JPH04160749A - 四重極型質量分析計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は四重極型質量分析計に関する。

［従来の技術及びその問題点］ 四重極質量分析計は、一般に第４図に示すようにイオン
源（１）と四重極電極（２）と検出部（３）（２次電子
増倍管）とに分けられる。四重極電極（２）は、互いに
平行に配置された４本の円柱ロッド電極（２ａ）　（２
ｂｌ　（２ｃ）　（２ｄｌから組み立てられており、そ
の相対向するロッド電極（２ａ）　（２ｂ）　、　（２
ｃ）（２ｄ）を結線しその各々に士（［＋Ｖｃｏｓωｔ
）なる直流電圧と高周波電圧の重畳したものを印加する
。この電圧印加により電極（２）内に電場が形成される
。イオン源（１）において生成したイオンが四重極電極
（２）の中心軸（Ｚ軸方向とする）に沿って入射される
と、Ｚ軸方向に進む間に四重極電極内顛作られた電場（
以後四重極電場と呼ぶ）によってＸ軸方向及びｙ軸方向
の力を受ける。電圧（Ｕ、Ｖ）　、四重接電極管距離（
２ｒａ）　１周波数（ｆｌのある条件のもとで、ある特
定の−／ｅ（質量電価比）を有するイオンのみが、ｘ、
ｙ軸とも限定された振巾をもって振動し、四重極電極（
２）内を通過できる。その他の■／ｅを有するイオンは
振巾が増大し、四重極電極（２）に捕えられるか、四重
極電極（２）間のすき間を通り抜けて、イオンの検出部
（３）に到達しない。四重極電極（２）内を通過したイ
オンは、イオンコレクターか２次電子増倍管で検出され
、イオン電流に比例した信号が、オシロスコープ、電磁
オシログラフ、ペン記録計などで記録され、質量スペク
トルとなる。

以上を更に理論的に説明すると、四重極電極内に関係式
　（１−１）を満足する電位ｆｐｏｔｅｎｔｉａｌ）を
作ることができる。この電位φは、Ｐｏ１ｓｓｏｎの法
則に従い、（１−２１式を満足する。

このことから容易に（１−３）式で示される条件が導か
れる。

先十〇＋γ＝　Ｏ（１−３１ 四重極型質量分析計においては、これらの定数え、０、
γを（１−４１式のように選んだものであ従って、（ｌ
−１１式は、ｆｌ−５１式のように表わせこのような電
位を与える電極の形は断面が直角双曲線になっている四
重極型のものである。第５図に示すように、電極［２ａ
）　（２ｂｌ、（３ａｌ　（３ｂｌ　に電圧±（Ｕ＋Ｖ
ｃｏｓωＬ）を与えると四重極電極（２）内の電位はＣ
ｌ−６１式で与えられる。

四重極電極（２）内における電位勾配、すなわち電場は
（１−７）式で表わされ、 このような電場にはいったイオンの運動方程式は、　＋
１−８１式で表わされ、 イオンの運動について考えてみると、Ｘ軸方向、ｙ軸方
向の運動は（Ｘ軸方向、ｙ軸方向の運動は独立に取り扱
うことができる）、Ｘ軸方向、ｙ軸方向に周期的な力を
受けて振動することがわかる。またＺ軸方向には何らの
力も受けず、初速度と同じ速度で運動する。（１−８１
式を（１−９）式のように置換すると、Ｍａｔｈｉｅｕ
方程式として知られる微分方程式（１−１０１となる。

四重陽電場のイオンの運動は、この方程式の解によって
与えられる。この解は、無限時間の間、イオンが一定振
巾を越えない安定な軌道をたどる安定解と、時間と共に
振巾が無限に増大する不安定解とに分けられる。安定解
を与えるａ、ｑの関係を（ａ、ｑ）平面に図示すること
ができ、それを第６図に示す、四重極電場のＸ方向とＸ
方向の安定解を与える領域は、第６図に示すように原点
に対して対称となる。斜線部分が安定な解を与える領域
であり、白い部分が不安定な解となる領域である。四重
極電場をイオンが通過するためには、ｘ、ｙ両方向のイ
オンの運動は限定された振巾でなければならない。この
ことは図のＸの安定領域とｙの安定領域が重なり合った
領域を意味する。

