JPH04170041A - プロービング装置 - Google Patents
プロービング装置Info
- Publication number
- JPH04170041A JPH04170041A JP29752490A JP29752490A JPH04170041A JP H04170041 A JPH04170041 A JP H04170041A JP 29752490 A JP29752490 A JP 29752490A JP 29752490 A JP29752490 A JP 29752490A JP H04170041 A JPH04170041 A JP H04170041A
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- Japan
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- wafer
- carrier
- temperature baking
- wafers
- integrated circuit
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- Pending
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 85
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 26
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 7
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 4
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 15
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体ウェーへ面に形成された集積回路領域
（以下単にペレットと呼ぶ）の電気特性を測定するプロ
ービング装置に関し、特に不良ペレットにインクマーキ
ングを行なう機能を有するプロービング装置に関する。
（以下単にペレットと呼ぶ）の電気特性を測定するプロ
ービング装置に関し、特に不良ペレットにインクマーキ
ングを行なう機能を有するプロービング装置に関する。
第４図は従来のプロービング装置の一例を説明するため
のプロービング装置の一部を示す斜視図である。
のプロービング装置の一部を示す斜視図である。
従来、この種のウェーハプロービング装置は、第４図に
示すように、ペレット１が多数形成されたウェーハ５を
搭載するウェーハチャック３と、不良ペレットにマーキ
ングするインクマーカ２と、ウェーハチャック３にウェ
ーハ５を受け渡しするウェーハ搬送部６と、ベルト搬送
装置を介してウェーハ５を受け渡しをするキャリア４と
、ベレット１に接触して電気特性を測定する７０−ブ（
図示せず）と、プローブと接続する測定器本体（図示せ
ず）とを有していた。
示すように、ペレット１が多数形成されたウェーハ５を
搭載するウェーハチャック３と、不良ペレットにマーキ
ングするインクマーカ２と、ウェーハチャック３にウェ
ーハ５を受け渡しするウェーハ搬送部６と、ベルト搬送
装置を介してウェーハ５を受け渡しをするキャリア４と
、ベレット１に接触して電気特性を測定する７０−ブ（
図示せず）と、プローブと接続する測定器本体（図示せ
ず）とを有していた。
次に、プロービング装置の動作について説明する。まず
、キャリア４から搬送されたウェーハ５をウェーハ搬送
部６でウェーハチャック３に移載され、位置決めされた
後固定保持される１次に、ウェーハチャック３のＸＹＺ
駆動機構によって、ウェーハ５は、ベレット１毎にステ
ップ移動され、ベレットｌにプローブを接触させ、電気
的特性を測定する。このとき、測定したベレットが不良
である場合、その不良品のベレットｌは、インクマーカ
２によってマーキングされる。
、キャリア４から搬送されたウェーハ５をウェーハ搬送
部６でウェーハチャック３に移載され、位置決めされた
後固定保持される１次に、ウェーハチャック３のＸＹＺ
駆動機構によって、ウェーハ５は、ベレット１毎にステ
ップ移動され、ベレットｌにプローブを接触させ、電気
的特性を測定する。このとき、測定したベレットが不良
である場合、その不良品のベレットｌは、インクマーカ
２によってマーキングされる。
次に、ウェーハ５上の全てのベレット１の測定を終了す
ると、ウェーハ搬送部６によってウェーハ５はキャリア
４に戻される。このように、キャリア４内の全てのウェ
ーハについて前述の動作を繰り返し行い、キャリア４内
のウェーハの全ての検査を終了する。
ると、ウェーハ搬送部６によってウェーハ５はキャリア
４に戻される。このように、キャリア４内の全てのウェ
ーハについて前述の動作を繰り返し行い、キャリア４内
のウェーハの全ての検査を終了する。
第５図は高温ベーク装置を示す斜視図である。
次に、全ての検査が終了したウェーハを収納するキャリ
ア４から耐熱性キャリア１８に移し替えた後、プロービ
