JPH04165702A - 超電導マイクロ波部品 - Google Patents
超電導マイクロ波部品Info
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- JPH04165702A JPH04165702A JP2291195A JP29119590A JPH04165702A JP H04165702 A JPH04165702 A JP H04165702A JP 2291195 A JP2291195 A JP 2291195A JP 29119590 A JP29119590 A JP 29119590A JP H04165702 A JPH04165702 A JP H04165702A
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- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、超電導マイクロ波部品に関する。より詳細に
は、本発明は、マイクロ波あるいはミリ波等の波長の短
い電磁波を取り扱う高周波部品であって、特にその導体
線路を酸化物超電導材料によって形成されている新規な
マイクロ波部品の構成に関する。
は、本発明は、マイクロ波あるいはミリ波等の波長の短
い電磁波を取り扱う高周波部品であって、特にその導体
線路を酸化物超電導材料によって形成されている新規な
マイクロ波部品の構成に関する。
従来の技術
数十ｃｍから数ｍｍまでの波長を有し、マイクロ波ある
いはミリ波等と呼ばれる電磁波は、理論的には電磁波ス
ペクトルの一部の範囲に過ぎないが、工学的にはこれを
取り扱うための独特の手法や部品が開発されていること
から、特に独立して検討される場合が多い。尚、この帯
域の電磁波を誘導するマイクロ波線路は、誘電体を介し
て配置され、一方が接地された１対の線路により形成さ
れる。
いはミリ波等と呼ばれる電磁波は、理論的には電磁波ス
ペクトルの一部の範囲に過ぎないが、工学的にはこれを
取り扱うための独特の手法や部品が開発されていること
から、特に独立して検討される場合が多い。尚、この帯
域の電磁波を誘導するマイクロ波線路は、誘電体を介し
て配置され、一方が接地された１対の線路により形成さ
れる。
一方、１９８６年にベドノーツ、ミューラー等によって
、３０にで超電導状態を示す（Ｌａ、’ Ｂａ） ２ｃ
ｕ ０４が発見され、続いて、１９８７年には、チュー
等によって９０’に台の超電導臨界温度Ｔｃを有するＹ
Ｂａ２Ｃｕ３０ｙが発見され、更に、１９８８年には前
日等によって１００に以上の臨界温度を示す所謂Ｂｉ系
の複合酸化物系超電導材料が発見された。これらの一連
の複合酸化物系超電導材料では、廉価な液体窒素による
冷却で超電導現象を実現することができるので、超電導
技術の実用的な応用の可能性が俄に取り沙汰されるよう
になった。
、３０にで超電導状態を示す（Ｌａ、’ Ｂａ） ２ｃ
ｕ ０４が発見され、続いて、１９８７年には、チュー
等によって９０’に台の超電導臨界温度Ｔｃを有するＹ
Ｂａ２Ｃｕ３０ｙが発見され、更に、１９８８年には前
日等によって１００に以上の臨界温度を示す所謂Ｂｉ系
の複合酸化物系超電導材料が発見された。これらの一連
の複合酸化物系超電導材料では、廉価な液体窒素による
冷却で超電導現象を実現することができるので、超電導
技術の実用的な応用の可能性が俄に取り沙汰されるよう
になった。
超電導特有の現象が有利に作用するという点ではマイク
ロ波部品も例外ではない。即ち、一般に、ストリップ線
路では、周波数の平方根に比例して導体の抵抗による減
衰定数が増大する。また、周波数の増大に比例して誘電
体損も増加するが、近年のス） ＩＪツブ線路では、誘
電体材料の改良により、特に１０ＧＨｚ以下の領域では
、ス）ＩＪツブ線路の損失は、専ら導体層の抵抗に起因
するものが大部分を占めている。従って、ストリップ線
路における導体層の抵抗を低減することは、ストリップ
線路の性能を著しく向上することになる。
ロ波部品も例外ではない。即ち、一般に、ストリップ線
路では、周波数の平方根に比例して導体の抵抗による減
衰定数が増大する。また、周波数の増大に比例して誘電
