JPH0415833U - - Google Patents
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- JPH0415833U JPH0415833U JP5769690U JP5769690U JPH0415833U JP H0415833 U JPH0415833 U JP H0415833U JP 5769690 U JP5769690 U JP 5769690U JP 5769690 U JP5769690 U JP 5769690U JP H0415833 U JPH0415833 U JP H0415833U
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- tube
- diffusion device
- reaction tube
- joint
- combustion tube
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- Pending
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- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 5
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- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
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Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
図面は本考案構造の一実施例の構成を示す断面
図である。 １……（石英）燃焼管、１ａ……フランジ、２
……（石英）反応管、２ａ……フランジ、３……
内、外側２重シール構造、４……テーパー（球面
）摺合せ部、５……真空気密パツキン（Ｏリング
）、６……パツキン流体ジヤケツト、７……不活
性ガス流通部（真空排気部）、８……不活性ガス
導入管、９……（不活性ガス）排気管。
図である。 １……（石英）燃焼管、１ａ……フランジ、２
……（石英）反応管、２ａ……フランジ、３……
内、外側２重シール構造、４……テーパー（球面
）摺合せ部、５……真空気密パツキン（Ｏリング
）、６……パツキン流体ジヤケツト、７……不活
性ガス流通部（真空排気部）、８……不活性ガス
導入管、９……（不活性ガス）排気管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 拡散装置の燃焼管１と反応管２との接合部
を内、外側２重シール構造３としてなる拡散装置
の燃焼管と反応管との接合部構造。 (2) 内側シールは燃焼管１と反応管２をテーパ
ー摺合せ部４で行うことを特徴とする請求項第１
項記載の拡散装置の燃焼管と反応管ろの接合部構
造。 (3) 外側シールは耐真空シールが可能な真空気
密パツキン５で行うことを特徴とする請求項第１
項記載の拡散装置の燃焼管と反応管との接合部構
造。 (4) 真空気密パツキン５部にパツキン冷却流体
ジヤケツト部６を設けてなる請求項第３項記載の
拡散装置の燃焼管と反応管との接合部構造。 (5) 内、外側シール間に不活性ガス流通部７ま
たは真空排気部を設けてなる請求項第１項〜第４
項のいずれかに記載の拡散装置の燃焼管と反応管
との接合部構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5769690U JPH0415833U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5769690U JPH0415833U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0415833U true JPH0415833U (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=31582642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5769690U Pending JPH0415833U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0415833U (ja) |
-
1990
- 1990-05-30 JP JP5769690U patent/JPH0415833U/ja active Pending
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