JPH04179040A - 蛍光表示管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は蛍光表示管に関し、特に陽極基板側より表示を
観察する平面タイプの蛍光表示管に関する。

〔従来の技術〕

平面タイプの蛍光表示管に於ては、表示を陽極基板側か
ら観察するために、第２図に示す如く、金属薄膜で陽極
電極２ａを形成し、その上に蛍光体層５の発光層を形成
している。この陽極電極２ａは、大略２０μｍの線幅で
大略２０μｍのピッチを有するストライプ状に形成され
ている。その理由は、電子衝撃によって蛍光体層５を発
光させた場合に、その発光量を効率よく陽極基板４側か
ら放出させるためと、蛍光体層５に射突した熱電子によ
って蛍光体層５がチ七−ジアップしない様にするためで
ある。

従って、このストライプ状の陽極電極２ａは、真空蒸着
、あるいは、スパッタリング等によって形成した金属薄
膜をホトリソグラフィ法にてエツチングして形成してい
る。また、この金属としてはアルミニウムが一般的であ
る。

さて、陽８ｉ！電極２ａの形成については上述したが、
陽極電極２ａ同志、あるいは、外部端子を接続する金属
配線層２についても全ったく同様に形成されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

この様な従来の平面タイプの蛍光表示管の陽極基板は、
前述した如く、アルミニウムの金属配線層と陽極電極が
表示面側に設けられるため、これがミラーを形成し、表
示品位を著しく低下させるという問題点があった。特に
、最近では表示管自身が大型化し、かつ、表示の密度が
高くなる傾向があるため、金属配線層も高密度となり、
表示に対して邪魔なアルミニウム面が目立つ様になりつ
つある。

尚、表示品位を低下させると前に述べたが、これは、表
示部に対する周辺部の明るさの比、即ち、コントラスト
が低下するという意味と金属配線層自身が外部光を反射
して目ぎわつとなる事を意味する。

この様な問題を解決する一手段として、従来、前述のア
ルミニウム層の下に反射防止層、あるいは、光吸収層を
あらかじめ形成することが一部で行なわれていた。

例えば、第３図に示す様に、アルミニウムの金属配線層
２の下に窒化チタンの反射防止層６を形成する事により
、アルミニウム金属配線層２の反射を防止する方法等は
、既に、公知である（例えば、ＮＥＣ技報第４０巻、１
９８７年、第５号、第１３５頁参照）。

然るに、この棟な方法では、先づ、アルミニウムのスパ
ッタリングの前に別の金属ターゲットを用いてスパッタ
リングを行なわなければならない事、次に、パターン形
成時のエツチング処理も別別に行なわなければならない
という問題点があった。

更に、高密度配線に対して２度のエツチング処理をする
事は、金属配線層２を断線させるボテンシャルを高める
事になり、大量生産による物作りという場面では重大な
問題であった。

又、この従来の方法ではＴｉＮのエツチングにフッ硝酸
を用いる必要があり、その為、表示面である基板ガラス
が失透するという不具合も生じていた。

本発明の目的は、高密度配線に対応でき、量産性が高く
、表示品位の優れた蛍光表示管を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、熱電子放射体であるフィラメントと、該フィ
ラメントより放射された前記熱電子を制御するグリッド
電極と、陽極基板と、該陽極基板上に形成された蛍光体
層と、配線層と、陽極電極とを有する蛍光表示管に於て
、前記配線層及び前記陽極電極が少くとも陽極基板に接
する側の面が前記配線層及び前記陽極電極と同一の金属
の非化学量論的金属化合物にて形成されている。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の第１の実施例の蛍光表示管の陽極基板
の要部断面図である。

第１の実施例は、第１図に示す様に、まず、陽極基板４
の上にＮ２　／’（Ａｒ十Ｎ２　）　−０，３の比率で
全圧３ｍｍＴｏｒｒの雰囲気中にてＡ、Ｒ金属ターゲッ
トを使用し、リアクティブスパッタ法にて約１０００人
厚のアルミニウムの低級窒化物（Ａ、＆Ｎｏ５）からな
る反射防止層を形成した。

