JPH041678Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH041678Y2 JPH041678Y2 JP1983082729U JP8272983U JPH041678Y2 JP H041678 Y2 JPH041678 Y2 JP H041678Y2 JP 1983082729 U JP1983082729 U JP 1983082729U JP 8272983 U JP8272983 U JP 8272983U JP H041678 Y2 JPH041678 Y2 JP H041678Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pure water
- heating element
- pipe
- circumferential side
- piping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
- General Induction Heating (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は、純水加熱ヒータの改良に関するもの
である。
である。
従来の技術
一般に、純水は半導体ウエハの洗浄や医療分
析、石油化学用溶媒等として大量に使用されてい
るが、その洗浄、反応効果を高めるためには純水
を高温水にすることが必要である。
析、石油化学用溶媒等として大量に使用されてい
るが、その洗浄、反応効果を高めるためには純水
を高温水にすることが必要である。
従来、この流体を加熱するヒータとしては高周
波誘導加熱を行う円筒形コイルの内側に直線状の
金属管を装填し、或いは蛇行状、スパイラル状に
曲げ形成された金属管を装填することにより、金
属管を高周波誘導加熱で発熱させると共に径内を
流動する流体に熱伝達させて加熱するものが知ら
れている（実開昭51−41749号）。また、この他
に、流体を流動する配管を電気絶縁材で形成し、
その配管の径内に鉄、銅等の金属粒を局部に多数
充填すると共に、当該部位を円筒形コイルの内側
に挿置させて円筒形コイルによる高周波誘導で加
熱することにより配管の径内に流動する流体を金
属粒で加熱するものも知られている（実開昭51−
34732号）。
波誘導加熱を行う円筒形コイルの内側に直線状の
金属管を装填し、或いは蛇行状、スパイラル状に
曲げ形成された金属管を装填することにより、金
属管を高周波誘導加熱で発熱させると共に径内を
流動する流体に熱伝達させて加熱するものが知ら
れている（実開昭51−41749号）。また、この他
に、流体を流動する配管を電気絶縁材で形成し、
その配管の径内に鉄、銅等の金属粒を局部に多数
充填すると共に、当該部位を円筒形コイルの内側
に挿置させて円筒形コイルによる高周波誘導で加
熱することにより配管の径内に流動する流体を金
属粒で加熱するものも知られている（実開昭51−
34732号）。
考案が解決しようとする課題
然し、上述したヒータのうち、直線状の金属管
を加熱体として備えるものでは流体が何らの抵抗
も受けずに径内を流通してしまうところから、加
熱効率に鑑みると余り良好なものとはいえない。
また、蛇行状、スパイラル状に曲げ成形された金
属管を加熱体として備えるものでは加熱効率を多
少高め得るものの、流体を長い経路に沿つて流動
させなければならないから高温水を得るのに時間
が掛る。
を加熱体として備えるものでは流体が何らの抵抗
も受けずに径内を流通してしまうところから、加
熱効率に鑑みると余り良好なものとはいえない。
また、蛇行状、スパイラル状に曲げ成形された金
属管を加熱体として備えるものでは加熱効率を多
少高め得るものの、流体を長い経路に沿つて流動
させなければならないから高温水を得るのに時間
が掛る。
これに対し、発熱体として多数の金属粒を金属
管の径内に装填したものでは金属粒が流体を滞留
させる抵抗となつて流体との接触時間を相対的に
長く保てるところから流体を効率よく加熱できる
が、流体流れを金属粒で極度に滞留させるために
高温水を得るのには時間が掛ることになる。
管の径内に装填したものでは金属粒が流体を滞留
させる抵抗となつて流体との接触時間を相対的に
長く保てるところから流体を効率よく加熱できる
が、流体流れを金属粒で極度に滞留させるために
高温水を得るのには時間が掛ることになる。
また、上述した従来例はいずれも流体の加熱体
として金属管乃至は金属粒を装備するものである
ため、金属イオン等の不純物が混入するのを避け
なければならない純水の加熱手段としては好まし
くない。
として金属管乃至は金属粒を装備するものである
ため、金属イオン等の不純物が混入するのを避け
なければならない純水の加熱手段としては好まし
くない。
茲において、本考案は純水を効率よく加熱でき
て短時間に高温水を得ることができ、また、金属
イオン等の不純物が混入するのも防げる純粋加熱
ヒータを提供することを目的とする。
て短時間に高温水を得ることができ、また、金属
イオン等の不純物が混入するのも防げる純粋加熱
ヒータを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
本考案に係る純水加熱ヒータにおいては、配管
の外周に巻装配置される高周波発生コイルによる
