working temperature or above, the fiber 2 is racked and provided linearly between a first and a second fixing parts 3, 4 and the fixing part 4 is fixed by soldering. Next, when heating of the base substance 5 is stopped it is returned to an ordinary temperature, a natural deflection is generated in the fiber 2 and an immoderate stress is not applied to the fiber 2. In such a manner the fixation of the optical fiber is stabilized by a simple working method and the damage of the optical fiber can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、機械的に破損し易い光ファイバを光装置内で
固定するための装置及び固定するための方法に係り、特
に光素子と光ファイバの光学結合モジュールを製造する
上で重要な光ファイバ装置及び光ファイバ固定方法に関
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a device and method for fixing an optical fiber that is easily damaged mechanically within an optical device, and particularly relates to an optical fiber that is easily damaged mechanically. The present invention relates to an optical fiber device and an optical fiber fixing method that are important in manufacturing fiber optical coupling modules.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、光通信技術の実用化に伴い、高結合効率で光ファ
イバから光出力を得るようにした高性能光半導体モジュ
ール(以下、「光モジュール」という。)の開発が要求
されている。
In recent years, with the practical application of optical communication technology, there has been a demand for the development of high-performance optical semiconductor modules (hereinafter referred to as "optical modules") that obtain optical output from optical fibers with high coupling efficiency.

第4図に従来から用いられてきたファイバ直接結合型の
光モジュールを示す。
FIG. 4 shows a conventionally used fiber direct coupling type optical module.

この光モジュールは、光素子1からの出射ビームを光フ
ァイバ2のコア部で直接受光するため構造が単純で部品
点数が少なくて済むので、安価に実装することができる
This optical module directly receives the output beam from the optical element 1 at the core of the optical fiber 2, so the structure is simple and the number of parts is small, so it can be mounted at low cost.

この光モジュールの組立は、光ファイバ芯線表面に金属
固定用のメタライズ処理を施し、光素子lと光ファイバ
2とが最適結合する位置関係に精密微動装置で光ファイ
バ2を移動させて光軸合わせを行い、第1の固定部3に
おいて光ファイバ2のメタライズ処理部分にはんだ材を
供給し、YAGレーザ等の加熱手段によって溶融固定せ
しめたのちに、第2の固定部4で筐体(「基体」ともい
う。)5の光ファイバ貫通部をはんだ材で隙間なく固定
する。
To assemble this optical module, the surface of the optical fiber core wire is metallized for metal fixation, and the optical axis is aligned by moving the optical fiber 2 using a precision fine movement device to the positional relationship that optimally couples the optical element 1 and the optical fiber 2. After supplying solder material to the metallized portion of the optical fiber 2 in the first fixing part 3 and melting and fixing it by heating means such as a YAG laser, the second fixing part 4 fixes the casing ("substrate"). (Also referred to as ``.'') Fix the optical fiber penetration part 5 with solder material without any gaps.

なお、第1の固定部3での固定方法には前記したYAG
レーザの加熱する手段のほか、自己発熱素子によるはん
だ熔融により行うこともできる。
In addition, the above-mentioned YAG
In addition to laser heating, solder melting using a self-heating element can also be used.

さらに、光素子lの性能劣化を防ぎ長期安定性を得るた
めに窒素等の不活性ガス10雰囲気中で、筐体5上部の
開口部にコバール等の材質のM9をシーム溶接機等の手
段によって溶接することにより不活性ガス10を閉し込
めて気密封止を行う。
Furthermore, in order to prevent performance deterioration of the optical element l and obtain long-term stability, M9 made of Kovar or other material is applied to the opening at the top of the housing 5 by means such as a seam welder in an atmosphere of an inert gas such as nitrogen. By welding, the inert gas 10 is confined and hermetically sealed.

