JPH0417105A - 垂直薄膜磁気ヘッド - Google Patents
垂直薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH0417105A JPH0417105A JP12236990A JP12236990A JPH0417105A JP H0417105 A JPH0417105 A JP H0417105A JP 12236990 A JP12236990 A JP 12236990A JP 12236990 A JP12236990 A JP 12236990A JP H0417105 A JPH0417105 A JP H0417105A
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- Japan
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- magnetic pole
- tip
- magnetic
- recording medium
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B2005/0002—Special dispositions or recording techniques
- G11B2005/0026—Pulse recording
- G11B2005/0029—Pulse recording using magnetisation components of the recording layer disposed mainly perpendicularly to the record carrier surface
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
記録媒体に対して垂直方向に磁化して記録及び再生を行
う方式の磁気ディスク装置、或いは磁気テープ装置等に
用いられる垂直薄膜磁気ヘッドに関し、 主磁極の一部を構成する磁極盛り上げ層の先端から漏洩
する磁界を主磁極先端部へ誘導する磁極形状とすること
によって、記録媒体に対する書き滲みの発生を解消する
ことを目的とし、補助磁極を構成する磁性基板上に薄膜
コイルを介して先端部が薄い主磁極を配置した垂直磁気
ヘッドにおいて、前記補助磁極となる磁性基板の主磁極
形成面を記録媒体に対し傾斜奎せ、かつ主磁極の薄い先
端部を記録媒体に対し垂直にし、厚い磁極部分を前記磁
性基板の主磁極形成面と平行するように傾斜させた構成
とする。
う方式の磁気ディスク装置、或いは磁気テープ装置等に
用いられる垂直薄膜磁気ヘッドに関し、 主磁極の一部を構成する磁極盛り上げ層の先端から漏洩
する磁界を主磁極先端部へ誘導する磁極形状とすること
によって、記録媒体に対する書き滲みの発生を解消する
ことを目的とし、補助磁極を構成する磁性基板上に薄膜
コイルを介して先端部が薄い主磁極を配置した垂直磁気
ヘッドにおいて、前記補助磁極となる磁性基板の主磁極
形成面を記録媒体に対し傾斜奎せ、かつ主磁極の薄い先
端部を記録媒体に対し垂直にし、厚い磁極部分を前記磁
性基板の主磁極形成面と平行するように傾斜させた構成
とする。
本発明は記録媒体に対して垂直方向に磁化して記録及び
再生を行う方式の磁気ディスク装置、或いは磁気テープ
装置等に用いられる垂直薄膜磁気ヘッドに関するもので
ある。
再生を行う方式の磁気ディスク装置、或いは磁気テープ
装置等に用いられる垂直薄膜磁気ヘッドに関するもので
ある。
近年、コンピュータシステムの外部記憶装置として用い
られている磁気ディスク装置等においては、大容量化、
高密度記録化に伴い、高性能な薄膜磁気ヘッドが要求さ
れ、高密度記録が得られる主磁極励磁型の垂直薄膜磁気
ヘッドが注目されている。
られている磁気ディスク装置等においては、大容量化、
高密度記録化に伴い、高性能な薄膜磁気ヘッドが要求さ
れ、高密度記録が得られる主磁極励磁型の垂直薄膜磁気
ヘッドが注目されている。
このような垂直薄膜磁気ヘッドでは、主磁極の構成によ
り記録媒体への書き滲みが生じ、再生時の孤立再生波形
に歪みが発生する傾向にある。このため、そのような記
