JPH0419716B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0419716B2 JPH0419716B2 JP57101731A JP10173182A JPH0419716B2 JP H0419716 B2 JPH0419716 B2 JP H0419716B2 JP 57101731 A JP57101731 A JP 57101731A JP 10173182 A JP10173182 A JP 10173182A JP H0419716 B2 JPH0419716 B2 JP H0419716B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- output
- optical axis
- window
- brew
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は医用あるいは小加工用として用いられ
る出力可変レーザ装置に係り、特にレーザ共振器
内においてレーザ出力を可変する手段の改良に関
する。
る出力可変レーザ装置に係り、特にレーザ共振器
内においてレーザ出力を可変する手段の改良に関
する。
従来のこの種のレーザ装置として出力が数十ワ
ツトの放電励起CWCO2レーザ装置がある。この
CO2レーザ装置は通常数十torr程度の低圧混合気
体中のグロー放電によつて励起され発振する。こ
のようなレーザ装置では放電電流を変化させるこ
とによつて出力を可変させ得るが、次のような欠
点がある。
ツトの放電励起CWCO2レーザ装置がある。この
CO2レーザ装置は通常数十torr程度の低圧混合気
体中のグロー放電によつて励起され発振する。こ
のようなレーザ装置では放電電流を変化させるこ
とによつて出力を可変させ得るが、次のような欠
点がある。
(a) 放電電流の制御を行なうのに高圧（数KV〜
数十KV）の電流安定化コントロール回路が必
要であり、かかる高電圧の電流コントロールの
ための回路素子は大型で且つ高価格なものにな
る。
数十KV）の電流安定化コントロール回路が必
要であり、かかる高電圧の電流コントロールの
ための回路素子は大型で且つ高価格なものにな
る。
(b) 放電励起の低圧気体レーザ装置であるため、
レーザの安定発振領域が必らずしも放電の最適
安定領域になく、放電電流を変化させることは
放電の安定性を欠きレーザ発振の安定性を損な
うことになる。したがつて放電電流、電圧は最
適値に固定しておくことが望ましい。
レーザの安定発振領域が必らずしも放電の最適
安定領域になく、放電電流を変化させることは
放電の安定性を欠きレーザ発振の安定性を損な
うことになる。したがつて放電電流、電圧は最
適値に固定しておくことが望ましい。
(c) 放電電流のコントロールによつて(b)の理由に
より最大出力の30％程度の低出力域までしか安
定に出力を変化させることができない。
より最大出力の30％程度の低出力域までしか安
定に出力を変化させることができない。
(d) 電流制御用の素子が装置寿命を決めるフアク
ターになつてしまう。
ターになつてしまう。
本発明者らは上記欠点を除去すべく直線偏光発
振のレーザ装置において発振器の外部において出
力をコントロールする手段を考えた。これは特願
昭56−187959号として本出願人が既に出願済みで
あるが、その概要を第１図および第２図により説
明する。
振のレーザ装置において発振器の外部において出
力をコントロールする手段を考えた。これは特願
昭56−187959号として本出願人が既に出願済みで
あるが、その概要を第１図および第２図により説
明する。
第１図において１０はCO2レーザ発振器であ
り、ブリユースター窓１１、レーザ光取出鏡１２
等を有しており、レーザー光１３を出力するもの
となつている。この場合レーザ光１３は図に１３
ａとして示す如く紙面に対し直線偏光している。
そこでGe、ZnSeなどのレーザ光透過性部材でつ
くられた平行平板１４を、レーザ光軸上にレーザ
光１３ブリユースター角θBにて入射するように
設置する。こうすることにより、平行平板１４に
対するレーザ光１３の透過率はブリユースターの
法則により100％になる。つまりこの場合レーザ
