JPH04196336A - 平板型電子部品リードの浮き検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ＱＦＰ形ＩＣ，ＳＯＰ形ＩＣ，ＰＬＣＣ形Ｉ
Ｃ，ＬＣＣ形ＩＣ等の多数のリードを有する平板型電子
部品（面装着用ＩＣ等）のリードの浮き上がりを検出す
るのに好適な平板型電子部品リードの浮き検出装置に関
する。

（発明の概要） 本発明は、辺に沿って複数本のリードが突設された平板
型電子部品（面装着用ＩＣ等）のリードの浮き上がりを
検出するための平板型電子部品リードの浮き検出装置に
おいて、平板型電子部品を吸贅ノズルで保持し、レーザ
ー変位計をＸ−Ｙテーブルに固定し、前記吸着ノズルと
前記Ｘ−Ｙテーブルの相対運動により前記レーザー変位
計を前記複数本のリードを横断する方向に走査すること
によって、高精度かつ高速でリードの浮き上がりを検出
可能としたものである。

（従来の技術） 面装着用ＩＣ等の平板型電子部品は多数のリードを微小
間隔で引き出したものであり、リードの曲がり、位置ず
れ、浮きがあると、プリント基板への装着時（はんだ付
は時）にプリント基板上のパターンに対して接続不良が
発生しやすい。リードの曲がり、位置ずれに対しては平
板型電子部品のリードを直接的にＴＶ左カメラ写してリ
ードの曲がり及び位置ずれを検出可能であるが、リード
の浮き検出は直接的にリードをＴＶ左カメラ写す構成で
は実現困難である。ここで、リードの浮きとは、第８図
のようにプリント基板ｌ上に面装着用ＩＣ等の平板型電
子部品１０を載置したとき、正常なリード１１Ａはプリ
ント基板面に接するが、浮きが生じたリードＩＩＢは基
板面より上方に離れて浮いてしまうことであり、はんだ
付は不良の原因となる。

従来、上記のリード浮き検出を行う装置とじては、本出
願人より特開昭６３−２６２８５２号において提案した
ものがある。この装置は、ファイバープレート上に平板
型電子部品を載置して斜め方向より光を照射し、リード
の浮きがあるとファイバプレートとリード先端間に隙間
ができることに起因してファイバプレート下方側のＴＶ
左カメラ画像が変化することに着目したものである。

（発明か解決しようとする課題） ところで、特開昭６３−２６２８５２号の構成は、リー
ト浮きについての測定精度に難点があると認められる。

すなわち、リードの浮きか大きい場合にはファイバープ
レート下方のＴＶカメラ画像に判別可能な変化が生じる
が、リードの浮きが軽微な場合には検出できなくなる恐
れがある。とくに、近年のリード幅及びリード配列ピッ
チの狭小化及びプリント基板側パターンの微細化を考慮
したとき、軽微なリードの浮きの存在もはんだ付は不良
の原因となる恐れがでてくる。

本発明は、上記の点に鑑み、平板型電子部品のリードの
浮きを高精度で迅速に検出可能な平板型電子部品リード
の浮き検出装置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本発明は、辺に沿って複数
本のリードが突設された平板型電子部品を吸着ノズルで
保持し、前記複数本のリードに対向自在にレーザー変位
計を配置し、前記吸着ノズルと前記レーザー変位計の相
対運動により前記レーザー変位計を前記複数本のリード
を横断する方向に走査する構成としている。

（作用） 本発明の平板型電子部品リードの浮き検出装置において
は、平板型電子部品の複数本のリードにレーザー変位計
を対向させて走査することによって、各リードとレーザ
ー変位計との距離、換言すればリードの浮きを高精度で
検出できる。測定精度はレーザー変位計自体の性能で決
まるが、２０μ狛程度の分解能が得られる。また、平板
型電子部品の保持は、プリント基板に平板型電子部品を
装着するための吸着ノズルを利用して実施でき、レーザ
ー変位計の走査はプリント基板を搭載するＸ−Ｙテーブ
ルを利用して実施できるから、簡単かつ安価な機構で実
現できる。

さらに、レーザー変位計の出力を増幅処理し、最も高さ
の安定した各リードの幅方向中央の測定値を順次メモリ
に記憶し、該メモリの記憶内容の相互比較によりリード
の浮きを検出する構成とすれば、多数のリードを有する
平板型電子部品についても迅速にリード浮き検出ができ
る。