実際の四重極型質量分析計では、従来実用的な観点から
原点に最も近い安定領域を利用している。

この安定領域を拡大したものを、第３図に示す。

これを安定線図（ｓｔａｂｉｌｉｔｙ　ｄｉａｇｒａｍ
ｌ　と呼んでいる。

ある質量をもつイオンは、ｒ　ｏ　）ω、Ｕ、■の値が
決められるとｆａ、ｑ）平面上に１点が定まる。

（１−９１式からａ／２ｑ＝　Ｕ／Ｖの関係が与えられ
るが、この式は（ａ、ｑｌ平面の原点を通り勾配がＵと
■の比で決まる直線であって、質量数に無関係に定まる
。このＵ／Ｖの比を決めると、全ての異なった質量のイ
オンはこの直線上に並ぶことになる。これを質量走査線
（＋ｗａｓｓ　５ｃａｎ　１ｉｎｅ）と呼ぶ。質量走査
線上に並ぶ全イオンのうち安定領域内（第３図のｘｙ安
定領域）の線上に並ぶ質量のイオンのみが四重極電場を
通過できることになる。この直線上でｘｙ安定領域の外
にあるイオンのうちＸ安定の領域、Ｘ不安定の領域にあ
るイオンは、ｘｙ安定領域にあるイオンよりも高質量で
あり、Ｘ方向の運動が不安定となり、Ｘ軸上にある四重
極電極に捕えられる。一方ｘｙ安定領域の外で、Ｘ安定
の領域、Ｘ不安定の領域にあるイオンは、ｘｙ安定領域
にあるイオンよりも低質量であり、Ｘ方向が不安定とな
り、ｙ軸上にある四重極電極に捕えられる。

以上のようにして、質量分析を行なうことができるので
あるが、この四重極型質量分析計の使用に際しては、そ
の分解能を調節するために上記Ｕ／Ｖの比を変えている
。すなわちＵ／Ｖの比を大きくすればする程、第３図に
おいて質量走査線の傾斜は大きくなり、遂にはｘｙ安定
領域の頂点であるＱ点を通る質量走査線となるのである
が、この頂点Ｑに近い勾配の質量走査線程分解能が高い
。

これを第７図を参照して説明すると、例えば比較的小さ
いＵ／Ｖの比の質量走査線の時には、（＾）で示される
スペクトルが得られるが、ａで示す位置の質量のイオン
の両側に、これより質量の大きい及び小さいイオンｂ、
ｃのピークが認められる。

然しなからこのスペクトルを見る人の熟練度によって、
この見分けが異なり、これを一つのイオン質１ｉａだけ
のスペクトルと見る人もいるかも知れない。これに対し
更に分解能を高くするためにはＵ／■の傾斜の比を大き
くすべく主としてＵの調節が行なわれる。これにより（
Ｂ）のようなスペクトルが得られる。更にＵ／Ｖの傾斜
の比を大きくして分解能を上げるとｆｃｌのようなスペ
クトルが得られる。

しかし高い分解能に設定した場合、各回路構成における
温度ドリフトや回路の信頼性によっては、日により温度
により変化するので、この質量分析器は使用する毎に、
その微妙な調節を行なわなければならず、同じ質量分析
に対し、その再現性を得ることを困難にしていた。

〔発明が解決しようとする問題点Ｊ 本発明は上記問題に鑑みてなされ、高い分解能に設定し
た場合でも簡単な操作で安定性、再現性が良く、高分解
能を確実に得ることができる四重極型質量分析計を提供
することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

以上の目的は、４本のロッド電極を互いに平行に配設し
て成る四重極電極を有し、相対向する前記ロッド電極を
結線し、これら各々に士（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）なる直流
電圧と高周波電圧の重畳したものを印加し、これにより
前記四重極電極内部に形成される電場を利用して質量分
析を行なうようにした四重極型質量分析計において、変
数ａ＝８ｅＵ　／ｍｒａ２（ＡＪ”　、　ｑ　＝　４ｅ
Ｖ／　ｍｒｏ”　（ＩＪ”を直角座標として表わした場
合（（ａ、ｑｌ平面）、前記四重極電極をイオンが通過
できる条件を決定する領域中で原点に最も近い第１安定
領域と、次に近い第２安定領域を選択的に用いるために
、前記Ｕ、■及びωのうち少なくとも一つを相異なる大
きさの間で切換え可能とし、この切換えにより、前記第
１安定領域と前記第２安定領域を切換えるようにしたこ
とを特徴とする四重極型質量分析計、によって達成され
る。

