JPH0421041Y2 - - Google Patents

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JPH0421041Y2
JPH0421041Y2 JP1987019275U JP1927587U JPH0421041Y2 JP H0421041 Y2 JPH0421041 Y2 JP H0421041Y2 JP 1987019275 U JP1987019275 U JP 1987019275U JP 1927587 U JP1927587 U JP 1927587U JP H0421041 Y2 JPH0421041 Y2 JP H0421041Y2
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JP
Japan
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objective lens
inspected
sheet
microscope
sheet gauge
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JPS63126801U (ja
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  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本考案は光透過性を有するシート材の表面に測
定手段が記載されたシートゲージに関する。
(従来の技術) 従来、電子部品等の精密微細部品の加工及び治
工具部品等の検査等においては、拡大顕微鏡を現
場作業者の傍らに置いて工作物等を拡大して感覚
的な検査を行つていた。詳細な寸法精度の検査を
行うには測距可能な投影機等で検査を行つてい
た。しかし、精度の高い検査を行うためには微細
部品等を検査室等へ運んで専用の設備を用いて検
査せねばならず、現場の作業はその間ストツプし
てしまうという問題点が有り、現場での精密検査
を行う手段が望まれていた。
この問題を解決する手段としては、従来ルーペ
用スケールという物が知られている。
これは拡大鏡や簡易なマイクロスコープと組み
合わせて用いるもので、対物レンズと同径もしく
はそれ以下の径を有し、光透過性の有るスケール
板上に測距目盛や、同心円等が等倍に記載されて
おり、前記拡大鏡やマイクロスコープに装着して
使用するものである。
(考案が解決しようとする問題点) しかしながら、上記のルーペ用スケールには次
のような問題点が有る。
スケール板の大きさが対物レンズの径以下と制
約が有るため記載できる図形、目盛等に限りが有
る。従つて、ルーペ用スケールは記載量を多くす
べく例えば円は同心円状に描いたり、角度は分度
器の目盛のように描かれている。
円弧、角度が上述のように描かれていると、微
細な測定を行う場合読み取り誤差が生じ易い。ま
た検査を行う者にとつても集中力が必要となり、
疲労が大きいという問題点が有る。
さらに、レンズの光軸からはずれた位置に描か
れた図形等はレンズの球面収差により精度に問題
が有り、測定誤差の原因となる恐れが有るという
問題点も有る。
従つて、本考案は大量の図形等を記載でき、見
易く、誤差の生じないシートゲージを提供するこ
とを目的とする。
(問題点を解決するための手段) 本考案は上記目的を達成するため次の構成を備
える。
すなわち、顕微鏡の対物レンズと被検査物との
間または該被検査物に対して該対物レンズと反対
側に介挿可能、かつ対物レンズと被検査物との間
または被検査物に対して該対物レンズと反対側に
おいて移動可能であり、対物レンズの面積を越え
た面積を有する光透過性シート材の面に、コーナ
ーの曲率半径、C面取量、角度等の図形要素、測
定目盛等の測定手段を規則的に変化させたもの
を、当該変化の順番に等倍で記載されていること
を特徴とする。
(作用) 作用を図面と共に説明する。
被検査物の検査部位に対応する図形要素、測定
手段を有するシートゲージを、顕微鏡の対物レン
ズと被検査物との間または被検査物に対して対物
レンズと反対側に介挿する。
すると、シート材は光透過性を有するので、顕
微鏡の視野内では被検査物と図形要素、測定手段
とが重なつて見えるので拡大された被検査物と拡
大された図形要素、測定手段を見ながら比較検査
可能となる。
(実施例) 以下、本考案の好適な実施例について添付図面
と共に詳述する。
まず構成について述べる。
第1図において、10はシートゲージであり、
透明なフイルム状の樹脂シートを適宜な大きさに
裁断されてなる。シートゲージ10は顕微鏡14
の対物レンズ16と被検査物である部品20との
間に介挿可能であると共に、対物レンズ16と部
品20との間において水平方向へ移動可能となつ
ている。このシートゲージ10の大きさは、顕微
鏡14の対物レンズ16の面積を越える面積が有
れば、後述する図形要素や測定手段等の、記載す
る数量及びサイズ等を考慮の上適宜選択すればよ
い。
また本実施例では樹脂シートとして透明なポリ
エステルを用いたが、十分な光透過性さえ有すれ
ば透明ではなく、擦りガラス状でもよい。素材も
ポリエステルに限らず熱の影響の少ない材質であ
れば他の樹脂やガラスでも構わない。
シートゲージ10の表面には、図形要素12等
が規則的な変位量に従つて順番に記載されてい
る。図形要素等の種類についは後述する。
なお図形要素12等の記載方法は、樹脂シート
の表面を精密なカツテイングにより記載されてお
り、その精度は0.005mm以下である。カツテイン
グした面は、作業環境を考慮して耐水、耐油処理
を施すとよい。
記載方法もカツテイングの他に写真製版、その
他精度さえ確保できれば何でもよい。
記載された図形要素12等は等倍に記載され、
読み取り可能に図形要素12等のサイズも併記さ
れている。
次に使用方法について述べる。
まず顕微鏡14の対物レンズ16直下のステー
ジ18上に被検査物である部品20を載置し、適
宜な方法で固定する。部品20の測定部位の寸法
等を設定図面から読み取り、部品20の測定部位
の形状及びサイズに有つたシートゲージ10を選