光１３は平行平板１４に対して100％Ｐ偏光で入
射している。この状態から平行平板１４をレーザ
光１３の光軸を回転軸として回転させ、レーザ光
１３の平行平板１４に対する入射面をφなる回転
角で回転させると、レーザ光１３の平行平板１４
に対するＰ偏光成分が減少し、これに代つてＳ偏
光成分が増加する。そしてφ＝90゜にすると、Ｓ
偏光成分100％となり、このときレーザ光透過率
は最小となる。かくして平行平板１４の回転角φ
を変えることにより、レーザ光１３の出射量を可
変できることになる。
り、ブリユースター窓１１、レーザ光取出鏡１２
等を有しており、レーザー光１３を出力するもの
となつている。この場合レーザ光１３は図に１３
ａとして示す如く紙面に対し直線偏光している。
そこでGe、ZnSeなどのレーザ光透過性部材でつ
くられた平行平板１４を、レーザ光軸上にレーザ
光１３ブリユースター角θBにて入射するように
設置する。こうすることにより、平行平板１４に
対するレーザ光１３の透過率はブリユースターの
法則により100％になる。つまりこの場合レーザ
光１３は平行平板１４に対して100％Ｐ偏光で入
射している。この状態から平行平板１４をレーザ
光１３の光軸を回転軸として回転させ、レーザ光
１３の平行平板１４に対する入射面をφなる回転
角で回転させると、レーザ光１３の平行平板１４
に対するＰ偏光成分が減少し、これに代つてＳ偏
光成分が増加する。そしてφ＝90゜にすると、Ｓ
偏光成分100％となり、このときレーザ光透過率
は最小となる。かくして平行平板１４の回転角φ
を変えることにより、レーザ光１３の出射量を可
変できることになる。
第２図はレーザ発振器１０として波長10.6μｍ
のCO2レーザ発振器を用い、平行平板１４として
上記波長のレーザ光に対する屈折率ｎがｎ＝4.0
のGe製のものを用い、平行平板１４の回転角φ
に対するレーザ光１３の透過率の変化を示した図
である。この第２図から明らかなように、平行平
板１４の回転角φを０〜90゜まで変化させると、
レーザ光の透過率は100％〜22％まで変化する。
のCO2レーザ発振器を用い、平行平板１４として
上記波長のレーザ光に対する屈折率ｎがｎ＝4.0
のGe製のものを用い、平行平板１４の回転角φ
に対するレーザ光１３の透過率の変化を示した図
である。この第２図から明らかなように、平行平
板１４の回転角φを０〜90゜まで変化させると、
レーザ光の透過率は100％〜22％まで変化する。
しかるに上記したものには、次のような問題が
残されている。
残されている。
() 屈折率ｎ＝4.0という非常に大きな値である
にも拘らず、平行平板１４が１枚構成の場合は
出力可変範囲が最大出力100％から20％程度ま
でであり、これ以下の小出力にすることができ
ない。
にも拘らず、平行平板１４が１枚構成の場合は
出力可変範囲が最大出力100％から20％程度ま
でであり、これ以下の小出力にすることができ
ない。
() 出力を低下させたとき、平行平板１４で反
射した反射光１５が大きくなり、その対処方法
が問題となる。すなわち、たとえばレーザ発振
器１０からのレーザ光１３の出力が100ワツト
である場合、平行平板１４の回転角φを90゜に
すると、反射光１５は約80ワツトのエネルギー
を有することになる。したがつてこのような場
合は反射光の光路上に非常に大きなエネルギー
吸収体を設置しなければならなくなる。しかも
反射光１５の光路は一定ではなくφの大きさに
よつて変化するので、エネルギー吸収体を広い
領域に亘つて配設する必要がある上、冷却手段
を付設する必要もある。
射した反射光１５が大きくなり、その対処方法
が問題となる。すなわち、たとえばレーザ発振
器１０からのレーザ光１３の出力が100ワツト
である場合、平行平板１４の回転角φを90゜に
すると、反射光１５は約80ワツトのエネルギー
を有することになる。したがつてこのような場
合は反射光の光路上に非常に大きなエネルギー
吸収体を設置しなければならなくなる。しかも
反射光１５の光路は一定ではなくφの大きさに
よつて変化するので、エネルギー吸収体を広い
領域に亘つて配設する必要がある上、冷却手段
を付設する必要もある。
本発明はこのような事情に基いてなされたもの
