JPH04186861A - 半導体デバイスの生産方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造システムに係り、特に、フレキシ
ブルな多品種生産ラインに好適な搬送システムを実現す
るための、搬送設備構成、処理装置構成及びこれらのコ
ントロールにより、被加工物の流れをコントロールする
方式に関する。

〔従来の技術〕

従来、半導体製造工場の製造ラインは特開昭５６−１９
６３５号公報に見られるように、ウェハを処理、搬送及
び保管するための処理装置等を設置している清浄な雰囲
気を必要とする作業エリアと付帯設備やユーティリティ
を設置している高い清浄度を必要としない保全エリアに
分離されていた。そのため、これらを効率的に配置する
ため、中央通路の左右に作業エリアと保全エリアを交互
に設けたペイ方式と呼ばれる構造をとっていた。そして
処理装置の配置は、このへイ方式で、−ヘイ内に同種の
処理装置を配置した、いわゆる、ショフショップ方式で
あった。

また、ウェハの搬送は、例えは、特開昭６３−２９９２
３号公報に見られるようにウェハをカセット（キャリア
と称することもある）に入れ、そのカセットをカセット
ケースに収納していた。

そして、ペイ方式では、処理装置間でのアエハの搬送は
、ヘイ内搬送とペイ間搬送とにより成り立ち、その接続
点であるペイの出入口にカセッ［・を収納するストッカ
を設けていた。つまり、ヘイ内搬送は、ペイの入口に設
けられたカセッ］・のストッカから処理装置にカセット
を搬送するものであり、ペイ間搬送は各ペイのストッカ
から他のペイのストッカへカセットを搬送するものであ
る。

そのため、一般に、処理装置から処理装置へのウェハの
搬送はペイ内の搬送車ロストツカ−ペイ間の搬送車中ス
トッカーヘイ内の搬送車というような経路で行われてい
た。

そして、無軌道の搬送車としては、ＡＧＶ　（Ａｕｔｏ
ｍａｔｉｃ　　Ｇｕｉｄｅｄ　　Ｖｅｈｉｃｌｅ）と呼
ばれる搬送車があり、数カセッ］・を混載して低速で搬
送していた。また、軌道式の搬送車は、例えば、特開昭
６２−１８５３３６号公報に見られるように、カセット
を数個数せて搬送するものがあった。

そして、ウェハの処理装置への投入は、特開昭６２−４
８０３８号公報に開示されているように自走式ロボット
が一個のカセットをハンドリングして行っていた。つま
り、ウェハを処理するときは自走式ロボットがストッカ
からカセットを取り出し、処理装置の前まで自走し処理
装置のローダ部にカセットをセットしてウェハを投入し
ていた。また、カセットに収納していたウェハが全て処
理を終了した場合は、自走式０ボツトが処８！装置の前
まで自走し、アンローダ部がらカセットを取り出し、ス
トッカまで自走して、ストッカにカセットを保管してい
た。

また、クリーン化に関しては、一般には付帯設備やユー
ティリティ関係を設置している保全エリアと処理装置の
設置している作業エリアを由央通路の左右にそれぞれ交
互に設けている。さらには、処理装置を自由にレイアウ
トできるように、付帯設備とユーティリティを一階に、
処理装置をニー階に設置した例もある。また、もう一つ
の動向としては、Ｓ　Ｍ　Ｔ　Ｆ方式と呼ばれるものが
ある。これは、クリーンエリアを最小におさえるため、
処理装置にウェハを投入する時は、予め処理装置に設け
られたインターフェースにカセットの入ったＳＭＩＦボ
ックスをセラ［・する二とにより行われる。

このようにすることにょリウェハは雰囲気を外と遮断し
てクリーンな状態で受は渡されていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、従来の生産方式では次のような多くの問題点
かあった。

ます、半導体プロセスは工程数が多く同じ工程の繰り返
しが多いため、従来のようなペイ方式ではヘイ間の搬送
経路が複雑になり、搬送に時間を費やすことになる。ま
た、前の工程の装置や後の工程の装置が状態か分からな
いため、装置間の同期が取りにくくなる。そのため、各
ヘイで仕掛り量が増え、その結果として工完が長くなる
。また、仮に製造ラインをフローショップ方式にしたと
しても、品種ごとに工程フローが異なるため、多品種生
産には対応できない。その上、半導体プロセスは工程の
変更が多く、品種も頻繁に切り換わるため、レイアウト
を頻繁に変更しなければならないことが考えられる。

また、処理装置に対するウェハの投入は、−ベイ内に配
置している処理装置に対して同一の自走式ロボットでウ
ェハを投入しなければならない。

ところが現状の半導体製造装置は、カセットを装填する
位置の高さ、奥行及びカセットの向きが処理装置ごとに
異なるため、−ベイ内には、そのベイ内を走行している
自走式ロボットがカセットを装填できる処理装置しか設
置できす、処理装置の選定、レイアウトに大きな制約を
受ける。また、新規に処理装置を導入した場合、自走式
ロボットの制約上利用できなくなる可能性がある。

また、処理装置とカセットを保管するストッカが位置的
に離れるため、処理装置にカセットを投入するのにある
程度、時間を要する。また自走式ロボットが、数台の処
理装置に付き一台しかないため同時に複数の処理位置に
カセットを投入できない。よって、これらの要因により
処理装置の稼働率が低く抑えられる。

また、クリーン化に関しては、ヘイ方式などのフロア全
体を高い清浄に保つ方式では、クリーン化しなけれはな
らない空間が広いので高い清浄度を維持するには、巨額
の投資を必要とし、運用コストも非常に高いものになる
。その上、ウェハと作業者が雰囲気的に分離されていな
いので、クリーンルーム内を高い清浄度に保つことは非
常に困難である。

一方、ｓ　ＭＴ　Ｆ方式てはウェハはカセット内に収め
られ密閉されているので、−枚ずつの取り扱いか困難で
ある。その上ウェハを取り巻く雰囲気は静止しているた
め、−度塵埃が発生すると取り除かれず、そのままウェ
ハに付着する可能性がある。

また、半導体は、ＡＳＴＣに代表されるように、多品種
の製品がそれぞれ少量求められている。また、将来的に
もこの多品種少量生産の傾向は強まることか考えられる
。そのため、ロットサイズが小さくなり２５枚入りのカ
セットに十数枚しがウェハを収納しなくなることが考え
られる。また、品種によってもロットサイズが異なって
きている。

そのため、従来と比較して同じ生産量にもがかわらす、
搬送しなければならないカセットの数が増え、従来より
高い搬送能力が必要となる。

さらには、半導体ウェハは、従来より、ウェハ径か４イ
ンチから５インチ、さらには、６インチと大口径化の一
途をたどっている。また将来的には８インチへと移行す
る傾向にある。そのため、ウェハをカセット単位で搬送
することが困難になることが考えられる。

また、処理装置は、ウェハを一枚ずつ処理する枚葉処理
か主流と成ってきている。

このように、多品種少量生産とウェハの大り径化及び、
枚葉処理装置化の傾向が増々はげしくなることが予測さ
れ、このような状況の下ではウェハを２５枚程度まとめ
てカセッ！・単位で管理することは、多品種少量生産に
おける最適ロットサイズ、カセットの重量化の点からみ
ても非常に困難になる。

５課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するため、本発明は次のような形で生産
を行う。

まず半導体プロセスの中で続けて処理することの多い工
程（例えばレジスト塗布コ露光；現像、洗浄中拡散）の
処理装置を対象に処理装置間にウェハを第一の処理装置
から第二の処理装置へ移載する装置（例えば、移載ロボ
ット）を設置し、処理装置の一貫性を図り（以下、この
ようにっないだ装置を一貫処理装置と称する）、フロー
ショップ化する。そしてこの一貫処理装置を半導体製造
プロセスの大きな流れに沿って（例えば、成膜＝ホトフ
エツチコ成膜＝・・・）トラック状の搬送路の回りに配
置する。また、ラインバランス上同種の一貫処理装置が
複数台必要な場合には、処理装置の運用を効果的に行う
ため、同種の一貫処理装置を一ケ所に集めて配置する。

そして、各−貫処理装置に、ウェハを保管する機能と搬
送車と処理装置との間でウェハを受は渡す機能を有する
装置を備える。つまり、各−貫処理装置に、そのウェハ
装填方法に対応じた移載ロボットと搬送車の搬送しでき
たウェハー枚ずつ管理、保管する保管棚を設けた装置を
設ける。

そして、一貫処理装置間で搬送するものをウェハのみに
限定する。つまり、ウェハをカセットに入れ、それをカ
セットケースに収納して搬送するのではなく、搬送車の
一部にカセットと同様なウェハを保持する機構を取り付
け、ウェハのみを搬送する。そして棚ごとにウェハの有
無を確認するセンサを設（ｆ、容態ごとに品種、加工履
歴を記載する。また、搬送車はすへての一貫処理装置を
巡回して、一貫処理装置の前に到着すると処理を絆了し
たウェハを載せ、さらに、その処理装置で処理するウェ
ハを下す。