（実施例） 以下、本発明に係る平板型電子部品リードの浮き検出装
置の実施例を図面に従って説明する。

第１図は実施例の全体構成を示し、１はプリント基板を
位置決め保持するためのＸ−Ｙテーブル、２は電子部品
を吸着保持するための吸着ノズル、３はＸ−Ｙテーブル
の現在位置を知るためのエンコーダ、４はＸ−Ｙテーブ
ル駆動用ＡＣサーボモータ、５はＸ−Ｙテーブル駆動用
サーボドライブ及び６はＮＣコントローラであり、これ
らはプリント基板に電子部品を装着するための電子部品
装着機の主要構成部分でもある。前記エンコーダ、サー
ボモータ及びサーボドライブはＸ−ＹテーブルのＸ軸及
びＹ軸に対してそれぞれ設けられている。

前記吸着ノズル２で吸着保持されるＱＦＰ等の平板型電
子部品１０の各辺に沿って突設された各リード１１に対
向自在な如く、Ｘ−Ｙテーブル１にはレーザー変位計１
２が固定されている。このレーザー変位計１２の出力は
変位計コントローラ１３で増幅処理されアナログサンプ
ルコントローラ１４に入力される。該アナログサンプル
コントローラ１４はレーザー変位計１２と各リード１１
の幅方向中央との距離（すなわちリードの浮き情報を含
んだ測定値）をディジタル値に変換して記憶し、全リー
ドについての検出データが揃ったところで前記ＮＣコン
トローラ６内のコンピュータに該検出データをＶＭＥバ
スを介し送出するものである。前記レーザー変位計１２
及びアナログサンプルコントローラ１４の構成及び動作
の詳細は後述する。

第２図はレーザー変位計１２の原理的な構成例であり、
赤外線レーザー光等を発生するためのレーザー光源２０
、投光用レンズ２１、集光用レンズ２２及び１次元Ｐ　
Ｓ　Ｄ　２３　（Ｐｏ５ｉｔｉｏｎＳｅｎｓｉｔｉｖｅ
　Ｌｉｇｈｔ　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ　：半導体位１検出素
子）を備えている。この１次元ＰＳＤ２Ｂは集光スポッ
トの位置に応じて電極間抵抗が変化するため、集光スポ
ットの位置検出ができる素子である。

第２図の構成において、投光用レンズ２１の中心から物
体までの距離検出は三角測距の原理を使用する。すなわ
ち、測ろうとする距離βの範囲をＪｌ１ｍｗ＋からＩ！
ｚｔｔ＋ｗｎ、投光用レンズ２１と集光用レンズ２２の
光軸間距離をＢｍｍ、集光用レンズ２２とＰＳＤ受光面
間距離をｆｍｍとすると、距離１＋。

Ｉ２のときのＰＳＤ受光面（全長し）の集光スボッ）ｘ
、、ｘ２は Ｘｌ：　Ｂ−ｆ ！。

Ｘ２＝　Ｂ　ｆ Ｉ２ となり、距離に応じて集光スポットが移動することがわ
かり、集光スポットの移動に伴い１次元ＰＳＤ２３の電
極間抵抗が変わり電流１．、Ｉ２が変化する。従って、
電流ＩＩ、Ｉ２から物体、すなわちレーザー光ビームが
当たった平板型電子部品１０のリード１１の距離（投光
用レンズ２１からリード１１までの距離：約３０ｍｍ）
を検出できることが判る。

前記変位計コントローラ１３は上述の１次元ＰＳＤ２３
の電流変化を増幅処理し、レーザー変位計１２とリード
間距離に略比例したプラスマイナス数Ｖの電圧信号を出
力するものである。