であり、その目的は簡単な構成でレーザ出力を安
定に可変制御することができるのは勿論、出力可
変範囲を最大値から零までの連続した範囲となし
得、しかも電源安定化手段や反射エネルギーを吸
収するための格別な吸収体およびその冷却手段等
を要さず、装置を小型かつ安価に製作できるばか
りでなく、極めて安全性の高い出力可変レーザ装
置を提供することにある。
であり、その目的は簡単な構成でレーザ出力を安
定に可変制御することができるのは勿論、出力可
変範囲を最大値から零までの連続した範囲となし
得、しかも電源安定化手段や反射エネルギーを吸
収するための格別な吸収体およびその冷却手段等
を要さず、装置を小型かつ安価に製作できるばか
りでなく、極めて安全性の高い出力可変レーザ装
置を提供することにある。
以下、図面を参照し本発明を詳細に説明する。
第３図は本発明の原理的構成を示す図で、２０
はレーザ放電管などのレーザ管、２１は全反射
鏡、２２はレーザ光取出鏡、２３は第１のブリユ
ースター窓、２４は第２のブリユースター窓であ
る。全反射鏡２１と取出鏡２２とはレーザ共振器
を構成しており、第１のブリユースター窓２３は
レーザ光軸に対しブリユースター角φBの傾きを
もつて設置されている。また第２のブリユースタ
ー窓２４は上記共振器内の光軸上にこの光軸に対
して90゜−φBなる角度で設置されている。この第
２のブリユースター窓２４はレーザ光透過性部材
にて形成した平行平板である。
はレーザ放電管などのレーザ管、２１は全反射
鏡、２２はレーザ光取出鏡、２３は第１のブリユ
ースター窓、２４は第２のブリユースター窓であ
る。全反射鏡２１と取出鏡２２とはレーザ共振器
を構成しており、第１のブリユースター窓２３は
レーザ光軸に対しブリユースター角φBの傾きを
もつて設置されている。また第２のブリユースタ
ー窓２４は上記共振器内の光軸上にこの光軸に対
して90゜−φBなる角度で設置されている。この第
２のブリユースター窓２４はレーザ光透過性部材
にて形成した平行平板である。
第１のブリユースター窓２３と第２のブリユー
スター窓２４の入射平面のなす角度をφとする
と、これら第１、第２のブリユースター窓２３，
２４の透過率Ｔはφの関数となる。
スター窓２４の入射平面のなす角度をφとする
と、これら第１、第２のブリユースター窓２３，
２４の透過率Ｔはφの関数となる。
今、第３図に示す如く第１、第２のブリユース
ター窓２３，２４が平行な状態をφ＝０とする
と、このときＰ偏光すなわち紙面内に偏光面を有
する直線偏光に対する透過率ＴはＴ＝１となり、
φ≠０の状態において透過率ＴはＴ＜１の所定値
をもつことになる。
ター窓２３，２４が平行な状態をφ＝０とする
と、このときＰ偏光すなわち紙面内に偏光面を有
する直線偏光に対する透過率ＴはＴ＝１となり、
φ≠０の状態において透過率ＴはＴ＜１の所定値
をもつことになる。
したがつて第１、第２のブリユースター窓２
３，２４の存在により、φによつてその値が変化
する１−Ｔなる損失がレーザ共振器内に挿入され
たことになる。上記損失の値が変化することによ
り、レーザ出力は当然変化することになり、レー
ザ出力を可変制御できることになる。
３，２４の存在により、φによつてその値が変化
する１−Ｔなる損失がレーザ共振器内に挿入され
たことになる。上記損失の値が変化することによ
り、レーザ出力は当然変化することになり、レー
ザ出力を可変制御できることになる。
第４図はレーザ発振器として発振波長10.6μｍ
で最大出力が25ワツトのCO2レーザ発振器を用
い、第１、第２のブリユースター窓２３，２４と
して上記波長のレーザ光に対する屈折率ｎがｎ＝
2.4のZnSe製のものを用いた場合の出力および損
失の特性を示した図である。この第４図に示すよ
うに、損失ｌ（φ）＝１−Ｔ（φ）は図中破線のよ
うに変化する。また上記損失ｌ（φ）の変化に応
じてレーザ発振器から取出されるレーザ出力Ｐ
（φ）は図中実線で示す如く変化する。すなわち
出力Ｐ（φ）40゜、ｌ0.4のところで零とな
る。かくしてレーザ出力をφの変化により０〜
100％変化させ得る。
で最大出力が25ワツトのCO2レーザ発振器を用
い、第１、第２のブリユースター窓２３，２４と
して上記波長のレーザ光に対する屈折率ｎがｎ＝