体損も増加するが、近年のス） ＩＪツブ線路では、誘
電体材料の改良により、特に１０ＧＨｚ以下の領域では
、ス）ＩＪツブ線路の損失は、専ら導体層の抵抗に起因
するものが大部分を占めている。従って、ストリップ線
路における導体層の抵抗を低減することは、ストリップ
線路の性能を著しく向上することになる。
また、ストリップ線路は、単純な伝送路としての用途の
他に、適切なパターニングを行うことによって、インダ
クタンス素子、フィルタ、共振器、デイレイライン、方
向性結合器、ハイブリッド等のマイクロ波部品を構成す
ることができる。従って、ストリップ線路の改良は、そ
のまま、これらのマイクロ波部品の特性改善となる。
他に、適切なパターニングを行うことによって、インダ
クタンス素子、フィルタ、共振器、デイレイライン、方
向性結合器、ハイブリッド等のマイクロ波部品を構成す
ることができる。従って、ストリップ線路の改良は、そ
のまま、これらのマイクロ波部品の特性改善となる。
第３図は、酸化物超電導薄膜を導体材料として使用した
マイクロ波部品の典型的な構成を示す断面図である。
マイクロ波部品の典型的な構成を示す断面図である。
同図に示すように、このマイクロ波部品は、酸化物超電
導薄膜をパターニングして形成された超電導導体線路１
を搭載した第１基板２と、酸化物超電導薄膜により形成
された超電導接地導体３を全面に搭載した第２基板４と
を、パッケージ５ａ内に重ねて収容した後、カバー５ｂ
によってパッケージ５ａを封止して構成されている。尚
、図示されていないが、実際には、超電導導体線路１に
対してマイクロ波を導入するためのリード線等がパッケ
ージ５ａまたはカバー５ｂを貫通して設けられている。
導薄膜をパターニングして形成された超電導導体線路１
を搭載した第１基板２と、酸化物超電導薄膜により形成
された超電導接地導体３を全面に搭載した第２基板４と
を、パッケージ５ａ内に重ねて収容した後、カバー５ｂ
によってパッケージ５ａを封止して構成されている。尚
、図示されていないが、実際には、超電導導体線路１に
対してマイクロ波を導入するためのリード線等がパッケ
ージ５ａまたはカバー５ｂを貫通して設けられている。
ここで、この超電導マイクロ波部品が２枚の基板を使用
した構成となっているのは、以下のような理由によるも
のである。
した構成となっているのは、以下のような理由によるも
のである。
即ち、一般にマイクロ波部品は、誘電体を介して形成さ
れた導体線路と接地導体とを必須の構成要件としている
。一方、超電導マイクロ波部品において導体線路または
接地導体を構成する酸化物超電導体は、特に薄膜として
優れた特性を備えたものが合成される。しかしながら、
１枚の基板の表裏に特性のそろった酸化物超電導薄膜を
成膜する技術は高度な成膜操作を必要とし、今のところ
実用的なレベルには達していない。そこで、導体線路と
接地導体とをそれぞれ別の基板上に形成した後、これを
重ねて使用することにより、酸化物超電導薄膜を使用し
たマイクロ波部品が実現される。
れた導体線路と接地導体とを必須の構成要件としている
。一方、超電導マイクロ波部品において導体線路または
接地導体を構成する酸化物超電導体は、特に薄膜として
優れた特性を備えたものが合成される。しかしながら、
１枚の基板の表裏に特性のそろった酸化物超電導薄膜を
成膜する技術は高度な成膜操作を必要とし、今のところ
実用的なレベルには達していない。そこで、導体線路と
接地導体とをそれぞれ別の基板上に形成した後、これを
重ねて使用することにより、酸化物超電導薄膜を使用し
たマイクロ波部品が実現される。
発明が解決しようとする課題
ところが、第３図に示したような構造の超電導マイクロ
波部品を実際に作製しても、所期の特性を発揮しないか
あるいは極端に損失が大きく、側底使用することができ
ないものであることが判明した。
波部品を実際に作製しても、所期の特性を発揮しないか
あるいは極端に損失が大きく、側底使用することができ
ないものであることが判明した。
そこで、本発明は、上記従来技術の問題点を解決し、酸
化物超電導材料の特性が有効に発揮される新規な構成の
マイクロ波部品を提供することをその目的としている。
化物超電導材料の特性が有効に発揮される新規な構成の
