JPH04206335A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH04206335A JPH04206335A JP2336658A JP33665890A JPH04206335A JP H04206335 A JPH04206335 A JP H04206335A JP 2336658 A JP2336658 A JP 2336658A JP 33665890 A JP33665890 A JP 33665890A JP H04206335 A JPH04206335 A JP H04206335A
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- JP
- Japan
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- electron beam
- electron
- diffracted
- sample
- optical axis
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は電子顕微鏡に係り、特に、結晶質試料の結晶成
長面の配向性を電子線回折を利用して測定する機能を備
えた電子顕微鏡に関するものである。
長面の配向性を電子線回折を利用して測定する機能を備
えた電子顕微鏡に関するものである。
（従来技術）
近年の電子顕微鏡では、いわゆるＴＥＮｉ像の他に電子
線回折像を観察することか可能であり、オペレータが必
要に応じて電子顕微鏡の動作モートをＴＥＭ像モートま
たは回折像モードに設定すると、その設定に応して各電
子レンズの励磁電流か自動的に調整されるようになって
いる。
線回折像を観察することか可能であり、オペレータが必
要に応じて電子顕微鏡の動作モートをＴＥＭ像モートま
たは回折像モードに設定すると、その設定に応して各電
子レンズの励磁電流か自動的に調整されるようになって
いる。
これまで、電子顕微鏡を用いた電子線回折像の観察では
、収束された電子線を試料に照射し、蛍光板上に結像さ
れる電子線回折像を解析することによって試料の結晶構
造、配向性を判断していた。
、収束された電子線を試料に照射し、蛍光板上に結像さ
れる電子線回折像を解析することによって試料の結晶構
造、配向性を判断していた。
（発明が解決しようとする課題）
結晶質試料に電子線か入射すると電子線回折像が得られ
る。このとき、電子線の光軸に対する回折角度θは、入
射電子線の波長をλ、結晶面の格子間隔をｄとすると、
次式（１）で表される２ｄ−ｓｉｎθ−λ ・（１） 電子線の回折角度θは、同じ面指数を有する結晶面で回
折された場合は同一であるか、回折方向は結晶の方位に
より様々なので、同じ面指数を有する結晶面で回折され
た電子線は一点に結像せず、螢光板上では光軸から等距
離に分布してしまう。
る。このとき、電子線の光軸に対する回折角度θは、入
射電子線の波長をλ、結晶面の格子間隔をｄとすると、
次式（１）で表される２ｄ−ｓｉｎθ−λ ・（１） 電子線の回折角度θは、同じ面指数を有する結晶面で回
折された場合は同一であるか、回折方向は結晶の方位に
より様々なので、同じ面指数を有する結晶面で回折され
た電子線は一点に結像せず、螢光板上では光軸から等距
離に分布してしまう。
したかって、電子線回折像を解析するたけでは同じ面指
数を有する結晶面で回折された電子線の総量を測定する
ことができす、結晶配向性について定量的に把握する二
とができないという問題かあった。
数を有する結晶面で回折された電子線の総量を測定する
ことができす、結晶配向性について定量的に把握する二
とができないという問題かあった。
また、これまでは結晶構造の解析と配向性の測定とを同
一の装置で行うことかできす、電子顕微鏡で結晶構造を
解析したのちに、Ｘ線回折装置によって配向性を測定す
るようにしていたので、試料交換時に試料か変質したり
損傷したりしてしまうという問題かあった。
一の装置で行うことかできす、電子顕微鏡で結晶構造を
解析したのちに、Ｘ線回折装置によって配向性を測定す
るようにしていたので、試料交換時に試料か変質したり
損傷したりしてしまうという問題かあった。
本発明の目的は、上記した問題点を解決して、結晶質試
料の結晶配向性を定量的に把握すること−の可能な電子
顕微鏡を提供することにある。
料の結晶配向性を定量的に把握すること−の可能な電子
顕微鏡を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
上記した目的を達成するために、本発明では、電子銃か
ら放射された電子線を収束して試料に照射し、回折され