［作　　　用］ Ｕ、■及びωのうち少なくとも一つ、例えば直流電圧の
大きさであるＵを相異なる大きさの間で切換可能とし、
この切換えにより質量走査線の傾斜がこの大きさの変化
に応じて変化しくａ、ｑ）平面の第１の安定領域から第
２安定領域、あるいは第２安定領から第１安定領域に切
換えることができる。

従って第１安定領域では測定し得るイオン質量の範囲は
広くて、これ等に対し安定な分解能を与えることができ
、また第２安定領域においては測定できるイオンの質量
範囲は狭いが、この範囲内の質量の分析には高い分解能
で安定にその質量を再現性良く分析することができる６
特に質量数が４までの例えば水素や重水素やヘリウム等
のイオン質１の分析をする場合には特に第２安定領域は
有効である。

ｆ実　施　例Ｊ 以下、本発明の実施例による四重極型質量分析計につい
て図面を参照して説明する。

第１図は本発明の実施例による四重極型質社分析計に対
する高周波電源及び直流電源の回路ブロック図を示すも
のであるが、四重桶型分析計本体（ｌＯ）は従来と同様
な構成を有し、その大きさは茶筒程度の大きさであり、
その内部には第４図または第５図に示すような電極ロッ
ドがｆｏａｌ　（２ｂｌ及び（３ａ）　（３ｂ）が対と
して平行に配設されており。

これら相対向する電極ロッドｆ２ａ）　［２ｂｌ及び（
３ａ）（３ｂ）を従来と同様に結線して、これ等に直流
電圧と高周波電圧を重畳したものを加えるようにしてい
る。

すなわち水晶発振器（１１）は本実施例によれば、２．
０ＭＨ，の高周波を発生するが、これが緩衝増巾器（１
２）、平衡変調器（１３）、直線項中器Ｔ１４）、励振
増巾器（１５）及び電力増巾器（１６）を介して高圧発
生部／検波部／直流重畳部−回路（１７）に供給される
。

なおこの回路（１７）においては、その入力として電力
増巾器（１６）より２ＭＨ，の高周波電圧を受けるため
に、これと受けるべき本体（１０）との整合をとるため
に可変容ｉｔ　（１８１により同調をとるようにしてい
る。

高圧発生部／検波部／直流重畳部−回路（１７）からは
電力増巾器（１６）から供給された高周波電圧の一部を
整流し、これを検波出力として主制御部（１９）の比較
器（２０）に供給するようにしている。これにより高周
波電源に対する閉ループを構成し、安定な高周波電圧を
四重極質量分析計本体（１０）に供給するようにしてい
る。すなわち主制御部（１９）には図示しないがパソコ
ンよりデジタル−アナログ変換器（分析すべき質量範囲
に応じてデジタル的にパソコンに設定）を介して図示す
るような鋸歯状波（３１）が繰返し時間設定のために基
準入力として供給される。これは主制御部制御出力回路
（１９）において比較器（２０）に更に接続される直流
槽１１器（２１）により増巾されて、直流電圧発生部（
２２）に供給される。これには本発明に係る切換え回路
Ａが接続されている。すなわち可動接点（２３）は第１
抵抗（２４）側か第２抵抗（２５）側に切換えられる。

これにより第１安定領域及び第２安定領域のいずれかを
選択するように構成されている。またこれには分解能調
節用のボリュウム（２６ａ）　（２６ｂ）が接続されて
おり、これ等はそれぞれ第１安定傾城用第２安定領域用
であって、上述の抵抗（２４）　（２５目ご対応し、　
（２４１に切換えられた時には可変抵抗（２６ａ）によ
り、第１安定領域での分解能が調節され、抵抗（２５）
に切換えた時には可変抵抗（２６ｂ）により第２安定領
域での分解能が調節される。すなわち質量走査線の傾斜
がそれぞれの安定領域において調整されるようになって
いる。この直流電圧発生部（２２）から上述の直流電圧
＋Ｕ及び−Ｕがそれぞれ電線路（２８）及び（２９）を
介して高圧発生部／検波部／直流重畳部−回路（１７）
に供給され、この回路（１７）においてその直流重畳部
で電力増巾器（Ｉ６）からの高周波電圧と直流電圧＋Ｕ
及び−Ｕとが重畳されて四重極質量分析計本体（ｌＯ）
が内蔵する電極ロッド（２ａ）　（２ｂ）及び（３ａｌ
　（３ｂｌに印加されるように構成されている。

