JPH04208512A - 固体電解コンデンサの製造方法 - Google Patents

固体電解コンデンサの製造方法

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JPH04208512A
JPH04208512A JP2340921A JP34092190A JPH04208512A JP H04208512 A JPH04208512 A JP H04208512A JP 2340921 A JP2340921 A JP 2340921A JP 34092190 A JP34092190 A JP 34092190A JP H04208512 A JPH04208512 A JP H04208512A
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JP
Japan
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sintering
valve
pan
vacuum vessel
inert gas
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Pending
Application number
JP2340921A
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English (en)
Inventor
Koichi Tadokoro
田所　宏一
Arihiro Gotou
後藤　有博
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
    • H01G9/004—Details
    • H01G9/04—Electrodes or formation of dielectric layers thereon
    • H01G9/042—Electrodes or formation of dielectric layers thereon characterised by the material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/10—Sintering only
    • B22F3/1003—Use of special medium during sintering, e.g. sintering aid
    • B22F3/1007—Atmosphere

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は固体電解コンデンサの製造方法に関し、特に弁
作用を有する金属からなる陽極体素子の焼結方法に関す
る。
〔従来の技術〕
従来、タンタル、アルミニウムなどの弁作用を有する金
属粉末を焼結した陽極体素子を用いて製造される電解コ
ンデンサは、小型・大容量のコンデンサとして広く使用
されているが、コンデンサ素子の基となっている焼結体
は、一般に弁作用金属粉末に同種金属の陽極リード線を
埋設し所定の形状に加圧成形した成形体を、整列あるい
はバラ積み状態で焼結皿に真空度１０−５〜１０−’Ｔ
ｏｒｒ台、焼結温度１５００℃〜１８００℃で真空焼結
することにより得られていた。また、成形体から発生す
る不純物ガスを効率よく排気して高真空を得るために、
第５図に示す如く拡散ポンプやクライオポンプといった
大型の高真空排気設備を備えた焼結装置が必要であった
。
〔発明が解決しようとする課題〕
この従来の陽極体素子の焼結方法では、弁作用金属粉末
の微細化が進展しているために成形体の表面積が大きく
、高温焼結した場合には、成形体から発生する不純物ガ
スの量が多くなり高真空を維持することが困難であった
。このため、コンデンサとして漏れ電流大あるいは耐電
圧低下等の電気的特性劣化や、リード線が折れやすくな
る等の機械的特性劣化が生じていた。
また、大型の高真空排気設備を使用するため、立上げ・
停止に長時間を要するので稼動率の低下をまねいたり、
排気系の構成が複雑であるためメンテナンスが困難で故
障しやすいといった問題点があった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、弁作用を有
する金属からなる陽極体素子を、減圧した不活性ガス雰
囲気中において高温で焼結する工程を備えている。
〔実施例〕
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の実施例を示す焼結方法のシステム構成
図である。
成形体（図示省略）を板状に載置した焼結皿４を、熱反
射板３および加熱ヒーター２を配置した真空容器１内の
焼結皿支持台５に載置した後、真空容器１を密閉し、バ
ルブ１４を開にし真空ポンプ１１により真空容器１の内
部を０．５７ｏｒｒ近辺まで真空排気する。
次にバルブ１４を閉にし、流量コントローラ６および流
量コントロールバルブ７を調整し、不活性ガス入口８よ
り純度９９．９９５％のアルゴンガスを導入する。この
時アルゴンガスの流量が３１／分となるよう流量フント
ローラ６を調整したのち、高真容器１内の圧力が図示省
略の圧力計により１Ｔｏｒｒ近辺になるように圧力調整
バルブ１５を調整する。
次に圧力・流量を維持した状態で、加熱ヒータ２により
最高温度１８００℃まで加熱したのち加熱を切り、室温
まで冷却したところで焼結体を取り出して一連の焼結工
程が終了する。
第２図〜第４図は、本発明の焼結方法により加熱１８０
０℃にて熱処理し、サンプルを抜き取り従来例と比較し
た図である。
第２図は、焼結直後の素子を２０個サンプリングしリー
ド線折り曲げ強度を測定し、従来の焼結方法と比較した
ものであり、従来の焼結方法に比べて本発明の焼結方法
では５０％向上した。
第３図は焼結直後の素子を２０個サンプリングし、化成
電圧１ｏｏｖで化成した後耐電圧を測定し、従来の焼結
方法と比較したものであり、従来の焼結方法に比べて１
０％向上した。
第４図は、本発明の焼結方法により作成した素子を用い
て固体電解コンデンサを作成し、２０個をサンプリング
して漏れ電流を測定し従来の焼結方法と比較したもので
あり、従来の焼結方法に比べて４０％向上した。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、不活性ガスを導入するこ
とにより、不純物元素の分圧を抑制でき、焼結時に成形
体より発生するガスを洗い流すことができるので、リー
ド折れが少なく、漏れ電流が小さく、耐電圧の高いコン
デンサが得られるという効果を有する。
また、大型の高真空排気設備を必要としないので、以下
の効果が得られる。
（１）装置の設置スペースが小さくフロアの有効活用が
図れる。
（２）立上げ・停止時間が短く稼動率が向上する。
（３）排気系の構成が簡単になり、メンテナンスが容易
で故障しにくし・。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の焼結方法の実施例を示すシステム構成
図、第２図は本発明と従来例におけるリート折れ試験結
果を示すグラフ、第３図は本発明と従来例における耐電
圧を示すグラフ、第４図は本発明と従来例における漏れ
電流を示すグラフ、第５図は従来例の焼結方法を示すシ
ステム構成図である。 １・・・・・・真空容器、２・・・・・・加熱ヒーター
、３・・・・・・熱反射板、４・・−・焼結皿、５・・
・・・焼結皿支持台、６・・・流量コントローラ、７・
・・・・・流量コントロールバルブ、８・・・・・不活
性カス入口、９・・・・・不活性カス出口、１０・・　
・不活性ガスの流れ、１１・・・・・・真空ポンプ、１
２・・・・補助真空ポンプ、１３・・・・・・拡散ポン
プ、１４・・・・・バルブ、１５圧力調整バルブ。 代理人　弁理士　　内厚　　　晋 第２図 ８３図 ム プｒぼ腎ｒ　　征業″力ヒ結方・人 第４図 参 本発明１朝Ｚ　　従来のバし時方５人 力占方５人