マイクロ波部品を提供することをその目的としている。
課題を解決するための手段
即ち、本発明に従うと、酸化物超電導薄膜により形成さ
れた超電導導体線路を搭載した第１基板と、酸化物超電
導薄膜により形成された超電導接地導体を搭載した第２
基板と、該第１および第２の基板を平行に重ねて収容す
る金属製パッケージとを備え、該第１および第２の基板
に搭載された該超電導導体線路と該超電導接地導体とに
より形成されたマイクロ波線路を含む超電導マイクロ波
部品において、該第２基板が該第１基板よりも広く形成
されており、該第２基板を収容するために該パッケージ
の内面に形成された段差に対して、該第２基板に搭載さ
れた該超電導接地導体の表面周縁部が面接触するように
構成されていることを特徴とするマイクロ波部品が提供
される。
れた超電導導体線路を搭載した第１基板と、酸化物超電
導薄膜により形成された超電導接地導体を搭載した第２
基板と、該第１および第２の基板を平行に重ねて収容す
る金属製パッケージとを備え、該第１および第２の基板
に搭載された該超電導導体線路と該超電導接地導体とに
より形成されたマイクロ波線路を含む超電導マイクロ波
部品において、該第２基板が該第１基板よりも広く形成
されており、該第２基板を収容するために該パッケージ
の内面に形成された段差に対して、該第２基板に搭載さ
れた該超電導接地導体の表面周縁部が面接触するように
構成されていることを特徴とするマイクロ波部品が提供
される。
作用
本発明に係る超電導マイクロ波部品は、特に、その第２
基板に搭載された超電導接地導体と金属製パッケージと
の連続性を高めた独特の構造を有することをその主要な
特徴としている。
基板に搭載された超電導接地導体と金属製パッケージと
の連続性を高めた独特の構造を有することをその主要な
特徴としている。
即ち、既に第３図に示した従来の構造のマイクロ波パッ
ケージでは、超電導接地導体３は、その側方の端面にお
いてのみケース５ａと接触している。しかしながら、こ
のような僅かな接触では、超電導接地導体３とケース５
ａとの電磁気的な連続性が不十分であり、超電導接地導
体３はその機能を充分に果たしていなかった。
ケージでは、超電導接地導体３は、その側方の端面にお
いてのみケース５ａと接触している。しかしながら、こ
のような僅かな接触では、超電導接地導体３とケース５
ａとの電磁気的な連続性が不十分であり、超電導接地導
体３はその機能を充分に果たしていなかった。
これに対して、本発明に係るマイクロ波部品においては
、その独特の構成により、第２基板上の超電導接地導体
とパッケージとが面で接触しているので、パッケージと
超電導接地導体とが確実に連結されるので、導体として
超電導体を使用した効果が有効に発揮される。
、その独特の構成により、第２基板上の超電導接地導体
とパッケージとが面で接触しているので、パッケージと
超電導接地導体とが確実に連結されるので、導体として
超電導体を使用した効果が有効に発揮される。
尚、上述のような本発明に係るマイクロ波部品において
、超電導導体線路および超電導接地導体を形成する酸化
物超電導材料としては、Ｙ系の複合酸化物の他、ＴＩお
よび／またはＢｉを含む複合酸化物を、特に超電導臨界
温度が高く液体窒素による冷却で超電導化する酸化物超
電導材料として例示することができる。これらの酸化物
超電導体は、ＭｇＯ１ＳｒＴｉＯｈ等の基板上に、薄膜
として形成することができる。また、Ｓｉウェハを下地
基板として、成膜面に適切な酸化物バッファ層を形成し
た基板も使用することができる。更に、誘電体損失の低
い誘電体材料としては、サファイア、ＬａＡ１０ｓ、Ｎ
ｄＧａＯ３、ベリリア、硼珪酸ガラス等も誘電正接ｔａ
ｎδの小さい好ましい材料として例示することができる
。
、超電導導体線路および超電導接地導体を形成する酸化
物超電導材料としては、Ｙ系の複合酸化物の他、ＴＩお
よび／またはＢｉを含む複合酸化物を、特に超電導臨界
温度が高く液体窒素による冷却で超電導化する酸化物超
電導材料として例示することができる。これらの酸化物
超電導体は、ＭｇＯ１ＳｒＴｉＯｈ等の基板上に、薄膜
として形成することができる。また、Ｓｉウェハを下地