また、ウェハの管理は一枚すっとする。そのため、ウェ
ハに一枚ずつ品種及び品種別の通し番号から成るウェハ
ナンバーを記載し、そのウェハナンバーで管理する。そ
して、ウェハの加工履歴は、コンピュータが管理し、全
体の進行制御に利用する。また、自動化に際しては、処
理装置が誤ってウェハを処理していないか、ウェハの欠
損かないかを確認するため処理後にウェハのウェハナシ
バーを識別する。

そして、クリーン化のため搬送中はウェハを収納した状
態で完全に密閉する。また、搬送車からウェハを処理装
置に投入するときはその雰囲気のみを高い清浄度に保つ
ためｇＪ囲と雰囲気を仕切り、移載ロボットと保管棚と
処理装置の一部のみをクリーン化する。そのグリーン化
のために、上面にＨＥＰＡフィルタ等の除塵フィルタと
送風用のファンを設け、床面はグレーチング構造として
垂直な層流状態にする。

〔作用〕

ラインの構造として、品種、工程順序が同類のものをま
とめてグループ化し、処理設備の前に、ウェハー枚づつ
品種グループ・工程ごとに、処理装置へ投入すべきウェ
ハまたは、処理装置から処理されて出てきたウェハを保
管する保管棚を設け、処理装置間をウェハを載せて搬送
する搬送設備でつなぐことにより、保管棚からどの品種
のどの工程のウェハを処理装置に投入するか、また、処
理されたウェハのどのウェハを搬送するかにより、ウェ
ハの流れをコントロールすることができる。

これにより各処理装置間で、流れの順序がコントロール
でき、計画に基づいたウェハの順序・量を保つように、
その度、任意のウェハを搬送させることで、あたかも品
種ごとの専用ラインであるかのように、ウェハを流すこ
とができる。

ウェハ自体に対しで、ウェハを処理する前に、ウェハの
品種と品種別の通し番号であるウェハナンバーを付ける
ことで、ウェハー枚ごとの管理か行え、また、識別装置
でウェハを識別することによりどのウェハかをウェハ自
体で確認することかできる。これにより、投入したウェ
ハかどの工程まで進んでいるかをウェハー枚羊位で正確
に知ることができる。

処理装置は、常に同し工程を繰り返す工程経路に対応じ
たそれぞれの装置を数台連ねることで、投入すると数工
程針処理されて出てくるため、管理する工程が少なくな
り、また、処理装置間の１・−タルの搬送距離、搬送回
数が少なくなる。

搬送設備と処理装置間のウェハ受は渡しでは、搬送設備
と処理装置間でウェハ移載する移載ロボットと処理装置
に投入、または、処理されたウェハを搬送車に載せるた
めに一時保管して品種グループ、工程ごとに管理する保
管棚、処理装置で処理されたウェハが、どのウェハなの
かを識別する識別装置を設け、これらをクリーンボック
スで囲んだウェハ授受ユニットにより、搬送車と処理装
置のウェハの移載をクリーンな状態で行え、ウェハー枚
ごとの進行を正確に把握することかでき、ウェハの流れ
を忠実に把握できる作用がある。

クリーン構成では、ウェハー枚づつ搬送棚に保管して密
閉搬送し、処理、または搬送するために一時保管する場
合はクリーンな雰囲気を保った状態で保管するクリーン
ボックスに入れることにより、グリーン領域を少なくす
る二とかできる。

ウェハの搬送単位は、−枚単位で搬送管理するため一枚
を基準とした管理が容易に行える。

搬送設備は、１〜ラツク状の軌道を巡回する搬送系に、
所定のステーションでウェハー枚単位で移載できるよう
にし、搬送中も一枚単位で保管することで、搬送設備を
有効に活用できる。

ウェハの流れては、工程順序が同類の品種をグループ化
することにより、制御量を少なくし、保管棚から投入す
る順序、搬送車てウェハを搬送する順序をコントロール
し、ウェハの品種グループ間の流れる割合を投入から搬
出まで一定にするようにウェハを流すことて、要求順序
・量に合ったウェハの生産かできる。

！実施例〕 本発明の一実施例を第１図から第４６図により説明する
。

全体構成図を第１図に示し、説明する。

中央部の天井に、トラック状の搬送レール１を設け、そ
の搬送レール１に沿って走行する搬送車２を設置し、こ
の回りに、ウェハの数工程の処理を行うように装置を連
ね構成した処理装置６０を設け、処理装置６０の前に、
ウェハを搬送する搬送車２との間でウェハの受は渡しを
クリーンな雰囲気中で行なう、ウェハ授受ユニット２０
を設置し、処理装置６０とウェハ授受ユニット２０を合
わせた設備モジュール９０を基本単位としていくつか構
成する。

処理装置６０でウェハが処理されると、搬送車２がウェ
ハを載せ次工程の処理装置６〇八と搬送し、次々と処理
工程を進めていくことて一連のウェハの処理が終了する
。これらの装置構成に、これから処理すべきウェハの投
入、又は、一連の処理が終了したウェハの搬出を行なう
投入・取り出し装置８０を搬送レール１の近傍に設ける
。また、ホストコン１ヘローラ１１０は、投入・取り出
し装置８０、搬送車２、ウェハ授受ユニツ１〜２０、処
理装置６０と通信ケーブル１１７で接続され、管理、コ
ントロールする。

この構成で、ウェハは最初、投入・取り出し装置８０か
ら、投入される。すなわち、搬送車２のいずれかが、投
入・取り出し装置８０まで移動して停車する。そして、
投入・取り出し装置８０から、ウェハが搬送車２に移載
される。この時、所定の処理が終了したウェハがある場
合は、搬送車２から投入・取り出し装置８０へ移載され
る。

搬送車２にウェハが載せられると、搬送レール１にそっ
て対象工程の所へ搬送車２が移動し、ウェハ授受ユニッ
ト２０で、ウェハを受は取り一時保管する。このとき、
処理が終了し、次工程に搬送するウェハがある場合は、
ウェハ授受ユニット２０から搬送車２に移載される。ウ
ェハ授受ユニット２０は、ウェハを品種グループ（処理
工程が同類の品種同士をグループ化したもの）及び工程
ごとに管理し、とのウェハでも任意に処理装置６０に投
入することかできる機能をもっている。そして、ホスト
コントローラ１１０の指令に基づき、ウェハ授受ユニッ
ト２０で、指定されたウェハを処理装置６０に投入し、
処理が終了するとウェハナンバー（品種、品種ごとの通
し番号）を識別し、再び、次工程へ搬送するため、−時
保管される。そして、搬送車２が来ると、ウェハ授受ユ
ニット２０でウェハを移載して、次工程へ搬送する。こ
のようにして、一連一の処理が終了するまで、この動作
を繰り返す。

一連の処理が終了すると、投入・取り出し装置８０の所
まで、搬送車２によって搬送され、投入・取り出し装置
８０へ移載される。

第１図で示したウェハ授受ユニット２０を第２図に示す
。第３図は、第２図の■矢視図、第４図は、第２図のＴ
Ｖ−ＴＶ線断面図、第５図は、Ｖ−Ｖ線断面図、第６図
は、ウェハ、第７図は、第２図の保管棚の平面図、第８
図は、第７図の保管棚のウェハ保持部の斜視図である。

ウェハ授受ユニット２０は、トラック状の搬送し−ル１
に沿って走行する搬送車２から所定の品種と工程のウェ
ハを受取り、それを処理装置（例えば、ホトリソ装置な
ど）６０に投入し、処理の終了したウェハを、再び、搬
送車２へ移載する機能をもっている。

ウェハ授受ユニット２０は、第２図に示すように、ウェ
ハを保管する保管棚３ｏ、ウェハをハシ１〜リングする
移載ロボット２１、ウェハに記載されている品種、品種
別の通し番号を示すウェハナンバーを読み取る識別装置
４０、及び、これらの装置と処理装置６０のローダ部６
１とアンローダ部６２を清浄な雰囲気に保つためのクリ
ーンボックスから構成されている。保管棚３０には第８
図に示すようにウェハ７０を一枚ずつ保持するための保
持部３１が設けてあり、各保持部３１にはウェハ７０の
有無を確認するためのセンサ（たとえば光電スイッチな
と）が設けてあり、ウェハ授受ユニット２０を管理、コ
ントロールするウェハ授受ユニットコントローラがウェ
ハ有無の確認を行う。

