JPH0418449U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0418449U JPH0418449U JP5803690U JP5803690U JPH0418449U JP H0418449 U JPH0418449 U JP H0418449U JP 5803690 U JP5803690 U JP 5803690U JP 5803690 U JP5803690 U JP 5803690U JP H0418449 U JPH0418449 U JP H0418449U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- basket
- basket body
- wafer
- identification mark
- claws
- Prior art date
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- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例に係るウエハ用バス
ケツトを示す概略斜視図、第２図は本考案の他の
実施例に係るウエハ用バスケツトの端面側正面図
、第３図は従来のウエハ用バスケツトを示す概略
斜視図である。 ４……側壁、５……端壁、６……外周壁、４ａ
，５ａ……上縁部、１０……ウエハ用バスケツト
、１２……バスケツト本体、１４……爪部、Ｗ…
…シリコンウエハ。
ケツトを示す概略斜視図、第２図は本考案の他の
実施例に係るウエハ用バスケツトの端面側正面図
、第３図は従来のウエハ用バスケツトを示す概略
斜視図である。 ４……側壁、５……端壁、６……外周壁、４ａ
，５ａ……上縁部、１０……ウエハ用バスケツト
、１２……バスケツト本体、１４……爪部、Ｗ…
…シリコンウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 バスケツト本体に収容されたウエハに関する情
報を表示する識別マークが前記バスケツト本体に
表示してあるウエハ用バスケツトにおいて、 前記バスセツト本体の外周壁の上縁部に、所定
の間隔で配置してある爪部が、バスケツト本体と
一体に形成してあり、これら爪部の数ないしは配
置間隔が前記識別マークとなることを特徴とする
ウエハ用バスケツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5803690U JPH0418449U (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5803690U JPH0418449U (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0418449U true JPH0418449U (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=31583282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5803690U Pending JPH0418449U (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0418449U (ja) |
-
1990
- 1990-06-01 JP JP5803690U patent/JPH0418449U/ja active Pending