録媒体への書き滲みの生じない構成の主磁極を備えた垂
直薄膜磁気ヘッドが必要とされている。
り記録媒体への書き滲みが生じ、再生時の孤立再生波形
に歪みが発生する傾向にある。このため、そのような記
録媒体への書き滲みの生じない構成の主磁極を備えた垂
直薄膜磁気ヘッドが必要とされている。
従来の垂直薄膜磁気ヘッドは、第５図の斜視図及び第６
図の要部断面図で示すように、補助磁極を兼ねるＮｉ−
Ｚｎフェライトなどからなる磁性基板１１上に、熱硬化
性絶縁樹脂等からなる層間絶縁層１２により挟まれた渦
巻状の薄膜コイル１３が配設され、その薄膜コイル１３
上を含む前記磁性基板１１上にＡ ｆｆｉ ２０３、或
いはＳｉＯ□などからなる厚い無機絶縁層１４を介して
、Ｎｉ−Ｆｅからなる薄い膜厚の磁極層１７が配設され
ている。その薄い膜厚の磁極層１７の先端部１７ａは媒
体対向面２０に露出するように延在され、後端部１７ｂ
は前記薄膜コイル１３の中心部に設けた旧−Ｆｅからな
る磁極接続層１５により前記磁性基板１１と接続されて
いる。
図の要部断面図で示すように、補助磁極を兼ねるＮｉ−
Ｚｎフェライトなどからなる磁性基板１１上に、熱硬化
性絶縁樹脂等からなる層間絶縁層１２により挟まれた渦
巻状の薄膜コイル１３が配設され、その薄膜コイル１３
上を含む前記磁性基板１１上にＡ ｆｆｉ ２０３、或
いはＳｉＯ□などからなる厚い無機絶縁層１４を介して
、Ｎｉ−Ｆｅからなる薄い膜厚の磁極層１７が配設され
ている。その薄い膜厚の磁極層１７の先端部１７ａは媒
体対向面２０に露出するように延在され、後端部１７ｂ
は前記薄膜コイル１３の中心部に設けた旧−Ｆｅからな
る磁極接続層１５により前記磁性基板１１と接続されて
いる。
またその薄い膜厚の磁極層１７上の先端部１７ａを除く
所定領域には、Ｎｉ−Ｆｅからなる厚い膜厚の磁極盛り
上げ層１８が積層されて磁気抵抗を低減した主磁極１６
が構成されている。そしてかかる主磁極１６を含む無機
絶縁層１４上には八ρ２０３からなる保護層１９が被覆
されている。
所定領域には、Ｎｉ−Ｆｅからなる厚い膜厚の磁極盛り
上げ層１８が積層されて磁気抵抗を低減した主磁極１６
が構成されている。そしてかかる主磁極１６を含む無機
絶縁層１４上には八ρ２０３からなる保護層１９が被覆
されている。
このような構成の磁気ヘッドは、一般にインダクティプ
ヘッドと呼ばれ、電磁誘導の原理を利用して一般に高透
磁率な軟磁性層を裏打ちした二層膜構造の記録媒体２１
と組み合わせて用いられ、該媒体２１の軟磁性層を記録
・再生時の磁束の磁路として記録層に対して磁化情報を
記録・再生するもので、記録に際しては、前記薄膜コイ
ル１３に信号電流を流して主磁極１６を励磁し、その先
端部１６ａ（１７ａ）に発生するシャープで強い記録磁
界により対向する記録媒体２１を垂直に磁化して所望の
情報を記録する、また一方、再生に際しては、記録媒体
２１からの情報磁界による主磁極１６の磁化の変化によ
り前記薄膜コイル１３に誘導される電圧の変化を再生信
号として検出することによって情報を再生している。
ヘッドと呼ばれ、電磁誘導の原理を利用して一般に高透
磁率な軟磁性層を裏打ちした二層膜構造の記録媒体２１
と組み合わせて用いられ、該媒体２１の軟磁性層を記録
・再生時の磁束の磁路として記録層に対して磁化情報を
記録・再生するもので、記録に際しては、前記薄膜コイ
ル１３に信号電流を流して主磁極１６を励磁し、その先
端部１６ａ（１７ａ）に発生するシャープで強い記録磁
界により対向する記録媒体２１を垂直に磁化して所望の
情報を記録する、また一方、再生に際しては、記録媒体
２１からの情報磁界による主磁極１６の磁化の変化によ
り前記薄膜コイル１３に誘導される電圧の変化を再生信
号として検出することによって情報を再生している。
ところで上記した従来の垂直薄膜磁気ヘッドでは、Ｎｉ
−Ｆｅからなる薄い膜厚の磁極層１７上の先端部１７ａ
を除く領域に、同じ＜ Ｎｉ−Ｆｅからなる厚い膜厚の
磁極盛り上げ層１８を積層した主磁極１６の構成により
、咳主磁極１６の磁気抵抗を低減して記録再生効率を高
めているが、第７図に示すように主磁極先端部１６ａ（
１７ａ）の近傍の磁極盛り上げ層１８の先端１８ａが記