第３図に示すように、ウェハ授受ユニット２ｏのの中央
部に、移載ロボット２］を配置させ、搬送棚１０１〜保
管棚３０間、保管棚３０〜ロ一ダ部６Ｉ間、アンローダ
部６２〜Ｒ別装置４０間、識別装置４０〜保管棚３０開
のウェハの移載を行う。移載ロボット２１の構成を第４
図で説明する。

移載ロボット２１は、−枚のウェハを真空吸右するグリ
ッパ−２２と前腕２３及び上腕２４か上下軸２５で上下
動するように構成されている。移載ロボット２１のコン
トローラは、ウェハ授受ユニットコン［・ローラから移
載の指示を受け、移載ロボット２］を　′コン（・ロー
ルしでウェハを移赦し、ウェハ授受ユニットコントロー
ラにウェハの移載が終了したことを伝える。

識別装置４０の構成を第５図を用いて説明する。

′識別装置４０は、照明光源４２とテレビカメラ４１及
びデータ処理部４３により構成される。移載ロボット２
１により識別装置４０のステージ部４４にセットされた
ウェハには照明光源４２により光があてられ、ウェハに
明示されたウェハナンバーをテレビカメラ４１でとらえ
、画像データとして取り込む。そして、その画像データ
をデータ処理部４３で解析し、ウェハナンバーを読み取
る。

ウェハは、第６図に示すように、そのウェハの品種を示
す品種名７１と品種別につけられた通し番号７２よりな
るウェハナンバー７３が書き込まれている。そして、ウ
ェハナンバー７３の読み取りは識別装置４０で行われる
。これによりウェハー枚−枚を管理することができる。

クリーンボックス５０はウェハを搬送棚５と処理部ｆｉ
ｔ６０の間で受は渡すときにウェハを汚染させないよう
に雰囲気を清浄に保つもので、第３図に示すように保管
棚３０、移載ロボット２１、識別装置４０、及び処理装
置のローダ部６１、アンローダ部６２を内部に収めてい
る。

第４図、第５図で示すように、クリーンボックス５０の
構成は、上面に内部の空気の流れが層流になるように送
風用のファン５２と送風の塵埃を取り除＜ＨＥＰＡフィ
ルタ５３をとりつけ、下面は送風が吹きぬけるようグレ
ーチング構造となっている。

また、搬送棚５との間でウェハを受は渡すことができる
ように開閉するクリーンボックス扉５１か側面に取り付
けられている。二のクリーンボックス扉５ｊは通常は閉
しられており、搬送車２の搬送棚５がセットされたとき
に開く。

搬送車２の正面図を第９図に、側面図を第１０図に示す
。例えば自動処理機器の第四回国際会議（ｐ、ｐ３０３
〜３１３）　　（４ｔ、ｈ　　Ｉｎｔ、ｃｒｎａｔｉｏ
ｎａｌ　　Ｃｏｎｆｅ−ｒｅｎｃｅ　　ｏｎ　　Ａｓｓ
ｅｍｂｌｙ　　Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ　　Ｐｒｏｃｅｅ
ｄｉｎｇ（ｐ、　ｐ、　３０３〜３１３）に類似の実施
例が見られる。

搬送ψ２にはカイト用車輪６と駆動装置７（例えばリニ
アモータ）か取付けられており、搬送レール１に沿って
動くような構造となっている。また、搬送棚５をクリー
ンホックス５０にセットするための昇降装置３、及び、
昇降ヘッド４を具備している。昇降ヘット４は、上下動
ガイド９に沿って上下動駆動装置８（たとえばモータと
ボールねしなど）により上下動する構造となついる。ま
た、搬送棚５は前後動ガイド】Ｊに沿って、ｍｊ後動駆
動装置１０（例えば、モータとボールねしなと）により
前後の動きをする構造となっている。第２図を用いて動
作を説明する。搬送車２は予め設置されたトラック状の
搬送し−ル」に暫垂して走行し、ウェハ授受ユニッ［・
２ｏの前で停止すると、昇降ヘット４をクリーンボック
ス扉５１の位置まで下げ、次に、搬送棚５をクリーンボ
ックス５ｏに進入させる。そして、クリーンボックス扉
５］が開いた後、搬送側扉ｊ２が開くようになっている
。そして移載ロボット２１のグリッパ−２２により、ウ
ェハの移載が終了すると、搬送側扉１２が閉じ、クリー
ンボックス扉５】か閉し、前後動ガイド１】により搬送
棚５を戻し、昇降ヘット４をもとの高さに戻す。

第１１図に投入・取り出し装置８ｏの構成を示す。

第１２図は第】］図のＸ１ｌ−ＸＩＩ線断面図を示した
ものである。

第１１図において、投入・取り出し装置８ｏはウェハを
ハンドリングする移載ロホッ（・８１、ウェハを保管す
る保管棚８２、及び、これらの装置を清浄な雰囲気に保
つクリーンボックスにより構成されでいる。第１２図に
おいて、クリーンボックスは、ウェハ授受ユニットのと
ころで説明したように、送風用のファン８５と送風の塵
埃を取り除＜ＨＥＰＡフィルタ８６をとりつけ、下面に
は送風が吹き抜けるようグレーチング構造となっている
。また、搬送車２に載せられた搬送棚５との間でウェハ
を受は渡すことができるように扉（第４図のクリーンボ
ックス扉５１と同様）と、これから処理すべきウェハを
投入したり、処理の終了したウェハを取り出したりする
ために開閉する搬送側扉１０４か側面に取り付けられて
いる。搬送棚１０１は走行車］００から投入・取り出し
装置８０に対しウェハの投入・取出しを行うため、走行
車１００には、搬送棚１０１を保持するアーム１０３　
を直進駆動するスライドガイ）；’１０２　　（例えば
、モータ及びボールねし）か具備されている。走行車１
００が投入・取り出し装置８０の所定の位置にくると、
停車し、アーム１０３を直進させ、グリーンボックス８
３に搬送棚１０１　を入れ込みセットする。クリーンボ
ックス扉８４、搬送側扉１０１　がそれぞれ開き、移載
ロボット８１により搬送棚１０１のウェハを取り出し、
保管棚８２にセ・ントする。このとき、処理の終了した
ウェハがある時は、保管棚８２から搬送棚１０１　にウ
ェハを移載する動作も連続的に行う。この移載中、第１
１図のように搬送車２がきて、搬送棚５が投入・取り出
し装置８０にセットされた場合、保管棚８２〜搬送棚５
間の移載も同時に行う。搬送棚１０２　の移載か終了す
ると、搬送側扉］Ｏ１、グリーンボックス扉８４が閉ま
り、アーム１０３を戻し、走行車１００によって、次工
程へ搬送させる。

第１３図は、第１図の制御系統図を示したものである。

ホストコントローラ１１０は、下位に第２図に示すウェ
ハ授受ユニット２０と処理装置６０から成る設備モジュ
ール９０を一つのコントロール系の構成単位として、ウ
ェハ授受ユニット２０のコン）・ローラであるウェハ授
受ユニットコントローラ】１３、識別装置４０のコント
ローラである識別装置コントローラ１１１、移載ロボッ
ト２１のコントローラであるロボットコントローラ１１
２、処理装置６０のコントローラである処理装置コント
ローラ１１４　を設ける。その他に、ウェハの投入・取
り出し装置８０のコントローラである投入・取り出し装
置コントローラ１１６　とウェハ移載を行う移載ロボッ
トのコントローラであるロホッ［〜コントローラ６０２
、搬送車２のコントローラである搬送車コントローラ］
１５　を設ける。

ホストコントローラ１１０は、ウェハと品種グループ・
工程ごとに進行管理するデータを保持し、各コントロー
ラと連係をとりながら指示、確認を行い、ウェハがスム
ーズに流れるように制御する。

ウェハ授受ユニットコントローラ１］３は、保管棚３０
に保管しているウェハの種類を管理し、又、ロボットコ
ントローラ１１２　と通信し、ウェハ授受ユニット２０
をコントロールする。

識別装置コントローラ１１１　は、識別装置４０で識別
したウェハのウェハナンバーをウェハ授受ユニットコン
トローラ１］３に送信する。

ロボットコントローラ１１２　は、移載ロボット２】の
起動、停止、動作をコントロールする。

処理装置コントローラ１１４は、処理装置６０の処理状
態とレシピを管理し、処理装置６０のコントロールを行
う。

搬送車コントローラ１１５は、搬送車２の起動、停止、
走行のコントロールし、搬送棚５の棚番に対して、どの
品種グループのどの工程のウェハか保持されているかを
管理する。

投入・取り出し装置コントローラ１１６は、投入・取り
出し装置８０の保管棚８２に対しで、どの棚にどの品種
グループのとの工程のウェハを保管しているか管理し、
ロボットコントローラ１１２　と通信し、投入・取り出
し装置８０のコントロールを行う。