光モジユール全体が、外界温度の変化を受けると、構成
部材の線膨張係数の差によってはんだ固定部や光ファイ
バに応力が生し、はんだ材のクリープや応力緩和による
光軸ずれに伴う結合損失の増加や、光ファイバの破断等
の問題が起こる。例えば、光ファイバの線膨張係数は、
筐体の線膨張係数よりも小さいため、筐体の温度が上昇
した場合に第1図(a)、(b)の光モジユール概略図
に示す光ファイバ固定部間(第1の固定部3と第2の固
定部4間)に引張応力が生ずる。ここで、(a)は上面
図、(b)は(a)における線X−Yでの断面図を示す
When the entire optical module is subjected to changes in ambient temperature, stress is generated in the solder fixing parts and optical fibers due to the difference in linear expansion coefficient of the component parts, and coupling loss due to creep of the solder material and optical axis shift due to stress relaxation is caused. Problems such as increase in optical fibers and breakage of optical fibers occur. For example, the linear expansion coefficient of optical fiber is
Since the coefficient of linear expansion is smaller than that of the housing, when the temperature of the housing rises, the temperature between the optical fiber fixing parts (first fixing part 3 and A tensile stress is generated between the second fixing parts 4). Here, (a) shows a top view, and (b) shows a sectional view taken along line XY in (a).

第1図(a)、(b)において光ファイバ2が室温でビ
ンと張っているとする。筺体5は外界温度の上昇によっ
て線膨張係数の範囲で伸びる。
In FIGS. 1(a) and 1(b), it is assumed that the optical fiber 2 is stretched at room temperature. The housing 5 expands within the range of its linear expansion coefficient as the outside temperature increases.

一般に筺体5と光ファイバ2とは線膨張係数に差があり
、線膨張係数差をαとすると、α筺体)α光ファイバ なる関係となっている。
Generally, there is a difference in linear expansion coefficient between the housing 5 and the optical fiber 2, and if the linear expansion coefficient difference is α, then the relationship is α housing) α optical fiber.

よって、第1図〜)の断面図に示すように光ファイバ2
に引張力が作用し、そのために光ファイバ2が第1及び
第2の固定部3,4間で折れるという現象があり、この
問題に多くの人が悩まされていた(例は、James、
 L、5pencer+ IEEELC5+ (199
0) 。
Therefore, as shown in the cross-sectional views of FIGS.
There is a phenomenon in which the optical fiber 2 is broken between the first and second fixing parts 3 and 4 due to a tensile force acting on the
L, 5pencer+ IEEELC5+ (199
0).

20、に記載されている)。20).

そのため従来は、筺体5と光ファイバ2との固定を行う
際に第1及び第2の固定部3,4間の光ファイバ2に対
し軸方向に圧縮外力をあらかじめ作用させ、該光ファイ
バ2の中央部をたわませて固定し、外界温度上昇時に光
ファイバに加わる引張応力を低減していた(例えば、特
開昭63−316010号「光電子装置および光ファイ
バ」)。
Therefore, conventionally, when fixing the optical fiber 2 to the housing 5, a compressive external force is applied in advance to the optical fiber 2 between the first and second fixing parts 3 and 4 in the axial direction. The central portion is bent and fixed to reduce the tensile stress applied to the optical fiber when the outside temperature rises (for example, JP-A-63-316010 ``Optoelectronic Devices and Optical Fibers'').

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

光ファイバの中央部をたわませる際に、その変形が適当
となるように外力を加える作業について考えてみると、
再現性のあるコントロールを行うには、光ファイバの精
密送り込み機構を有する治具を用いなければならない、
そのほかにも作業者の細心の注意力と経験を必要とする
熟練作業であり、そのために作業性が悪く、さらに光フ
ァイバを必要最小限に再現性良(たわませることが困難
であった。このほか、たわませる作業の際に不必要な応
力を光ファイバに加えてしまうことがしばしばあった。
When bending the center of an optical fiber, consider the process of applying an external force so that the deformation is appropriate.
In order to perform reproducible control, a jig with a precision optical fiber feeding mechanism must be used.
In addition, it is a skilled work that requires careful attention and experience from the operator, which makes it difficult to work with, and furthermore, it is difficult to bend the optical fiber to the necessary minimum level with good reproducibility. Additionally, unnecessary stress was often applied to the optical fiber during the bending process.

