JPH0421050Y2

JPH0421050Y2 -

Info

Publication number: JPH0421050Y2
Application number: JP14324785U
Authority: JP
Priority date: 1985-09-18
Filing date: 1985-09-18
Publication date: 1992-05-14
Also published as: JPS6251206U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は機械加工物の形状測定等（例えば、長
さ、幅、高さ、内径、外径、角度）に用いる電子
センサに関し、更に詳しくは、センシングピンを
測定対象に接触させセンシングを行う電子センサ
に関する。[Detailed description of the invention] (Field of industrial application) The present invention relates to an electronic sensor used for measuring the shape of machined objects (for example, length, width, height, inner diameter, outer diameter, angle). The present invention relates to an electronic sensor that performs sensing by bringing a sensing pin into contact with a measurement target.

（従来の技術）従来のこの種の電子センサとして、特公昭54−
6218号公報にて開示されたものがある。この電子
センサは、ロツク手段を備えた３つの直線案内ユ
ニツトをこれらがｘ，ｙ，ｚの３軸方向を向くよ
うに連結して３次元案内装置を構成し、この３次
元案内装置にセンシングヘツドを取付けたもので
あるが、センシングピンに測定力を付与する可動
コイル形駆動手段を３次元案内装置の上部に配設
している。又、センシングピン（センシングヘツ
ド）の振動を減衰させるのに、流体の粘性を利用
した粘性減衰装置を用いている。(Prior technology) As a conventional electronic sensor of this type,
There is one disclosed in Publication No. 6218. This electronic sensor configures a three-dimensional guide device by connecting three linear guide units equipped with locking means so that they face the three axes of x, y, and z, and a sensing head is attached to this three-dimensional guide device. A movable coil drive means for applying a measuring force to the sensing pin is disposed on the top of the three-dimensional guide device. In addition, a viscous damping device that utilizes the viscosity of fluid is used to damp the vibrations of the sensing pin (sensing head).

（考案が解決しようとする問題点）しかし、前記可動コイル駆動手段を３次元案内
装置の上部に配設する構成の場合、各直線案内ユ
ニツトに駆動力を伝達する機構が必要になり、こ
の力伝達機構のため、全体の構成が複雑になると
いう問題点がある。又、ダンピングを流体の粘性
を利用してとつているため、ゴミの付着や流体の
減少等のメンテナンス上の問題点や、減衰量の変
更には流体の交換が必要になる等の問題点があ
る。(Problem to be solved by the invention) However, in the case of a configuration in which the movable coil driving means is disposed on the upper part of the three-dimensional guide device, a mechanism for transmitting the driving force to each linear guide unit is required, and this force is Because of the transmission mechanism, there is a problem in that the overall configuration is complicated. In addition, since damping is achieved by using the viscosity of the fluid, there are maintenance problems such as the adhesion of dust and reduction of fluid, and problems such as the need to replace the fluid to change the amount of damping. be.

本考案は上記問題点に鑑みてなされたもので、
その目的は、全体の構成が簡単で、しかもメンテ
ナンスや減衰量の変更が容易な電子センサを提供
することにある。 This idea was created in view of the above problems.
The purpose is to provide an electronic sensor that has a simple overall configuration and is easy to maintain and change the amount of attenuation.

（問題点を解決するための手段）上記問題点を解決する本考案は、ロツク手段を
備えた３つの直線案内ユニツトをこれらがｘ，
ｙ，ｚの３軸方向に向くように連結して構成した
３次元案内装置と、測定対象に接触するセンシン
グピンを備え該３次元案内装置に取付けられたセ
ンシングヘツドと、前記各直線案内ユニツト内に
設けられ、その直線案内ユニツトによる案内方向
の測定力を、前記センシングピンに付与する可動
コイル形駆動手段と、前記各直線案内ユニツト内
に設けられ、その直線案内ユニツトの案内方向の
変位を検出する変位検出手段とを有した電子セン
サにおいて、前記各直線案内ユニツトの案内方向
の速度を検出する速度検出手段と、前記各可動コ
イル形駆動手段の可動コイルについて、該速度検
出手段の出力から前記センシングピンの振動を減
衰させるための駆動電流を求め、該駆動電流に前
記測定力を生じさせるための駆動電流を加算して
得た電流を、前記各可動コイル形駆動手段の可動
コイルに供給する手段と、を設けたことを特徴と
するものである。(Means for Solving the Problems) The present invention for solving the above problems consists of three linear guide units equipped with locking means,
A three-dimensional guide device connected to each other so as to face in the three y- and z-axis directions, a sensing head equipped with a sensing pin that contacts the measurement target and attached to the three-dimensional guide device, and a linear guide unit configured to a movable coil drive means provided in the linear guide unit for applying a measuring force in the guiding direction by the linear guide unit to the sensing pin; and a moving coil drive means provided in each of the linear guide units to detect displacement of the linear guide unit in the guiding direction. In the electronic sensor, the electronic sensor has a displacement detecting means for detecting the speed in the guiding direction of each of the linear guide units, and a displacement detecting means for detecting the speed in the guiding direction of each of the linear guide units, and a displacement detecting means for detecting the speed of the moving coil of each of the moving coil drive means from the output of the speed detecting means. A drive current for damping the vibration of the sensing pin is determined, and the current obtained by adding the drive current for generating the measuring force to the drive current is supplied to the moving coil of each of the moving coil drive means. The invention is characterized in that it is provided with means.