四重極質量分析計本体（ｌＯ）には更にイオンソース制
御部（３２）が接続されており、これは第４図に示すイ
オン源（１１を制御するものであって更に出力としての
四重極質量分析計本体（ｌＯ）の出力分析の結果はイオ
ン電流の微少電流増巾器ｆＤｃ、＾ＭＰ）（３３）に供
給され、この出力がモニター（３４）に供給される。ま
たこれには上述のパソコンよりの鋸歯状波（３１）が供
給されるようになっている。

なお、高圧発生部／検波部／直流重畳部−回路（１７）
における高圧発生部は、四重極質量分析計本体（ｌＯ）
は超高真空中で使用される場合があり、このような真空
内においてイオン電流が微少であれば、その検出が困難
であるので２次項倍管を設けており、これに対する供給
電圧を発生するものである。

また直流電圧発生部（２２）には初期相殺電圧調整用可
変抵抗（２７）が接続されているが、これは第２安定領
域専用であって、第２安定領域に切換えた時、すなわち
切換回路Ａにおける可動接点（２３）を抵抗（２５）側
に切換えたときに調節される。すなわち第２安定領域に
おいて質量走査線を走査するときに、その電圧が非常に
小さいときに第１安定領域における質量スペクトルも出
てくるのを防止するためであって、第１安定領域で四重
極質量分析計を作動させるときには全く関係のないもの
である。

また主制御部（１９）には任意マス設定用の可変抵抗（
４１）　（４２１が接続されているが、これは主制御部
（１９）における比較器（２０）の基準電位を与えるも
のであって、この四重極質量分析計が安定に行なわれる
ための調節用抵抗である。

本発明の実施例による四重極型質量分析計は以上のよう
に構成されるが、次にこの作用について説明する。

先ず質量が広い範囲に亘って測定されるような場合につ
いて説明する。この場合には直流電圧発生部（２２）に
おいて可動接点〔２３）は抵抗（２４）側に切換えられ
ており、これに応じた直流電圧＋Ｕ及び−Ｕが電線路（
２８）及び（２９）を介して高圧発生部／検波部／直流
重畳部−回路（１７）に供給されている。他方、水晶発
振器（１１）から発振出力する高周波は緩衝増中器（１
２）、平衡変調器（１３）、直線増巾器（１４）励振増
巾器（１５）及び電力増巾器（１６）を介して所定の大
きさに増巾された所定の電力で高圧発生部／検波部／直
流重畳部−回路（１７）に供給されており、また、これ
からの検波出力により主制御部（１９）を介して平衡変
調器（１３）にフィードバックされる。搬送波としての
基準人力がこれに加えられているのであるが、これによ
り変調された高周波電圧を以下、直線増巾器（１４）、
励振増巾器（１５）及び電力増巾器（１６）を介して上
述の高圧発生部／検波部／直流重畳部−回路（１７）に
供給しており、これにより質量走査用の安定な高周波電
圧を得るようにしている。すなわち直流電圧発生部（２
２）からの直流、＋Ｕ、−Ｕとの比が第１安定領域を走
査するための電圧を構成し、これにより広い範囲の質量
数のイオンを分析することができるのであるが、これは
微少電流増巾器（３３）により増巾されてモニター（３
４）に供給される。他方パソコンより鋸歯状波（３１）
が供給されているので、これをタイムベースとしてデイ
スプレー（３５）に図示するようなスペクトルが得られ
る。これを見て、この時のイオンの質量を分析すること
ができる。なお上記分析の開始においては直流電圧発生
部（２２）における可変抵抗（２６ａ）の調節により第
１安定領域内で質量走査線の傾斜を所望の分解能を得る
べく調整される。