したがって、光モジユール作製時に光ファイバを破損す
ることがなく、光モジユール作製後も使用環境下で光フ
ァイバと筐体とに繰り返し変化が加えられた場合でも、
長期にわたり安定した光結合を保つためには、何らかの
有効な固定方法が必要とされていた。
Therefore, the optical fiber will not be damaged during the production of the optical module, and even if the optical fiber and the housing are repeatedly changed in the usage environment after the production of the optical module,
In order to maintain stable optical coupling over a long period of time, some effective fixing method was required.

本発明は、光モジュールに加わる任意の使用環境温度の
変化に伴う光ファイバへの外的作用力による結合損失の
増加や破断などの問題を解決するだめの技術に関するも
ので、特殊な装置を用いずに、容易で再現性のある解決
方法として下記の技術的課題を提供することを目的とす
る。
The present invention relates to a technique for solving problems such as increased coupling loss and breakage due to external forces applied to optical fibers due to changes in the operating environment temperature applied to optical modules, using special equipment. The purpose of this paper is to provide easy and reproducible solutions to the following technical problems.

技術的課題を要約すれば、 (1)作業時に光ファイバに不要な応力を加えないよう
に工夫すること、 (2)使用環境温度では、適当量のたわみが光ファイバ
に備わるように工夫すること、 などである。
To summarize the technical challenges, (1) measures must be taken to avoid applying unnecessary stress to the optical fiber during operation; (2) measures must be taken to ensure that the optical fiber has an appropriate amount of deflection at the operating temperature. , etc.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

」二記した技術的課題を解決するために、本発明では、
光ファイバと筐体との線膨張係数差を利用する。
In order to solve the technical problems mentioned above, in the present invention,
Utilizes the difference in linear expansion coefficient between the optical fiber and the housing.

すなわち、まず、筐体の線膨張係数を光ファイバのそれ
よりも大きく選ぶ。つぎに、光ファイバを筺体内部の固
定すべき所定位置に固定する。この作業時には、筐体の
温度を使用環境温度よりやや高め゛に設定し、その状態
で光ファイバを直線状に保って固定する。具体的には、
第2の固定部で光ファイバと筐体とを接続固定するとき
に筐体をヒータもしくはホットブレートなどの発熱体に
乗せて、光モジユール全体を最高使用温度よりやや高め
の温度(例えば、80°C+10deg、)に加熱し、
光ファイバを直線状にしたままで固定する作業を行う。
That is, first, the linear expansion coefficient of the casing is selected to be larger than that of the optical fiber. Next, the optical fiber is fixed at a predetermined position inside the housing. During this work, the temperature of the casing is set to be slightly higher than the operating environment temperature, and the optical fiber is maintained and fixed in a straight line in this state. in particular,
When connecting and fixing the optical fiber to the casing using the second fixing part, place the casing on a heating element such as a heater or hot plate to heat the entire optical module to a temperature slightly higher than the maximum operating temperature (for example, 80° Heat to C+10deg,)
Work to fix the optical fiber while keeping it straight.

これにより、光モジュールの温度が室温になったときに
、光ファイバをごく自然にたわませることが容易にでき
、かつ、たわみ量の最適設計が行える(後に第3図を用
いて説明する)。
This makes it easy to bend the optical fiber naturally when the temperature of the optical module reaches room temperature, and allows for optimal design of the amount of bending (this will be explained later using Figure 3). .

〔作用] 本発明は、筺体内にて光ファイバを第1及び第2の固定
部に架設する際に該筐体全体を最高使用温度以上に加熱
した状態で第2の固定部を固定することによって、筐体
温度が光モジュールの使用温度範囲において、筐体より
も小さい線膨張係数を持つ光ファイバに対し自然で再現
性があり、必要最小限のたわみを住じさせることができ
る。すなわち、本発明は、光モジュールの長期にわたり
安定した光結合を維持するとともに光ファイバの破損等
を容易な固定方法により解決できる。
[Function] According to the present invention, when installing an optical fiber between the first and second fixing parts within the housing, the second fixing part is fixed while the entire housing is heated to a temperature higher than the maximum operating temperature. As a result, the casing temperature is natural and reproducible for optical fibers having a linear expansion coefficient smaller than that of the casing within the operating temperature range of the optical module, and the necessary minimum deflection can be caused. That is, the present invention can maintain stable optical coupling of an optical module over a long period of time, and can solve problems such as damage to optical fibers by using an easy fixing method.

