JPH04180614A - 液体吐出装置

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(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、液体吐出装置に関し、特に計量器を設けた液
体吐出装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の液体吐出装置は、第２図に示すように、
マニュアルで設定する吐出圧力と吐出タイムでコントロ
ールされていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の液体吐出装置は、マニュアルで設定する
吐出圧力と吐出タイムで吐出量をコントロールしている
ので、吐出される材料の粘度が経時変化する場合、時間
の経過とともに吐出量が変化するため、常に吐出圧力、
吐出タイムを調整する必要がある。

本発明の目的は、吐出される液体が多くなったり、少な
くなったりしても、いちいちマニュアルで吐出圧力、吐
出時間の設定を変更する必要のな　　゛い液体吐出装置
を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の液体吐出装置は、液体のはいった容器に圧力を
与えて半導体装置上に一定量の液体を吐出させる液体吐
出装置において、吐出された液体を計量する計量器と、
計量結果をレギュレータに送る信号線とを設けたことを
特徴として構成される。

すなわち、本発明によれば、吐出された液体は計量器で
測定され、液体が指定した量まで達すると、そのデータ
は信号線によりレギュレータに送られ吐出タイマが作動
し、吐出する液体量を一定にすることができる。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例の概略図である。

搬送レール７上の半導体装置１に計量器８で計量しなが
ら液体２を吐出する。吐出された液体が設定量になった
ら、計量器８から信号線９を伝って吐出装置本体へ信号
が送られ、液体の吐出を停止する。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、吐出された液体を計量す
る計量器と、そのデータを伝える信号線を設けることに
より、吐出された液体が多くなったり少なくなったりし
ても、いちいちマニュアルで吐出圧力、吐出時間の設定
を変更する必要がなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の液体吐出装置の概略図、第
２図は従来の液体吐出装置の一例の概略図である。１・・・半導体装置、２・−・液体、３・・・容器、４
・１．電磁弁、５・・・レギュレータ、６・・・吐出タ
イマ、７６．。搬送レール、８・・・計量器、９・・・信号線。

【特許請求の範囲】

　液体のはいった容器に圧力を与えて、半導体装置上に
一定量の液体を吐出させる液体吐出装置において、吐出
された液体を計量する計量器と、計量結果をレギュレー
タに送る信号線とを設けたことを特徴とする液体吐出装
置。