録媒体２１と平行に対向する構成からなっているため、
記録媒体２１に対する情報記録に際して磁極盛り上げ層
１８の先端１８ａからも不要な磁界が漏出し、これに起
因して記録媒体２１への書き滲みが発生して擬似情報が
記録される。
−Ｆｅからなる薄い膜厚の磁極層１７上の先端部１７ａ
を除く領域に、同じ＜ Ｎｉ−Ｆｅからなる厚い膜厚の
磁極盛り上げ層１８を積層した主磁極１６の構成により
、咳主磁極１６の磁気抵抗を低減して記録再生効率を高
めているが、第７図に示すように主磁極先端部１６ａ（
１７ａ）の近傍の磁極盛り上げ層１８の先端１８ａが記
録媒体２１と平行に対向する構成からなっているため、
記録媒体２１に対する情報記録に際して磁極盛り上げ層
１８の先端１８ａからも不要な磁界が漏出し、これに起
因して記録媒体２１への書き滲みが発生して擬似情報が
記録される。
またこの擬似情報が再生に際して第８図に示すように孤
立再生波形に歪みを生じさせる原因となる等、高密度記
録を達成する上で大きな障害となるといった欠点があっ
た。
立再生波形に歪みを生じさせる原因となる等、高密度記
録を達成する上で大きな障害となるといった欠点があっ
た。
本発明は上記した従来の欠点に鑑み、主磁極の一部を構
成するｍｓ盛り上げ層の先端から漏洩する磁界を主磁極
先端部へ誘導する磁極形状とすることによって、記録媒
体に対する書き滲みの発生を解消した新規な垂直薄膜磁
気ヘッドを提供することを目的とするものである。
成するｍｓ盛り上げ層の先端から漏洩する磁界を主磁極
先端部へ誘導する磁極形状とすることによって、記録媒
体に対する書き滲みの発生を解消した新規な垂直薄膜磁
気ヘッドを提供することを目的とするものである。
本発明は上記した目的を達成するため、補助磁極を構成
する磁性基板上に薄膜コイルを介して先端部が薄い主磁
極を配置した垂直磁気ヘッドにおいて、前記補助磁極と
なる磁性基板の主磁極形成面を記録媒体に対し傾斜させ
、かつ主磁極の薄い先端部を記録媒体に対し垂直にし、
厚い磁極部分を前記磁性基板の主磁極形成面と平行する
ように傾斜させた構成とする。
する磁性基板上に薄膜コイルを介して先端部が薄い主磁
極を配置した垂直磁気ヘッドにおいて、前記補助磁極と
なる磁性基板の主磁極形成面を記録媒体に対し傾斜させ
、かつ主磁極の薄い先端部を記録媒体に対し垂直にし、
厚い磁極部分を前記磁性基板の主磁極形成面と平行する
ように傾斜させた構成とする。
〔作 用］
本発明の磁気ヘッドでは、補助磁極となる磁性基板の主
磁極形成面を記録媒体対向面に対して傾斜させ、かつ主
磁極の薄い先端部を媒体対向面に対して垂直に露出させ
ると共に、該主磁極の厚い磁極部分を、前記磁性基板の
主磁極形成面へ設けて傾斜させた形状とすることにより
、前記主磁極の厚い磁極先端部分が媒体に対して傾斜し
た状態に対向し、その厚い磁極先端部分から漏洩せんと
する磁界は必然的に薄い主磁極先端部へ誘導される構造
となるため、記録時において記録媒体に対する書き滲み
の発生を容易に防止することが可能となる。
磁極形成面を記録媒体対向面に対して傾斜させ、かつ主
磁極の薄い先端部を媒体対向面に対して垂直に露出させ
ると共に、該主磁極の厚い磁極部分を、前記磁性基板の
主磁極形成面へ設けて傾斜させた形状とすることにより
、前記主磁極の厚い磁極先端部分が媒体に対して傾斜し
た状態に対向し、その厚い磁極先端部分から漏洩せんと
する磁界は必然的に薄い主磁極先端部へ誘導される構造
となるため、記録時において記録媒体に対する書き滲み
の発生を容易に防止することが可能となる。
従って、再生時の孤立再生波形を歪ませることも解消さ
れ、高密度記録を達成することができる。
れ、高密度記録を達成することができる。
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッドの一実施例を
示す要部断面図である。
示す要部断面図である。
図において、３１はＮｉ−Ｚｎ＋ Ｍｎ−Ｚｎなどのフ
ェライトからなる補助磁極を兼ねる磁性基板であり、該
基板３１の主磁極形成面を記録媒体対向面４０に対して
、例えば４５〜６０度の角度で傾斜させ、その表面上に
熱硬化性絶縁樹脂等からなる層間絶縁層３２により挟ま