これらのコントローラ間は、トークンリング構成の光Ｌ
ＡＮで接続し、二本の通信ケーブル１１７により各装置
コントローラを結び、各装置コントローラの接続部は、
システム障害に応じてスイッチングにより障害を回避す
るようにして、ケーブルの継線、各装置のコントローラ
ダウンによる通信障害を防ぐ構造としている。

この構造により、高速通信ができ、ポイント・トウ・ポ
イント方式から送受信時間か計算できるためリアルタイ
ムにデータ通信が行え、各コントローラ間の通信時間の
消費が少なく、信号の優先度かつけやすいので、コント
ロールしやすい。

第１３図に示したコントローラ構成に基づいて必要なデ
ータ構成を第１４図〜第２２図に示す。

ホストコントローラ１１０は、第１４図に示す品種ａ、
、ｂ、、・・ごとの工程フローデータ１２０から、第１
５図に示すような、工程順序とレシピか同類である品種
ａｔ、　　ａ２−・・・のものをクループ化した品種グ
ループＡ、Ｂ、・・・を作成して品種グループ工程フロ
ーデータ１２［を決定する。また、ウェハの進行制御を
行うため、第１６図に示すように、品種グループごと及
び工程二とに仕掛っている仕掛り量を示す品種グループ
別仕掛りデータ１２２、第１７図に示すように、品種グ
ループごとに各工程に仕掛るべき標準仕掛り量を記した
標準仕掛りデータ１２３を管理している。また、第１８
図に示すように、処理装置ごとに仕掛っている仕掛り量
を示す装置別仕掛りデータ１２４、また、第１９図に示
すように、各搬送車で搬送しているウェハの種類と加工
履歴を示す搬送車データ１２５も管理している。

ウェハ授受ユニットコントローラ１１３は、各保管棚に
保管しているウェハをそれぞれ管理するため、第２０図
に示すように、保管しているウェハの情報を保管棚デー
タ１２６　として、管理している。

搬送車コントローラ１１５は、各搬送棚に保管している
ウェハをそれぞれ管理するため、第２］図に示すように
、搬送棚のウェハの情報を搬送棚データ１２７として管
理している。

処理装置コントローラ１１５は、第２２図に示すように
、加工条件（レシピ）をコード化したレシピＮｏに対応
するその処理装置の加工条件を表す情報をレシピデータ
１２８　として持っている。

以下者データについて詳細に説明する。

第１４図に示す工程フローデータ１２０は、品種別に、
処理順序に従って、工程順序と加工条件であるレシピを
表すレシピＮｏが付けられている。

第１５図に示す品種グループ工程フローデータ１２１は
、工程フローデータ１２０より作成したものであり、工
程順序とレシピが同類である品種ａｌ。

ａ２・・・のものをグループ化した品種グループＡ。

Ｂ、・・・ごとの工程フローチャートである。

第１６図に示す品種グループ別仕掛りデータ１２２は、
ウェハの品種グループと加工履歴別に全てのウェハの枚
数をデータとしてもつものである。

第１７図に示す標準仕掛りデータ１２３は、品種グルー
プごとに各工程に仕掛るへき標準仕掛り量を示したもの
である。

ホストコントローラ１１０は、これら品種グループ工程
フローデータ］２１、品種グループ別仕掛りデータ１２
２、標準仕掛りデータ１２３により処理すべき品種グル
ープ、工程を選択する。

第１８図に示す装置別仕掛りデータ１２４は、処理装置
別に保管棚に保管しているウェハの品種グループと加工
履歴と枚数をデータとしてもつものである。そして、ホ
ストコントローラ１１．０は、このデータに基づき処理
装置に対し着工指示を行う。

第１９図に示す搬送車データ１２５は、搬送車が保管し
ているウェハの品種、加工履歴、及び、枚数をデータと
してもつものである。そして、ホストコントローラＪＩ
Ｏは、二のデータに基づき搬送車から保管棚に移載する
指示を行う。

第２０図に示す保管棚データ１２６は、各保管棚の一つ
の保持部二とにつけた保管棚番号に対して、保管してい
るウェハのウェハナシバー、加工履歴、及び保管棚に保
管された順番を示す到着順番を対応させたものである。

ウェハ授受ユニットコントローラ１１３は、このデータ
に基づいて同じ品種グループ、加工履歴のウェハの中で
処理するウェハを特定する。

第２１図に示す搬送棚データ１２７は、各搬送車の搬送
棚の一つの保持部ごとにつけた搬送棚番号に対して、搬
送しているウェハのウェハナンバー、加工履歴及び搬送
車に乗せられた順番を示す到着順番をつけたものである
。搬送車コントローラ１１５は、このデータに基づき同
し品種グループ、加工履歴のウェハの中で保管棚に移載
するウェハを特定する。

識別装置コントローラ１１１のデータ処理フローチャー
トを第２３図に示し、処理フローを説明する。

識別装置コントローラ］Ｈは、識別装置４０ヘセツトさ
れたウェハのウェハナンバーを画像データとして取り込
み（ステップＡ２）、データ処理を行い（ステップＡ３
）、ウェハナシバーが読み取り可能かどうか判断する（
ステップＡ４）。そＬで、読み取り可能ならば、ウェハ
ナンバーを読み取る（ステップＡ５）。そ巳て、ウェハ
授受ユニットコントローラ１１３に、読み取り結果とし
て、ウェハナンバーを送信する（ステップＡ　６　’、
）。ところが、ウェハナンバーを読み取れなければ、文
字読み取り誤り訂正可能か、つまり、ウェハナシバーが
完全に読み取れなくとも、ある程度読み取る二とが可能
で、Ｋζ１確率でウェハナンバーを判別できるかを判断
する（ステップＡ７）。文字読み取り誤り訂正可能なら
ば、文字読み取り誤り訂正を行う（ステップＡ８）。そ
して、そのウェハナンバーを読み取り（ステップ八〇）
、ウェハ授受ユニットコントローラ１］３に、読み取り
結果として、ウェハナンバーとその再マーキングか必要
であることを送信する（ステップＡｌ０）。文字誤み取
り誤り訂正か不可能であるならば、ウェハか識別装置３
３０にセットされた状態から処理をやすなおす。そして
、三回縁り返しても、ウェハナンバーを判別できなけれ
ば、識別結果として、ウェハ授受ユニットコントローラ
１１３に、識別結果として、読み取りか不可能であるこ
とを伝える（ステップＡ１２）。

以下、第２図、第１３図第１８図ないし第２１図、及び
第２４図ないし第２７図により各装置の動作とコントロ
ーラ間の通信手順を説明する。

移載ロボット２１のウェハ移載動作は（１）搬送棚５−
保管棚３０（２）保管棚３０コ処理装置６０のローダ部
６１（３）処理装置６０のアンローダ部６２二識別装置
４０コ保管棚３０（４）保管棚３０争搬送棚５の四つで
ある。たたし、移載ロボット２１を効率的に動かすため
、搬送棚５−保管棚３０、保管棚３０−搬送棚５のウェ
ハ移載動作は同時に並行して行う。

搬送棚５と保管棚３００間でウェハを移載する時の各コ
ントローラの処理手順とコントローラ間の通信手順を第
２４図に示して説明する。

搬送車コントローラ１］５は、搬送車２がウェハｎ９ユ
ニツト２０の前に到着する（ステップＢｌ）と、ボスト
コントロ−ラ たことを送信する（ステップＢ２）。そして、オス）・
コントローラ］］Ｏが受信する（ステップＢ３）。

すると、ホストコントローラ ら保管棚３０に移載する八きウェハの品種グループ、加
工履歴及び枚数を搬送車コントローラ］］５に送信する
か、保管棚３０、搬送棚５間で移載するウェハかない場
合は、搬送車コントローラ１］５に対し、そのまま走行
するように指示（搬送指示）を送信する（ステップＢ　
４　、　Ｂ　５　）。また、ホストコントローラ１１０
は、保管棚３０がら搬送棚５に移載するべきウェハの品
種グループ、加工履歴、及び枚数を決定し、ウェハ授受
ユニットコントローラ１１３に送信する（ステップＢ７
，Ｂ８）。すると、搬送車２は昇降装置３で上下動ガイ
ド９を下し、前後動ガイド１１を前進させ、ウェハの入
っている搬送棚５をクリーンボックス扉５１にセットす
る。

そこで、クリーンボックス扉５コが開き、次に搬送側扉
１２が開く。このようにして搬送棚５のウェハはクリー
ンボックス５０内の移載ロボット２〕で自由に出し大君
できる状態になる（ステップＢ６）、そこて、ウェハ授
受ユニットコントローラ１］３は、第２０図に示す保管
棚データ１２Ｇに基づき、移載するウェハを決定する。

