JPH04176867A - 多段式真空差圧室の防塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はストリップに連続的に貞空蒸着等を施す多段の
差圧室内にそれぞれノールロールおよびシール筒を配設
して走行するストリップを段階的に高真空へ導く多段式
真空差圧室の防塵装置に関するものである。

〈従来の技術〉 ストリップに連続的に真空蒸着等を施す多段式真空差圧
室では、外気の侵入または隣接室との間で空気の移動を
極力少なくするため上下一対のソールロール同志および
シールロールに接続しで配置したシール筒とによりシー
ルしである。このようにして１０−’　トール程度の真
空度まで上げるためには、上下のソールロールのなす隙
間や、シールロールとノール筒とのなす隙間を小さくし
て通過する空気量を可及的に少なくすることが望まれる
が、これを零とすることはできず外気を吸い込むことに
なり、外気と共に粉塵も同時に差圧室内に持ち込まれる
。これがたとえば真空差圧室内へ侵入すると真空ｆ着に
悪影響を及はし不良製品を生しるばかりでなく、真空ポ
ンプの保全面からも好ましくなかった。

このような問題に対処するため特開平１　＝２１２７６
３号公報に多段真空シール部と大気圧下の外部との間に
連絡室を設け、この連絡室に大気圧より高圧力の清浄ガ
スを供給することにより差圧室内に粉塵を持ち込むこと
なく清浄な状態に保持するものが開示されている。

〈発明が解決しようとする課題〉 前記公報に開示された従来の技術によれば、連絡室の圧
力を大気より高めているので、大気中の粉塵を差圧室番
こ侵入するのを防くことができるけれども、ストリップ
に付着した微小な粉塵が侵入するのを防止することは困
難であった。

本発明は、前記従来技術の問題点を解消し、ストリップ
を段階的に高真空に導く多段式差圧室にそれぞれ配設さ
れた上下一対のノールロールの隙間およびシールロール
とノール筒とのなす隙間から可及的に空気が通過するの
を防止すると共に、粉塵が侵入するのを防止することが
できる多段式真空差圧室の防塵装置を提供することを目
的とするものである。

〈課題を解決するための手段〉 前記目的を達成するための本発明は、多段の真空差圧室
内にそれぞれシールロールおよびシール筒を配設して走
行ストリップを段階的に高真空へ導く多段式真空差圧室
の防塵装置において、前記多段の真空差圧室のうち、入
側端の第１真空差圧室内に配設したノールロールの入側
にソール筒を設け、このシール筒に接続して前記第１真
空差圧室内に通ずると共に第１真空差圧室外に設けた配
管に通ずる迂回通路を形成し、前記第１真空差圧室外に
設けた配管に前記迂回通路を流れる空気を吸引する吸引
ファンを設けると共に、この吸引ファンの吸引側にフィ
ルタを備えた補給大気を導入するバイパス配管を接続し
、前記吸引ファンの吐出側に接続した配管を前記第１真
空差圧室の入口に配設したブローオフボックスに接続し
、このブローオフボックスには前記吸引ファンの吐出空
気を走行ストリップの上流側に向けて吐出する複数のノ
ズルを設けてなることを特徴とする多段式真空差圧室の
防塵装置である。

〈作　用〉 第１真空差圧室に配設した一対の７−ルロールの隙間お
よびシールロールとシール筒とのなす隙間から第２真空
差圧室に向かって流れる空気量Ｑ、より多い空気量Ｑ２
を第１真空差圧室の入口に配設したブローオフボックス
のノズルから走行ス１−リップの上流側に向けて吐出す
ることにより（Ｑ２−Ｑ、）の空気量がストリップの表
面に付着した粉塵を室外に吹き飛ばして除去する。

また、第１真空差圧室の入口から室内に入りかけた空気
に粉塵が混入していても空気の一部が第１真空差圧室内
に配設したシールロールの入側シール筒に迂回通路を接
続してあり、ここから吸引ファンにより積極的に取り出
し配管を介してブローオフボックスに導くので真空差圧
室内ムこ侵入する粉塵を大幅に低減できる。