れたＣｕ等からなる渦巻状の薄膜コイル３３が配設され
、その薄膜コイル３３上を含む前記磁性基板３１上にＩ
’／！ｚ０３、或いはＳｉＯ□などからなる厚い無機絶
縁層３４を介して、Ｎｉ−Ｆｅからなる薄い膜厚の磁極
層３７が配設されている。
ェライトからなる補助磁極を兼ねる磁性基板であり、該
基板３１の主磁極形成面を記録媒体対向面４０に対して
、例えば４５〜６０度の角度で傾斜させ、その表面上に
熱硬化性絶縁樹脂等からなる層間絶縁層３２により挟ま
れたＣｕ等からなる渦巻状の薄膜コイル３３が配設され
、その薄膜コイル３３上を含む前記磁性基板３１上にＩ
’／！ｚ０３、或いはＳｉＯ□などからなる厚い無機絶
縁層３４を介して、Ｎｉ−Ｆｅからなる薄い膜厚の磁極
層３７が配設されている。
この薄い膜厚の磁極層３７の先端部３７ａは前記無機絶
縁層３４の傾斜面より該無機絶縁層３４側へ折り曲げら
れて媒体対向面４０に対して垂直に露出するように延在
され、後端部３７ｂは前記薄膜コイル３３の中心部に設
けたＮｉ−Ｆｅからなる磁極接続層３５により前記磁性
基板３１と接続されている。
縁層３４の傾斜面より該無機絶縁層３４側へ折り曲げら
れて媒体対向面４０に対して垂直に露出するように延在
され、後端部３７ｂは前記薄膜コイル３３の中心部に設
けたＮｉ−Ｆｅからなる磁極接続層３５により前記磁性
基板３１と接続されている。
そしてその薄い膜厚の磁極層３７上の先端部３７ａを除
く領域にＮｉ−Ｆｅからなる厚い膜厚の磁極盛り上げ層
３８が積層されて磁気抵抗を低減した主磁極３６を構成
すると共に、その主磁極３６上を含む無機絶縁層３４上
にはＡＩ！、２０３からなる保護層３９が被覆された構
成からなっている。
く領域にＮｉ−Ｆｅからなる厚い膜厚の磁極盛り上げ層
３８が積層されて磁気抵抗を低減した主磁極３６を構成
すると共に、その主磁極３６上を含む無機絶縁層３４上
にはＡＩ！、２０３からなる保護層３９が被覆された構
成からなっている。
このような構成の磁気ヘッドにおいては、第２図に示す
ように主磁極３６を構成する薄い膜厚の磁極層先端部３
１ａ、即ち主磁極先端部３６ａは記録媒体４１面に対し
て垂直に対向し、その他の厚い膜厚の磁極盛り上げ層３
８の先端３８ａは該記録媒体４１に対して傾斜した状態
をなし、該磁極盛りセげ層３８の先端３８ａと磁極層先
端部３７ａとの形状及び記録媒体４１に対する向き等の
関係により該磁極盛り上げ層３８の先端３８ａからの漏
洩磁界は必然的に薄い膜厚の磁極層先端部３７ａ、即ち
主磁極先端部３６ａへ誘導されるようになる。
ように主磁極３６を構成する薄い膜厚の磁極層先端部３
１ａ、即ち主磁極先端部３６ａは記録媒体４１面に対し
て垂直に対向し、その他の厚い膜厚の磁極盛り上げ層３
８の先端３８ａは該記録媒体４１に対して傾斜した状態
をなし、該磁極盛りセげ層３８の先端３８ａと磁極層先
端部３７ａとの形状及び記録媒体４１に対する向き等の
関係により該磁極盛り上げ層３８の先端３８ａからの漏
洩磁界は必然的に薄い膜厚の磁極層先端部３７ａ、即ち
主磁極先端部３６ａへ誘導されるようになる。
従って、記録時において記録媒体４１に対する書き滲み
の発生を防止することが可能となると共に、第３図に示
すように再生時における孤立再生波形に歪みが生ずる問
題も解消することができる。
の発生を防止することが可能となると共に、第３図に示
すように再生時における孤立再生波形に歪みが生ずる問
題も解消することができる。
更に、上記した実施例構造の垂直薄膜磁気ヘッドを製造
する方法としては、第４図に示すように例えば補助磁極
を構成するＮｉ−Ｚｎ、 Ｍｎ−Ｚｎなどのフェライト
からなる磁性基板３１上に、熱硬化性絶縁樹脂等からな
る層間絶縁層３２により挟まれたＣｕ等からなる渦巻状
の薄膜コイル３３を形成し、この薄膜コイル３３の中心
部にＮｉ−Ｆｅからなる磁極接続層３５をマスクめっき
法により形成した後、更に該薄膜コイル３３及び磁極接
続層３５を含む前記磁性基板３１上に１２０３、或いは
ＳｉＯ□などからなる厚い無機絶縁層３４をスパッタリ
ング法等により被着する。
する方法としては、第４図に示すように例えば補助磁極
を構成するＮｉ−Ｚｎ、 Ｍｎ−Ｚｎなどのフェライト