〔実施例〕〔Example〕

第2図(a)、(b)は、本発明に係る光ファイバ装置
を応用した受光モジュールの2例を示したものである。
FIGS. 2(a) and 2(b) show two examples of light receiving modules to which the optical fiber device according to the present invention is applied.

第2図(a)に示す受光モジュールは、受光器6のそば
に第1の固定部3があり、それと少しく隔たった位置に
第2の固定部4があって、第1及び第2の固定部3,4
間に光ファイバ2が架設され、該光ファイバ2はそれぞ
れの固定部3,4ではんだ付けにより固定されており、
全体が筺体5に収容されている。この場合、受光器6を
レーザダイオード(LD)とすれば受光モジュールから
LDモジュールに変る。
The light receiving module shown in FIG. 2(a) has a first fixing part 3 near the light receiver 6, a second fixing part 4 at a position a little apart from the first fixing part 3, and Part 3, 4
An optical fiber 2 is installed between them, and the optical fiber 2 is fixed by soldering at each fixing part 3, 4,
The whole is housed in a housing 5. In this case, if the light receiver 6 is a laser diode (LD), it changes from a light receiving module to an LD module.

第2図(b)は、光学結晶材料7(例えばLiNb0:
+)でできている光スイフチもしくは光変調器の作用を
するLNモジュールであり、導波路7aに補強材8を介
して第1の固定部3があり、この第1の固定部3と少し
く隔たった位置に第2の固定部4があって、第1の固定
部3及び第2の固定部4に光ファイバ2が架設され、光
ファイバ2はそれぞれの固定部3.固定部4で接着剤に
よって固定されており、全体が筺体5に収容されている
FIG. 2(b) shows an optical crystal material 7 (for example, LiNb0:
This is an LN module that functions as an optical switch or optical modulator made of a There is a second fixing part 4 at a separate position, and the optical fiber 2 is installed between the first fixing part 3 and the second fixing part 4, and the optical fiber 2 is connected to each fixing part 3. It is fixed with an adhesive at a fixing part 4, and the whole is housed in a housing 5.

第2図(a)、(b)の実施例に見られるように2つの
固定部3.4(第1及び第2の固定部)にまたがって光
ファイバ2を架設固定する本発明に係る光ファイバ固定
方法について、第3 図(a)、 (b)、 (C)(
d)に示す作業工程の説明図により説明する。
As shown in the embodiments of FIGS. 2(a) and 2(b), the optical fiber according to the present invention is installed and fixed across two fixing parts 3.4 (first and second fixing parts). Regarding the fiber fixing method, Fig. 3 (a), (b), (C) (
The work process will be explained using an explanatory diagram shown in d).

第3図(a)では、筺体5もしくはその中に収容される
基体5の上に光ファイバ2を固定するための第1の固定
部3と第2の固定部(図示せず)4がある。光ファイバ
2の先端は、レーザダイオード6aと正しく光軸合わせ
がされている。まず、第1の固定部3に光ファイバ2を
固定する。光ファイバ2にメタライズ処理を施しておけ
ば、はんだ付けによって固定することができる。この作
業は室温ですることができる。
In FIG. 3(a), there are a first fixing part 3 and a second fixing part (not shown) 4 for fixing the optical fiber 2 onto the housing 5 or the base 5 housed therein. . The optical axis of the tip of the optical fiber 2 is correctly aligned with the laser diode 6a. First, the optical fiber 2 is fixed to the first fixing part 3. If the optical fiber 2 is subjected to metallization treatment, it can be fixed by soldering. This work can be done at room temperature.

