JPH04201261A - マスククリーニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、マスククリーニング装置に係り、特にマス
クを用いてはんだペーストを印刷するペースト印刷機の
マスクのクリーニングに適するマスククリーニング装置
に関する。

（従来の技術） 半導体集積回路をはじめとする各種電子部品の微細化に
ともなって、印刷配線基板に対する電子部品の実装も微
細化している。特にＱＦＰ’ＩＣ（Ｑｕａｄ　Ｆｌａｔ
ｅ　Ｐａｃｋａｇｅ　Ｉｎｉｅｇｒａｌ　Ｃ１ｒｃｕｉ
ｔ）については、ピンのピッチか０．５＋ａ＋ｅ以下の
多ピン化の傾向にある。

この電子部品の実装方法として、従来より印刷配線基板
の電子部品取付は部に所定パターンのはんだペーストを
印刷し、その印刷されたはんだペースト上に電子部品を
位置合せしたのち、はんたペーストを溶融して電子部品
をはんだ付けする方法がある。そのはんだペーストの印
刷は、一般には、所定パターンの開孔の形成されたメタ
ルマスクを用いて、はんたペーストをスキージングする
スクリーン印刷法によりおこなわれている。

しかし、上記のようにマスクを用いてはんたペーストを
印刷すると、マスクの背面にはんだペーストが付着し、
そのはんだペーストか引続きおこなわれるはんだペース
トの印刷時に、印刷配線基板の所定部以外に付着するこ
とかある。このようにはんだペーストか印刷配線基板の
所定部以外に付着すると、印刷されるはんだペーストの
パターンが微細になるほど、はんだのプリソシショート
不良の原因となる。したかって、はんだペーストの微細
パターンの印刷には、マスクの背面に付着したはんだペ
ーストを除去することか不可欠なものとなっている。

従来よりこのマスクの背面に付着するはんだペーストを
除去するクリーニング装置を取付けたはんだペースト印
刷機、あるいはオプションとして取付けることか可能な
はんだペースト印刷機が市販されている。そのクリーニ
ング装置は、マスクの背面にロールを接触させてはんだ
ペーストを除去する構成となっている。しかし、これら
クリーニング装置は、ロールかマスクの背面に均一に接
触しないため、マスクの背面に付着したはんだペースト
を十分に除去することかできず、所望の効果が得られな
い。

（発明か解決しようとする課題） 上記のように、印刷配線基板に対するはんだペーストの
印刷方法として、所定パターンの開孔の形成されたマス
クを用いて、はんだペーストをスキージングすることに
より印刷するスクリーン印刷法がある。しかし、この方
法によりはんだペーストを印刷すると、マスクの背面に
はんたペーストか付着し、そのはんたペーストが引続き
おこなわれるつぎのはんだペーストの印刷時に印刷配線
基板の所定部以外に付着し、それが印刷されるはんだペ
ーストのパターンが微細になるほど、ブリッジショート
不良の原因となるという問題がある。

この不良の発生を防止するために、従来よりマスクの背
面に付着するはんだペーストを除去するクリーニング装
置を取付けたはんだペースト印刷機、あるいはオプショ
ンとして取付けることが可能なはんだペースト印刷機が
市販されている。そのクリーニング装置は、マスクの背
面にロールを接触させてはんだペーストを除去するよう
に構成となっているが、そのロールかマスクの背面に均
一に接触しないため、マスクの背面に付着したはんだペ
ーストを十分に除去することかできず、所望の効果が得
られないという問題かある。