（ステップＢ９）。また、搬送車コントローラ１１５は
、搬送棚データ１２７に基づき移載するウェハを決定し
、そのウェハのウェハナンバー、加工履歴、搬送棚番号
、及びウェハの入っていない棚の搬送棚番号をウェハ授
受ユニットコントローラ＋１３に送信する（ステップＢ
１０、　Ｂ１１）。そして、ウェハ授受ユニットコント
ローラ１】３は、保管棚３０から搬送棚５に移載するウ
ェハの移載光である搬送棚の位置、搬送棚５から保管棚
３０へ移載するウェハの移載光である保管棚の位置、及
び搬送棚５から保管棚３０へ移載するウェハの移載光の
位置を移載するウェハ全てについて決定し、移載手順を
決定する。（ステップＢ１２）。その決定した手順に基
づいて、ロボットコン）・ローラ１１２に対して移載光
と移載光を送信する（ステップＢ］４．　　Ｂ１５）。

移載ロボット２１はその指示に基ついて、作業を行い（
ステップＢ１６）、終了した時７ｑて終了したことをウ
ェハ投置ユニ・・、・トコントローラ１１３に伝える（
ステップＢ１７．Ｉ、］Ｂ８゜二の作業をホストコント
ローラ１１０の指示したウェハ全てについて移載か終了
するまで繰り返す。たたし、二の移載処理の途中で、処
理装置コントコーラ］１４からウェハ移載の要求かあっ
た場合は、移載処理を中断し、処理装置コントローラ１
１４の要求に応し、その後、処理を再開する。

終了すると、ウェハ授受ユニットコントローラ１１３は
、搬送車コントローラ］］５に対し、搬送棚５に移載し
たウェハのウェハナンバー、加工履歴、及び搬送棚番号
を送信する（ステップＢ　１９．　Ｂ　２０）。

そして、保管棚データ１２６の保管棚の棚番号に対応じ
ている、ウェハナンバー、加工履歴及び到着順番を更新
する（ステップＢ２１）。さらに、ホストコントローラ
１１０に対して、保管棚３ｒｌに保管しているウェハの
品種グループ、加工履歴を送信する（ステップＢ２２．
　　Ｂ２６）。また、搬送車コントローラ１１５は、搬
送棚データ１２６の搬送棚番号に対応するウェハナンバ
ー、加工履歴及び到着順番を更新する（ステップＢ２３
）。さらに、ボス）・コシトローラ１］０に対して、搬
送棚５に保管しているウェハの品種グループ、加工履歴
を送信する（ステップＢ２４．　Ｂ２６）。そして、搬
送車２は、次の搬送を開始する（ステップＢ２５）。ま
た、ホス［・コン）・ローラ］１０は、ウェハ授受ユニ
ットコン）・ローラ］１３及び搬送車コントローラ１１
５がら、送信されてきた、保管棚５に保管しているウェ
ハの品種グループ、加工履歴、及び搬送棚３ｏに保管し
ているウェハの品種グループ、加工履歴を受信する（ス
テップＢ２６）。そして、ホストコン［・ローラ１１０
は、装置別仕掛りデ〜り１２４、品種グループ別仕掛り
データ１２２、及び搬送車データ１２５を更新する（ス
テップＢ２７）。

次に、保管棚３０から処理装置のローダ部６１ヘウエハ
を移載する時の各コン［・ローラの処理手順とコントロ
ーラ間の通信手順を第２５図に示して説明する。

ホストコントロ−ラ ーラ１１４に対し着工指示として、処理すべき品種グル
ープ、加工履歴、レシピＮ○．及び枚数を送信する（ス
テップＣ１．Ｃ２）。そして、処理装置コントローラ］
１４は二の指示に従ってレシピを設定する（ステップＣ
３）。そして、処理装置コントローラ１１４　は処理装
置６０がウェハを処理できる状態になったら、ウェハ授
受ユニットコントローラ］１３に対して、処理するウェ
ハの品種グループと加工履歴を送信する（ステップＣ４
．Ｃ５）、。

受信したウェハ授受ユニットコントローラ】］３は該当
する品種グループ、加工履歴のウェハの中で、最も早く
保管棚１］０に保管されたウェハを保管棚データ１２６
で検索し、ウェハを選択する（ステップＣ６）。そして
、そのウェハナンバーを処理装置コントローラ１１４に
伝える（ステップＣ８）と共にそのウェハの保管されて
いる保管棚の位置をロボットコントローラ１１２に伝え
、保管棚３０がら処理装置のローダ部６１にウェハの移
載を指示する（ステップＣ９，ＣＩＯ）。この指示に基
づき、移載ロボット２１はウェハを保管棚３０がも取り
出して処理装置６０のローダ部６１にセットする（ステ
ップＣ１１）６終了すると、ロボットコントローラ１１
２が作業を終了したことをウェハ授受ユニットコントロ
ーラ１１３に伝える（ステップＣ１２，Ｃ１０）。

ウェハ授受ユニッ）・コントローラ１］３はウェハの保
管棚データ１２６を消去する（ステップＣ１４）。

一方、処理装置６０はウェハの処理を開始する（ステッ
プＣ１３）。

次に、処理装置６０による処理が終了して処理装置のア
ンローダ部６２から識別装置４０ヘウエハを移載し保管
棚にウェハを保管する時の各コントローラの処理手順と
コントローラ間の通信手順を＄２６図に示して説明する
。

処理装置６０は処理を終えたウェハをアンローダ部６２
に運ぶ（ステップＤ１）。そして、処理装置コントロー
ラ１１４は、ウェハ授受ユニットコントローラ］］３に
アンローダ部６２のウェハのウェハナンバーを送信して
、取り出しを要求する（ステップＤ２．Ｄ３）。すると
、ウェハ授受ユニットコントローラ１１．３は、ロボッ
トコントローラ１１２に対し、アシローダ部６２から識
別装置４０ヘウエハを移載するように指示する（ステッ
プＤ４．Ｄ５１：　。

この指示に基つき、移載ロホツ］・２Ｉはウェハをアシ
ローダ部６２から取り出して識別装置４０にでツ、Ｉ・
する（ステップＤ　６　）。終了すると、ロポッ［・コ
ントローラ１１２か作業を終了したことをウェハ投受ユ
ニットコントローラ］１３に伝んる（ステ・・ノブＤ７
．Ｄ８）。そして、識別装置コントローラ１１］　は、
ここで第２３図に示したような識別、処置をし、識別結
果をウェハ授受ユニットコシ１〜ローラ］１３に送信す
る（ステップＤ９．Ｄ］Ｏ）。そして、ウェハ授受ユニ
ットコントローラ１１３は識別装置コントローラ１１Ｆ
　より識別結果を受信するとぐステップＤＩＯ）　、ウ
ェハを保管する保管棚３０の位置を決定しくステップＤ
１．ｌ）、ロボットコン［・ローラ１１２にその位置を
伝え、移載を指示する（ステップＤＩ２．　　Ｄ］３）
　。そして移載ロホッｔ−２１か、識別装置４０からウ
ェハを取り、保管棚３０へ保管する（ステップＤ１４）
。終了すると（ステップＤ１５．Ｄ１６）　、ウェハ授
受ユニットコントローラＪ１．３はウェハを保管した保
管棚番号に対応するウェハナンバー、加工履歴を保管棚
データ１２６として記すＣする（ステップＤＩ７）。更
に、ホストコントローラ１ＪＯに処理の終了したウェハ
のウェハナンバー、加工履歴を送信する（ステップＤ］
８）。

ホストコントローラ１１０は、ウェハナンバー、加工履
歴を受信しくステップＤ１９）　、品種グループ別仕掛
りデータ］２２、及び装置別仕掛りデータ１２４を更新
する（ステップＤ２０）。

第２８図に、第１図に示した生産システムに対して、ど
のような順序でウェハに投入を行うかを決定する投入計
画フローを示す。作業量に対して、実現可能な標準日程
要求量を求め（ステップＥ１．）、この値に対し、日ご
との要求量と納期を満足した上、作業量の平準化を行い
、これとともに要求量の平準化か行われる（ステップＥ
２）。要求生産量に対応する品種をグループ（処理工程
が同類のもの）すなわち、品種グループに分類する（ス
テップＥ３）。次に、品種グループごとの要求割合を保
った要求順序を決定しくステップＥ４）、さらに、品種
グループ内の品種の割合を保った要求１１１ＦＩ序を決
定する（ステップＥｔ）。これらの要求順序により、そ
れぞれの品種グループの要求順序に対して、品種の要求
順序を順番にあてはめていくことにより、品種ごとつま
り、ウェハー枚単位の要求順序か決定され、この要求順
序をそのまま投入順序として決定する（ステップＥ６）
。以下、各処理手順を詳細に説明する。