次に質量範囲の狭いイオンの質量分析をする場合につい
て説明する。例えば質量数が４までの原子、例えば水素
、重水素、ヘリウム等のイオンの分析を行なう場合につ
いて説明する。この場合には直流電圧発生部（２２）に
おいて可変接点（２３）は抵抗（２５）側に切換えられ
る。これにより電線路（２８）（２９）には第１安定領
域における場合の電圧より更に高い電圧の直流電圧＋Ｕ
、−Ｕが得られるのであるが、これが高圧発生部／検波
部／直流重畳部−回路（１７）に供給される。また、こ
れには電力増巾器（１６）より第１安定領域における場
合の電圧と同じ大きさの高周波電圧が供給されており、
上述の直流電圧＋Ｕ、−Ｕを重畳させて四重極質量分析
計本体（１０）に供給される。この場合にはＵ／Ｖの比
が第１安定領域の走査時よりも大きくなることにより、
すなわち質量走査線の傾斜が大きくなり、第２安定領域
内を走査することになる。

従って第２安定領域は第２図に示すようにその巾が非常
に狭く、全体として傾斜が第１安定領域より高いために
、例えば水素と重水素とは、その質量が非常に近接して
いるが、このような場合においても高い分解能でこれを
分解してスペクトルでモニター（３４）にデイスプレー
させるこができる。

本発明の実施例は以上のように構成され、かつ作用を行
なうのであるが次のような効果を奏するものである。す
なわち通常の分析、すなわち広い範囲の質量分析を行な
う場合には第１安定領域を用いるために可動接点（２３
）を抵抗（２４）側に接続して測定し、また狭い範囲で
あるが低質量を高分解能で分析する場合には可動接点（
２３）を抵抗（２５）側に切換えて高い分解能でその狭
い質量範囲のイオンを分析するようにしているので、い
ずれの質量のイオンでも誤認することなく確実に分析す
ることができ、操作者の熟練度に頼ることな（、どのよ
うな質量範囲のイオンも安定に再現性良く分析すること
ができる。