この発明は、上記問題点に鑑みてなされたちのてあり、
マスクの背面に付着するはんだペーストを自動的に確実
に除去するマスククリーニング装置を構成することを目
的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） はんだペーストの印刷に用いられるマスクの背面に付着
するはんだペーストを除去するマスククリーニング装置
において、そのマスククリーニング装置を、ウェス供給
リールを支持する供給リール支持部、ウェス巻取リリー
ルを支持する巻取りリール支持部、この巻取りリールを
回転駆動する駆動装置およびウェス供給リールから巻取
りリールに掛渡されたウェスに張力を付与する張力付与
装置を有するウェスパスライン機構と、ウェス供給リー
ルから巻取りリールに掛渡されたウェスの背面を押圧す
ることにより、そのウェスをマスクの背面に押圧させる
弾性体からなるクリーニングスキージと、このクリーニ
ングスキージを揺動自在に支持するクリーニングスキー
ジ支持部と、このクリーニングスキージ支持部とともに
上記りリーニンクスキージをウェスの背面に対して接離
させる接離機構と、上記クリーニングスキージを上記ウ
ェスパスライン機構および上記接離機構とともに、上記
接離機構によるクリーニングスキージの移動方向と直交
する平面上を移動させる移動機構とから構成した。

（作用） 上記のように、ウェスをマスクの背面に押圧させるだめ
のクリーニングスキージを弾性体で構成し、このクリー
ニングスキージを揺動自在に支持する構造とすると、そ
のクリーニングスキージの抑圧によりウェスをマスクの
背面に均一に接触させることができる。したかって、接
離機構によりクリーニングスキージをウェスの背面を押
圧させ、そのクリーニングスキージを移動機構により接
離機構によるクリーニングスキージの移動方向と直交す
る平面上を移動させることにより、マスクの背面に付着
するはんたペーストを確実に除去することができる。

（実施例） 以下、図面を参照してこの発明を実施例に基づいて説明
する。

第１図にその一実施例であるはんたペーストの印刷に用
いられるメタルマスクのクリーニング装置の全体の構成
を、また第２図にその要部構成を示す。このクリーニン
グ装置は、はんたペーストの印刷によりメタルマスク（
１）の背面に付着したはんだペーストをクリーニングす
るためのウェス（２）を動かすウェスパスライン機構（
３）と、上記ウェス（２）の背面を押圧するクリーニン
グスキージ（４）と、このクリーニングスキージ（４）
を揺動自在に支持するクリーニングスキージ支持部（５
）と、ウェス（２）の背面に対してクリーニングスキー
ジ（４）を接離させる接離機構（６）と、この接離機構
（６）によるクリーニングスキージ（４）の移動方向と
直交する平面上を移動させる移動機構（７）とを主要構
成としている。

その移動機構＜７）は、印刷機本体のベース板（［０）
上に設置されたガイドレール＜１１）に沿って、駆動装
置（１２）の駆動によりＸ軸方向に移動するＸテーブル
（Ｉ３）と、このＸテーブル（１３）のベース板〈１４
）上に設置されたガイトレール（１５）に沿って、駆動
装置（１６）の駆動によりＹ軸方向に移動するＸテーブ
ル（１７）とからなる。

ウェスパスライン機構（３）は、上記Ｘテーブル（１７
）のベース板（１９）上の両端部に取付けられた一対の
支持板（２０ａ）　、　（２０ｂ）を有し、この端板（
２０ａ）　。

（２０ｂ）の−側下部間に回転自在に配置されたウェス
供給リール（２１）を支持する供給リール支持部（２２
）と、上記端板（２０ａ）　、　（２０ｂ）の他側下部
間に回転自在に配置されたウェス巻取リリール（２３）
を支持する巻取りリール支持部（２４）と、これら供給
リール支持部（２２）および巻取りリール支持部（２４
）間の中央部上に位置するクリーニングスキージ（４）
を挾みかつ接近して端板（２０ａ）　、　（２０ｂ）に
回転自在に支持された一対のガイドロール（２５ａ）　
、　（２５ｂ）と、供給リール支持部（２２）と一方の
ガイドロール（２５ａ）との間、および巻取りリール支
持部（２４）と他方のガイドロール（２５ｂ）との間の
端板（２０ａ）　。