第２９図に、標準日程要求量を求め、装置のレシピ等変
更に伴う作業の平準化を行う作業量を図った要求量平準
化方法を示す。図において、原占Ｏとスケジューリング
期間の総要求量である作業量をＥとした端点、Ｅと、日
々の要求生産量、実現可能で守らなけれはならない生産
量に対する作業量の累積である累積最遅負荷の各部分に
ピンを立て、ゴムひもを実現可能な生産量に対する作業
量である累積限界負荷と、納期を守った最低生産量（白
丸で示す）に対する作業量でもある累積最遅負荷との開
にいれ、両端○、Ｅを緊張させた時、このコムひもの作
る折れ線か要求量、納期を満足する平準化負荷となる。

二の負荷曲線から日ごとの要求量を求める。二の時、ヨ
ごとの要求量に端数が発生した場合は、スケジューリン
グ期間内の全体要求量に平準化要求量か一致するように
調整する。

また、−日の作業量が非常に少なくなった場合、その作
業量に見合った作業量を前倒しする。このようにするこ
とて、実現可能な作業量で、納期に遅れることなく、作
業量の平準化を行うことかでき、これに伴い、要求量の
平準化も図れる。

次に、投入順序算出方法について示す。第３０図に示す
ように用語を定義する。ｋ日目に対象となる品種グルー
プ数がＭ、品種グループ内の品種数かＮて、平準化要求
量がＰｊｌの時、全要求生産量Ｘは、 ｊ＝］ｉ−１ となり、品種グループＪの距離基準Ｉａｊは、］　ｏ　
ｊ　＝　−（ｊ　＝１　、２　、・・・）ΣＰｊ１ 】：１ となり、品種クループＪの品種ｌの距離基準１ｏｊは となり、品種グループごと、品種ごとの距離基準か求ま
る。

この距離基準Ｉｏｊと距離ｆｊから正規化距離Ｚｏｊを
求める。次に、品種グループごとに、正規化距離Ｚｏｊ
の大きいものから順に順序っけをし、同様に、それぞれ
の品種グループに対して、品種ことの正規化距離Ｚｏｊ
を求め、品種ことり順序っけを行う。

このようにすることで、品種単位の一枚ごとの要求順序
がわかり、この順序に基づいて投入する二とにより、要
求量に対する品種グループごとの割合、品種ことの割合
が常に保たれ、要求に合った生産を行うことができる。

第２８図から第３０図に示した投入１偵序決定方法を具
体的に例題を用いて第３］図から第３６図を用いて示す
。

第３１図に、スケジューリング期間を六Ｈ間としてその
要求量を示す。二の要求量に基ついて、累積負荷グラフ
を作成したものを第３２図に示す。このグラフの平準化
負荷より、平準化した日ことの要求量を第３３図に示す
。

次に、この要求量に基づいた要求順序算１すＪ方法につ
いて説明する。品種グループごとの要求順序である一番
目を算出してみると、 距離基準Ｉｏｊは、 品種グループＡ　　　］ｏＡ＝□＝２．４１ノＢ１ｏＢ
＝−＝２．４ ＩノＣＩｏＣ＝−＝６ となり、距離］ｊはす八て１であるから、正規化距離Ｚ
ｏｊは、 品種グループＡ　　　ＺｏＡ　＝　−＝　０．４１２．
４ ］ ＩノＢＺｏＢ＝−＝０．４１ ２．４ 品種グループＣ７，ＯＣ−＝０．１ｆ’ｉとなる。正規
化距離か同値のときは、品種グループの若い順に投入す
るものとして、品種グループＡか要求順序フとして算出
される。このようにして品種グループ間の要求順序を求
めた結果を第３４図に示す。

第３５図に平準化Ｒ′ｌｉの要求量、第３６図に平準化
後の要求量をグラフで示す。これかられかるように、負
荷量全体か平準化され、品種グループ間でも平準化され
ているのかわかる。

次に、品種グループ内の品種二との要求順序決定方法に
ついて説明する。

品種グループへのグループ内の距離基準Ｉｏｊｉは、品
種　ａ、　　　］ｏＡａ、＝　−＝２．５ｎ　　　ａ、
］］ｏＡａ２−−： ／／　　ａ３］ｏＡａ、＋＝−＝５ １ノａ＜］ｏＡａ４”＝−＝５ ］ となり、距離１］１はす八て１であるから、正規化距離
Ｚ○１１は、 ］ 品種　ａ　、　　　ＺｏＡａ、　＝　−＝　０．４２．
５ ］ ノー　　　　　　ａ　　、　　　　　　　ＺｏＡａ　２
　＝　　　−＝０．２１Ｉａ３７．ｏＡａ３＝−＝０．
２ ノー　　　　　　ａ　　４　　　　　　　　ＺｏＡａ　
４　＝　　　−＝　　０．　２となり、品種ａ１が要求
１＠序］として算出される。

このようにして、品種ことの要求順序が決定される。品
種グループごとの要求順序に、品種二との要求順序をあ
てはめ投入順序を決定した結果を第３７図に示す。この
要求順序に基づき投入を行うことでウェハのスムーズな
流れを作れる。

第３８図に、第１図に示した装置構成において、どのよ
うにウェハを流すが、つまり、進行制御を行うかを示す
。設備モジュール９ｏをいくつが構成し、ある工程フロ
ーの山て、処理順序が同類の品種をまとめた品種グルー
プごと、及び、工程ごとに管理する二とて、生産の同期
確保と装置の稼働率向上を図ったスムースな゛ウェハの
流れをつくる保管棚３０の前には、いろいろな品種のい
ろいろな処理工程のウェハが仕掛り、とのウェハを投入
するかで、流れをコントロールする二と力＼てきる３そ
二で、品種グループ工程ごとにそれぞれ最適な仕掛量で
ある標準仕掛り量を設定し、二の増減をチエツクしてウ
ェハを順序よく流す。

次に、第３８図に示したように、品種グループことに専
用ラインであるかのよつにウェハをスムーズに進行させ
る方法を示す。多種、多工程のウェハの進行制御に必要
なデータを第１４図から第１７図に示し、進行制御方法
を説明する。

第１４図に示す品種ａ＋、ｂｉ、　　・ごとの工程フロ
ーデータ］２０から、第１５図に示すように、工程とレ
シピか同類である品種ａ１．　　ａ２・・・のものをグ
ループ化した品種グループＡ、Ｂ、・・・を作り出して
品種グループ工程フローテータ１２１　を決定する。

第１６図は、物理的に実際に仕掛っている量を記憶した
品種グループ別仕掛りデータ１２２である。第１７図に
、品種グループことに各工程に仕掛る標準仕掛り量を算
ハ１した標準仕掛りデータ１２３を示す。

第１８図は、装置別の実際の仕掛り量を記憶した装置別
仕掛りデータ１２４である。

次に、とのようにして、進行制御を行うかを説明する。

あるサンプリング時間ことに、標準仕掛りデータ１２３
に示す各工程ごとの標準仕掛り量に対して、品種グルー
プ別仕掛りデータ１２２の仕掛り量が最も少ない品種グ
ループ、工程順序のウェハを抽出する。この時、最も少
ない品種グループ工程順序に対応じたウェハかいくつか
あった場合は、品種グループが若いもので、かつ、工程
順序が若い工程を抽出し、その前工程を品種グループ工
程フローデータ１２１から選び出し、その工程のウェハ
を着工するように指示する。例えば、標準仕掛りデータ
１２３の中で、品種グループＢの工程順序３か、標準仕
掛り量に対して、実際の仕掛り量は２で最も少ないとす
ると、不足分３を前工程に要求する。そこで、品種グル
ープ工程フローデータ１２１より、品種グループＢの工
程順序３０前工程である工程順序２を抽出し、装置別仕
掛りデータ］２４　により、その品種グループ、及び工
程のウェハか仕掛っている処理装置を検索し、その処理
装置６０に着工させる。

以下、二のように、サンプリングことに不足分を抽出し
、ウェハの進行制御を行う。

第１図に示した構成において、ウェハの流れを第３９図
に示す。ウェハの流れを第４０図に示したフローチャー
Ｉ・によって説明する。ウェハか投入されると（ステッ
プＧ１）、搬送車によって最初の工程に対応じた処理装
置の所まで搬送され（ステップＧ２）、保管棚に一時保
管され（ステップＧ３）、ウェハの処理装置から投入要
求がくると処理装置に投入処理しくステップＧ４）、処
理終了後、品種等のデータを持ったウェハナンバーを識
別装置で識別しくステップＧ５）、この工程か終了した
ことを確認の上、再び、保管棚に一時保管され（ステッ
プＧ６）、そして、搬送車によって搬送され（ステップ
Ｇ７）、一連の処理が終了したかどうかをチエツク（ス
テップＧ８）し、終了でない場合、次の工程に、搬送さ
乙、一連の処理か終了するまで二のループを繰り返じ、
終了すると搬出（ステップＧｌ）さγしる。