以上本発明の実施例について説明したが、勿論、本発明
はこれに限定されることな（、本発明の技術的思想に基
いて種々の変形が可能である。

例えば以上の実施例では第１安定領域と第２安定領域を
切換えるために直流電圧＋Ｕ及び−Ｕの大きさを変える
ようにしているが、これに代えて高周波電圧の周波数（
実施例では２．０ＭＨｚ）または高周波電源の電圧を変
えるようにして質量走査線の傾斜を変えて、第１安定領
域から第２安定領域、あるいは第２安定領域から第１安
定領域に切換えるようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明の四重極型質量分析計によれば
、低質量側で高分解能な測定が簡単な操作で再現性良く
測定でき更に従来の高質量までの測定も可能になる。如
何なる質量範囲のイオンに対しても簡単な操作で高分解
能で再現性よ（、これを分析、測定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例による四重極型質量分析計の高
周波電源及び直流電源の回路ブロック図、第２図は同作
用を説明するための（ａ、ｑ）平面の第１安定領域及び
第２安定領域を示すグラフ、第３図は第２図における第
１安定領域の詳細を示す拡大グラフ、第４図は従来例の
四重極型質量分析計を説明するための概略側面図、第５
図は更にその詳細を説明するための斜視図、第６図は従
来例の作用を説明するためのグラフ及び第７図は同作用
を説明するための分析スペクトルを示すものである。 なお図において、 （ｌＯ）・・・・・・・・・　四重極質量分析計本体（
２２）・・・−・・・・・直流電圧発生部Ａ　・・・・
・・・・・−・　　切　　　　換　　　　回　　　　路
代　　理　　人 飯　　阪　　　泰　　雄 第４図 ノシログラフ 第５図 え−」／ｚ す（ＬＪ　十Ｖｃｏｓｗｂ　） 第７Ａ図 第７ＢｙＪ　　　　　第７０図 ｂｏＬｃ　　　　　　　　ｂ　　　ａ　　　ｃ（自Ｒ）
手続補正書 平成３年９月　２日 平成２年特　許　願第２８１８５０号 ３　補正をする者 事件との関係　特許出願人 ４、代理人 ６　補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 ｍ明細書第１９頁第５行の「例えば水素」を「例えばヘ
リウム」と補正する。 以　　　　　上 （自発〕手続補正書 平成２　年　特　許　願第２８３８５０号４、代理人 ６　補正ｔこより増加する発明の数 ７、補正の対象 （１）特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。 （２）明細書第３頁第６行の「四重積電極管距離」を「
四重極電極間距離」と補正する。 （３）明細書第３頁第７行の「電価」を「電荷」と補正
する。 （４）明細書第６頁第３行のｒｄ”ｘ／ｄｔ”Ｊをｒｄ
２ｘ／ｄと２」と補正する。 （５）明細書第６頁第４行のｒｄ２ｙ／ｄｔ”　Ｊをｒ
ｄ２ｙ／ｄε２」と補正する。 （６）明細書第１２頁第４行の「四重桶型分析計」を「
四重極型質量分析計」と補正する。 （７）明細書第１３頁第８行、同第１４頁第１６行、同
第１４頁第１９行、同第１５頁第２行、同第１５頁第８
行、同第１６頁第２行、同第１６頁第８行、同第１８頁
第１８行及び同第２１頁第１４行の［四重極質量分析計
Ｊをそれぞれ［四重極型質量分析計］と補正する。 （８）明細書１５頁第１１行の「２次項倍管」を「２次
電子増倍管」と補正する。 （９）明細書第１８頁第８行の「ヘリウム」を［へリウ
ムＪと補正する。 （１０）明細書第２１頁第１５行の「検波」を「検波部
」と補正する。 （１１）第１図及び第２図を別紙のとおり補正する。 以　　　　上 ２、特許請求の範囲 ４本のロッド電極を互いに平行に配設して成る四重極電
極を有し、相対向する前記ロッド電極を結線し、これら
各々に士（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）なる直流電圧と高周波電
圧の重畳したものを印加し、これにより前記四重極電極
内部に形成される電場を利用して質量分析を行なうよう
にした四重極型質量分析計において、変数ａ　＝　８ｅ
Ｕ／　ｍ　ｒｏ２　（Ｊ　”、ｑ　＝　４ｅＶ／　ｍ　
ｒｏ″ω２ を直角座標として表わした場合Ｎａ、ｑｌ平面）、前記
四重極電極をイオンが通過できる条件を決定する領域中
上原点に最も近い第１安定領域と、次に近い第２安定領
域を選択的に用いるために、前記Ｕ、Ｖ及びωのうち少
なくとも一つを相異なる大きさの間で切換え可能とし、
この切換えにより、前記第１安定領域と前記第２安定領
域を切換えるようにしたことを特徴とする四重極型質量
分析計。 （自発）手続補正書 平成　２　年　特　許　願！　２８３８５０号３、　補
正をする者 事件との関係　特許出願人 ４　　代　　理　　人 ６、　補正により増加する発明の数 （１）図面の第２図及び第３図を別紙のとおり補正する
。 （２）明細書第２頁第１６行及び同第１７行、第１８行
のｒ　（２ｃ）　（２ｄＮをｒ　（３ａｌ　（３ｂＮと
補正する。 以　　　　　上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ４本のロッド電極を互いに平行に配設して成る四重極電
   極を有し、相対向する前記ロッド電極を結線し、これら
   各々に±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）なる直流電圧と高周波電
   圧の重畳したものを印加し、これにより前記四重極電極
   内部に形成される電場を利用して質量分析を行なうよう
   にした四重極型質量分析計において、変数ａ＝８ｅＵ／
   ｍｒ＿ｏ＾２ω＾２、ｑ＝４ｅＶ／ｍｒ＿ｏ＾２ω＾２ Ｕ：直流電圧の大きさ Ｖ：高周波電圧の最大値 ｅ：イオンの電価 ｍ：イオンの質量 ｒ＿ｏ：ロッド電極内接円の半径 ω：高周波電圧の角周波数 を直角座標として表わした場合（（ａ，ｑ）平面）、前
   記四重極電極をイオンが通過できる条件を決定する領域
   中で原点に最も近い第１安定領域と、次に近い第２安定
   領域を選択的に用いるために、前記Ｕ、Ｖ及びωのうち
   少なくとも一つを相異なる大きさの間で切換え可能とし
   、この切換えにより、前記第１安定領域と前記第２安定
   領域を切換えるようにしたことを特徴とする四重極型質
   量分析計。