第３図はアナログサンプルコントローラ１４の詳細を示
し、レーザー変位計の増幅処理後の出力、すなわち変位
計コントローラ１３がらのアナログ入力をＡ／Ｄ変換す
るＡ／Ｄ変換器３０と、平板型電子部品１０の各辺に突
設されたり−ド１１のうちＸ軸方向に沿った辺に関する
リードについてのサンプル位置を規定するＸ軸力９フ２
部３１と、Ｙ軸方向に沿った辺に関するリードについて
のサンプル位置を規定するＹ軸カウンタ部３２と、各リ
ードについてのディジタル信号変換後の距離測定値を記
憶するメモリ３３と、サンプリングデータ総数を計数す
る総数カウンタ３４と、メモリ書き込み開始アドレスを
指定する開始アドレス指定用カウンタ３５と、メモリア
ドレスを順次切り替えて行くためのデータセレクタ３６
と、デ・−タバッファ３７と、ステータス読み出し用ラ
ッチ３８と、コントロール出力書き込み用ラッチ３９と
、メモリ書き込み中であることを示すビジー出力を発生
するビジーＦ／Ｆ　（フリップフロップ＞４０と、前記
Ａ／Ｄ変換器３０の変換のタイミングを調整するタイミ
ング調整部４１と、前記Ｘ−Ｙテーブル１側のロータリ
ーエンコーダ３のＸ軸及びＹ軸についての信号を受は取
るためのエンコーダインターフェース４２と、前記ＮＣ
コントローラ６側のＶＭＥバスに接続するためのＶＭＥ
バスインターフェース４３と、デコーダ４４と、各種ゲ
ート等を備えている。

Ｘ軸力９フ２部３１は、Ｘ−Ｙテーブル１をＸ軸方向に
移動することにより、レーザー変位計１２をＸ軸方向に
走査する場合、例えば第６図の走査開始点Ｓｔから１番
目のリード１１の幅方向中央までの距離を計数するサン
プルスタート位置指定用カウンタ３１Ａと、隣合うリー
ドの幅方向中央間の距１ｆｉ　Ｌ　ｐを示すサンプルピ
ッチ指示用カウンタ３１Ｂと、Ｘ軸方向のサンプル回数
を指示するためのサンプル回数指示用カウンタ３１Ｃと
を有している。同様に、Ｙ軸力９フ２部３２は、Ｘ−Ｙ
テーブル１をＹ軸方向に移動することにより、レーザー
変位計１２をＹ軸方向に走査する場合、Ｘ軸走査終了点
くＹ軸走査開始点でもある）からＹ軸方向で１番目のリ
ード１１の幅方向中央までの距離を計数するサンプルス
タート位置指定用カウンタ３２Ａと、隣合うリードの幅
方向中央間の距離Ｌｐを示すサンプルピッチ指示用カウ
ンタ３２Ｂと、Ｙ軸方向のサンプル回数を指示するため
のサンプル回数指示用カウンタ３２Ｃとを有している。

次に第４図のフローチャートに従って実施例の動作説明
を行う。まず、ステップ＃１「ピックアップ」で吸着ノ
ズル２が所望の平板型電子部品１０を電子部品供給部よ
り吸着して保持し、ステップ＃２［撮像位置に移動、で
吸着ノズル２は画像処理装置の撮像手段（ＴＶ左カメラ
の撮像位置に移動する。ステップ＃３「画像処理解析」
では第５図のように静止中の吸着ノズル２で吸着された
平板型電子部品１０の水平面内の回転（方向ずれ量）Δ
θ、吸着ノズル中心と部品中心間のＸ軸、Ｙ軸方向のず
れ量△Ｘ、△Ｙ及び１番目のり一ド１１の位置（例えば
リード先端中央）Ｆ（Ｘ、Ｙ）を求める。ステップ＃４
「θの補正回転」では前記ステップ＃３で求められたΔ
θを相殺して正しい姿勢となるように吸着ノズル２が補
正回転を実施する。ステップ＃５「検出開始、終了位置
を求める」では第６図の如く補正回転後の平板型電子部
品１０の１番目のリード１１の位置Ｆ（Ｘ、Ｙ）からレ
ーザー変位計１２の走査開始位置（リード浮き検出開始
位置）Ｓｔ（Ｘ、Ｙ）を求める。このＳｔは走査終了値
１でもある。なお、これらのステップ＃１乃至＃５の演
算、制御処理はＮＣコントローラ６側で実行される。