第４１図ない：第４３図に第１図で示した装置構成にお
いて、ウェハか投入から搬出されるまでの一連の装置の
動きを詳細に示したフローチャー１・を示す。

この第１図に示す生産システムにウェハか投入されると
、第１１図に示すように、走行車１００の搬送棚１０２
に投入すべきウェハかセットされ（ステップＨ１）、走
行車１００か来たかどうかを判断（ステップＨ２）し、
来ない場合はステップＨ］］進み、来た場合、走行車＋
００は投入・取り出し装置８０の所定の場所まで床面を
走行してくる（ステップＨ３’）。所定の位置で停止し
、搬送棚１、　０　］　を載せたアーム］０３か前進し
、クリーンホックス扉８４と搬送側扉］０４　を密着さ
せる（ステップＨ４）。

クリーンホックス扉８４を開き（ステップＨ５）、搬送
側扉１０４　を開く（ステップＨ６）。投入・取り出し
装置８０の保管棚８２／＼セツトす八きウェハかあろか
どうかを′！Ａ］断′、−（ステップＨ７）、ある場合
は、移載Ｏボット８］により、搬送棚１０１　から保管
棚８２にセットする（ステップＨ８）。ない場合はステ
ップＨ９に進む。次に、搬送棚１０１１＼セツトするウ
ェハかあるか判断しくステップＨ９Ｃ１ある場合は、移
載口ホット８１により、保管棚８２から搬送棚１０１　
にセット（ステップＨ１０）巳、ない場合はステップＨ
１ｌに進む。次に、搬送車２か到着しているかどうかを
判断しくステップＨ〕１）、到着してなければ、ステッ
プＨ２０に進み、到着していれば、搬送車２から投入・
取り出し装置８０／＼降ろすウェハがあるかどうかを判
断（ステ・ンブＨ１２）シ、降ろすウェハかなければ、
ステップ８１８まで進み、降ろウェハかあれば、上下動
ガイ［・９を下降（ステップＨ］３）させ、ｉ″ｌｊ後
動カイｌ”　ｌ　］を前進（ステップＨ１４）させて、
搬送側扉１２をクリーンボックス扉５１に密着させてセ
ットする。そして、クリーンボックス扉５〕を開き（ス
テップＨ１５）、搬送棚Ｂ１２を開く　（ステップＨ１
６）。移載ロボット８１により、搬送棚５から保管＃ｌ
Ｉ］８２ヘセツト（ステップＨ４７）する。ざらに、搬
送車２１＼載せるウェハかあるかどつかを判断（ステッ
プ８１８）　！、、、なれけはステップＨ１９に進み、
乗せるウェハかある場合は、移載口ホット８］により、
保管棚８２から搬送棚５にセラ＋−（ステップＨ１９）
する。投入・取り出し装置８０の中てウェハ移載かある
かどうかを判断（ステップＨ２０）し、ある場合は、再
び、ステップＨ２に戻り、ステップＨ２〜ステップＨ２
０を繰り返し、ない場合は、走行車１００の搬送棚１０
１　にウェハをセットしたかどうかを判断（ステップ）
−１２１）　Ｌ、セットしない場合、ステップ）（２７
に進み、セットした場合は、走行車１００（ｌｆｌでは
、走行車１００の搬送棚１ｏｌｌ扉を閉しくステップＨ
２２）、クリーンボックス扉８４を閉しくステップＨ２
４）、走行車１００のアーム１０３を後退（ステップＨ
２４）すると、水行車１００は移動（ステップＨ２５）
を開始し、次工程へ搬送（ステップＨ２６）する。搬送
車２側では、搬送棚５を閉しくステップ）１２７）　、
クリーンボックス扉８４を閉しくステップＨ２８）で、
前後動カイト１］が後退（ステップＨ２９ン　し、上下
動ガイドか上昇（ステップＨ３０ンして、搬送状態に戻
る。次に、次］−程搬送の要求が・くるまで待ち（ステ
ップＨ３］）、要求がくると、第２図に示すように、次
工程へ移動（ステップ）（３２）　Ｌ、搬送車２か到着
する（ステップＨ３３）。到着すると、投入取り出し装
置８０場所か判断し、その場所であれはステップＨ２に
戻り、その場所でなけれは、上下動ガイド９か下降（ス
テップＨ３５）巳、前後動カイ１＜］１を前進（ステッ
プＨ３６）させて、搬送棚１２とクリーンボックス扉８
４に密着させてセットする。クリーンボックス扉を開き
（ステップＨ３７）、搬送側扉１２を開く。搬送棚５か
ら降ろすウェハかあるかどうかを判断（ステップＨ３９
）シ、ない場合はステップ８４］に進み、ある場合は、
移載ロボット２］により、搬送棚５から保管棚３０にセ
ラ［・（ステップＨ４０）する。次に処理装置６０に投
入するウェハがあるかどうかを判断（ステップ８５３）
し、ない場合は、ステップＨ４３に進み、ある場合は、
移載口ボッ！〜２１により、保管棚３０から処理装置６
０のローブ部６１に投入（ステップＨ４２）する。

次に、処理装置６０のアンロータ部６２から識別装置４
０へ搬送するウェハかあるかどうかを判断（ステップＨ
４３）Ｌ、ない場合は、ステップＴ（４５；ｉで進み、
ある場合は、処理装置のアンローダ部４０２から識別装
置３３０へ搬送（ステップＨ４４）する。次に、識別装
置４０から保管棚３０に戻るウェハがあるかどうかを判
断（ステップ７（４５）Ｌ、ない場合はステップＨ４７
に進み、ある場合は、移載ロボット２１により、搬送棚
５から保管棚３０にセット（ステップＨ４６）する。ウ
ェハ授受ユニット２０内で搬送車２〜保管棚３０間、保
管棚３０〜処理装置６０間、処理装置６０識別装置４０
間、識別装置４０〜保管棚３０間でつ↓ハ移載があるか
どうかを判断し、ある場合は、ステップＨ３９まて戻り
、ステップ）（３９〜ステツプＨ４７を繰り返し、ない
場合は、搬送側扉１２を閉じ（ステップＨ２７）　、　
グリーンボックス扉５１を閉じ（ステップ）（２８）　
、前後動カイト１１か後退（ステップ）（２９）　Ｌ、
上下動カイト９か上昇（ステップＨ３０）して搬送状態
に戻る。そして、搬送車２を次工程に進める。二のよう
にして、搬送車２によりウェハを搬送冨なからウェハの
処理カロエを進めでいく。

′実施例゛ 本発明の他の実施例を第４４図から第４６図により説明
する。

第４４図、第４５図は、集口・分散併用型の回転式保管
機構と搬送・授受機構を示したものであζ１、。

第４４図は、例えば、半導体のある膜形成ができる処理
工程（設備＞　ａ、ｂ、ｃ、ｄを酸化・拡散工程、ホ１
〜レシ工程、！・ライエツチング工程、インプラ工程を
形成する最／ｉｓ規模（］台又は複数台でノの連続した
処理を行なう一貫処理設備２００（ａ）２００（ｂ）２
００（ｃ）２００（ｃｌ）て構成（フロック化）する。

そして、一貫処理設備を第４４図のように、回転式保管
設備２０１の周辺に配置し、一貫処理設備２００　／＼
処理対象物（ロット又はウェハ）を供給したり処理完了
後（こ回収するための処理設備　保管棚間授受インタフ
ェイス２０２を一貫処理設備の直ｉｌｉ″ｌＪに配置す
る。この回転式保管設備２００は、処理対象物（ロット
又はウェハ）の格納用工ｊノアである保管棚２０３を設
けており、常に、又は、随時、区の矢印の方向に回転し
なから、必要な処理対象物を必要な処理工程に供給した
り回収する。又、処理設備・保管棚間授受インタフェイ
ス２０２は、要求に応じて、回転式保管設備２００の保
管棚２０３から製品受渡し機構２０４を利用して処理対
象物を取り出したり、格納したりできる。第４６図は、
第４５図の断面を示したものである。例えば、ホトレシ
工程の一貫処理設備２００（ｂ）、インプラ工程の一貫
処理設備２００（ｄ）は、図のように、ＨＥＰＡ　（天
井）２０５を通して送られる清浄度の高い作業域（高清
浄）２０７に隔離した状態で設備し、雰囲気を遮断する
。

ある膜形成か終了した処理対象物は、回転式保管設備２
０１の保管棚２０３から処理設備・保管棚間授受インタ
フェイス２０２の製品受渡し機構２０４により、天井搬
送システム２０６へ送られる。そして、次の膜形成をブ
ロックへ送り製品化する。