2.4のZnSe製のものを用いた場合の出力および損
失の特性を示した図である。この第４図に示すよ
うに、損失ｌ（φ）＝１−Ｔ（φ）は図中破線のよ
うに変化する。また上記損失ｌ（φ）の変化に応
じてレーザ発振器から取出されるレーザ出力Ｐ
（φ）は図中実線で示す如く変化する。すなわち
出力Ｐ（φ）40゜、ｌ0.4のところで零とな
る。かくしてレーザ出力をφの変化により０〜
100％変化させ得る。
なお、反射光は可変領域の50％程度のところで
最大となるが最大出力の２％程度にすぎず、極め
て微弱なものとなる。したがつてエネルギー吸収
体として格別の部材からなるものを設けたり、冷
却手段を備えたものとなす必要がない。
最大となるが最大出力の２％程度にすぎず、極め
て微弱なものとなる。したがつてエネルギー吸収
体として格別の部材からなるものを設けたり、冷
却手段を備えたものとなす必要がない。
そこで次に上記原理に基いた具体的な実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
第５図はその第１の実施例である。この実施例
は本発明を全反射鏡２１と取出鏡２２とでレーザ
共振器を構成し、放電管２０でCO2を含む混合気
体を励起してレーザ発振を行なうようにした片外
部鏡式のCO2レーザ装置に適用した例であり、第
１のブリユースター窓２３はレーザ光透過性を有
するZnSe等で形成され、放電管２０に90゜−θBな
る角度で固定されている。なお材質がZnSeの場
合、屈折率ｎはｎ＝2.4、90゜−θBは90゜−θB
22゜、36′となる。また第２のブリユースター窓２
４は第１のブリユースター窓２３と同様のレーザ
光透過性部材にてつくられた平行平板であり、共
振器内のレーザ光軸上に90゜−θBなる角度で、ホ
ルダー２６に支持されている。なお第１、第２の
ブリユースター窓２３，２４は、耐熱性の円筒状
エネルギー吸収体２５により覆われている。
は本発明を全反射鏡２１と取出鏡２２とでレーザ
共振器を構成し、放電管２０でCO2を含む混合気
体を励起してレーザ発振を行なうようにした片外
部鏡式のCO2レーザ装置に適用した例であり、第
１のブリユースター窓２３はレーザ光透過性を有
するZnSe等で形成され、放電管２０に90゜−θBな
る角度で固定されている。なお材質がZnSeの場
合、屈折率ｎはｎ＝2.4、90゜−θBは90゜−θB
22゜、36′となる。また第２のブリユースター窓２
４は第１のブリユースター窓２３と同様のレーザ
光透過性部材にてつくられた平行平板であり、共
振器内のレーザ光軸上に90゜−θBなる角度で、ホ
ルダー２６に支持されている。なお第１、第２の
ブリユースター窓２３，２４は、耐熱性の円筒状
エネルギー吸収体２５により覆われている。
ホルダー２６は筒状をなしており、一方の開口
端にて前記第２のブリユースター窓２４を支持
し、他方の開口端外周にウオームホイールを有し
ており、光軸を回転軸として回転可能となつてい
る。２７は上記ウオームホイールに適合するウオ
ームを備えた回転駆動軸であり、図示してない駆
動源により回転動作するものとなつている。
端にて前記第２のブリユースター窓２４を支持
し、他方の開口端外周にウオームホイールを有し
ており、光軸を回転軸として回転可能となつてい
る。２７は上記ウオームホイールに適合するウオ
ームを備えた回転駆動軸であり、図示してない駆
動源により回転動作するものとなつている。
このように構成された本装置においては放電管
２０、全反射鏡２１、取出鏡２２、第１のブリユ
ースター窓２３によつて通常の片外部鏡構成の気
体レーザ装置として作動する。今、第１、第２の
ブリユースター窓２３，２４が第５図示のような
相対的角度関係にあると、Ｐ偏光成分に対し損失
が零となり出力は最大出力となる。
２０、全反射鏡２１、取出鏡２２、第１のブリユ
ースター窓２３によつて通常の片外部鏡構成の気
体レーザ装置として作動する。今、第１、第２の
ブリユースター窓２３，２４が第５図示のような
相対的角度関係にあると、Ｐ偏光成分に対し損失
が零となり出力は最大出力となる。
この状態から回転駆動軸２７によりホルダー２
６と共に第２のブリユースター窓２４を光軸を回
転軸として回転させ、第４図に示したφを変化さ
せると、損失１−Ｔが変化し、レーザ出力Ｐが
