JPH04175647A - Ｘ線マッピング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＸ線マツピング装置に関する。

〔従来の技術〕

第３図は従来までのＸ線マツピング装置を示し、同図に
おいて、Ｘ線管２１からの入射Ｘ線がコリメータ２２を
介して試料ステージ２３上の試料２４の一部に照射され
、螢光Ｘ線を発生する。この螢光Ｘ線はたとえば半導体
検出器（ＳＳＤ）よりなるＸ線検出器２５で検出される
。上記Ｘ線検出器２５からの出力はパルスプロセッサー
２６で処理され、試料中に含まれる元素とその強度を判
別する。その後、このパルスプロセッサー２６からの信
号はコンピュータ２７に人力され、画像処理装置２８に
て画像表示を行う。

そして試料２４全体にわたワて測定を行うには、第４図
に示すように、あらかじめ定められた試料２４を含むマ
ツピング領域Ｍ内においてその測定点を分割して設け、
試料ステージ２３を所定の方向に移動させるステージコ
ントローラ２９にコンビエータ２７からの信号が入力さ
れることにより試料ステージ２３を移動させ、前記Ｘ線
管２１からのＸ線が照射されている位置に１．２〜ｎと
いうように順番に各測定点を移動させることにより、各
測定点における螢光Ｘ線を検出し、試料４中の各測定点
の螢光Ｘ線の種類と強度から含有元素の分布を測定する
ものであった。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記測定方法では、たとえマツピング領
域Ｍ内に試料２４が存在しない測定点（例えば７．８．
９等）においてもＸｖＡ検出器２５における螢光Ｘ線検
出およびパルスプロセッサー２６、コンピュータ２７で
の信号処理という一連の作業を行った後に試料ステージ
２３を移動させるため、非常に長時間にわたって測定を
行う必要があった。

本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、非常に短時間で高精度な測定を可
能とするＸ線マツピング装置を提供することにある。

（ＩＩＩを解決するための手段〕 上述の目的を達成するため、本発明に係るＸ線マツピン
グ装置は、Ｘ線管からのＸ線が照射されている位置に試
料があるか否かを検出するための試料有無センサを設け
、このセンサからの信号をコンピュータに入力するよう
にした点に特徴がある。

〔作用〕

上記特徴構成によれば、Ｘ線管からのＸ線が照射されて
いる位置に試料が存在しない場合には、コンピュータに
おいてデータ収集を行わず、直ちに試料ステージを移動
させて次の測定点で測定を行うため、全測定に要する時
間が大幅に短縮される。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明に係るｘｍマツピング装置の一例を示し
、この図において、第３図に示す符号と同一のものは同
一物または相当物を示す、ここで、このＸ線マツピング
装置が従来のＸ線マツピング装置と大きく異なる点は、
試料があるか否かを検出するためのセンサ３０を設け、
このセンサ３０からの信号をコンピュータ２７に入力す
るようにした点である。このセンサ３０は例えばセンサ
先端から測定点までの距離を測定する変位センサや反射
型光電センサからなり（以下、変位センサと云う）、試
料２４の有るときと無いときとで、試料の厚み分だけ変
位量が異なることを利用して試料があるか否かを検出す
るもので、本実施例では試料がある場合を基準値とし、
基準値から外れた場合にコンピュータ２７に信号を入力
するようにしである。

而して、上記Ｘ線マツピング装置の作用を第２図をも参
照しながら説明すると、あらかじめ定められた試料２４
を含むマツピング領域Ｍにおいて測定点を１．２〜ｎと
いうように分割して設け、図中の矢印Ａに示す順序にそ
って試料ステージ２３を移動させるようにコンビエータ
２７にプログラムしておく、そして、まず、Ｘ線管２１
からの入射Ｘ線がコリメータ２２を介して試料ステージ
２３上のマツピング領域Ｍ内の測定点ｌに照射されるよ
う試料ステージ２３を移動させる。この測定点１には試
料２４が存在しないので、変位センサ３０が試料無しと
判断し、コンピュータ２７にその信号が入力されると同
時に、コンピュータ２７においてパルスプロセッサー２
６からのデータ収集は行われない。そして、入力された
信号に基づいてコンピュータ２７からの制御信号をステ
ージコントローラ２９に入力し、直ちに試料ステージ２
３を移動させ、Ｘ線が照射されている位置に測定点２を
移動させる。測定点２あるいは測定点３においても試料
２４は存在しないので、測定点ｌと同様にコンピュータ
２７においてパルスプロセッサー２６からのデータ収集
は行わず、試料ステージ２３により測定点４を移動させ
る。

ここで、測定点４には試料２４が存在するので、変位セ
ンサ３０からの信号はコンピュータ２７に入力されず、
試料２４から発生された螢光Ｘ線はたとえば半導体検出
器（ＳＳＤ）等よりなるＸ線検出器２５で検出され、そ
の出力はパルスプロセッサー２６においてその測定点４
中に含まれる元素とその強度を判別する。その後、この
パルスプロセッサー２６からの信号はコンピュータ２７
に入力され、画像処理装置２日にて画像表示を行う。以
後、同様の方法で測定点ｎまで測定を行い、各測定点に
おける螢光Ｘ線の種類と強度から試料２４の含有元素の
分布を測定する。

なお、試料ステージ２３は試料２４に含まれていない軽
元素からなるアルミニウムなどで形成し、試料２４から
発生する螢光Ｘ線と混合しないようにするのが望ましい
。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、ＸｖＡ管からの
Ｘ線が照射されている位置に試料が存在しない場合には
、コンピュータにおいてデータ収集を行わず、直ちに試
料ステージを移動させて次の測定点で測定を行うため、
全測定に要する時間が大幅に短縮されるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の一実施例を示し、第１図
はＸ線マツピング装置を示す構成図、第２図はマツピン
グ方法を説明するための図である。 第３図および第４図は従来のＸＭラマンング装置を示し
、第３図はＸ線マツピング装置を示す構成図、第４図は
マツピング方法を説明するための図である。 ２１・・・Ｘ線管、２３・・・試料ステージ、２４・・
・試料、２５・・・ｘｍ検出器、２６・・・パルスプロ
セッサ、２７・・・コンピュータ、２８・・・画像処理
装置、２９・・・ステージコントローラ、３０・・・試
料有無センサ。 出　願　人　　株式会社　堀場製作所 代　理　人　　弁理士　　藤木英夫

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 試料を載置する試料ステージと、前記試料にＸ線を照射
   するＸ線管と、該Ｘ線照射により前記試料において生ず
   る螢光Ｘ線を検出するＸ線検出器と、このＸ線検出器の
   出力に基づいて試料中に含まれる元素とその強度を判別
   するパルスプロセッサーと、このパルスプロセッサーか
   らの信号が入力されるコンピュータと、このコンピュー
   タの出力を処理して画像表示する画像処理装置と、前記
   コンピュータからの制御信号に基づいて前記試料ステー
   ジを所定の方向に移動させるステージコントローラとか
   らなるＸ線マッピング装置において、前記Ｘ線管からの
   Ｘ線が照射されている位置に試料があるか否かを検出す
   るための試料有無センサを設け、このセンサからの信号
   を前記コンピュータに入力するようにしたことを特徴と
   するＸ線マッピング装置。