第４６図は、ある膜形成を処理する単位にブロック化し
たものを天井搬送システム２０６で結んだものである。

１ブロツクは、一貫処理設備２００を四工程たけて形成
し、回転式保管設備２０１　を中心に図のように配置す
る。そして、回転式保管設備２０１　と処理設備２０Ｇ
の間に処理対象物の授受インクフェイス２０２　を各々
設ける。各−頁処理設備２００のメンテナンスや設備の
更新に必要なエリアは、保全域２０８を図のように設け
、作業性や拡張性に対応する。二のブロックの配置は、
図のようにブロックのサイズや形状の標準化を図って、
星状・放射状・くもの巣状に配置したり、ランダムに配
置し、天井走行システム２０６で結び付けることもてき
る。このブロックは、同一機能を持つ設備で構成するこ
とも可能でありジョブショップ配置や擬似ライン化の配
置も可能である。

ご発明の効果〕 本発明によりは、約二百台の設備で構成されるラインに
おいて、約五口回の作業を必要とする微細加工製品を対
象とした場合、ライン仕掛量の総量規制ができるので作
業待ち時間の大巾な削減にまり工完も大巾に削減（ジョ
ブショップ方式に比較して、１７２〜１．／３以下）で
きる。又、工完の大巾な削減により歩留り同上対策期間
の短縮が可能となる。二の結果、歩留り向上（数８゜）
も期待てきる。

二の方式は、微細加工特有の職場を対象としてあり、薄
膜製品等にも適用可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の全体の斜視図、第２図はウ
ェハ授受ユニットの斜視図、第３図は第２図のｍ矢視図
、第４図は第２図のＴＶ−ＴＶ線断面図、第５図は第２
図のＶ−Ｖ線断面図、第６図はウェハの平面図、第７図
は保管棚の側面図および平面図、第８図は保管棚のウェ
ハ保持部の斜視図、第９図は搬送車の構成を示す正面図
、第１０図は搬送車の構成を示す側面図、第１１図は投
入・取り出し装置の斜視図、第１２図は第１０図の罵−
Ｘｌｌ線断面図、第１３図はコントローラのフロック図
、第１４図は工程フローデータの説明図、第１５図は品
種グループエ稈フローデータの説明図、第１６図は品種
グループ別仕掛りデータの説明図、第１７図は標準仕掛
りデータの説明図、第１８図は装置別仕掛りデータの説
明図、第１９図は搬送車データの説明図、第２０図は保
管棚データの説明図、第２］図は搬送棚データの説明図
、第２２図はレシピデータの説明図、第２３図は識別装
置のデータ処理フローチャート、第２４図、第２５図は
搬送棚、保管棚間のウェハ移載時のコントローラ間通信
手順のフローチャート、第２６図は保管棚、処理装置間
のウェハ琲載時のコントローラ間通信手順のフローチャ
ート、第２７区は処理装置、識別装置、保管棚間のウェ
ハ移載時のコントローラ間通信手順のフローチャー１・
、第２８図は投入計画フローチャー１・、第２９図は平
準化負荷グラフ、第３０図は投入順序決定用語の定義説
明図、第３１図は例題の標準日程要求量の説明ス、第３
２図は例題の平準化負荷グラフ、第３３図は例題の平準
化要求量の説明図、第３４図は例題の品種グループ別投
入順序の説明図、第３５図は例題の平準化前の要求量の
説明図、第３６図は例題の平準化後の要求量の説明図、
第３７図は例題の品種別投入順序の説明図、第３８図は
進行制御方式の説明図、第３９図はウェハのフローチャ
ート、第４０図はウェハの流れのフローチャー１・、第
４１図ないし第４３図は装置の動作フローチャー１・、
第４４図は実車・分散併用型回転式保管機構のブロック
図、第４５図は集中・分散併用型搬送・授受機構のフロ
ック図、第４６図は集中・分散併用型多品種搬送全体の
説明図である。 １・・・搬送レール　　　　２・・・搬送車３・・・昇
降装置　　　　　４・・昇降ヘット５・・・搬送棚　　
　　　　６・・・カイト車輪７・・駆動装置　　　　　
８・上下動駆動装置９・・上下ガイド１ｏ・・前後動駆
動装置１１・・前後動ガイドＩ２・・搬送側扉２０・・
ウェハ授受ユニット２１・移載ロボット２２・・グリッ
パ　　　　　２３・・ｉｉｒ腕２４・・上腕　　　　　
　　２５・・上下軸３０・・保管棚　　　　　　３１・
・保持部４０・・識別装置　　　　　４トテレビヵメラ
４２・咥明光源　　　　　４３・・データ処理部４４・
・・ステージ部　　　　５ｏ　　クリーンボックス５１
・・クリーンボックス扉５２・・ファン５３−　ＨＥ　
Ｐ　Ａ　Ｖ　４　Ｌ　タロ０−処理装置６１・・ローダ
部　　　　　６２・・アンローダ部７０・・ウェハ　　
　　　　７］・・・品種名７２・・品種別通し番号　　
７３・ウェハナンバー８０・・・投入・取り出し装置８
１・・移載ロボット８２・保管棚　　　　　　８３・・
・クリーンボックス８４・・クリーンホックス扉８５・
　ファン８６・・ＨＥＰＡフィルタ　９ｏ・・・設備モ
ジュール１００・・走行車　　　　　１０１・・搬送棚
１０２・・・移載装置　　　　１０３　　アーム１０４
・・・搬送側扉 １１０・・・ホストコン［・ローラ １」］　　・識別装置コントローラ １１２・・ロボットコントローラ １１３　　・・ウェハ授受ユニットコントローラ」１４
・・処理装置コントローラ １］５・搬送車コントローラ １］６・・・投入・取り出し装置コントローラ〒４図 ｊｌ　「− ノ ！シー”ｉ５［ｋ イ６図 竿７図 ｉ６図 〒１２図 〒３ス 〒１０図 ｆｆ１１３図 閉１４図 竿１５図 ｆｆｉ＋６図 毫１７図 ４１６図 〒１コ霞 〒２０図 〒２１関 ｆｆ１２２図 ｍ２５図 屍？ε図 〒２３図 □千導化色雨 ｒｆＪ５０関 〒５ｊ又 弊５４霞 ｆｆ１Ｊ６霞 ′ｆ３０ 児ｃＪ図 驚４４霞 〒４５霞

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数の種類のワークを処理する処理手段、複数の種
   類の前記ワークを搬送する搬送手段、前記搬送手段の相
   互間で前記ワークを授受する移載手段より成る生産シス
   テムにおいて、 前記処理手段間で多品種の前記ワークを搬送し、前記処
   理手段間の負荷バランスの吸収や前記処理手段の処理速
   度に応じて前記ワークを供給するために保管し、必要に
   応じて処理の順序を変更し、授受手段が、前記処理手段
   の標準化された共通のワーク授受機構をもち、前記搬送
   手段との間で所望の種類のワークを認識して授受するこ
   とを特徴とする多品種搬送方法。 ２、ワークを収納した搬送用治具を多品種同時に搭載し
   て処理手段間を走行し、前記処理手段に対応づけて設け
   た前記ワークの移載手段の所定の位置に停止する搬送手
   段と、前記搬送手段との間で所望の種類の前記ワークを
   認識して前記搬送用治具を授受する移載手段とで構成さ
   れたことを特徴とする多品種搬送装置。 ３、複数の種類のワークを処理する処理手段の間で前記
   ワーク又は、前記ワークを収納した搬送用治具を搬送す
   る搬送システムにおいて、 多品種ワーク又は前記搬送用治具の搬送と、前記処理手
   段間の負荷バランスの吸収や吸収速度を調整するための
   保管と必要に応じた順序変更と前記処理手段の標準化さ
   れた共通の前記ワーク授受機構と所望の種類ワークの認
   識を同時に行う搬送手段で搬送することを特徴とする多
   品種搬送装置。 ４、多品種のワークを同時に搬送する搬送システムにお
   いて、前記ワークを処理する処理手段間で、前記ワーク
   の進行順序、及び進行速度を制御するために処理前と処
   理後に分けて保管する手段を設け、前記保管手段間を搬
   送する搬送手段と、前記搬送手段、前記保管手段間、前
   記保管手段、前記処理手段間の移載を行う移載手段と、
   移動元と移動先とを示された移動指示に基づいて移動さ
   れたワークの物理的位置を確認するトラッキング手段と
   により搬送を行うことを特徴とする多品種搬送方法。 ５、請求項１ないし４において、前記搬送・保管手段と
   して、製品化に必要な同一機能をもつ処理設備又は、異
   なる処理設備毎に保管手段を設け、それらの間を放射状
   、星形状又は、くもの巣状にはりめぐらした搬送路を介
   して搬送する多品種搬送方法。