第3図(blでは、基体5をヒータもしくはホットプレ
ート上に置いて加熱する。基体温度は、最終製品である
受光素子、LDモジュール、LNモジュール等の使用温
度の最高値をやや上回る温度とする。例えば、最終製品
の使用環境塩度は規格上−10〜80°Cとされている
ので、80°Cを越えはんだ付は温度(はんだの難、p
、183°C)以下に選ぶことができる。実際の作業で
は、例えば、最高使用温度十β(10cleg、)程度
とするのがよい。
In Figure 3 (bl), the substrate 5 is placed on a heater or hot plate and heated.The substrate temperature is slightly higher than the maximum operating temperature of the final product, such as the light receiving element, LD module, LN module, etc. For example, the standard specifies that the salinity of the environment in which the final product is used is between -10 and 80°C, so soldering above 80°C will result in temperature (soldering difficulties, p.
, 183°C) or less. In actual work, the maximum operating temperature is preferably about 10 β (10 cleg), for example.

この温度状態、すなわち光ファイバが架設温度状態で第
3図(C)に示したように、光ファイバ2を第1の固定
部3と第2の固定部4間に架設し、実質的に直線状に張
り、第2の固定部4ではんだ付けをして光ファイバ2を
固定する。
In this temperature state, that is, the temperature at which the optical fiber is installed, the optical fiber 2 is installed between the first fixing part 3 and the second fixing part 4, as shown in FIG. Then, the optical fiber 2 is fixed by soldering at the second fixing part 4.

このようにして固定された光ファイバ2は、ヒータもし
くはホントプレートから取り外した使用環境温度では第
3図同に示したように自然なたわみを生じ、無理な応力
が光ファイバ2に加わることがない。一実施例について
数値をあげると、第1及び第2の固定部3,4間の距離
をl0II11とすると、光ファイバ架設温度90°C
で作業したものには常温で約0.5μmのたわみを生じ
ている。前に述べた実施例では第1の固定部3への固定
を室温で行ったが、第1及び第2の固定部3,4への固
定を架設温度でしても差し支えない。
The optical fiber 2 fixed in this manner naturally bends as shown in Figure 3 at the operating environment temperature when removed from the heater or real plate, and no unreasonable stress is applied to the optical fiber 2. . To give numerical values for one embodiment, if the distance between the first and second fixing parts 3 and 4 is l0II11, the optical fiber installation temperature is 90°C.
The work done in the above shows a deflection of about 0.5 μm at room temperature. In the embodiment described above, the first fixing part 3 was fixed at room temperature, but the first and second fixing parts 3 and 4 may be fixed at the construction temperature.

〔発明の効果) 本発明では、基体を光ファイバ装置の最高使用温度以上
まで加熱した状態で光ファイバを固定したから使用時に
光ファイバは自然にたわみ、安定した光ファイバの固定
ができるようになった。
[Effects of the Invention] In the present invention, since the optical fiber is fixed with the substrate heated to a temperature higher than the maximum operating temperature of the optical fiber device, the optical fiber naturally bends during use, making it possible to stably fix the optical fiber. Ta.

本発明によれば、 (1)光ファイバを直線状に架設するという易しい作業
で光ファイバ装置を製作できた。
According to the present invention, (1) an optical fiber device could be manufactured by a simple operation of installing optical fibers in a straight line;

(2)光ファイバのたわみ調整を再現性良く、かつ定量
的に行えるため光モジュールの製造歩留りと温度サイク
ル等の対環境性能の信頼性向上が図れた。
(2) Since the deflection of the optical fiber can be adjusted with good reproducibility and quantitatively, the manufacturing yield of the optical module and the reliability of environmental performance such as temperature cycles can be improved.

(3)組立治具や作業工程を簡略化できる上、安価な設
備で生産性向上が望めた。
(3) In addition to simplifying assembly jigs and work processes, it was possible to improve productivity with inexpensive equipment.