高周波伝搬で発熱する炭化珪素から周側面が円弧
形に湾曲する断面流線形の発熱体を形成し、その
尖端部を配管の中心軸に相応させて前後に位置
し、且つ、周側面と配管の径内面との間に純水が
流動する間隔を隔てて塩ビ、石英等の絶縁パイプ
で形成された配管の流路内に取り付けることによ
り構成されている。
の外周に巻装配置される高周波発生コイルによる
高周波伝搬で発熱する炭化珪素から周側面が円弧
形に湾曲する断面流線形の発熱体を形成し、その
尖端部を配管の中心軸に相応させて前後に位置
し、且つ、周側面と配管の径内面との間に純水が
流動する間隔を隔てて塩ビ、石英等の絶縁パイプ
で形成された配管の流路内に取り付けることによ
り構成されている。
作 用
この純水加熱ヒータでは尖端部を配管の中心軸
に相応させて前後に位置すると共に、周側面との
間に純水が流動する間隔を隔てて周側面が円弧状
に湾曲する断面流線形の発熱体を配管の流路中に
取付けるものであるから、純水を発熱体の長手方
向周側面に沿つて流動させることにより発熱体の
広面積に長時間接触させ得て純水を効率よく加熱
できるばかりでなく、その途上に発熱体の流線形
に形成された中央部分で流体の流動間隔が狭間に
なるから純水を多少滞留させることになつて更に
加熱効率を増大することができる。また、この純
水は周側面が円弧形に湾曲する発熱体に沿つて流
動するから速やかに流動させるようにでき、特に
発熱体の最も膨出する中間部分から前方側の尖端
部に向けてスムースに流動すると共に発熱体の熱
を奪うことにより高温水を短時間に得ることがで
きる。それに加えて、発熱体が炭化珪素で形成さ
れ、また、配管が塩ビ、石英等の絶縁パイプで形
成されているので、金属イオン等の不純物が純水
中に混入するのも防ぐことができる。
に相応させて前後に位置すると共に、周側面との
間に純水が流動する間隔を隔てて周側面が円弧状
に湾曲する断面流線形の発熱体を配管の流路中に
取付けるものであるから、純水を発熱体の長手方
向周側面に沿つて流動させることにより発熱体の
広面積に長時間接触させ得て純水を効率よく加熱
できるばかりでなく、その途上に発熱体の流線形
に形成された中央部分で流体の流動間隔が狭間に
なるから純水を多少滞留させることになつて更に
加熱効率を増大することができる。また、この純
水は周側面が円弧形に湾曲する発熱体に沿つて流
動するから速やかに流動させるようにでき、特に
発熱体の最も膨出する中間部分から前方側の尖端
部に向けてスムースに流動すると共に発熱体の熱
を奪うことにより高温水を短時間に得ることがで
きる。それに加えて、発熱体が炭化珪素で形成さ
れ、また、配管が塩ビ、石英等の絶縁パイプで形
成されているので、金属イオン等の不純物が純水
中に混入するのも防ぐことができる。
実施例
以下、添付図面を参照して説明すれば、次の通
りである。
りである。
この純水加熱ヒータは、半導体ウエハ等を洗浄
する温水を得るものとして構成されている。その
加熱ヒータは第１図で示すように塩ビ、石英等の
絶縁パイプで形成された配管１の純水が流動する
径内に発熱体２を装備すると共に、その発熱体２
を高周波伝搬で発熱させる高周波発生コイル３を
配管１の外周に巻装配置することにより構成され
ている。
する温水を得るものとして構成されている。その
加熱ヒータは第１図で示すように塩ビ、石英等の
絶縁パイプで形成された配管１の純水が流動する
径内に発熱体２を装備すると共に、その発熱体２
を高周波伝搬で発熱させる高周波発生コイル３を
配管１の外周に巻装配置することにより構成され
ている。
発熱体２は配管１と同様に金属イオン等のよう
な不純物の発生を伴わない炭化珪素で形成され、
また、第２図で示すように前後の尖端部２ａ，２
ｃから中央部分２ｂに亘って周側面が湾曲する断
面流線形に形成されている。その発熱体２が尖端
部２ａ，２ｃを配管１の中心軸に相応させて前後
に位置し、且つ、周側面と配管１の径内面との間
には純水を流動する間隔ｗを隔てて取付けられて
いる。この取付けにあたつては発熱体２の中央部
分２ｂと配管１の径内面との間に軸承固定する支
軸で左右から支持し、また、純水流れに対して後
部側の尖端部２ａを線材で牽引することにより浮
子状に装着するようにできる。
な不純物の発生を伴わない炭化珪素で形成され、
また、第２図で示すように前後の尖端部２ａ，２
ｃから中央部分２ｂに亘って周側面が湾曲する断
面流線形に形成されている。その発熱体２が尖端
部２ａ，２ｃを配管１の中心軸に相応させて前後
に位置し、且つ、周側面と配管１の径内面との間
には純水を流動する間隔ｗを隔てて取付けられて
いる。この取付けにあたつては発熱体２の中央部
分２ｂと配管１の径内面との間に軸承固定する支
軸で左右から支持し、また、純水流れに対して後
部側の尖端部２ａを線材で牽引することにより浮
子状に装着するようにできる。
このように構成する純水加熱ヒータでは純水を
配管１の径内に流動すると共に、高周波発熱コイ
ル３による高周波電波で発熱体２を発熱すること
により純水を発熱体２に直接接触させて加熱する
ようにできる。その純水が配管１の径内に流動す
るのに伴つては、発熱体２の後部尖端部２ａから
中央部分２ｂを経て前部突端部２ｃに向う発熱体
２の広面積な長手方向周側面に沿つて接触する。
この配管１の径内との流動間隔ｗにおいては後部
尖端部２ａとの広い間隔w1から中央部分2bとの