迂回通路から取り出す空気ｔだけではブローオフボック
スに供給するのに必要な空気ＷＱ２が確保できないので
、吸引ファンの吸引側に接続したバイパス配管からフィ
ルタを介して除塵した清浄な空気を補給して必要な空気
ｔＱ２を確保する。

〈実施例〉 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
１図において、１３は本体ケーシングであり、本体ケー
シング１３内には仕切壁１４によって第１真空差圧室１
０（以下第１差圧室という）、第２真空差圧室１１（以
下第２差圧室という）および第３真空差圧室１２（以下
第３差圧室という）が形成されていて、第１差圧室１０
および第２差圧室ＩＩ内には上下一対のシールロール２
およびシール筒３が配設されている。第３差圧室Ｉ２以
降にも同様にして配設されていて多段の差圧室を形成し
ているが、図面では省略しである。各室内のソール筒３
は仕切壁１４に一端が固定されていて、他端が上下−・
対のロール２の後面とわずかの隙間をもって近接してセ
ットすると共に、第２回に示すようにストリップｌを包
囲しているのは従来通りである。

本発明では第１差圧室１０に配設された上下一対のシー
ルロール２の上流側にも入側ソール筒４の一端が本体ケ
ーシング１３に固定されていて、他端が上下一対のロー
ルの前面とわずかな隙間をもって近接してセットされて
いる。この入側シール筒４の入口部の側壁には開口１６
が設けてあり、開口１６は迂回壁１５ａによって形成さ
れた迂回通路１５に通している。この迂回壁１５ａの先
端は第１差圧室１０の下部に室外から接続した配管９に
向かって配置してあり、迂回通路１５は配管９に連通し
ている。

なお１５ｂは本体ケーシングＩ３から入側シール筒４の
方向へ向けて取付けられた迂回壁を示す。

迂回通路１５に連通ずる室外の配管９には吸引ファン６
が設けであると共に、吸引ファン６に接続された吸引側
の配管９にはバイパス配管１７が接続してあり、バイパ
ス配管９にはその人口部にフィルタ７およびバルブ８が
取付けである。また吸引ファン６の出側に接続された配
管９は第１差圧室１０の入口に配設したブローオフボッ
クス５に接続してあり、上下が連通しているブローオフ
ボックス５は吸引ファン６の吐出空気を走行ス）リップ
１の上流側に向けて吐出する複数のノズル１８を設けた
構造になっている。

次に本発明の作用について説明すると、走行ストリップ
１は矢印Ａで示すように左側から右側へと進行し、大気
中からブローオフボックス５および入側シール筒４を通
って第１差圧室ｌＯ１第２差圧室１１へとそれぞれに配
設された一対のノールロール２およびシール筒３を通過
する間に、一対のシールロール２の隙間およびシールロ
ール２とソール筒３とのなす隙間を気流が流れる圧力を
員失により第１差圧室１０と第２差圧室１１との間に差
圧を発生せしめる。

空気の流れは、第１図に示すようにブローオフボックス
５のノズル１８から吐出する空気ｔｔＱ２によって外気
が侵入するのを口止するため大気の侵入ｆｆ１Ｑ、＝０
である。ブローオフボックス５のノズル１日から吐出す
る空気量Ｑ２の一部は入側ソール筒４に入り、一部はＱ
３として迂回通路１５に導かれ、残部はＱ、とじて第１
差圧室１０のソールロール２の隙間を通過する。

Ｑ３として迂回通路１５に入った空気量Ｑ３は、その一
部が空気量Ｑ、として配管９乙こ導かれ、残部が空気Ｉ
Ｑ、とじてノールロール２と出側のシール筒３との隙間
からシール筒３内に侵入する。

このため第１差圧室ＩＯから第２差圧室１１へ侵入する
空気量はＱａ　＋　Ｑｂ　＝　Ｑ　１　となる。この空
気量Ｑ、は目標とする真空度とシール性により決まる値
である既知数と考えることができる。また各隙間から侵
入する空気量Ｑ４、Ｑａは機械精度により決まり、その
イ直はほぼ′Ｑ、　ｚＱ６となる。