からなる磁性基板３１上に、熱硬化性絶縁樹脂等からな
る層間絶縁層３２により挟まれたＣｕ等からなる渦巻状
の薄膜コイル３３を形成し、この薄膜コイル３３の中心
部にＮｉ−Ｆｅからなる磁極接続層３５をマスクめっき
法により形成した後、更に該薄膜コイル３３及び磁極接
続層３５を含む前記磁性基板３１上に１２０３、或いは
ＳｉＯ□などからなる厚い無機絶縁層３４をスパッタリ
ング法等により被着する。
次に該無機絶縁層３４の表面を平面研磨工程により前記
磁極接続層３５が露出するように平坦化した後、その平
坦面上の主磁極先端部形成予定領域に、９０〜１２０度
程度の角度の■溝４２をエツチング工程等により形成し
、該Ｖ溝４２を含む前記無機絶縁層３４及び露出する磁
極接続層３５上の所定領域にＮｉ−Ｆｅからなる薄い膜
厚の磁極層３７と、その磁極層３７上の前記■溝４２対
応面を除く所定領域にＮｉ−Ｆｅからなる厚い膜厚の磁
極盛り上げ層３８をマスクメツキ法等により積層形成し
て主磁極３６を設ける。
磁極接続層３５が露出するように平坦化した後、その平
坦面上の主磁極先端部形成予定領域に、９０〜１２０度
程度の角度の■溝４２をエツチング工程等により形成し
、該Ｖ溝４２を含む前記無機絶縁層３４及び露出する磁
極接続層３５上の所定領域にＮｉ−Ｆｅからなる薄い膜
厚の磁極層３７と、その磁極層３７上の前記■溝４２対
応面を除く所定領域にＮｉ−Ｆｅからなる厚い膜厚の磁
極盛り上げ層３８をマスクメツキ法等により積層形成し
て主磁極３６を設ける。
その後、該主磁極３６及び無機絶縁層３４上の全面にＡ
１２０３からなる保護層３９をスパッタリング法等に
より被着し、更に前記薄い膜厚の磁極層先端部３７ａ、
即ち主磁極先端部３６ａの不要部分を図中のＡＡ゛−点
鎖線で示す位置で保護層３９、無機絶縁層３４及びその
直下の磁性基板３１と共に切除し、その切除面を研磨仕
上げして前記主磁極先端部３６ａが垂直に露出する平坦
な媒体対向面４０を形成して前記第１図に示すように完
成させることによって容易に得ることができる。
１２０３からなる保護層３９をスパッタリング法等に
より被着し、更に前記薄い膜厚の磁極層先端部３７ａ、
即ち主磁極先端部３６ａの不要部分を図中のＡＡ゛−点
鎖線で示す位置で保護層３９、無機絶縁層３４及びその
直下の磁性基板３１と共に切除し、その切除面を研磨仕
上げして前記主磁極先端部３６ａが垂直に露出する平坦
な媒体対向面４０を形成して前記第１図に示すように完
成させることによって容易に得ることができる。
以上の説明から明らかなように、本発明に係る垂直薄膜
磁気ヘッドによれば、主磁極を構成する磁極盛り上げ層
の先端形状及びその向き等に起因する記録時における記
録媒体への書き滲みの発生を防止することが可能となり
、記録・再生特性が向上すると共に、高密度記録の達成
が容易となる等、実用上優れた効果を奏する。
磁気ヘッドによれば、主磁極を構成する磁極盛り上げ層
の先端形状及びその向き等に起因する記録時における記
録媒体への書き滲みの発生を防止することが可能となり
、記録・再生特性が向上すると共に、高密度記録の達成
が容易となる等、実用上優れた効果を奏する。
第１図は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッドの一実施例を
示す要部断面図、 第２図は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッドの効果を説明
するための部分拡大図、 第３図は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッドによる孤立再
生波形を示す図、 第４図は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッドの製造方法を
説明だめの要部断面図、 第５図は従来の垂直薄膜磁気ヘッドを説明するための部
分断面斜視図、 第６図は従来の垂直薄膜磁気ヘッドを説明するための要
部断面図、 第７図は従来の垂直薄膜磁気ヘッドの問題点を説明する
ための部分拡大図、 第８図は従来の垂直薄膜磁気ヘッドによる孤立再生波形