次いで、Ａｒ雰囲気中にてＡ（をスパッタリングし、約
１μｍ厚の金属膜を形成した。これらの金属膜の形成に
は、雰囲気を分離するためのゲートバルブ付のインライ
ンスパッタ装置を用いたが、バッチ方式のスパッタ装置
にてガス雰囲気を変える事によっても形成できる。

次に、上記の成膜基板をホトリソグラフィ法によりエツ
チングし、金属配線層２．陽極電極２ａ、反射防止層１
及び１ａを形成した。尚、エツチングに際しては、通常
のアルミニウムエツチング液である酢酸−リン酸系のエ
ツチング液にて反射防止層１，１ａも同時にエツチング
できた。

この事により配線の断線率を著しく下げる事ができたの
と基板ガラスの失透という問題を解決できた。

その後絶縁層３及び蛍光体層５を印刷、焼成して陽極基
板４を作成した。

更に、この陽極基板４を用いて通常の方法にて蛍光表示
管を完成させた。

この様にして得た蛍光表示管は、表示面側が黒色であり
表示の視認性を飛躍的に高める事ができた。

次に、第２の実施例について述べる。

第２の実施例は、構造が第１の実施例と同じであるため
第１図を引用して説明する。

第２の実施例は、第１図に示すように、まず、陽極基板
４の上に０２　／　（Ａ　ｒ　＋０２　）　＝　０　、
２の比率で全圧３．５ｍｍＴｏｒｒの雰囲気中にてＡｆ
ｆｌ金属ターゲットを使用し、リアクティブスパッタ法
にて約１５００人厚Ｏ７ルミニウムの低級酸化物からな
る反射防止層１，１ａを形成した。

以後は、第１の実施例と全く同じ方法にて蛍光表示管を
作成した。

この様にして得た蛍光表示管は、第１の実施例で得られ
た蛍光表示管と同様表示面が黒色乃至黒褐色を呈し、第
１の実施例で示したのと同様の効果が得られらな。

〔発明の効果〕

以上説明した様に本発明の平面タイプ蛍光表示管は、金
属配線層に使用する金属と同一の金属を使用して非化学
量論的金属化合物を形成するため、反射防止層の形成、
特に、バターニング形成のためのエツチング処理が一度
で完了できる様になったので、製造方法が単純になった
事と断線のポテンシャルを著しく下げる事ができるとい
う効果がある。

更に、本発明の非化学量論的金属化合物層は、黒色乃至
黒褐色を呈するため、平面タイプの蛍光表示管の表示品
位を高めるという効果を有している。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の蛍光表示管の陽極基板
の要部断面図、第２図は従来の蛍光表示管の陽極基板の
一例の要部断面図、第３図は従来の蛍光表示管の陽極基
板の他の例の要部断面図である。 １、ｌａ、６．６ａ・・・反射防止層、２・・・金属配
線層、２ａ・・・陽極電極、３・・・絶縁層、４・・・
陽極基板、５・・・蛍光体層。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、熱電子放射体であるフィラメントと、該フィラメン
   トより放射された前記熱電子を制御するグリッド電極と
   、陽極基板と、該陽極基板上に形成された蛍光体層と、
   配線層と、陽極電極とを有する蛍光表示管に於て、前記
   配線層及び前記陽極電極が少くとも陽極基板に接する側
   の面が前記配線層及び前記陽極電極と同一の金属の非化
   学量論的金属化合物にて形成されている事を特徴とする
   蛍光表示管。 ２、前記金属がアルミニウムである事を特徴とする請求
   項１記載の蛍光表示管。 ３、前記非化学量論理的金属化合物がアルミニウムの低
   級酸化物と窒化物とのうちのいずれか一方である事を特
   徴とする請求項１記載の蛍光表示管。