ング装置とは独立した別の装置、すなわち、第５図の高
温ベーク装置にウェーハをキャリア１８ごと収納し、一
定時間加熱し、ウェーハ５上の不良品ベレット１のマー
キングのインクを乾燥させる。
ア４から耐熱性キャリア１８に移し替えた後、プロービ
ング装置とは独立した別の装置、すなわち、第５図の高
温ベーク装置にウェーハをキャリア１８ごと収納し、一
定時間加熱し、ウェーハ５上の不良品ベレット１のマー
キングのインクを乾燥させる。
次に、一定時間経過後、キャリア１８ごとに、高温ベー
ク装置から取り出し、ウェーハが常温に戻るまで、クリ
ーンルーム内に自然放置する。このような経過を経て、
ウェーハのＰ／Ｗチェック工程が終了となる。
ク装置から取り出し、ウェーハが常温に戻るまで、クリ
ーンルーム内に自然放置する。このような経過を経て、
ウェーハのＰ／Ｗチェック工程が終了となる。
上述した従来のプロービング装置は、インクマーキング
の乾燥には、プロービング装置とは離れた場所に設置さ
れた高温ベーク装置で処理しているので、次のような欠
点がある。
の乾燥には、プロービング装置とは離れた場所に設置さ
れた高温ベーク装置で処理しているので、次のような欠
点がある。
（１）インクの乾燥専用の乾燥装置が離れた場所に設置
されているので、設置するための床面積が必要となる。
されているので、設置するための床面積が必要となる。
（２）装置間で行なわれるウェーハの移替え、運搬を必
要とするため、不必要な工数が増加し、この運搬及び移
替え作業によるウェーハへのごみの付着あるいはきすの
発生を起し、ベレットの品質。
要とするため、不必要な工数が増加し、この運搬及び移
替え作業によるウェーハへのごみの付着あるいはきすの
発生を起し、ベレットの品質。
歩留りの低下の要因となる。
本発明の目的は、かかる欠点を解消し、不要なウェーハ
の移し替えや、ウェーハの運搬をすることのないプロー
ビング装置を提供することにある。
の移し替えや、ウェーハの運搬をすることのないプロー
ビング装置を提供することにある。
本発明のプロービング装置は、集積回路領域は、縦横に
並べて複数形成されたウェーハを搭載するウェーハチャ
ックと、前譜己集積回路領域の入出力端子と接触するプ
ローブと、このプローブと接続する測定器本体と、不良
の前記集積回路値域にインクを塗布してマーキングする
インクマーカと、前記ウェーハを前記ウェーハチャック
と受け渡しするウェーハ搬送部と、前記ウェーハを出し
入れするキャリアとを備えるプロービング装置において
、インクでマーキングされた前記集積回路領域を誉む前
記ウェーハを加熱する高温ベーク部と、この高温ベーク
部より取出される前記ウェーハを冷却する冷却部と備え
、前記不良集積回路領域を含む前記ウェーハを順に前記
高温ベーク部と前記冷却部とに収納させた後、前記カセ
ットに収納させることを特徴としている。
並べて複数形成されたウェーハを搭載するウェーハチャ
ックと、前譜己集積回路領域の入出力端子と接触するプ
ローブと、このプローブと接続する測定器本体と、不良
の前記集積回路値域にインクを塗布してマーキングする
インクマーカと、前記ウェーハを前記ウェーハチャック
と受け渡しするウェーハ搬送部と、前記ウェーハを出し
入れするキャリアとを備えるプロービング装置において
、インクでマーキングされた前記集積回路領域を誉む前
記ウェーハを加熱する高温ベーク部と、この高温ベーク
部より取出される前記ウェーハを冷却する冷却部と備え
、前記不良集積回路領域を含む前記ウェーハを順に前記
高温ベーク部と前記冷却部とに収納させた後、前記カセ
ットに収納させることを特徴としている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は、本発明のウェーハプロービング装置の一実施
例における構成を示す斜視図である。このプロービング
装置は、同図に示すように、ウェーハ５を収納して加熱
する高温ベーク部７と、加熱されたウェーハ５を収納し
、冷却する冷却部８とを設けたことである。それ以外は
従来例と同じである。
例における構成を示す斜視図である。このプロービング
装置は、同図に示すように、ウェーハ５を収納して加熱
する高温ベーク部７と、加熱されたウェーハ５を収納し
、冷却する冷却部８とを設けたことである。それ以外は
従来例と同じである。
第２図は第１図の高温ベーク部を示す分解斜視図である
。また、高温ベーク部７は、第２図に示すように、ヒー
タ１１を内蔵するとともに真空吸着穴１２が形成される
熱板１３と、ウェーハを熱板１３より離脱させるととも
に熱板１３にはめ込まれるビン１０ａと、熱板１３を上
下動させるエアシリンダ１４ａと、熱板１３を覆う上部
カバー９ａと、熱板の温度を検出する温度センサ１５ａ
とを有している。
。また、高温ベーク部７は、第２図に示すように、ヒー
タ１１を内蔵するとともに真空吸着穴１２が形成される
熱板１３と、ウェーハを熱板１３より離脱させるととも
に熱板１３にはめ込まれるビン１０ａと、熱板１３を上
下動させるエアシリンダ１４ａと、熱板１３を覆う上部
カバー９ａと、熱板の温度を検出する温度センサ１５ａ
とを有している。
