JPH04184094A - 放熱装置 - Google Patents

放熱装置

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JPH04184094A
JPH04184094A JP2307542A JP30754290A JPH04184094A JP H04184094 A JPH04184094 A JP H04184094A JP 2307542 A JP2307542 A JP 2307542A JP 30754290 A JP30754290 A JP 30754290A JP H04184094 A JPH04184094 A JP H04184094A
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Japan
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heat pipe
heat
lid
groove
shaped
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Satomi Itou
さとみ 伊藤
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ヒートパイプによる半導体素子の冷却の場合、半導体素
子の細密化による発熱量は、高度技術の日進月歩により
高温の熱量が発生する。ところが半導体素子の冷部方法
の決定的処理法がない今日である。素子自体の発熱量よ
り冷却能力が劣るその問題点は(1)素子自体とヒート
パイプの接触面に間層がある。ヒートパイプの熱輸送能
力はあってもその形状に欠点があり、その形状が円柱の
場合は素子との接触面が線であり、ヒートパイプが偏平
であっても、完全な偏平でなく湾曲面、凹凸面等で完全
な接触が冨めず熱輸送損失を招く点が指摘できる。(2
)そのヒートパイプによる放熱は、放熱面積を拡大ため
フィンをヒートパイプの凝縮側に装着し放熱を計る。そ
のフィンの装着法には圧入、溶剤による接着とがあり、
双方とも接触部による熱伝達損失が伴うものである。圧
入には接触面に空間ができ、ヒートパイプとフィンとの
伝熱間に伝熱損失が起る。溶剤による接着は、接着面に
溶剤があるため熱伝達損失をともなうものである。
このような欠点を解決するために、該当の偏平・円形ヒ
ートパイプの発明である。先づ半導体素子とヒートパイ
プの接触面は、完全な偏平であり密着性がよく素子自体
の発熱量を多く吸収することができる。次に放熱処理と
して、フィンはヒートパイプと一体化した余薦で出来て
おり、フィンの圧入、接着の必要性がないため、伝熱損
失防止ができる。又ヒートパイプ密閉管容器内面の凝縮
側の吸収板を併設することで、密閉管内部の熱吸収率を
高めることができ、熱効率を引あげるものである。
発明した該当の偏平−円形ヒートパイプは、固型で円型
をした底の部分図1に示す、その内面の側面にヒートパ
イプのすなわち蒸発部にV字型のグルーブ構図3に示す
加工を施し、内面の底面部、該当ヒートパイプの蒸発部
区2に示す、クモの巣形又はクロス形に細い■字形のグ
ルー溝加工を設けることで底面部のグルーブとなす。次
は底面部と側面部との曲り角図4に示すに、■字形で深
い溝を設け該当の製品をヒートパイプとして使用する時
、ヒートパイプ取り付け角度が平面、垂直、斜め等の角
度をつけて取り付けた場合でも、図4のV字形深溝の毛
細管圧力により底面部図2のクモの巣状又はクロス状7
字溝に切られた紹いグルーブを伝って、底面部全域に作
動液が行き渡るものである。
以上は函渠底面部と作動液の働きである。
次に図5に示すのは図1の固型に取り付けるフタの部分
となる金属加工品であり、図6に示す円型金属板の内面
部、ヒートパイプ密閉管内部の凝縮部にあたる部分で、
フタの板状に対し直角に羽根状の吸熱板を設け、フタで
ある金属と共金で加工を厖し凝縮部の吸熱面積を大にす
るための金属板の羽根状を併設し、その金属板とフタの
金属との付け根のコーナー部分を、凝縮部の湯液グルー
ブとして使用するものである。
図7に示すフィンは凝縮部で吸熱した熱量を、フタの金
属と同じ金属で加工を篤し、フィンとして使用すること
により次熱能力の増加を計るものである。以上に述べた
図1函渠部品と図5のフタ用の部品とを図8に示す、フ
タ止め段の位置に図5のフタを沈め、その円周を溶着し
減圧の後、作動液を注入のあとヒートパイプとして使用
するものである。
該当の偏平・円形ヒートパイプを製作の径、半導体の大
きさより少々大きめに、熱伝導のよい金属片を作り1、
銀ペーストを用いて接着しその金属片の側面部より中心
点まで穴をあけ、熱電対を挿入し金属片の平面部の片側
に半導体を接着し、もう一方の平面部に該当のヒートパ
イプを接着して、ヒートパイプの測定篤し次の結果を得
ることができた。但)ボトムヒートでの測定(2)トッ
プヒートでの測定(3)垂直での測定(4)45度に角
度をつけての測定、以上の測定の結果いずれも、−9二
度程度の温度差はあるものの、良好な測定ができた。
【図面の簡単な説明】
第1図 分解図 1@器の函形底面部 2容器内底面部のグルーブ 3容器内側面部のグルーブ 4容器内角の鋭角グルーブ 5容器上面のフタ ロ密閉管内部の吸熱板 7密閉管に付帯する放熱板 t1g2図 ヒートパイプ組立図 特許出厘人  伊藤 さとみ オ l■ #Jノ]Z

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 該当のヒートパイプには、図1に示す函形底面部(
    蒸発部)と図5に示す上面フタの部(凝縮部)から構成
    された偏平・円形ヒートパイプである。図1に示す函形
    底面部の内面底部全域、図2に示すクモの巣状又はクロ
    ス状にV字型溝を設け、その溝をグルーブとして使用す
    る(蒸発部)。側面部図3に示す内面の側面部全面にも
    V字型の溝を設け側面グルーブとして使用する。次に底
    面部と側面部の角図4に示す、鋭角の深溝の加工をする
    。 2 上面フタの部図5に示す、単体の素材金属の表面部
    に図7に示す一体物でフインを併設し、放熱面積を大に
    し、放熱時の金属伝熱損失を最小にして最大の放熱効果
    が期待できる。 図5のフタ金属の裏面図6に示す密閉管内部面にも、表
    面のフインと同様金属片を併設し、蒸気の吸熱面を大に
    して、金属片の付け根のコーナー部を帰液促進を計るグ
    ルーブとして使用するものである。
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US7480992B2 (en) 2000-12-22 2009-01-27 Hitachi, Ltd. Cooling plate and manufacturing method thereof, and sputtering target and manufacturing method thereof
CN109539846A (zh) * 2018-11-23 2019-03-29 西安交通大学 一种具有梯度润湿结构的平板热管

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