基板として、成膜面に適切な酸化物バッファ層を形成し
た基板も使用することができる。更に、誘電体損失の低
い誘電体材料としては、サファイア、ＬａＡ１０ｓ、Ｎ
ｄＧａＯ３、ベリリア、硼珪酸ガラス等も誘電正接ｔａ
ｎδの小さい好ましい材料として例示することができる
。
また、一連の複合酸化物超電導材料は、これを薄膜とし
て成膜する際に、予め基板上にレジストによるマスクを
形成しておくリフトオフ法によって任意のパターンを形
成することができる。また、−旦全面に形成した超電導
導体層を塩酸等によってエツチングするウェットエツチ
ング法によってパターニングすることもできる。これら
の方法によって導体線路を適切にパターニングすること
により、種々のマイクロ波部品を形成することができる
。
て成膜する際に、予め基板上にレジストによるマスクを
形成しておくリフトオフ法によって任意のパターンを形
成することができる。また、−旦全面に形成した超電導
導体層を塩酸等によってエツチングするウェットエツチ
ング法によってパターニングすることもできる。これら
の方法によって導体線路を適切にパターニングすること
により、種々のマイクロ波部品を形成することができる
。
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが
、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎず、本発明の技
術的範囲を何ら限定するものではない。
、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎず、本発明の技
術的範囲を何ら限定するものではない。
実施例
第１図（ａ）およびら）は、本発明に係るマイクロ波部
品の構成を示す断面図である。
品の構成を示す断面図である。
第１図（ａ）に示すマイクロ波部品は、所定のパターン
の酸化物超電導薄膜により形成された超電導導体線路Ｉ
Ｏを搭載した第１基板２０と、やはり酸化物超電導薄膜
により形成された超電導接地導体３０を全面に搭載した
第２基板４０とを、パッケージ５０ａ内に重ねて収容し
た後、カバー５０ｂおよび５０ｃによってパッケージ５
０ａを封止して構成されている。
の酸化物超電導薄膜により形成された超電導導体線路Ｉ
Ｏを搭載した第１基板２０と、やはり酸化物超電導薄膜
により形成された超電導接地導体３０を全面に搭載した
第２基板４０とを、パッケージ５０ａ内に重ねて収容し
た後、カバー５０ｂおよび５０ｃによってパッケージ５
０ａを封止して構成されている。
このマイクロ波部品が従来のものと異なっている点は、
第１基板２０と第２基板４０との寸法が互いに異なって
おり、これに対応してパッケージ５０ａの内面に段差が
形成されていることである。即ち、このマイクロ波部品
においては、第２基板４０は第１基板２０よりも寸法が
大きくなっている。従って、第２基板４０上に搭載され
た超電導接地導体３ｏは、その周縁部でパッケージ５０
ａの段差と接触している。
第１基板２０と第２基板４０との寸法が互いに異なって
おり、これに対応してパッケージ５０ａの内面に段差が
形成されていることである。即ち、このマイクロ波部品
においては、第２基板４０は第１基板２０よりも寸法が
大きくなっている。従って、第２基板４０上に搭載され
た超電導接地導体３ｏは、その周縁部でパッケージ５０
ａの段差と接触している。
尚、このマイクロ波部品では、第２基板４０を下方から
パッケージ５０ａ内に装入するので、パッケージ５０ａ
の底面もカバー５０ｃにより封止するように構成されて
いる。また、図示されていないが、実際には、導体線路
１０に対してマイクロ波を導入するためのリード線等が
パッケージ５０ａまたはカバー５０ｂを貫通して設けら
れている。
パッケージ５０ａ内に装入するので、パッケージ５０ａ
の底面もカバー５０ｃにより封止するように構成されて
いる。また、図示されていないが、実際には、導体線路
１０に対してマイクロ波を導入するためのリード線等が
パッケージ５０ａまたはカバー５０ｂを貫通して設けら
れている。
第１図ら）に示すマイクロ波部品は、基本的には第１図
（ａ）に示したものと同じ構造を有しているが、第１お
よび第２基板２０．４０を共に、下からパッケージ５０