ＮＣコントローラ６側のテーブルには吸着された平板型
電子部品１０についてのリード数、リード幅Ｌｗ、リー
ドピッチＬｐがストアーされており、ステップ＃６「ア
ナログサンプルコントローラへのパラメータ設定」では
アナログサンプルコントローラ１４に第６図のΔθ補正
後における１番目リード位ｆｉＦ（Ｘ、Ｙ）、走査方向
、リートピッチＬｐ、リード数等のパラメータをＶＭＥ
バスを介して入力する。１番目リード位置Ｆ（Ｘ、Ｙ）
は、Ｘ軸力９７２部３１のサンプルスタート位置指定用
カウンタ３１Ａにプリセットされ、同様にＹ軸方向の１
番目のリード位置がＹ軸力９フ２部３２のサンプルスタ
ート位置指定用カウンタ３２Ａにプリセットされる。Ｘ
軸方向のリードピッチＬｐはＸ軸力９７２部３１のサン
プルピッチ指示用カウンタ３１Ｂに、Ｙ軸方向のリード
ピッチＬｐはＹ軸力９フ２部３２のサンプルピッチ指示
用カウンタ３２Ｂにそれぞれプリセットされる。Ｘ軸方
向のリード数はＸ軸力９７２部３１のサンプル回数指示
用カウンタ３１Ｃに、Ｙ軸方向のリード数はＹ軸力９フ
２部３２のサンプル回数指示用カウンタ３２Ｃにそれぞ
れプリセットされる。さらに、リード総本数が総数カウ
ンタ３４にプリセットされる。

ステップ＃７「レーザー変位計移動　データサンプリン
グ」では、吸着ビン２側は固定とし、第６図の如くレー
ザー変位計１２を走査開始点ＳｔからＸ軸方向、）′軸
方向、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の順で平板型電子部品１０の
四辺に沿って等速で走査していく。レーザー変位計出力
を変位計コントローラ１３で増幅処理後の距離測定信号
（レーザー変位計と該レーザー変位計のレーザー光ビー
ムが当たったり一ド１１との間の距離を示す信号）は第
７図のようになり、レーザー変位計のレーザー光ビーム
がリード１１の幅方向中央に当たったときの距離測定信
号が安定して信頼性が高いことが判る。そこで、変位計
コントローラ１３の距離測定信号をアナログサンプルコ
ントローラ１４でサンプリングする場合、各リード１１
の幅方向中央に対応した距離測定信号をＡ／Ｄ変換して
メモリ３３に書き込むようにする。

上記ステップ＃７の動作を第３図を用いて説明する。

ＮＣコントローラ６からはＸ−Ｙテーブル駆動用サーボ
ドライブ５にＸ−Ｙテーブル１をＸ軸方向に移動させる
信号が出力されると同時にアナログサンプルコントロー
ラ１４内のコントロール出力書き込み用ラッチ３８にも
動作スタートの信号が送出される。これによりレーザー
変位計１０の動作がオンとなり、かつビジーＦ／Ｆ４０
よりメモリ書き込み中を示すビジー出力が出される。こ
の結果、Ｘ−Ｙテーブル１のＸ軸方向の移動を示すＸ軸
カウントパルスがＸ−Ｙテーブル側のロータリーエンコ
ーダ３よりＸ軸カウンタ部３１内のサンプルスタート位
置指定用カウンタ３１Ａ及びサンプルピッチ指示用カウ
ンタ３１Ｂにクロック（ＣＬＫ　）として加えられる。

サンプルスタート位置指定用カウンタ３１Ａはクロック
（ＣＬＫ）を計数することによりＸ−Ｙテーブル１が走
査開始点Ｓｔから１番目のリード１１の幅方向中央まで
の距離だけ移動したことを検出してＸサンプルスタート
信号をゲート及びタイミング調整部４１を介してＡ／Ｄ
変換器３０に加える。これにより、１番目リード１１の
幅方向中央の距離測定値（変位計コントローラ１３の出
力）がＡ／Ｄ変換されてメモリ３３に書き込まれる。そ
の際、ディジタル化した距離測定データのメモリへの書
き込みアドレスは開始アドレス指定用カウンタ３５及び
データセレクタ３６により制御される。２番目以降のリ
ード１１の幅方向中央に対応した距離測定データのメモ
リへの書き込みは、サンプルピッチ指示用カウンタ３１
Ｂがクロック（ＣＬＫ　）を計数することによりＸ−Ｙ
テーブル１が隣合うリードの幅方向中央間の距離Ｌｐだ
け移動したことを検出してＸサンプルスタート信号をゲ
ート及びタイミング調整部４１を介してＡ／Ｄ変換器３
０に各リードに対応して加えることによって実施する。

