JPH04164708A - 空気浮上式搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 り産業上の利用分野〕 本発明は、特にクリーンルームなどの室内で使用するの
に好適な空気浮上式搬送装置の構成に関する。

〔従来の技術〕

重量物を僅かな牽引力で搬送できるようにした搬送装置
として、空気圧を利用して荷台を走行床面から浮上させ
るようにした空気浮上式搬送装置が周知である。

この空気浮上式搬送装置は、搬送物をＲ萄する荷台の下
面に断面形状がＷ字形をなして中央に空所を形成した空
気袋を備え、空気圧源から供給した圧縮空気で空気袋壱
膨らませるとともに、さらに空気袋から中央空所に向け
て吹出した排気空気を空気袋と床面との間の隙間に押し
込み通風して荷台を床面から浮上させるようにしたのも
である。

これにより、走行床面と荷台を支える空気袋との間には
僅かに空気摩擦抵抗が作用するだけとなり、重量物でも
僅かな牽引力で楽に搬送できる。

一方、かかる空気浮上式搬送装置をクリーンルームの室
内で使用する場合には、当該搬送装置自身が発塵源とな
ならないようにするために、従来では空気圧源から供給
する圧縮空気を十分に清浄化した上で空気袋に供給する
ことで対処している。

〔発明が解決しようとする１ｍ題〕 ところで、前記のように搬送装置に清浄な圧縮空気を供
給したとしても、なお実際の使用面では次記のような問
題点が残る。

すなわち、前記の空気浮上式搬送装置においては、空気
袋から中央空所に向けて吹出した排気空気が空気袋と床
面との間の隙間を通じて周囲に吹出すようになる。一方
、クリーンルームでは室内の作業空間は高い空気清滲度
が維持されているが、床面上には粉塵が堆積している場
合が多い、このために、搬送装置の走行中に周囲に吹き
出す排気空気によって床面上に堆積している粉塵が舞い
上がり、クリーンルームの室内を広範囲に汚損するよう
になる。しかも、このように二次的な粉塵汚損の問題は
搬送装置に供給する圧縮空気を清浄化しただけでは解決
されない。

本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、先記
した二次汚損の問題点を解消し、搬送装置η１らの排気
空気によって床面上に堆積でいる粉塵が周囲に飛散する
のを防止できるようにした特にクリーンルームでの使用
に好適な空気浮上式搬送装置を提供することを目的とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、本発明の空気浮上式搬送装
置においては、空気袋と床面との間の隙間より周囲に吹
出す排気空気から粉塵を除去して排気空気を清浄化する
除塵手段を搭載するものとする。

ここで、前記構成における除塵手段は、空気袋の外周側
に吹出した排気空気を荷台の下面より吸引する吸気ファ
ンと、該吸気ファンの後段に接続した集塵器とからなる
。

また、粉塵を含んだ排気空気が外方へ逸出するのを防ぐ
ためには、荷台に対してその周縁を取り囲んで床面上に
垂らした遮風スカートを備えるのがよい。

〔作用］ 上記の構成により、空気袋から吹出した排気空気は空気
袋と床面との間の隙間より空気袋の外周側へ吹出した後
、そのまま搬送装置の外方に飛散することなく吸気ファ
ンに吸い込まれ、さらに集塵器を経て周囲に排気される
。したがって搬送装置内で排気空気流により一旦は床面
から舞い上がった粉塵も外方に飛散することなく、排気
空気と一緒に吸気ファンから集塵器に導かれて捕捉され
る。これにより床面上に堆積していた粉塵が原因で二次
的な室内汚損を回避できる。なお、荷台の周囲に設けた
遮風スカートは、排気空気が吸気ファンに吸い込まれる
以前に外方へ逸出するのを防ぐように機能する。