た電子線を結像して電子線回折像を得る電子顕微鏡にお
いて、以下のような不良を講じた点に特徴がある。
ら放射された電子線を収束して試料に照射し、回折され
た電子線を結像して電子線回折像を得る電子顕微鏡にお
いて、以下のような不良を講じた点に特徴がある。
（１）電子線回折像上の任意の測定点か、該測定点位置
を中心に円周運動してレンズ系光軸を横切るように前記
回折電子線に歳差運動を起こさせる電子線偏向手段と、
前記レンズ系光軸を横切る回折電子線の強度を検出する
電子線強度検出手段とを具備した。
を中心に円周運動してレンズ系光軸を横切るように前記
回折電子線に歳差運動を起こさせる電子線偏向手段と、
前記レンズ系光軸を横切る回折電子線の強度を検出する
電子線強度検出手段とを具備した。
（２）電子銃から放射された電子線に、レンズ系光軸を
中心に歳差運動を起こさせる電子線偏向手段と、前記電
子線を収束して試料に照射する手段と、前記電子線が試
料に垂直に照射されるように、前記電子線の歳差運動に
同期して試料に歳差運動を起こさせる手段と、回折され
た電子線の強度を検出する電子線強度検出手段とを具備
した。
中心に歳差運動を起こさせる電子線偏向手段と、前記電
子線を収束して試料に照射する手段と、前記電子線が試
料に垂直に照射されるように、前記電子線の歳差運動に
同期して試料に歳差運動を起こさせる手段と、回折され
た電子線の強度を検出する電子線強度検出手段とを具備
した。
（３）レンズ系光軸を中心に回転して、レンズ系光軸か
ら等距離の位置で結像された回折電子線の強度を測定す
る電子線強度検出手段を具備した。
ら等距離の位置で結像された回折電子線の強度を測定す
る電子線強度検出手段を具備した。
（作用）
上記した各構成によれば、同じ面指数を有する結晶面に
よって同一角度で各方位に回折された全ての回折電子線
か電子線強度検出手段を横切るようになるので、同じ面
指数を有する結晶面で回折された電子線を全て検出でき
るようになる。
よって同一角度で各方位に回折された全ての回折電子線
か電子線強度検出手段を横切るようになるので、同じ面
指数を有する結晶面で回折された電子線を全て検出でき
るようになる。
（実施例）
以下に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の基本概念を説明するための図である。
同図において、偏向コイル１８Ｘ、１１３Ｙには、回折
角度θで回折された回折電子線３ａが本来の光軸を中心
にして角度θて歳差運動を起こすように、正弦波交流電
圧Ｖｔ５ｉｎθ、Ｖｔｃｏｓθが印加される。
角度θで回折された回折電子線３ａが本来の光軸を中心
にして角度θて歳差運動を起こすように、正弦波交流電
圧Ｖｔ５ｉｎθ、Ｖｔｃｏｓθが印加される。
歳差運動を起こした電子線は結像レンズ系２０によって
結像され、回折電子線が前記歳差運動を起こさない場合
のスポット位置３０を中心にして、レンズ系の光軸と該
スポット位置３０との距離Ｒを半径とした円周運動を起
こす。
結像され、回折電子線が前記歳差運動を起こさない場合
のスポット位置３０を中心にして、レンズ系の光軸と該
スポット位置３０との距離Ｒを半径とした円周運動を起
こす。
ここで、結像面でのレンズ系の光軸位置に電流検出素子
１０を設ければ、前記偏向コイル１８Ｘ、１８Ｙの偏向
周期に応答して回折電子線が電流検出素子１０を周期的
に横切るので、回折電子線の電流強度ｌ 、か検出され
る。
１０を設ければ、前記偏向コイル１８Ｘ、１８Ｙの偏向
周期に応答して回折電子線が電流検出素子１０を周期的
に横切るので、回折電子線の電流強度ｌ 、か検出され
る。
１ｇ
したがって、電流強度ｌ 、を参照すれば、回１ｇ
折重子線の強度を定量的に測定することができるように
なる。
なる。
第５図は本発明の一実施例である電子顕微鏡の構成を示
した図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分
を表している。
した図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分
を表している。
同図において、電子銃２から放射された電子線３は収束
レンズ４によって試料５上に収束される。
レンズ４によって試料５上に収束される。
試料５で回折された電子線は対物レンズ６で収束された
後に電子線偏向器８によって偏向される。
後に電子線偏向器８によって偏向される。
電子線偏向器８には、信号処理装置１３によって制御さ
れる電子線偏向電源１１から正弦波交流電圧Ｖｉが印加
され、電子線３は歳差運動を起二 ゛す。歳差運動を起
こした電子線は結像レンズ９によって拡大されて結像す
る。