100〜０％変化することになる。
６と共に第２のブリユースター窓２４を光軸を回
転軸として回転させ、第４図に示したφを変化さ
せると、損失１−Ｔが変化し、レーザ出力Ｐが
100〜０％変化することになる。
このとき第１、第２のブリユースター窓２３，
２４にて反射した反射光は円筒状のエネルギー吸
収体２５で吸収される。この場合の反射光は第４
図から明らかなように可変域の50％程度のとき最
大となり、出力が零のときはレーザ発振そのもの
が停止するので零となる。また出力が最大のとき
は殆んど反射が生じないため零に近い。因みに最
大出力50ワツトのCO2レーザ装置において、反射
が最大となつた場合でも反射光エネルギーは高々
0.1〜１ワツト程度である。したがつて反射光エ
ネルギー吸収体２５は強制的な空冷あるいは水冷
等を要さない。
２４にて反射した反射光は円筒状のエネルギー吸
収体２５で吸収される。この場合の反射光は第４
図から明らかなように可変域の50％程度のとき最
大となり、出力が零のときはレーザ発振そのもの
が停止するので零となる。また出力が最大のとき
は殆んど反射が生じないため零に近い。因みに最
大出力50ワツトのCO2レーザ装置において、反射
が最大となつた場合でも反射光エネルギーは高々
0.1〜１ワツト程度である。したがつて反射光エ
ネルギー吸収体２５は強制的な空冷あるいは水冷
等を要さない。
このように上記第１の実施例によれば、放電状
態、ガス状態を一定の最適安定値に固定したま
ま、出力を可変制御できるので電源安定化手段等
が不要で装置を小型かつ安価なものとなし得、し
かも安定なレーザ発振を行なわせ得る。そして特
にレーザ出力を零から最大出力まで連続的に可変
制御できるので、医用、小加工用として極めて好
ましいものとなる。さらにブリユースター窓２
３，２４による反射光エネルギーが著しく微弱な
ものとなるので、上記反射光エネルギーを吸収す
る吸収体に冷却手段を設ける必要がなくこの点で
も装置の小型をはかれる。
態、ガス状態を一定の最適安定値に固定したま
ま、出力を可変制御できるので電源安定化手段等
が不要で装置を小型かつ安価なものとなし得、し
かも安定なレーザ発振を行なわせ得る。そして特
にレーザ出力を零から最大出力まで連続的に可変
制御できるので、医用、小加工用として極めて好
ましいものとなる。さらにブリユースター窓２
３，２４による反射光エネルギーが著しく微弱な
ものとなるので、上記反射光エネルギーを吸収す
る吸収体に冷却手段を設ける必要がなくこの点で
も装置の小型をはかれる。
第６図は本発明の他の実施例を示す図である。
この実施例は第５図に示した出力制御機構に加え
て、外部からの設定操作により、レーザ出力を自
動的に可変制御する制御系を付加した例である。
この実施例は第５図に示した出力制御機構に加え
て、外部からの設定操作により、レーザ出力を自
動的に可変制御する制御系を付加した例である。
すなわち、第６図において３０は回転駆動軸２
７に取付けた回転角検出機構であり、たとえばロ
ータリーエンコーダ等で構成されている。上記回
転角検出機構３０で検出された回転角情報は回転
角検出回路３１により電気信号とし検出され、パ
ワー換算回路３２によりその時のレーザ出力に換
算され、表示回路３３により表示される。一方、
外部パワー設定回路３５において所要のレーザ出
力が設定されると、この設定値と前記パワー換算
回路３２の出力とが比較回路３４にて比較されそ
の差信号が角度換算回路３６へ与えられる。した
がつて上記回路３６から角度信号が送出されこれ
が駆動換算回路１７に与えられる。そうするとこ
の回路１７から前記回転駆動軸２７に駆動信号が
与えられ、この駆動軸２７は所定角度回転する。
かくしてレーザ出力は設定回路３５で設定した値
に自動的に設定される。
７に取付けた回転角検出機構であり、たとえばロ
ータリーエンコーダ等で構成されている。上記回
転角検出機構３０で検出された回転角情報は回転
角検出回路３１により電気信号とし検出され、パ
ワー換算回路３２によりその時のレーザ出力に換
算され、表示回路３３により表示される。一方、
外部パワー設定回路３５において所要のレーザ出
力が設定されると、この設定値と前記パワー換算
回路３２の出力とが比較回路３４にて比較されそ
