JPH0418431U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0418431U JPH0418431U JP5965190U JP5965190U JPH0418431U JP H0418431 U JPH0418431 U JP H0418431U JP 5965190 U JP5965190 U JP 5965190U JP 5965190 U JP5965190 U JP 5965190U JP H0418431 U JPH0418431 U JP H0418431U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- frame body
- holder
- retaining
- substrate holder
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による基板ホルダの
全体的な概略構成図、第２図は他の実施例の要部
斜視図、第３図は従来の基板ホルダの全体的な概
略構成図である。 １……操作ロツド、２……枠支持部材、３……
枠体、４……垂下体、５……保持ツメ、６……基
板、７……脱落防止ツメ。
全体的な概略構成図、第２図は他の実施例の要部
斜視図、第３図は従来の基板ホルダの全体的な概
略構成図である。 １……操作ロツド、２……枠支持部材、３……
枠体、４……垂下体、５……保持ツメ、６……基
板、７……脱落防止ツメ。
Claims (1)
- 操作ロツドの下端に吊り下げられて水平に保持
される枠体と、この枠体からほぼ垂直に配設され
た複数本の線状または帯状の垂下体と、これら垂
下体の下端部を内側に折り曲げて形成した保持ツ
メとを有し、これら保持爪の上に基板の周縁部を
のせてその基板を水平に保持するホルダであつて
、前記保持ツメは先端に向つて水平より下方に傾
斜して形成されていることを特徴とする液相結晶
生長用の基板ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5965190U JPH0418431U (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5965190U JPH0418431U (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0418431U true JPH0418431U (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=31586337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5965190U Pending JPH0418431U (ja) | 1990-06-07 | 1990-06-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0418431U (ja) |
-
1990
- 1990-06-07 JP JP5965190U patent/JPH0418431U/ja active Pending
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