（２０ｂ）間にそれぞれ回転自在に支持された各一対の
テンションロール（２６ａ）　、　（２ｆｉｂ）および
（２７ａ）。

（２７ｂ）と、巻取リ−ル支持部（２４）とテンション
ロール（２７ａ）　、　（２７ｂ）との間の端板（２０
ａ）　、　（２Ｑｂ）間に回転自在に支持された一対の
駆動ロール（２８ａ）。

（２８ｂ）と、この駆動ロール（２８ａ）　、　（２８
ｂ）と巻取りリール支持部（２４）との間に回転自在に
支持されたカイトロール（２９）と、巻取りリール支持
部（２４）および駆動ロール（２８ａ）　、　（２８ｂ
）を回転駆動する図示しないパルスモータを駆動源とす
る駆動装置（３０）とを有する。なお、上記各一対のテ
ンションロール（２６ａ）　、　（２６ｂ）　、　（２
７ａ）　、　（２７ｂ）および駆動ロール（２８ａ）　
、　（２８ｂ）の一方のロール（２６ｂ）　、　（２７
ｂ）　、　（２８ｂ）は、それぞれ他方のロール（２６
ａ）　、　（２７ａ）　、　（２８ａ）に対して接離可
能となっている。

したがって、供給リール支持部（２２）に支持されたウ
ェス供給リール（２１）のウェス（２）は、順次テンシ
ョンロール（２Ｂａ）、（２６ｂ）　、一対のロール（
２５ａ）、（２５ｂ）　、テンションロール（２７ａ）
　、　（２７ｂ）、駆動ロール（２８ａ）　、（２８ｂ
）およびガイドロール（２９）を通って、巻取りリール
支持部（２４）に支持されたウェス巻取リリール（２３
）に掛渡され、巻取りり−ル支持部（２４）および駆動
ロール（２８ａ）　、　（２８ｂ）を回転駆動する駆動
装置（３０）の駆動により所定長さウェス巻取リリール
（２３）に巻取ことかできるようになっている。

クリーニングスキージ（４）は、上記一対の端板（２０
ａ）　、　（２０ｂ）間の上部に配置され、先端か鋭利
なエツジ状に形成された細長い弾性体からなる。

クリーニングスキージ支持部（５）は、上記一対の端板
（２０ａ）、（２０ｂ）　ｌ：Ｌ字形に取付けられた支
持板（３２）　、　（３３）を有し、その一方の支持板
（３２）上にクリーニングスキージ（４）を揺動自在に
支持するクリーニングスキージ取付は部（３４）か設け
られている。

クリーニングスキージ（４）は、この取付は部（３４）
に取付けられ、上記ウェスパスライン機構（３）の供給
リール支持部（２２）に支持されたウェス供給リール（
２１）と巻取りリール支持部（２４）に支持されたウェ
ス巻取りリール（２３）とに掛渡されたウェス（２）の
背面側に位置し、かつその長手方向に揺動自在となって
いる。

接離機構（６）は、上記移動機構（７）のＹテーブル（
１７）のベース板（１９）に固定されたエアシリンダ（
３６）を有し、このエアシリンダ（３６）の作動ロット
に上記クリーニングスキージ支持部（５）の一方の支持
板（３２）か取付けられている。また、この支持板（３
２）には、接離機構（６）の補助装置として、別のエア
シリンダ（３７）か取付けられている。

このエアシリンダ（３７）は、クリーニングスキージ支
持部（５）に取付けられたクリーニングスキージ（４）
の後退量を規制するものであり、その作動ロッド（３８
）の突出長を調整し、その調整された作動ロッド（３８
）とストッパー（３９）との当接により、エアシリンダ
（３６）の作動ロフトの後退量すなわちクリーニングス
キージ（４）の後退量を規制するようになっている。