の差信号が角度換算回路３６へ与えられる。した
がつて上記回路３６から角度信号が送出されこれ
が駆動換算回路１７に与えられる。そうするとこ
の回路１７から前記回転駆動軸２７に駆動信号が
与えられ、この駆動軸２７は所定角度回転する。
かくしてレーザ出力は設定回路３５で設定した値
に自動的に設定される。
なお第６図において、符号３０，３１，３２，
３３で示す検出系の代りに、レーザ出力光をたと
えばビームスプリツタで分割してパワーメータへ
導びく手段、外部シヤツターをレーザ用ミラーと
して用い、これによりレーザ光をパワーメータへ
導びく手段、さらには後方全反射鏡を部分透過鏡
としてレーザ発振器の後方へレーザ光の一部を出
射させてパワーメータに導びく手段等により、レ
ーザ光をパワーメータによりモニターし、モニタ
ーしたパワー信号を図中破線で示すように増幅器
３８を介して前記比較回路３４へ供給するように
してもよい。
３３で示す検出系の代りに、レーザ出力光をたと
えばビームスプリツタで分割してパワーメータへ
導びく手段、外部シヤツターをレーザ用ミラーと
して用い、これによりレーザ光をパワーメータへ
導びく手段、さらには後方全反射鏡を部分透過鏡
としてレーザ発振器の後方へレーザ光の一部を出
射させてパワーメータに導びく手段等により、レ
ーザ光をパワーメータによりモニターし、モニタ
ーしたパワー信号を図中破線で示すように増幅器
３８を介して前記比較回路３４へ供給するように
してもよい。
このように第２の実施例によればレーザ出力を
自動的に所望レベルに設定できるので取扱操作が
一層簡単になる。
自動的に所望レベルに設定できるので取扱操作が
一層簡単になる。
なお第１の実施例、第２の実施例のいずれにお
いても次のような特徴がある。
いても次のような特徴がある。
すなわち従来のたとえばガス圧による出力コン
トロール方式のものにあつては、最大出力を与え
るガス圧を超えてガス圧を上昇させると、放電が
維持できなくなる。また最低出力を下まわるガス
圧領域までガス圧を低下させると放電電流が異常
に大きくなり、スパツターなどを起こす。このよ
うに従来のものでは一方向への制御による出力制
御は不可能な場合が多く、何らかのパラメータを
往復操作する必要があつた。
トロール方式のものにあつては、最大出力を与え
るガス圧を超えてガス圧を上昇させると、放電が
維持できなくなる。また最低出力を下まわるガス
圧領域までガス圧を低下させると放電電流が異常
に大きくなり、スパツターなどを起こす。このよ
うに従来のものでは一方向への制御による出力制
御は不可能な場合が多く、何らかのパラメータを
往復操作する必要があつた。
ところが本装置における出力コントロールパラ
メータφは、増加または減少の一方向への制御が
行なわれても、その途中に出力零の区間が存在し
ているのみで、レーザ発振器の動作に対して破壊
的な現象はおこらないという特徴がある。このこ
とは操作ミスあるいは自動制御系に故障が生じた
ような場合における安全性の点で極めて重要な特
徴といえ、とりわけ安全性が最優先される医用分
野における装置として好適である。
メータφは、増加または減少の一方向への制御が
行なわれても、その途中に出力零の区間が存在し
ているのみで、レーザ発振器の動作に対して破壊
的な現象はおこらないという特徴がある。このこ
とは操作ミスあるいは自動制御系に故障が生じた
ような場合における安全性の点で極めて重要な特
徴といえ、とりわけ安全性が最優先される医用分
野における装置として好適である。
なお本発明は上述した実施例に限定されるもの
ではなく要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施で
きるのは勿論である。
ではなく要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施で
きるのは勿論である。
以上説明したように本発明によれば放電電流の
制御等を全く行なわずにレーザ出力を可変制御で
きるので、安定なレーザ出力制御を行なうことが
できるのは勿論、出力可変範囲が最大値から零ま
での連続した範囲となり、極小レベルのレーザ出
力を送出し得ると共に、電源安定化手段や反射光
エネルギーを吸収するための格別な吸収体および