択し、シートゲージ10を部品20の上に重ね
る。但し、物によつてはシートゲージ10の上に
部品20を載せても良い。
作業者は顕微鏡14の接眼レンズ22を覗きな
がら、部品20の検査部位の設計図面から読み取
つた値と一致するサイズの図形要素12を、シー
トゲージ10に記載されたサイズから選択する。
その選択した図形要素12を部品20の上に移動
させる。この時シートゲージ10は透明なので、
図形要素12と部品20が重なつて作業者には見
える。従つて、作業者は検査部位と図形要素との
違いを容易に測定が可能となる。また許容量が予
め判つていれば、許容量に対応したサイズの図形
要素12と比較して許容範囲内か否かも判断可能
である。
次にシートゲージ10の図形要素等の記載例に
ついて図面と共に述べる。
第2図に示すのは、円を示したゲージであり、
直径を0.02mmずつずらした円が順番に並んで記載
されている。
第3図に示すのは、90°コーナーの曲率半径を、
0.02mmずつずらしたアールが順番に並んで記載さ
れた例である。もちろんコーナーの角度は90°の
他60°、30°当任意に選択できる。
第4図に示すのは、90°コーナーのC面取量を
0.02mmずつずらしたものを順番に並べで記載され
た例である。コーナーの角度はこの場合も任意に
設定できる。
第5図に示すのは、0°〜90°までの角度を30秒
刻みずつ順番に並べて記載された例である。この
例ももちろん90°以上の角度を表示できることは
言うまでもない。
上述の例では単一のシートゲージ10を用いた
例を挙げたが、角度と円のシートゲージ10を組
み合わせて任意角度の任意曲率半径のアールを測
定したり、偏位等を測定することも可能となる。
応用例としては、固有形状や複雑形状の図形を
シートゲージ10上に描いておく方法も有り、許
容誤差範囲を示した相似の図形を並べて記載して
おくと検査の作業効率を上げることができる。
以上、本考案の好適な実施例について種々述べ
て来たが、本考案は上述の実施例に限定されるの
ではなく、考案の精神を逸脱しない範囲で多くの
改変を施し得るのはもちろんである。
(考案の効果) 本考案に係るシートゲージを用いると、シート
ゲージの大きさに制約が無いので図形要素等の数
やサイズも任意に設定できる。
同様に、シートゲージの大きさに制約が無いの
で円ゲージを同心円にしたり、角度ゲージを分布
器状に記載せず変位量に応じ順番に並べて記載さ
れているので限定し易く、測定値の誤認の可能性
も小さくすることができる。
また測定位置を常に光軸の延長線上に設定可能
であるからレンズの球面収差による誤差も防止で
きる。
さらに本考案のシートゲージはコスト的に安く
なるので現場の測定、検査に用いることができる
ので迅速な検査が可能となり、検査のため機械を
停止させるのも最小限で済む。
加えて、誰もが同一の基準で測定可能なので、
測定値に信頼性が有る等の著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係るシートゲージを用いた測
定方法を説明した斜視図、第2図〜第5図はシー
トゲージの記載例を示した図である。 10……シートゲージ、12……図形要素、1
4……顕微鏡、16……対物レンズ、18……ス
テージ、20……部品、22……接眼レンズ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 顕微鏡の対物レンズと被検査物との間または該
    被検査物に対して該対物レンズと反対側に介挿可
    能、かつ対物レンズと被検査物との間または被検
    査物に対して該対物レンズと反対側において移動
    可能であり、対物レンズの面積を越えた面積を有
    する光透過性シート材の面に、 コーナーの曲率半径、C面取量、角度等の図形
    要素、測定目盛等の測定手段を規則的に変化させ
    たものを、当該変化の順番に等倍で記載されてい
    ることを特徴とするシートゲージ。
JP1987019275U 1987-02-12 1987-02-12 Expired JPH0421041Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987019275U JPH0421041Y2 (ja) 1987-02-12 1987-02-12

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987019275U JPH0421041Y2 (ja) 1987-02-12 1987-02-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63126801U JPS63126801U (ja) 1988-08-18
JPH0421041Y2 true JPH0421041Y2 (ja) 1992-05-14

Family

ID=30813732

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1987019275U Expired JPH0421041Y2 (ja) 1987-02-12 1987-02-12

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JP (1) JPH0421041Y2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4078864A (en) * 1976-07-08 1978-03-14 United Technologies Corporation Method and apparatus for viewing and measuring damage in an inaccessible area

Also Published As

Publication number Publication date
JPS63126801U (ja) 1988-08-18

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