第３図は第１図の冷却部を示す分解斜視図である。さら
に、冷却部８は、第３図に示すように、冷却水配管１ｂ
を内蔵するとともにウェーハ吸着用の真空吸着穴１２が
形成される冷却板１７と、ウェーハを冷却板１７より離
脱させるとともに冷却板１７にはめ込まれるビン１０ｂ
と、冷却板１７を上下動させるエアシリンダ１４ｂと、
冷却板１７を覆う上部カバー９ｂと、冷却板１７の温度
を検出する温度センサ１５ｂとを有している。
に、冷却部８は、第３図に示すように、冷却水配管１ｂ
を内蔵するとともにウェーハ吸着用の真空吸着穴１２が
形成される冷却板１７と、ウェーハを冷却板１７より離
脱させるとともに冷却板１７にはめ込まれるビン１０ｂ
と、冷却板１７を上下動させるエアシリンダ１４ｂと、
冷却板１７を覆う上部カバー９ｂと、冷却板１７の温度
を検出する温度センサ１５ｂとを有している。
次に、このプロービング装置の動作について説明する。
まず、従来例で説明したのと同じように、ベレット１を
プローブで接触させ、電気特性を測定する。このとき、
このベレットが不良であれば、インクマーカはこのベレ
ットにマーキングする０次に、同様に繰返して各ベレッ
トを検査し、−枚のウェーハ５の検査を終了する０次に
ベレット１がマーキングされたウェーハ５はウェーハ搬
送部６によって、第２図に示す高温ベーク部のビン１０
ａの上に乗せられる０次に、ビン１０ａが下降し、ウェ
ーハは、真空吸着穴１２によって熱板１３に吸着される
０次に、エアシリンダ１４ａより熱板１３が上昇し、上
部カバー９ａと熱板１３と協動して、ウェーハを覆う。
プローブで接触させ、電気特性を測定する。このとき、
このベレットが不良であれば、インクマーカはこのベレ
ットにマーキングする０次に、同様に繰返して各ベレッ
トを検査し、−枚のウェーハ５の検査を終了する０次に
ベレット１がマーキングされたウェーハ５はウェーハ搬
送部６によって、第２図に示す高温ベーク部のビン１０
ａの上に乗せられる０次に、ビン１０ａが下降し、ウェ
ーハは、真空吸着穴１２によって熱板１３に吸着される
０次に、エアシリンダ１４ａより熱板１３が上昇し、上
部カバー９ａと熱板１３と協動して、ウェーハを覆う。
次に、密封されたウェーハは加熱され、一定時間処理後
、エアシリンダ１４ａより熱板１３が下降し、上部カバ
ー９ａと熱板１３は離間する。真空吸着を開放し、ビン
１０ａを上昇させて、熱板１３からウェーハを離す０次
に、ウェーハ搬送部６によりウェーハを高温ベーク部よ
り取出す。
、エアシリンダ１４ａより熱板１３が下降し、上部カバ
ー９ａと熱板１３は離間する。真空吸着を開放し、ビン
１０ａを上昇させて、熱板１３からウェーハを離す０次
に、ウェーハ搬送部６によりウェーハを高温ベーク部よ
り取出す。
次に、ウェーハ搬送部６によりウェーハを第３図に示す
冷却部のビン１０ｂ上にウェーハを移載する０次に、ビ
ン１０ｂを下降させ、真空吸着する０次に、エアシリン
ダ１４ｂを上昇させ、上部カバー９ｂを冷却板１７に被
せ、ウェーハを強制°冷却する０次に、一定時間処理後
、エアシリンダ１４ｂを下降させ、上部カバー９ｂと冷
却板１７と離間させ、真空吸着を開放させる。次にビン
１０ｂを上昇させ、ウェーハ冷却板１７より離脱させる
０次に、ウェーハ搬送部６によりウェーハを冷却部８よ
り取出し、ベルト搬送装置に移載し、キャリア４にウェ
ーハ５を収納する。このように、キャリア４内にあるウ
ェーハ５を取出し、ベレットを検査し、検査が終了した
ウェーハ５は、順次、高温ベーク部７及び冷却部に送ら
れ、処理され、キャリア４に収納される。また、ベレッ
トで不良のないウェーハは、直接キャリアに収納される
。
冷却部のビン１０ｂ上にウェーハを移載する０次に、ビ
ン１０ｂを下降させ、真空吸着する０次に、エアシリン
ダ１４ｂを上昇させ、上部カバー９ｂを冷却板１７に被
せ、ウェーハを強制°冷却する０次に、一定時間処理後
、エアシリンダ１４ｂを下降させ、上部カバー９ｂと冷
却板１７と離間させ、真空吸着を開放させる。次にビン
１０ｂを上昇させ、ウェーハ冷却板１７より離脱させる
０次に、ウェーハ搬送部６によりウェーハを冷却部８よ
り取出し、ベルト搬送装置に移載し、キャリア４にウェ
ーハ５を収納する。このように、キャリア４内にあるウ
ェーハ５を取出し、ベレットを検査し、検査が終了した
ウェーハ５は、順次、高温ベーク部７及び冷却部に送ら
れ、処理され、キャリア４に収納される。また、ベレッ
トで不良のないウェーハは、直接キャリアに収納される
。
以上説明したように、本発明のプロービング装置によれ
ば従来、ウェーハのキャリアの移し替え及びキャリアの
運搬による構成が削減し得ることと、これら作業による
ウェーハへのごみの付着。
ば従来、ウェーハのキャリアの移し替え及びキャリアの
運搬による構成が削減し得ることと、これら作業による
ウェーハへのごみの付着。
ウェーハ面のきすの発生は全く認められなかった。
以上説明したように本発明は、ウェーハにマーキングさ
れたインクを乾燥する高温ベーク乾燥部と、高温のウェ
ーハを冷却する強制冷却部とを付設することによって、
ウェーハをキャリアに移し替えする作業や、キャリアの
運搬作業が不要となり、かつ、これら作業によるウェー