その冷却手段等を要さず、装置を小型かつ安価に
製作できるばかりでなく、極めて安全性の高い可
変レーザ装置を提供できる。
制御等を全く行なわずにレーザ出力を可変制御で
きるので、安定なレーザ出力制御を行なうことが
できるのは勿論、出力可変範囲が最大値から零ま
での連続した範囲となり、極小レベルのレーザ出
力を送出し得ると共に、電源安定化手段や反射光
エネルギーを吸収するための格別な吸収体および
その冷却手段等を要さず、装置を小型かつ安価に
製作できるばかりでなく、極めて安全性の高い可
変レーザ装置を提供できる。
第１図および第２図は直線偏光発振レーザ装置
におけるレーザ出力制御手段の一例を示す概略構
成図と特性図、第３図および第４図は本発明の原
理を示す概略構成図と特性図、第５図は本発明の
一実施例の構成を示す側断面図、第６図は本発明
の他の実施例の構成を示す図である。 ２０……レーザ管（放電管）、２１……全反射
鏡、２２……レーザ光取出鏡、２３……第１のブ
リユースター窓、２４……第２のブリユースター
窓、２５……耐熱性円筒状エネルギー吸収体、２
６……ホルダー、２７……回転駆動軸。
におけるレーザ出力制御手段の一例を示す概略構
成図と特性図、第３図および第４図は本発明の原
理を示す概略構成図と特性図、第５図は本発明の
一実施例の構成を示す側断面図、第６図は本発明
の他の実施例の構成を示す図である。 ２０……レーザ管（放電管）、２１……全反射
鏡、２２……レーザ光取出鏡、２３……第１のブ
リユースター窓、２４……第２のブリユースター
窓、２５……耐熱性円筒状エネルギー吸収体、２
６……ホルダー、２７……回転駆動軸。
Claims (1)
- １ 一対のミラーを備えたレーザ共振器と、この
共振器内の光軸上に設けられたブリユースター窓
と、このブリユースター窓と対向し上記光軸に対
して90゜−（ブリユースター角）をなすように上記
共振器内の光軸上に設けられたレーザ光透過性部
材からなる一枚以上の平行平板と、この平行平板
の少なくとも一枚を上記光軸を回転軸として回転
させる手段とを備えたことを特徴とする出力可変
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10173182A JPS58218185A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 出力可変レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10173182A JPS58218185A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 出力可変レ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58218185A JPS58218185A (ja) | 1983-12-19 |
| JPH0419716B2 true JPH0419716B2 (ja) | 1992-03-31 |
Family
ID=14308411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10173182A Granted JPS58218185A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 出力可変レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58218185A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0194686A (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-13 | Yuuseishiyou Tsushin Sogo Kenkyusho | 偏光反射特性を利用した開放共鳴器 |