れる電子線偏向電源１１から正弦波交流電圧Ｖｉが印加
され、電子線３は歳差運動を起二 ゛す。歳差運動を起
こした電子線は結像レンズ９によって拡大されて結像す
る。
結像面でのレンズ系の光軸位置には電流検出素子１０が
配置され、電流検出素子１０を周期的に横切る回折電子
線の電流強度１ 、が検出される。
配置され、電流検出素子１０を周期的に横切る回折電子
線の電流強度１ 、が検出される。
１ｇ
電子線輝度Ｇｌ定装置１２は前記電流強度’ ｓｉｇに
基づいて回折電子線の輝度を検出し、検出信号を信号処
理装置１３に出力する。
基づいて回折電子線の輝度を検出し、検出信号を信号処
理装置１３に出力する。
このような構成において、電子線偏向器８に印加する正
弦波交流電圧を、第２図に示したようにＶｔ１ｓ ｉ
ｎθからＶｔ２ｓ ｉ ｎθ（Ｖｔｌｃ ｏ ｓθから
Ｖｔ２ｃｏｓθ）に変化させると、該交流電圧の変化は
回折電子線の振れ角の変化となって表れる。
弦波交流電圧を、第２図に示したようにＶｔ１ｓ ｉ
ｎθからＶｔ２ｓ ｉ ｎθ（Ｖｔｌｃ ｏ ｓθから
Ｖｔ２ｃｏｓθ）に変化させると、該交流電圧の変化は
回折電子線の振れ角の変化となって表れる。
このとき、試料５に配向性があれば、以下に第４図を参
照して詳述するように、前記電圧の変化に応答して前記
電流検出素子１０で検出される電流強度ｉ 、が、例え
ば第３図に示した、ように１ｇ ｉｓｉｇｌから１５１ｇ２へ変化する。
照して詳述するように、前記電圧の変化に応答して前記
電流検出素子１０で検出される電流強度ｉ 、が、例え
ば第３図に示した、ように１ｇ ｉｓｉｇｌから１５１ｇ２へ変化する。
第４図は本実施例による電子線回折像を示した図である
。
。
同図（ａ）に示した回折パターンが観察されたときに、
例えば［００２］スポツトが該スポット位置を中心に円
周運動してレンズ系光軸（［０００］スポツト）に設け
られた電流検出素子１０を横切るように、電子線偏向器
８を制御して回折電子線に歳差運動を起こさせると、同
図（ｂ）に示したように、他のスポットも同様に円周運
動する。
例えば［００２］スポツトが該スポット位置を中心に円
周運動してレンズ系光軸（［０００］スポツト）に設け
られた電流検出素子１０を横切るように、電子線偏向器
８を制御して回折電子線に歳差運動を起こさせると、同
図（ｂ）に示したように、他のスポットも同様に円周運
動する。
このとき、［００２］ スポットを結像する結晶面と同
じ面指数を有する結晶面で回折された電子線による［０
２０コ、［００丁］、［０２０］スポツトも、［００２
］スポツトと同様に電流検出素子１０を横切るように円
周運動する。
じ面指数を有する結晶面で回折された電子線による［０
２０コ、［００丁］、［０２０］スポツトも、［００２
］スポツトと同様に電流検出素子１０を横切るように円
周運動する。
ところが、［０２２］スポツトや［０２２］スポツトの
ように、前記［００２］スポツトを結像する結晶面と異
なる面指数を有する結晶面で回折された電子線によるス
ポットが電流検出素子１０を横切ることはない。
ように、前記［００２］スポツトを結像する結晶面と異
なる面指数を有する結晶面で回折された電子線によるス
ポットが電流検出素子１０を横切ることはない。
したがって、このときに電流検出素子１０で検圧される
電流強度１ 、を観察すれば、結晶質試１ｇ 料の結晶配向性を定量的に把握できるようになる。
電流強度１ 、を観察すれば、結晶質試１ｇ 料の結晶配向性を定量的に把握できるようになる。
同様に、同図（Ｃ）に示したように、［０２２］スポツ
トが該スポット位置を中心に円周運動して電流検出素子
１０を横切るように回折電子線に歳差運動を起こさせる
と、［０２２］スポツトを結ぶ結晶面と同じ面指数を有
する結晶面で回折された電子線による［０２２］、［０
２２コ、［０２２］スポツトも電流検出素子１０を横切
るように円周運動する。ところが、［００２］スポツト
や［０２０］スポツトが電流検出素子１ｏを横切ること
はない。
トが該スポット位置を中心に円周運動して電流検出素子
１０を横切るように回折電子線に歳差運動を起こさせる
と、［０２２］スポツトを結ぶ結晶面と同じ面指数を有
する結晶面で回折された電子線による［０２２］、［０
２２コ、［０２２］スポツトも電流検出素子１０を横切
るように円周運動する。ところが、［００２］スポツト
や［０２０］スポツトが電流検出素子１ｏを横切ること
はない。
したかって、電子線偏向器８に印加する正弦波交流電圧
の値に応答して変化する電流強度ｌ 。
の値に応答して変化する電流強度ｌ 。
１ｇ
を測定すれば、試料５の結晶配向性の状態を判定するこ
とができるようになる。
とができるようになる。