ａに装入する構成となっており、カバー５０ｂが省略さ
れている。即ち、このマイクロ波部品では、パッケージ
５０ａの側壁に、２つの段差５１．５２が形成されてお
り、各基板２０．４０は、それぞれ段差５１．５２とカ
バー５００との間に挟まれて保持される。但し、第１図
（ａ）の場合と同様に、第１基板２０と第２基板４０と
は互いに寸法が異なっており、第２基板４０上に搭載さ
れた超電導接地導体３０はその周縁部でパッケージ５０
ａの段差５１に面接触している。
（ａ）に示したものと同じ構造を有しているが、第１お
よび第２基板２０．４０を共に、下からパッケージ５０
ａに装入する構成となっており、カバー５０ｂが省略さ
れている。即ち、このマイクロ波部品では、パッケージ
５０ａの側壁に、２つの段差５１．５２が形成されてお
り、各基板２０．４０は、それぞれ段差５１．５２とカ
バー５００との間に挟まれて保持される。但し、第１図
（ａ）の場合と同様に、第１基板２０と第２基板４０と
は互いに寸法が異なっており、第２基板４０上に搭載さ
れた超電導接地導体３０はその周縁部でパッケージ５０
ａの段差５１に面接触している。
作製例
第１図（ａ）に示したような断面構造を有するマイクロ
波部品として、超電導マイクロ波共振器を作製してその
特性を測定した。
波部品として、超電導マイクロ波共振器を作製してその
特性を測定した。
第１基板２０としては、１辺が１８ｍｍの正方形で厚さ
が１ｍｍのＭｇＯ基板を使用し、厚さ５０００人のＹ−
Ｂａ−Ｃｕの複合酸化物薄膜により導体線路１０を形成
した。
が１ｍｍのＭｇＯ基板を使用し、厚さ５０００人のＹ−
Ｂａ−Ｃｕの複合酸化物薄膜により導体線路１０を形成
した。
第５図は、この超電導マイクロ波共振器における超電導
導体線路１０のパターンを示す図である。
導体線路１０のパターンを示す図である。
同図に示すように、この超電導マイクロ波共振器では、
共振器となる直径１２ｍｍの円形の超電導導体線路１１
と、この超電導導体線路１１に対してマイクロ波を導入
あるいは導出するための１対の超電導導体線路１２．１
３とを備えている。各導波路は、幅１．１ｍｍ、長さ２
．３ｍｍとした。また、各導波路１２．１３と共振器１
１との間隔は、最も近いところで１．０ｍｍとした。
共振器となる直径１２ｍｍの円形の超電導導体線路１１
と、この超電導導体線路１１に対してマイクロ波を導入
あるいは導出するための１対の超電導導体線路１２．１
３とを備えている。各導波路は、幅１．１ｍｍ、長さ２
．３ｍｍとした。また、各導波路１２．１３と共振器１
１との間隔は、最も近いところで１．０ｍｍとした。
一方、第２基板４０としては、１辺が２０ｍｍの正方形
でやはり厚さが１ｍｍのＭｇＯ基板を使用し、厚さ５０
００人〇Ｙ−Ｂａ−Ｃｕの複合酸化物薄膜により接地導
体３０を形成した。
でやはり厚さが１ｍｍのＭｇＯ基板を使用し、厚さ５０
００人〇Ｙ−Ｂａ−Ｃｕの複合酸化物薄膜により接地導
体３０を形成した。
以上のような２枚の基板２０．４０を、真鍮部のパッケ
ージ５０ａに収容し、やはり真鍮部のカバー５０ｂ、５
０ｃによってパッケージ５０ａを封止した。
ージ５０ａに収容し、やはり真鍮部のカバー５０ｂ、５
０ｃによってパッケージ５０ａを封止した。
第２図は、以上のように作製した超電導マイクロ波共振
器の透過電力の周波数特性をネットワークアナライザに
よって測定した結果を示すグラフである。測定時の温度
は７７にであり、第２図には０．２０１（ｚ〜１０．２
ＧＨｚの範囲の測定結果を示す。同図に示すように、こ
のマイクロ波共振器の周波数特性には、３つの鋭いピー
クが現れている。尚、この超電導マイクロ波共振器のＱ
値を第１表に示す。
器の透過電力の周波数特性をネットワークアナライザに
よって測定した結果を示すグラフである。測定時の温度
は７７にであり、第２図には０．２０１（ｚ〜１０．２
ＧＨｚの範囲の測定結果を示す。同図に示すように、こ
のマイクロ波共振器の周波数特性には、３つの鋭いピー
クが現れている。尚、この超電導マイクロ波共振器のＱ
値を第１表に示す。
第１表
更に、比較のために、第３図に示した従来の構造の超電
導マイクロ波共振器を、同じ材料を使用して作製した。