| US9214784B2 (en) | 2012-03-19 | 2015-12-15 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser device |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5120691A (ja) * | 1974-08-13 | 1976-02-19 | Mitsubishi Electric Corp | Reezahatsushinki |
| JPS55121692A (en) * | 1979-03-13 | 1980-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | Laser generator |
-
1982
- 1982-06-14 JP JP10173182A patent/JPS58218185A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58218185A (ja) | 1983-12-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6473926B2 (ja) | 急速出力制御を備えるｃｏ２レーザー、およびｃｏ２レーザーを備える材料加工装置 | |
| US7218655B2 (en) | Solid state laser insensitive to temperature changes | |
| US4530098A (en) | Device for varying laser output | |
| US4570081A (en) | Isolated pump in a double pass pump Raman oscillator and optimum conversion of pump energy in a Raman oscillator and amplifier | |
| KR100269028B1 (ko) | 반일체 고리형 공진기를 이용한 단방향 발진 레이저 장치 | |
| WO1997023932A1 (en) | Multi-element monolithic solid state laser | |
| US5459744A (en) | Laser having frequency conversion element | |
| JP3613153B2 (ja) | ビームスプリッター及びそれを用いたレーザシステム | |
| JPH0419716B2 (ja) | ||
| US4438517A (en) | Interferometrically tuned laser resonator | |
| JP5557601B2 (ja) | レーザ光源の調整システム | |
| CN101507064A (zh) | 内部共振器型shg光源 | |
| US5357532A (en) | Wavelength variable laser device | |
| JP6541241B2 (ja) | モード追跡を伴う光励起半導体レーザ | |
| US7113529B2 (en) | Pulsed CO2 laser including an optical damage resistant electro-optical switching arrangement | |
| WO2000014835A1 (en) | Intracavity doubled laser and method | |
| JP3209795B2 (ja) | レーザー | |
| Cox et al. | Single mode, piezoelectrically tuned, picosecond short‐cavity dye laser | |
| JPH07154021A (ja) | 波長可変型青色レーザ装置 | |
| JP3767318B2 (ja) | Ｌｄ励起固体レーザ装置 | |
| CN116348814A (zh) | 紫外激光系统、设备和方法 | |
| JPH1098222A (ja) | 波長変換固体レーザー | |
| JPH05211363A (ja) | レーザ発振装置 | |
| JPS5823003A (ja) | レ−ザ−光強度可変装置 | |
| JP3570656B2 (ja) | 波長連続可変レーザ装置 |