また、各回折電子線に関して、全回折電子線に対する強
度比、すなわちｉ ／Σｉ ヲ求メＳ１ｇ
Ｓ１ｇ ておけば、結晶配向性について定量的に把握することが
できる。
度比、すなわちｉ ／Σｉ ヲ求メＳ１ｇ
Ｓ１ｇ ておけば、結晶配向性について定量的に把握することが
できる。
第６図は本発明の第２実施例の基本構成を示した図であ
る。
る。
同図において、電子線偏向器８Ｘ、８Ｙは電子銃２から
放射された電子線３に、レンズ系光軸３３を中心に歳差
運動を起こさせる。歳差運動を起こした電子線３は収束
レンズ６ｏによって試料５上に収束される。
放射された電子線３に、レンズ系光軸３３を中心に歳差
運動を起こさせる。歳差運動を起こした電子線３は収束
レンズ６ｏによって試料５上に収束される。
試料５は、前記収束された電子線が常に垂直に照射され
るように、前記電子線の歳差運動に同期して歳差運動を
起こす。このような試料５の歳差運動は、図示しない試
料ステージを駆動することによって達成される。
るように、前記電子線の歳差運動に同期して歳差運動を
起こす。このような試料５の歳差運動は、図示しない試
料ステージを駆動することによって達成される。
このような構成によれば、試料５によって回折角度θで
各方位に回折された回折電子線は、試料５の歳差運動に
よって電流検出素子１０を横切るようになるので、本実
施例によれば、前記した第１実施例の場合と同様に、結
晶配向性について定量的に把握することかできるように
なる。
各方位に回折された回折電子線は、試料５の歳差運動に
よって電流検出素子１０を横切るようになるので、本実
施例によれば、前記した第１実施例の場合と同様に、結
晶配向性について定量的に把握することかできるように
なる。
第７図は本発明の第３実施例の基本構成を示した図であ
る。
る。
同図において、電流検出素子１０はレンズ系光軸を中心
に、任意の半径で回転するように構成されている。
に、任意の半径で回転するように構成されている。
このような構成によれば、前記第１ないＬ２第２実施例
の場合と同様に、試料５によって回折角度θで各方位に
回折された回折電子線は電流検出素子１０を横切るよう
になるので、結晶配向性について定量的に把握すること
ができるようになる。
の場合と同様に、試料５によって回折角度θで各方位に
回折された回折電子線は電流検出素子１０を横切るよう
になるので、結晶配向性について定量的に把握すること
ができるようになる。
しかも、本発明によれば、結晶構造の解析と配向性の測
定とを同一の装置で行えるようになるので、試料の変質
や損傷なとか最小限に押さえられて操作性の向上および
測定データの信頼性か向上される。
定とを同一の装置で行えるようになるので、試料の変質
や損傷なとか最小限に押さえられて操作性の向上および
測定データの信頼性か向上される。
（発明の効果）
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、結晶
配向性について簡単かつ量的に把握することができるよ
うになる。
配向性について簡単かつ量的に把握することができるよ
うになる。
また、本発明によれば、結晶構造の解析と配向性の測定
とを同一の装置で行えるようになるので、試料の変質や
損傷などが最小限に押さえられて操作性の向上および測
定データの信頼性か向上される。
とを同一の装置で行えるようになるので、試料の変質や
損傷などが最小限に押さえられて操作性の向上および測
定データの信頼性か向上される。
第１図は本発明の基本概念を説明するための図、第２．
３．４図は第５図の動作を説明するだめの図、第５図は
本発明の一実施例である電子顕微鏡のブロック図、第６
図は本発明の第２実施例の基本構成を示した図、第７図
は本発明の第３実施例の基本構成を示した図である。 ２・・・電子銃、４・・・収束レンズ、５・・・試料、
６・・対物レンズ、８・・・電子線偏向器、９・・・結
像レンズ、１０・・・電流検出素子、１１・・・電子線
偏向電源、１２・・・電子線輝度測定装置、１３・・・
信号処理装置、１８Ｘ、１８Ｙ・・・偏向コイル、２０
・・・結像レンズ系
３．４図は第５図の動作を説明するだめの図、第５図は
本発明の一実施例である電子顕微鏡のブロック図、第６
図は本発明の第２実施例の基本構成を示した図、第７図
は本発明の第３実施例の基本構成を示した図である。 ２・・・電子銃、４・・・収束レンズ、５・・・試料、
６・・対物レンズ、８・・・電子線偏向器、９・・・結
像レンズ、１０・・・電流検出素子、１１・・・電子線
偏向電源、１２・・・電子線輝度測定装置、１３・・・
信号処理装置、１８Ｘ、１８Ｙ・・・偏向コイル、２０
・・・結像レンズ系
Claims (3)
- （１）電子銃から放射された電子線を収束して試料に照