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　弁作用を有する金属からなる陽極体素子を、減圧した
    不活性ガス雰囲気中において高温で焼結する工程を含む
    ことを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
JP2340921A 1990-11-30 1990-11-30 固体電解コンデンサの製造方法 Pending JPH04208512A (ja)

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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE520251C2 (sv) * 1999-05-20 2003-06-17 Sandvik Ab Motståndselement av molybdensilicidtyp för sintring av metallpulver
JP3585791B2 (ja) * 1999-11-04 2004-11-04 Ｎｅｃトーキン株式会社 固体電解コンデンサ用陽極体の製造方法及びその製造方法に用いられる連続焼結装置
SE520148C3 (sv) * 2000-11-24 2003-07-16 Sandvik Ab Förfarande för att öka livslängden hos värmeelement av molybdendisilicidtyp vid värmebehandling av elektroniska keramer
US6447570B1 (en) * 2000-11-30 2002-09-10 Vishay Sprague, Inc. Sintered Tantalum and Niobium capacitor pellets doped with Nitrogen, and method of making the same
US6965510B1 (en) 2003-12-11 2005-11-15 Wilson Greatbatch Technologies, Inc. Sintered valve metal powders for implantable capacitors
US8605411B2 (en) 2010-09-16 2013-12-10 Avx Corporation Abrasive blasted conductive polymer cathode for use in a wet electrolytic capacitor
US8259435B2 (en) 2010-11-01 2012-09-04 Avx Corporation Hermetically sealed wet electrolytic capacitor
US8514547B2 (en) 2010-11-01 2013-08-20 Avx Corporation Volumetrically efficient wet electrolytic capacitor
US8451586B2 (en) 2011-09-13 2013-05-28 Avx Corporation Sealing assembly for a wet electrolytic capacitor
WO2013167289A1 (de) * 2012-05-05 2013-11-14 Wdt-Wolz-Dental-Technik Gmbh Sintereinsatz für einen sinterofen zum sauerstofffreien sintern von metall oder keramik
CN103071804A (zh) * 2013-01-23 2013-05-01 西安铂力特激光成形技术有限公司 旋转电极制造金属粉末气氛保护系统及其保护方法
JP6576449B2 (ja) * 2014-11-21 2019-09-18 プランゼー エスエー タンタルコンデンサの熱処理のための装入装置
CN111863464B (zh) * 2020-06-22 2021-09-03 江门富祥电子材料有限公司 一种用于钽或铌阳极的烧结装置及烧结方法
CN112191847B (zh) * 2020-09-22 2021-07-16 燕山大学 一种人工植入夹杂物的钢制试样烧结成形方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1731255A (en) * 1929-10-15 Alloy and its manufacture
US1752877A (en) * 1930-04-01 Macrocrystal ingot and method of making it
US1040699A (en) * 1906-01-18 1912-10-08 Walter D Edmonds Alloy and process of producing the same.
US1648962A (en) * 1922-08-22 1927-11-15 Westinghouse Lamp Co Method of preparing uranium in a coherent mass
US2709651A (en) * 1952-05-02 1955-05-31 Thompson Prod Inc Method of controlling the density of sintered compacts
US3444925A (en) * 1957-05-07 1969-05-20 Minnesota Mining & Mfg Structural articles and method of making
US4758272A (en) * 1987-05-27 1988-07-19 Corning Glass Works Porous metal bodies
US4871621A (en) * 1987-12-16 1989-10-03 Corning Incorporated Method of encasing a structure in metal
US5246504A (en) * 1988-11-15 1993-09-21 Director-General, Agency Of Industrial Science And Technology Thermoelectric material
US5238883A (en) * 1989-01-13 1993-08-24 Lanxide Technology Company, Lp Process for preparing self-supporting bodies and products produced thereby
US4923512A (en) * 1989-04-07 1990-05-08 The Dow Chemical Company Cobalt-bound tungsten carbide metal matrix composites and cutting tools formed therefrom
CH681516A5 (ja) * 1989-09-13 1993-04-15 Asea Brown Boveri
EP0436952B1 (en) * 1989-12-29 1997-04-02 Showa Denko Kabushiki Kaisha Aluminium-alloy powder, sintered aluminium-alloy, and method for producing the sintered aluminum-alloy
SE9003521D0 (sv) * 1990-11-05 1990-11-05 Sandvik Ab High pressure isostatic densiffication process
DE4113928A1 (de) * 1991-03-13 1992-09-17 Asea Brown Boveri Verfahren zur herstellung eines sinterkoerpers aus stahlpulver
US5093076A (en) * 1991-05-15 1992-03-03 General Motors Corporation Hot pressed magnets in open air presses
US5225155A (en) * 1991-07-22 1993-07-06 Corning Incorporated Methods and apparatus for firing extruded metals
US5266264A (en) * 1991-12-31 1993-11-30 The Japan Steel Works Ltd. Process for producing sinters and binder for use in that process

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