JPH0416343U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0416343U JPH0416343U JP5672390U JP5672390U JPH0416343U JP H0416343 U JPH0416343 U JP H0416343U JP 5672390 U JP5672390 U JP 5672390U JP 5672390 U JP5672390 U JP 5672390U JP H0416343 U JPH0416343 U JP H0416343U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- temperature
- substrate
- blowout port
- cover
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims 2
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の斜視図である。
１……カバー、１ａ……カバー底面、２……温
風吹出し口、３……デバイス試料、４……温度セ
ンサー、５……温度センサーばね部、６……温度
センサー先端部、７……試料基板、１１……温風
。
風吹出し口、３……デバイス試料、４……温度セ
ンサー、５……温度センサーばね部、６……温度
センサー先端部、７……試料基板、１１……温風
。
Claims (1)
- 高温から低温までの温風を発生し、吹出し口か
ら試料に導き、該試料の温度特性評価を行う温度
評価試験器において、前記試料を載置する試料基
板と、前記吹出し口を有し前記試料基板を覆つて
密封するカバーと、該カバーの一部に取付けられ
て可撓性を有し且つ先端部が前記試料に密着する
ように移動して前記試料の温度を測定するセンサ
ーと、該温度センサーの周囲に遊嵌して伸縮自在
なばねとを備えることを特徴とする温度評価試験
器の構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5672390U JPH0416343U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5672390U JPH0416343U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0416343U true JPH0416343U (ja) | 1992-02-10 |
Family
ID=31580801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5672390U Pending JPH0416343U (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0416343U (ja) |
-
1990
- 1990-05-30 JP JP5672390U patent/JPH0416343U/ja active Pending
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