このクリーニング装置は、つぎのように動作する。

ます、移動機構（７〉によりクリーニング装置全体をは
んだペーストの印刷を終了したマスク（１）の位置する
Ｘ軸方向に移動してマスク（１）の下部に位置させる。

ついで接離機構（６）によりクリーニングスキージ支持
部（５）に支持されたクリーニングスキージ（４）を前
進（上昇）させ、このクリーニングスキージ（４）の先
端で供給リール支持部（２２）に支持されたウェス供給
リール（２１）と巻取りリール支持部（２４）に支持さ
れたウェス巻取りリール（２３）とに掛渡されて、一対
のガイドロール（２５ａ）　、　（２５ｂ）間に位置す
るウェス（２）の背面側を押圧し、この押圧によりウェ
ス（２）を上記マスク（１）の背面に押圧する。この場
合、クリーニングスキージ支持部（５）に揺動自在に支
持されかつ先端が鋭利なエツジ状に形成された弾性体か
らなるクリーニングスキージ（４）は、そのクリーニン
グスキージ（４）の長さ全体にわたり均一にウェス（２
）をマスク（１）の背面に密着させる。

ついで、再度、移動機構（７）によりクリーニング装置
全体をＸ軸方向に移動し、上記クリーニングスキージ（
４）の抑圧によりマスク（１）に密着したウェス（２）
により、このマスク（１）の背面に付着したはんだペー
ストを除去する。その後、接離ａ構（６）によりクリー
ニングスキージ支持部（５）を後退（下降）させ、さら
に駆動装置によりウェス巻取りリール（２３）を駆動し
てウェス（２）を一定量巻取り、ウェス（２）の新しい
面をクリーニングスキージ（４）上に位置させる。

なお、クリーニングスキージ（４）の長さに対してマス
ク（１）の有効面の幅が広く、上記移動機構（ア）によ
るＸ軸方向の１回の移動たけでは、所要部分のはんたペ
ーストを除去することができない場合は、上記のように
Ｘ軸方向に移動してマスク（１）背面のはんだペースト
を除去したのち、移動機構（ア）によりクリーニングス
キージ（４）をＹ軸方向に移動し、同様にクリーニング
スキージ（４）を動かすことにより、幅の広いマスク（
１）の有効面もクリーニングすることかできる。

したかって、このクリーニング装置によれば、従来のロ
ールによるクリーニングと異なり、ウェス（２）の汚れ
た部分を巻取って、常にウェス（２）の新しい面でクリ
ーニングすることができるので、マスク（１）の背面に
付着したはんだペーストを確実に除去することができる
。またクリーニングスキージ（４）か先端がエツジ状の
弾性体からなり、かつ揺動自在に支持されているので、
マスク（１）の背面にウェス（２）を均一に密着させる
ことができ、マスク（１）の背面に付着したはんだペー
ストを取残すことなく完全に除去でき、はんだペースト
の印刷におけるマスク（１）のクリーニングを１回の印
刷ごとに自動的に繰返しおこなうことにより、微細パタ
ーンの印刷する場合におこりりやすいマスク（１）の背
面に付着するはんだペーストによる生するはんだのブリ
ッジショート不良を大幅に低減する二とかできる。

なお、上記実施例では、ウェスパスライン機構として、
ウェス供給リールを支持する供給リール支持部とウェス
巻取リリールを支持する巻取りリール支持部との間にテ
ンションロール、ガイドロール、駆動ロールなど複数種
のロールを配置したか、ウェスパスライン機構としては
、上記機構に限定されるものではなく、そのほかに複数
個のガイドロールなどを配置した構造としてもよい。

また、上記実施例では、クリーニングスキージの接離機
構をエアシリンダで構成したが、この接離機構はモータ
を駆動源とする機構でもおこなうことができる。

なおまた、上記実施例は、はんだペーストの印刷のおけ
る平面状のメタルマスクのクリーニング装置について述
べたか、この発明は、クリーニングスキージの形状、材
質、硬度などを任意に変更して、他の各種マスクのクリ
ーニングにも適用できる。