相対的に狭い間隔w2に至るため、純水は多少流
速を低下させて滞留時間を保つことにより発熱体
２の後部尖端部２ａとの周側面に十分に接触でき
て効率よく加熱できるようになる。更に、その純
水は中央部分2bとの狭間w2から前部尖端部２ｃ
との広い間隔w3に向けて勢いよく速やかに流動
することになり、発熱体２から熱を奪つて短時間
に高温水として得られるようになる。また、この
加熱体に伴つては純水は配管１の径内面並びに発
熱体２の周側面とだけ接触するのみであるから、
金属イオン等の不純物が温水中に混入するのも防
げる。
配管１の径内に流動すると共に、高周波発熱コイ
ル３による高周波電波で発熱体２を発熱すること
により純水を発熱体２に直接接触させて加熱する
ようにできる。その純水が配管１の径内に流動す
るのに伴つては、発熱体２の後部尖端部２ａから
中央部分２ｂを経て前部突端部２ｃに向う発熱体
２の広面積な長手方向周側面に沿つて接触する。
この配管１の径内との流動間隔ｗにおいては後部
尖端部２ａとの広い間隔w1から中央部分2bとの
相対的に狭い間隔w2に至るため、純水は多少流
速を低下させて滞留時間を保つことにより発熱体
２の後部尖端部２ａとの周側面に十分に接触でき
て効率よく加熱できるようになる。更に、その純
水は中央部分2bとの狭間w2から前部尖端部２ｃ
との広い間隔w3に向けて勢いよく速やかに流動
することになり、発熱体２から熱を奪つて短時間
に高温水として得られるようになる。また、この
加熱体に伴つては純水は配管１の径内面並びに発
熱体２の周側面とだけ接触するのみであるから、
金属イオン等の不純物が温水中に混入するのも防
げる。
考案の効果
以上の如く、本考案に係る純水加熱ヒータに依
れば、純水を効率よく加熱させて短時間に純粋な
高温水として得ることを可能にするものである。
れば、純水を効率よく加熱させて短時間に純粋な
高温水として得ることを可能にするものである。
第１図は本考案に係る純水加熱ヒータの説明
図、第２図は同ヒータの発熱体を示す断面図であ
る。 １……配管、２……発熱体、２ａ，２ｃ……発
熱体の尖端部、２ｂ……発熱体の中央部分、３…
…高周波発生コイル。
図、第２図は同ヒータの発熱体を示す断面図であ
る。 １……配管、２……発熱体、２ａ，２ｃ……発
熱体の尖端部、２ｂ……発熱体の中央部分、３…
…高周波発生コイル。
Claims (1)
- 配管の外周に巻装配置される高周波発生コイル
による高周波伝搬で発熱する炭化珪素から周側面
が円弧形に湾曲する断面流線形の発熱体を形成
し、その尖端部を配管の中心軸に相応させて前後
に位置し、且つ、周側面と配管の径内面との間に
純水が流動する間隔を隔てて塩ビ、石英等の絶縁
パイプで形成された配管の流路内に取付けたこと
を特徴とする純水加熱ヒーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8272983U JPS59187090U (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 純水加熱ヒ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8272983U JPS59187090U (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 純水加熱ヒ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59187090U JPS59187090U (ja) | 1984-12-12 |
| JPH041678Y2 true JPH041678Y2 (ja) | 1992-01-21 |
Family
ID=30212684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8272983U Granted JPS59187090U (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 純水加熱ヒ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59187090U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2589789Y2 (ja) * | 1991-02-15 | 1999-02-03 | シスメックス株式会社 | 試料分析装置用の液温調整装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5141749U (ja) * | 1974-09-06 | 1976-03-27 | ||
| JPS5134732U (ja) * | 1974-09-06 | 1976-03-15 |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP8272983U patent/JPS59187090U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59187090U (ja) | 1984-12-12 |
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