ハへのごみの付着あるいはウェーハへのきすの発生を起
すことのないプロービング装置が得られるという効果が
ある。
れたインクを乾燥する高温ベーク乾燥部と、高温のウェ
ーハを冷却する強制冷却部とを付設することによって、
ウェーハをキャリアに移し替えする作業や、キャリアの
運搬作業が不要となり、かつ、これら作業によるウェー
ハへのごみの付着あるいはウェーハへのきすの発生を起
すことのないプロービング装置が得られるという効果が
ある。
第１図は本発明のプロービング装置の一実施例における
構成を示す斜視図、第２図は第１図の高温ベーク部を示
す分解斜視図、第３図は第１図の冷却部を示す分解斜視
図、第４図は従来のプロービング装置の一例を説明する
ための１０−ビング装置の一部を示す斜視図、第５図は
高温ベーク装置を示す斜視図である。 １・・・ベレット、２・・・インクマーカ、３・・・ウ
エーハチャック、４・・・キャリア、５・・・ウェーハ
、６・・・ウェーハ搬送部、７・・・高温ベーク部、８
・・・冷却部、９ａ、９ｂ・−上部カバー、１０ａ、１
０ｂ−・−ビン、１１・・・ヒータ、１２・・・真空吸
着穴、１３・・・熱板、１４ａ、１４ｂ−・・エアシリ
ンダ、１５ａ。 １５ｂ・・・温度センサ、１６・・・冷却水配管、１７
・・・冷却板。
構成を示す斜視図、第２図は第１図の高温ベーク部を示
す分解斜視図、第３図は第１図の冷却部を示す分解斜視
図、第４図は従来のプロービング装置の一例を説明する
ための１０−ビング装置の一部を示す斜視図、第５図は
高温ベーク装置を示す斜視図である。 １・・・ベレット、２・・・インクマーカ、３・・・ウ
エーハチャック、４・・・キャリア、５・・・ウェーハ
、６・・・ウェーハ搬送部、７・・・高温ベーク部、８
・・・冷却部、９ａ、９ｂ・−上部カバー、１０ａ、１
０ｂ−・−ビン、１１・・・ヒータ、１２・・・真空吸
着穴、１３・・・熱板、１４ａ、１４ｂ−・・エアシリ
ンダ、１５ａ。 １５ｂ・・・温度センサ、１６・・・冷却水配管、１７
・・・冷却板。
Claims (1)
- 集積回路領域は縦横に並べて複数形成されたウェーハ
を搭載するウェーハチャックと、前記集積回路領域の入
出力端子と接触するプローブと、このプローブと接続す
る測定器本体と、不良の前記集積回路領域にインクを塗
布してマーキングするインクマーカと、前記ウェーハを
前記ウェーハチャックと受け渡しするウェーハ搬送部と
、前記ウェーハを出し入れするキャリアとを備えるプロ
ービング装置において、インクでマーキングされた前記
集積回路領域を含む前記ウェーハを加熱する高温ベーク
部と、この高温ベーク部より取出される前記ウェーハを
冷却する冷却部と備え、前記不良集積回路領域を含む前
記ウェーハを順に前記高温ベーク部と前記冷却部とに収
納させた後、前記カセットに収納させることを特徴とす
るプロービング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29752490A JPH04170041A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | プロービング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29752490A JPH04170041A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | プロービング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04170041A true JPH04170041A (ja) | 1992-06-17 |
Family
ID=17847643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29752490A Pending JPH04170041A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | プロービング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04170041A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014154811A (ja) * | 2013-02-13 | 2014-08-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体検査方法 |
-
1990
- 1990-11-02 JP JP29752490A patent/JPH04170041A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014154811A (ja) * | 2013-02-13 | 2014-08-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体検査方法 |
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