［発明の効果］ はんたペースト印刷用マスクの背面に付着するはんだペ
ーストを除去するマスククリーニング装置を、ウェス供
給リールを支持する供給リール支持部、ウェス巻取りリ
ールを支持する巻取りリール支持部、その巻取リリール
を回転駆動する駆動装置およびウェス供給リールから巻
取りリールに掛渡されたウェスに張力を付与する張力付
与装置を有するウェスパスライン機構と、ウェス供給リ
ールから巻取りリールに掛渡されたウェスの背面を押圧
することにより、そのウェスをマスクの背面に押圧させ
る弾性体からなるクリーニングスキージと、このクリー
ニングスキージを揺動自在に支持するクリーニングスキ
ージ支持部と、このクリーニングスキージ支持部ととも
にクリーニングスキージをウェスの背面に対して接離さ
せる接ＭＷ＆構と、上記クリーニングスキージをウェス
パスライン機構および上記接離機構とともに、その接離
機構によるクリーニングスキージの移動方向と直交する
平面上を移動させる移動機構とから構成すると、ウェス
の汚れた部分を巻取り、常にウェスの新しい面でクリー
ニングできるので、マスクに付着したはんだペーストを
確実に除去することができる。また、クリーニングスキ
ージが揺動自在に支持されているので、マスクにウェス
を均一に密着させることができ、マスクに付着したはん
だペーストを取残すことなく除去できる。したかって、
はんだペースト印刷用マスクのクリーニングを１回の印
刷ごとに自動的に繰返しおこなうことにより、微細パタ
ーンの印刷する場合にお二つりやすいマスクの背面に付
着するはんだペーストによる生ずるはんだのブリッジシ
ョートを大幅に低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例であるマスククリーニング
装置の構成を示す斜視図、第２図はその要部構成を示す
図である。 １・・・メタルマスク　　　　２・・・ウェス３・・・
ウェスパスライン機構 ４・・・クリーニングスキージ ５・・・クリーニングスキージ支持部 ６・・・接離機構　　　　　　７・・・移動機構１３・
・Ｘテーブル　　　　　１７・・・Ｙテーブル２１・・
・ウェス供給リール ２２・・供給リール支持部 ２３・・・ウェス巻取りリール ２４・・・巻取リ−ル支持部 ２５ａ、２５ｂ・・・ガイドロール ２６ａ、２６ｂ　２７ａ、２７ｂ−テンションロール２
８ａ、２８ｂ・・・駆動ロール ３０・・・駆動装置 ３４・・・クリーニングスキージ取付は部３６・・・エ
アシリンダー 代理人　　弁理士　　大　胡　典　夫

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ウエス供給リールを支持する供給リール支持部、この供
   給リール支持部に支持されたウエス供給リールからのウ
   エスを巻取るウエス巻取りリールを支持する巻取りリー
   ル支持部、この巻取りリール支持部に支持された巻取り
   リールを回転駆動する駆動装置および上記供給リール支
   持部に支持されたウエス供給リールから上記巻取りリー
   ル支持部に支持された巻取りリールに掛渡されたウエス
   に張力を付与する張力付与装置を有するウエスパスライ
   ン機構と、 上記供給リール支持部に支持されたウエス供給リールか
   ら上記巻取りリール支持部に支持された巻取りリールに
   掛渡されたウエスの背面を押圧することにより上記ウエ
   スをマスクの背面に押圧させる弾性体からなるクリーニ
   ングスキージと、このクリーニングスキージを揺動自在
   に支持するクリーニングスキージ支持部と、 このクリーニングスキージ支持部とともに上記クリーニ
   ングスキージを上記ウエスの背面に対して接離させる接
   離機構と、 上記クリーニングスキージを上記ウエスパスライン機構
   および上記接離機構とともに上記接離機構による上記ク
   リーニングスキージの移動方向と直交する平面上を移動
   させる移動機構とを具備することを特徴とするマスクク
   リーニング装置。