射し、回折された電子線を結像して電子線回折像を得る
電子顕微鏡において、 電子線回折像上の任意の測定点が、該測定点位置を中心
に円周運動してレンズ系光軸を横切るように、前記回折
電子線に歳差運動を起こさせる電子線偏向手段と、 前記レンズ系光軸を横切る回折電子線の強度を検出する
電子線強度検出手段とを具備したことを特徴とする電子
顕微鏡。 - （２）電子銃から放射された電子線を収束して試料に照
射し、回折された電子線を結像して電子線回折像を得る
電子顕微鏡において、 電子銃から放射された電子線に、レンズ系光軸を中心に
歳差運動を起こさせる電子線偏向手段と、前記電子線を
収束して試料に照射する手段と、前記電子線が試料に垂
直に照射されるように、前記電子線の歳差運動に同期し
て試料に歳差運動を起こさせる手段と、 回折された電子線の強度を検出する電子線強度検出手段
とを具備したことを特徴とする電子顕微鏡。 - （３）電子銃から放射された電子線を収束して試料に照
射し、回折された電子線を結像して電子線回折像を得る
電子顕微鏡において、 レンズ系光軸を中心に回転して、レンズ系光軸から等距
離の位置で結像された回折電子線の強度を測定する電子
線強度検出手段を具備したことを特徴とする電子顕微鏡
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2336658A JP2662723B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2336658A JP2662723B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04206335A true JPH04206335A (ja) | 1992-07-28 |
| JP2662723B2 JP2662723B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=18301451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2336658A Expired - Fee Related JP2662723B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2662723B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190110483A (ko) * | 2018-03-20 | 2019-09-30 | 테스칸 템페, 엘엘씨 | 세차 전자 회절 데이터 매핑을 위한 주사형 투과 전자 현미경 자동 정렬 방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60105150A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-10 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
| JPS60150548A (ja) * | 1984-01-17 | 1985-08-08 | Jeol Ltd | 電子線回折方法 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP2336658A patent/JP2662723B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60105150A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-10 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
| JPS60150548A (ja) * | 1984-01-17 | 1985-08-08 | Jeol Ltd | 電子線回折方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190110483A (ko) * | 2018-03-20 | 2019-09-30 | 테스칸 템페, 엘엘씨 | 세차 전자 회절 데이터 매핑을 위한 주사형 투과 전자 현미경 자동 정렬 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2662723B2 (ja) | 1997-10-15 |
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