導マイクロ波共振器を、同じ材料を使用して作製した。
但し、第２基板４は、１辺が１８＋＋＋＋ｎの正方形で
厚さが１ｍｍのＭｇＯ基板とした。また、パッケージ５
ａも、内面に段差の形成されていないものを使用した。
厚さが１ｍｍのＭｇＯ基板とした。また、パッケージ５
ａも、内面に段差の形成されていないものを使用した。
第４図は、この比較例の試料について、作製例と同じ条
件で透過電力の周波数特性を測定した結果を示すグラフ
である。同図に示すように、この超電導マイクロ波共振
器の周波数特性には、顕著なピークはなく、共振器とし
て有効に動作していないことがわかる。尚、この試料は
、有意な共振特性を示さなかったので、Ｑ値を測定する
ことはできなかった。
件で透過電力の周波数特性を測定した結果を示すグラフ
である。同図に示すように、この超電導マイクロ波共振
器の周波数特性には、顕著なピークはなく、共振器とし
て有効に動作していないことがわかる。尚、この試料は
、有意な共振特性を示さなかったので、Ｑ値を測定する
ことはできなかった。
発明の効果
以上詳述のように、本発明によれば、酸化物超電導薄膜
を導体として使用したマイクロ波部品が実現される。
を導体として使用したマイクロ波部品が実現される。
このマイクロ波部品は、廉価な液体窒素による冷却で、
その接地導体並びに導体線路が超電導体となり、導体損
失が極限まで低減される。従って、マイクロ波部品とし
ての特性が著しく向上されると共に、適用可能な周波数
帯域が高周波数側に拡張される。
その接地導体並びに導体線路が超電導体となり、導体損
失が極限まで低減される。従って、マイクロ波部品とし
ての特性が著しく向上されると共に、適用可能な周波数
帯域が高周波数側に拡張される。
第１図（ａ）および（ｂ）は、本発明に係るマイクロ波
部品の構成を示す断面図であり、 第２図は、第１図（ａ）に示した断面構造で作製したマ
イクロ波共振器の特性を示すグラフであり、第３図は、
従来のマイクロ波部品の構成を示す断面図であり、 第４図は、第３図に示した断面構造で作製したマイクロ
波共振器の特性を示すグラフであり、第５図は、本発明
の作製例における導体線路の線路パターンを示す図であ
る。 〔主な参照番号〕 １．１０．１１．１２．１３・・・超電導導体線路、２
．２０・・・第１基板、 ３．３０・・・超電導接地導体、 ４．４０・・・第２基板、 ５ａ、５０ａ・・・パッケージ、 ５ ｂ、 ５０ｂ、 ５０ｃ ・−−カバー、５１．５
２・・・段差 第１図 １０、、、、超伝導導体線路 ２０．、、、第１基板３
０、、、、超伝導接地導体 ４０．、、、第２基板５０
ａ、、、、パッケージ ５０ｂ、５０ｃ、、、、カバ
ー５１．５２．、、、段差 第２図 ０．２ ５．２ １
０．２第４図 ８波ｆｉ（ＧＨｚ） ０．２ ５．２ １
０．２周波数（ＧＨｚ） 第３図 第５図
部品の構成を示す断面図であり、 第２図は、第１図（ａ）に示した断面構造で作製したマ
イクロ波共振器の特性を示すグラフであり、第３図は、
従来のマイクロ波部品の構成を示す断面図であり、 第４図は、第３図に示した断面構造で作製したマイクロ
波共振器の特性を示すグラフであり、第５図は、本発明
の作製例における導体線路の線路パターンを示す図であ
る。 〔主な参照番号〕 １．１０．１１．１２．１３・・・超電導導体線路、２
．２０・・・第１基板、 ３．３０・・・超電導接地導体、 ４．４０・・・第２基板、 ５ａ、５０ａ・・・パッケージ、 ５ ｂ、 ５０ｂ、 ５０ｃ ・−−カバー、５１．５
２・・・段差 第１図 １０、、、、超伝導導体線路 ２０．、、、第１基板３
０、、、、超伝導接地導体 ４０．、、、第２基板５０
ａ、、、、パッケージ ５０ｂ、５０ｃ、、、、カバ
ー５１．５２．、、、段差 第２図 ０．２ ５．２ １
０．２第４図 ８波ｆｉ（ＧＨｚ） ０．２ ５．２ １
０．２周波数（ＧＨｚ） 第３図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 酸化物超電導薄膜により形成された超電導導体線路を
搭載した第１基板と、酸化物超電導薄膜により形成され
た超電導接地導体を搭載した第２基板と、該第１および
第２の基板を平行に重ねて収容する金属製パッケージと