迂回通路１５から配管９へ導かれた空気量Ｑ５はフィル
タ７を通って清浄になった補給空気ｆｆ１Ｑ。

と共に吸引ファン６に吸引され空気ｆｉｔＱｓ＋Ｑ７＝
Ｑ、となって出側の配管９からブローオフボックス５に
供給されるのは前述の通りである。かくしてブローオフ
ボックス５から吐出量Ｑ２の一部が入側シール筒４に再
流入する割合αを０≦α≦１とするとＱ３＋Ｑ、−αｘ
　Ｑ　ｔの関係がある。

つまり（１−α）×Ｑ２の空気量がブローオフボックス
５から大気中に吹出すことになり、これによって外気の
侵入空気ＩＱ、−〇となるように設計するのである。

以上の空気量の関係をまとめると、 Ｑｌ　＝　ｃＬ　＋　Ｑａ　　　　　　　　　−−−−
−−−（＋）Ｑ、＝Ｑ、　　　　　　　　　　　　−−
−−・−（２）Ｑｓ：Ｑｉζ４：１　（仮定値）−一−
−・−−（３）Ｑｔ　＝　Ｑｓ　＋Ｑｔ　　　　　　　
　−−（４）Ｃｈ　＋　Ｑａ　＝αＱ２　　　　　　−
１−　（５）Ｑ３−Ｑｓ　＋　Ｑａ　　　　　　　　　
−−一一一一−（６）のようになり、（１）〜（６）の
式に基づいて第１差圧室１０から第２差圧室１１への侵
入空気量Ｑ、と補給空気量Ｑ７の関係および前記侵入空
気量Ｑ、とブローオフボックス５に供給される空気ＩＱ
２との関係を求めると、 Ｑ、＝　（３／２）Ｑ。

Ｑｙ　＝　（３／２　２）Ｑ＋ が得られる。

ここでたとえばα＝０．５となるようにすれば、Ｑｔ　
””’６Ｑ１．Ｑ７＝４　ＱＬ　となるので、この数値
に沿って吸引ファン６の容量、フィルタフの面積を選択
すればよいことになる。なおフィルタ７およびバルブ８
を２系列設けたのはフィルタ７を清掃時に切換えること
ができるためである。

〈発明の効果〉 以上説明したように本発明によれば、外気を真空差圧室
に侵入するのを防止すると共に特に粉塵が持込まれるこ
とがなくなるので真空処理室の清浄化が容易に達成され
る。このため蒸着等により処理された製品の清浄度が向
上し、疵が皆無となる。また真空ポンプのトラブルが解
消される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断面口、第２図は第
１図のＡ−Ａ矢視を示す断面図である。 １・・・ストリップ、　　　　２・・・シールロール、
３・・・シール筒、　　　　　４・・・入側ソール筒、
５・・・ブローオフボンクス、 ６・・・吸引ファン、　　　　７・・・フィルタ、８・
・・バルブ、　　　　　９・・・配　管、１０・・・第
１真空差圧室、　１１・・・第２真空差圧室、１２・・
・第３真空差圧室、　１３・・・本体ケーシング、１４
・・・仕切壁、　　　　　１５・・・迂回通路、１６・
・・開　口、　　　　　１７・・・バイパス配管、１８
・・・ノズル。 特許出願人　　　川崎製鉄株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　多段の真空差圧室内にそれぞれシールロールおよびシ
   ール筒を配設して走行ストリップを段階的に高真空へ導
   く多段式真空差圧室の防塵装置において、前記多段の真
   空差圧室のうち、入側端の第１真空差圧室内に配設した
   シールロールの入側にシール筒を設け、このシール筒に
   接続して前記第１真空差圧室内に通ずると共に第１真空
   差圧室外に設けた配管に通ずる迂回通路を形成し、前記
   第１真空差圧室外に設けた配管に前記迂回通路を流れる
   空気を吸引する吸引ファンを設けると共に、この吸引フ
   ァンの吸引側にフィルタを備えた補給大気を導入するバ
   イパス配管を接続し、前記吸引ファンの吐出側に接続し
   た配管を前記第１真空差圧室の入口に配設したブローオ
   フボックスに接続し、このブローオフボックスには前記
   吸引ファンの吐出空気を走行ストリツプの上流側に向け
   て吐出する複数のノズルを設けてなることを特徴とする
   多段式真空差圧室の防塵装置。