〔実施例］ 以下本発明き実施例を図面に基づいて説明する。

第１図において、１は底面が開放した箱形の荷台、２は
荷台ｌの下面に装備した断面形状がＷ字形をなす空気袋
であり、該空気袋２には圧縮空気の導入口２ａの他に、
中央空所３に向けて周面の複数箇所に小径な吹出口２ｂ
が開口している。そして、該空気袋２は導入口２ａに配
管した空気ホース４を介して圧縮空気ｉｆ［５に接続さ
れている。

一方、荷台ｌの上には吸気ファン６、および吸気ファン
６の後段に接続した高性能フィルタを内蔵の集塵Ｈ７が
搭載装備されており、吸気ファン６の吸込管８が空気袋
２の外層側位！で荷台２の下面側に開口している。さら
に、荷台ｌの下ｙａ１′！ｌＩ縁をを取り囲むようにし
て蛇腹状の遮風スカート９が設けである。この遮風スカ
ート９は荷台１の上下動に追随して伸縮し、常にスカー
トの先端が床面１０に接して荷台１と走行床面１０との
間の隙間を塞ぐように４１能する。

かかる構成において、圧路空気１［５から供給された圧
縮空気は、矢印で表すように空五袋２に流入して空気袋
２を脹らますとともに、吹出口２ｂより空気袋と床面ｌ
Ｏとで囲まれた中央空所３の空間に向けて吹出し、さら
に床面１０と空気袋２と間の隙間を通して空気袋２の外
周側へ流出する。この排気空気は前述した遮風スカート
９によりそのまま外方に逸出せずに吸気ファン６に吸い
込まれ、集塵器７を経て周囲に放出される。したがって
、空気袋２から吹出した排気空気流により床面１０から
舞い上がった粉塵（床面上にいままで堆積していた粉塵
）、あるいは圧縮空気８５よりの送気空気中に混在して
いた異物などは、そのまま荷台１の外方に飛散すること
なく、集塵器７にて捕捉される。これにより、集塵器７
を通過した排気空気は粉塵を含まない清浄空気として周
囲に排出することになる。

〔発明の効果〕

本発明の空気浮上式搬送装買は、以上説明したように構
成されているので、次記の効果を奏する。

空気袋から吹出す排気空気流により走行床面から舞い上
がった粉塵、ないしは空気袋に供給される圧縮空気中に
含まれている異物などは、そのまま周囲に飛散すること
なく除塵手段で捕捉される。

したがってクリーンルームの室内で使用する場合でも、
従来装置で問題となっていた粉塵の舞い上かりによる二
次的な汚損を回避することかできると同時に、走行路の
床面を清掃する副次的な効果も得られる。

また、荷台の周囲に遺風スカートを設けたことにより、
排気空気がそのまま外方へ逸出するのを防いで除塵手段
の吸気ファンへ導くことかでき、これにより除塵手段が
効果的に機能する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の構成図である。 １：荷台、２：空気袋、５：圧縮空気源、６：吸気ファ
ン、７：集塵器、９：遮風スカート。 −〉 代１人弄鷹士　山　口　　巖　　　　　パ二つシ５７

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）荷台の下面に空気袋を備え、外部から供給した圧縮
   空気で空気袋を膨らませるとともに、さらに空気袋から
   吹出した排気空気を空気袋と走行床面との間の隙間に流
   して浮上させる空気浮上式搬送装置において、空気袋と
   床面との間の隙間より周囲に吹出す排気空気から粉塵を
   除去して排気空気を清浄化する除塵手段を搭載したこと
   を特徴とする空気浮上式搬送装置。 ２）請求項１に記載の空気浮上式搬送装置において、除
   塵手段が、空気袋の外周側に吹出した排気空気を荷台の
   下面より吸引する吸気ファンと、該吸気ファンの後段に
   接続した集塵器とからなることを特徴とする空気浮上式
   搬送装置。 ３）請求項２に記載の空気浮上式搬送装置において、荷
   台がその周縁を取り囲んで床面上に垂らした遮風スカー
   トを備えていることを特徴とする空気浮上式搬送装置。