を備え、該第１および第２の基板に搭載された該超電導
導体線路と該超電導接地導体とにより形成されたマイク
ロ波線路を含む超電導マイクロ波部品において、 該第２基板が該第１基板よりも広く形成されており、
該第２基板を収容するために該パッケージの内面に形成
された段差に対して、該第２基板に搭載された該超電導
接地導体の表面周縁部が面接触するように構成されてい
ることを特徴とするマイクロ波部品。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2291195A JP2567517B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 超電導マイクロ波部品 |
| CA002054346A CA2054346C (en) | 1990-10-29 | 1991-10-28 | Superconducting microwave parts |
| EP19910118489 EP0483784A3 (en) | 1990-10-29 | 1991-10-29 | Superconducting microwave parts |
| US08/353,344 US5496797A (en) | 1990-10-29 | 1994-12-05 | Superconducting microwave parts having a package, two substrates, and line and grounding conductors |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2291195A JP2567517B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 超電導マイクロ波部品 |
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|---|---|
| JPH04165702A true JPH04165702A (ja) | 1992-06-11 |
| JP2567517B2 JP2567517B2 (ja) | 1996-12-25 |
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|---|---|---|---|
| JP2291195A Expired - Fee Related JP2567517B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 超電導マイクロ波部品 |
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- 1990-10-29 JP JP2291195A patent/JP2567517B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
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- 1991-10-29 EP EP19910118489 patent/EP0483784A3/en not_active Withdrawn
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1994
- 1994-12-05 US US08/353,344 patent/US5496797A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0483784A3 (en) | 1992-08-26 |
| EP0483784A2 (en) | 1992-05-06 |
| US5496797A (en) | 1996-03-05 |
| JP2567517B2 (ja) | 1996-12-25 |
| CA2054346A1 (en) | 1992-04-30 |
| CA2054346C (en) | 2000-06-13 |
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