を示す図である。 第１図〜第４図において、 ３１は磁性基板、３２は層間絶縁層、３３は薄膜コイル
、３４は無機絶縁層、３５は磁極層続層、３６は主磁極
、３６ａは主磁極先端部、３７は薄い膜厚の磁極層、３
７ａは磁極層先端部、３８は磁極盛り上げ層、３８ａは
磁極盛り上げ層先端、３９は保護層、４０は媒体対向面
、４１は記録媒体、４２はＶ溝をそれぞれ示す。
示す要部断面図、 第２図は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッドの効果を説明
するための部分拡大図、 第３図は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッドによる孤立再
生波形を示す図、 第４図は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッドの製造方法を
説明だめの要部断面図、 第５図は従来の垂直薄膜磁気ヘッドを説明するための部
分断面斜視図、 第６図は従来の垂直薄膜磁気ヘッドを説明するための要
部断面図、 第７図は従来の垂直薄膜磁気ヘッドの問題点を説明する
ための部分拡大図、 第８図は従来の垂直薄膜磁気ヘッドによる孤立再生波形
を示す図である。 第１図〜第４図において、 ３１は磁性基板、３２は層間絶縁層、３３は薄膜コイル
、３４は無機絶縁層、３５は磁極層続層、３６は主磁極
、３６ａは主磁極先端部、３７は薄い膜厚の磁極層、３
７ａは磁極層先端部、３８は磁極盛り上げ層、３８ａは
磁極盛り上げ層先端、３９は保護層、４０は媒体対向面
、４１は記録媒体、４２はＶ溝をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 補助磁極を構成する磁性基板（３１）上に薄膜コイル（
３３）を介して先端部（３６ａ）が薄い主磁極（３６）
を配置した垂直磁気ヘッドにおいて、 前記補助磁極となる磁性基板（３１）の主磁極（３６）
形成面を記録媒体（４１）に対し傾斜させ、かつ主磁極
（３６）の薄い先端部（３６ａ）を記録媒体に対し垂直
にし、厚い磁極部分を前記磁性基板（３１）の主磁極（
３６）形成面と平行するように傾斜させたことを特徴と
する垂直薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12236990A JPH0417105A (ja) | 1990-05-10 | 1990-05-10 | 垂直薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12236990A JPH0417105A (ja) | 1990-05-10 | 1990-05-10 | 垂直薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0417105A true JPH0417105A (ja) | 1992-01-21 |
Family
ID=14834157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12236990A Pending JPH0417105A (ja) | 1990-05-10 | 1990-05-10 | 垂直薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0417105A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6771464B2 (en) * | 2001-10-19 | 2004-08-03 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with a laminated main write pole |
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1990
- 1990-05-10 JP JP12236990A patent/JPH0417105A/ja active Pending
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