(4)こうして、従来技術で悩まされてきた光ファイバ
破断事故を減少させることができ、これを数字で表せば
900FITが100FIT以下になった。
(4) In this way, it was possible to reduce the optical fiber breakage accidents that had plagued the conventional technology, and to express this numerically, 900 FIT became less than 100 FIT.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図(aL(b)は光モジユール概略説明図で、θ)
はその上面図、(b)は(a)における線X−Yでの断
面図を示す。 第2図(a)、(b)は本発明の光ファイバ装置を用い
た受光モジュールの一実施例を示し、(a)は受光モジ
ュールを、0))はLNモジュールを示す。 第3図(a)、 (b)、 (C)、 (均は本発明に
係る光ファイバ固定方法の作業工程の説明図を示す。 第4図(a)、(b)は従来技術における光ファイバ直
接結合型の光モジュールを、(a)はその平面図を、ら
)は(a)における線x−Yでの断面図を示す。 図において、  1は光素子、2は光ファイバ、3は第
1の固定部、4は第2の固定部、5は筐体(基体)、6
は受光器、7は光学結晶材、8は補強材、9は蓋、10
は不活性ガスをそれぞれ示す。 特許出願人    アンリッ株式会社 代理人  弁理士  小 池 龍太部 4:第2の固定部
Figure 1 (aL (b) is a schematic explanatory diagram of the optical module, θ)
shows a top view thereof, and (b) shows a sectional view taken along line X-Y in (a). FIGS. 2(a) and 2(b) show an embodiment of a light receiving module using the optical fiber device of the present invention, where (a) shows the light receiving module and 0)) shows the LN module. Figures 3 (a), (b), (C), (Hitoshi shows explanatory diagrams of the working steps of the optical fiber fixing method according to the present invention. Figures 4 (a) and (b) show the optical 1A shows a plan view of a fiber direct coupling type optical module, and FIG. In the figure, 1 is an optical element, 2 is an optical fiber, 3 is a first fixing part, 4 is a second fixing part, 5 is a housing (base body), and 6
is a light receiver, 7 is an optical crystal material, 8 is a reinforcing material, 9 is a lid, 10
indicates an inert gas, respectively. Patent Applicant Anri Co., Ltd. Agent Patent Attorney Ryuta Koike Part 4: Second fixed part

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)固定すべき光ファイバの線膨張係数よりも大きな線
膨張係数を有する基体(5)と、該基体上に設けられ、
光ファイバを固定するための第1の固定部(3)と、第
2の固定部(4)とを備えた光ファイバ装置であって、 最高使用温度より高い所定温度において前記第1の固定
部及び第2の固定部が光ファイバを直線に保持するよう
にされていることを特徴とする光ファイバ装置。 2)固定すべき光ファイバの線膨張係数よりも大きな線
膨張係数を有する基体(5)上に設けられた第1の固定
部(3)と第2の固定部(4)との間に前記光ファイバ
を固定する光ファイバ固定方法において、 前記光ファイバを前記第1の固定部に固定する第1の工
程と、 前記光ファイバを前記第2の固定部に固定するとともに
、前記第2の固定部に固定するときは前記基体を加熱し
、かつ、所定温度に保持する第2の工程とを含む光ファ
イバ固定方法。
[Claims] 1) a base (5) having a linear expansion coefficient larger than that of the optical fiber to be fixed; and a base (5) provided on the base,
An optical fiber device comprising a first fixing part (3) and a second fixing part (4) for fixing an optical fiber, wherein the first fixing part is fixed at a predetermined temperature higher than the maximum operating temperature. and an optical fiber device, characterized in that the second fixing portion holds the optical fiber in a straight line. 2) between the first fixing part (3) and the second fixing part (4) provided on the base (5) having a linear expansion coefficient larger than that of the optical fiber to be fixed; An optical fiber fixing method for fixing an optical fiber, comprising: a first step of fixing the optical fiber to the first fixing part; fixing the optical fiber to the second fixing part, and fixing the optical fiber to the second fixing part; a second step of heating the substrate and maintaining it at a predetermined temperature when fixing the optical fiber to the substrate.
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Cited By (3)

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