サンプル回数指示用カウンタ３１ＣはＸサンプルスター
ト信号をクロック（ＣＬＫ　）として受け、Ｘ軸方向の
サンプル回数を計数し、Ｘ軸方向（１辺）のリード本数
の全てについてサンプルしたことを検出し、サンプルス
タート位置指定用カウンタ３１Ａ及びサンプルピッチ指
示用カウンタ３１Ｂに動作停止（にＡＴＥ　）の信号を
出力する。

次に、レーザー変位計１２の走査がＸ軸方向の走査終了
点に到達すると、ＮＣコントローラ６からはＸ−Ｙテー
ブル駆動用サーボドライブ５にＸ−Ｙテーブル１をＹ軸
方向に移動させる信号が出力され、Ｘ−Ｙテーブル１の
Ｙ軸方向の移動を示すＹ軸カウントパルスがＸ−Ｙテー
ブル側のロータリーエンコーダ３よりＹ軸力９フ２部３
２内のサンプルスタート位置指定用カウンタ３２Ａ及び
サンプルピッチ指示用カウンタ３２Ｂにクロック（ＣＬ
Ｋ）として加えられる。サンプルスタート位置指定用カ
ウンタ３２Ａはクロック（ＣＬＫ　）を計数することに
よりＸ−Ｙテーブル１がＹ軸方向の走査開始点（Ｘ軸方
向の走査終了点）からＹ軸方向１番目のリード１１の幅
方向中央までの距離だけ移動したことを検出してＸサン
プルスタート信号をゲート及びタイミング調整部４１を
介してＡ／Ｄ変換器３０に加える。これにより、Ｙ方向
における１番目リード１１の幅方向中央の距離測定値（
変位計コントローラ１３の出力）がＡ／Ｄ変換されてメ
モリ３３に書き込まれる。Ｙ軸方向における２番目以降
のリード１１の幅方向中央に対応した距離測定データの
メモリへの書き込みは、サンプルピッチ指示用カウンタ
３２Ｂがクロック（ＣＬに）を計数することによりＸ−
Ｙテーブル１が隣合うリードの幅方向中央間の距１ｆｉ
Ｌｐだけ移動したことを検出してＸサンプルスタート信
号をゲート及びタイミング調整部４１を介してＡ／Ｄ変
換器３０に各リードに対応して加えることによって実施
する。サンプル回数指示用カウンタ３２ＣはＸサンプル
スタート信号をクロック（ＣＬＫ　）として受け、Ｙ軸
方向のサンプル回数を計数し、Ｙ軸方向（１辺）のリー
ド本数の全てについてサンプルしたことを検出し、サン
プルスタート位置指定用カウンタ３２Ａ及びサンプルピ
ッチ指示用カウンタ３２Ｂに動作停止（ＧＡＴＥ）の信
号を出力する。

次のＸ軸方向のレーザー変位計１０の走査及びサンプリ
ング動作、及びＹ軸方向のレーザー変位計１０の走査及
びサンプリング動作は上述の場合と同様に実行される。

前記Ａ／Ｄ変換器３０は変位計コントローラ１３からの
アナログ入力をディジタル信号に変換する毎に変換終了
信号をサンプリングデータ総数を計数する総数カウンタ
３４にクロック（ＣＬＫ　）として加える。この結果、
カウンタ３４は計数値がリード総本数に一致したときに
リセット信号をビジーＦ／Ｆ４０に出力する。この結果
、ビジー出力は無くなり、メモリ３３への測定データの
書き込みが終了したことが示される。

ステップ＃８「測定データ抽出」では、全リードに対応
したメモリ３３の測定データが順次読み出されてＮＣコ
ントローラ６側にＶＭＥバスを介して転送される。

前記メモリ３３にストアされていた各測定データはあく
までレーザー変位計１０とリード間距離の絶対値（吸着
ノズル２で吸着されている平板型電子部品１０の傾きは
配慮されていない。）であるため、ステップ＃９「傾き
計算・平均化処理」では全測定データから平板型電子部
品１０の傾きを算出しく例えば最小二乗法）、各リード
についての測定データに含まれていた傾きに起因する変
化量を除去した相対値データを求める。

ステップ＃１０「許容チエツク」はステップ＃９で求め
た各リードの相対値データの許容範囲をチエツクし、次
のステップ＃１１　’Ｎｏ／ＧＯＪでは、許容範囲を外
れたリードが存在する場合（Ｎｏ）には平板型電子部品
の装着は行わすリカバリー処理（平板型電子部品のリー
ド矯正等の処理）に移行する。また、全リードの相対値
データが許容範囲内である場合（換言すれはリードの浮
きが実質的に無い場合）は次のステップ＃１２ｒＸ、Ｙ
補正」に移行し、Ｘ−Ｙテーブル１を第５図のΔＸ。

△Ｙを相殺する向きに移動させ、ステップ＃１３「部品
装着」で吸着ノズル２の下降動作によって平板型電子部
品１０をプリント基板に装着する。

上記ステップ＃９乃至＃１２はＮＣコントローラ６の制
御によって実行される。

なお、上記実施例において、ステップ＃２で平板型電子
部品１０が撮像手段の撮像位置に移動する場合を述べた
が、撮像手段が平板型電子部品１０を撮像するために撮
像位置を移動させるようにしても良い。

また、ステップ＃７では平板型電子部品１０が固定でレ
ーザー変位計１０が移動したが、逆にレーザー変位計１
０側が固定で平板型電子部品１０側が移動するようにし
ても差し支えない。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明の平板型電子部品リードの
浮き検出装置によれば、平板型電子部品の複数本のリー
ドにレーザー変位計を対向させて走査することによって
、各リードとレーザー変位計との距離、換言すればリー
ドの浮きを高精度（例えば２０μ−程度）で検出できる
。また、平板型電子部品の保持は、プリント基板に平板
型電子部品を装着するための吸着ノズルを利用して実施
でき、レーザー変位計の走査はプリント基板を搭載する
Ｘ−Ｙテーブルを利用して実施できるから、簡単かつ安
価な機構で実現できる。さらに、レーザー変位計による
距離測定値のうち最も値の安定した各リードの幅方向中
央の測定値をサンプリングして順次メモリに記憶し、該
メモリの記憶内容の相互比較によりリードの浮きを検出
する構成とすれば、多数のリードを有する平板型電子部
品についても高速でリード浮き検出ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る平板型電子部品リードの浮き検出
装置の実施例を示す構成図、第２図はレーザー変位計の
原理説明図、第３図は実施例で使用するアナログサンプ
ルコントローラのブロック図、第４図は実施例の動作説
明のためのフローチャート、第５図は吸着ノズルで吸着
保持された平板型電子部品であってΔθ、ΔＸ、ΔＹの
補正前の状態を示す平面図、第６図はΔθ補正後の平板
型電子部品を示す平面図、第７図はレーザー変位計走査
方向と距離測定信号との関係を示す説明図、第８図はリ
ードの浮きが存在する平板型電子部品の一例を示す正面
図である。 １・・・Ｘ−Ｙテーブル、２・・・吸着ノズル、６・・
・ＮＣコントローラ、１０・・・平板型電子部品、１１
・・・リード、１２・・・レーザー変位計、１３・・・
変位計コントローラ、１４・・・アナログサンプルコン
トローラ、２０・・・レーザー光源、２３・・・１次元
ＰＳＤ、３０・・・Ａ／Ｄ変換器、３１・・・Ｘ軸カウ
ンタ部、３２・・・Ｙ軸カウンタ部、３３・・・メモリ
。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）辺に沿って複数本のリードが突設された平板型電
   子部品を吸着ノズルで保持し、前記複数本のリードに対
   向自在にレーザー変位計を配置し、前記吸着ノズルと前
   記レーザー変位計の相対運動により前記レーザー変位計
   を前記複数本のリードを横断する方向に走査することを
   特徴とする平板型電子部品リードの浮き検出装置。
2. （２）辺に沿って複数本のリードが突設された平板型電
   子部品を吸着ノズルで保持し、前記複数本のリードに対
   向自在にレーザー変位計をＸ−Ｙテーブルに固定し、前
   記吸着ノズルと前記Ｘ−Ｙテーブルの相対運動により前
   記レーザー変位計を前記複数本のリードを横断する方向
   に走査することを特徴とする平板型電子部品リードの浮
   き検出装置。
3. （３）前記レーザー変位計の出力を増幅処理し、各リー
   ドの幅方向中央の測定値を順次メモリに記憶し、該メモ
   リの記憶内容の相互比較によりリードの浮きを検出する
   請求項１又は２記載の平板型電子部品リードの浮き検出
   装置。