（作用）本考案の電子センサでは、各直線案内ユニツト
は、各ユニツト内の可動コイル形駆動手段にて駆
動される。又、可動コイル形駆動手段には、セン
シングピンの振動を減衰するような駆動電流も重
畳して加えられる。そして、この重畳する駆動電
流の大きさを変えれば、減衰量も当然変わる。(Function) In the electronic sensor of the present invention, each linear guide unit is driven by a moving coil type drive means within each unit. Further, a driving current that damps vibrations of the sensing pin is also superimposed and applied to the moving coil type driving means. If the magnitude of this superimposed drive current is changed, the amount of attenuation will naturally change.

（実施例）以下、図面を用いて本考案の実施例を詳細に説
明する。まず機械的な構成について述べる。第２
図は本考案の一実施例における主に３次元案内装
置部分を示す説明図、第３図は第２図の主要部分
の分解斜視図、第４図は直線案内ユニツトの内部
構造の説明図、第５図は第４図のＶ−Ｖ切断線相
当の断面図、第６図は第５図の側面から見たロツ
ク手段の説明図である。これらの図において、１
０，２０，３０はそれぞれｘ，ｙ，ｚ軸方向の直
線案内ユニツトで、略同一の構造のものである。
この直線案内ユニツト１０，２０，３０は、それ
ぞれ第１ブロツク１１，２１，３１と第２ブロツ
ク１２，２２，３２がそれぞれ平行ばね１３，２
３，３３にて連結されている。この平行ばね１
３，２３，３３の中間部には、ねじり剛性を高め
るために矩形プレートが両側から挟着され、その
部分の変形が規制されている。直線案内ユニツト
１０と２０の連結は、第１ブロツク１１，２１を
その凹部を用いて嵌合させ両者を固着することに
より行う。又、直線案内ユニツト２０と３０との
連結は、Ｌ字形の連結金具３５を用いて行う。即
ち、直線案内ユニツト２０の第２ブロツク２２上
面（凹部）に連結金具３５の水平部３５ａを固着
し、直線案内ユニツト３０の第２ブロツク３２の
側面（凹部）に連結金具３５の垂直部３５ｂを固
着することにより行う。これにより、直線案内ユ
ニツト１０，２０，３０はそれぞれｘ，ｙ，ｚ軸
方向への直線変位が可能となり、３次元案内装置
が構成され、直線案内ユニツト１０の第２ブロツ
ク１２に固着したセンシングヘツド４０の変位
（３次元）も可能になる。このセンシングヘツド
４０には、測定対象と接触するセンシングピン４
１が着脱自在に取付けられている。尚、直線案内
ユニツト３０の第１ブロツク３１は第２図に示す
如くサポートアーム５１で支持され、電子センサ
全体は頭部の突起５２にて、支持枠等に装着され
る。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail using the drawings. First, we will discuss the mechanical configuration. Second
The figure is an explanatory diagram mainly showing the three-dimensional guide device part in an embodiment of the present invention, Fig. 3 is an exploded perspective view of the main part of Fig. 2, Fig. 4 is an explanatory diagram of the internal structure of the linear guide unit, 5 is a sectional view taken along the line V--V in FIG. 4, and FIG. 6 is an explanatory view of the locking means as seen from the side of FIG. In these figures, 1
0, 20, and 30 are linear guide units in the x-, y-, and z-axis directions, respectively, and have substantially the same structure.
The linear guide units 10, 20, 30 have first blocks 11, 21, 31 and second blocks 12, 22, 32, respectively, which are connected by parallel springs 13, 2, respectively.
3 and 33 are connected. This parallel spring 1
In order to increase torsional rigidity, a rectangular plate is sandwiched between the intermediate portions 3, 23, and 33 from both sides, and deformation of that portion is restricted. The linear guide units 10 and 20 are connected by fitting the first blocks 11 and 21 using their recesses and fixing them together. Further, the linear guide units 20 and 30 are connected using an L-shaped connecting fitting 35. That is, the horizontal part 35a of the connecting fitting 35 is fixed to the upper surface (recessed part) of the second block 22 of the linear guide unit 20, and the vertical part 35b of the connecting fitting 35 is fixed to the side surface (recessed part) of the second block 32 of the linear guiding unit 30. This is done by fixing. As a result, the linear guide units 10, 20, and 30 can be linearly displaced in the x, y, and z axis directions, respectively, and a three-dimensional guide device is configured. 40 displacements (three dimensions) are also possible. The sensing head 40 includes sensing pins 4 that come into contact with the object to be measured.
1 is detachably attached. The first block 31 of the linear guide unit 30 is supported by a support arm 51 as shown in FIG. 2, and the entire electronic sensor is mounted on a support frame or the like by a projection 52 on the head.

前記直線案内ユニツト１０，２０，３０には、
直線案内ユニツトの変位（正確には、第１ブロツ
ク１１，２１，３１と第２ブロツク１２，２２，
３２との間の相対変位）を零にロツクできるよう
に、ロツク手段が設けられている。このロツク手
段を、直線案内ユニツト１０を例にとつて示した
のが第５図及び第６図である。本実施例では、下
端が球状のロツクシヤフト（第１ブロツク１１
側）５３を図示しないスプリングで通常は下方に
付勢してロツク部材（第２ブロツク１２側）５４
のＶ字溝ａに嵌合させロツク状態に保持してお
き、ロツクの解除が必要なとき、ソレノイド５５
でロツクシヤフト５３を引き上げるようにしてい
る。 The linear guide units 10, 20, 30 include:
Displacement of the linear guide unit (more precisely, the displacement of the first block 11, 21, 31 and the second block 12, 22,
A locking means is provided so that the relative displacement between the two parts 32 can be locked to zero. This locking means is shown in FIGS. 5 and 6 by taking the linear guide unit 10 as an example. In this embodiment, a lockshaft (first block 11) with a spherical lower end is used.
The lock member (second block 12 side) 54 is normally biased downward by a spring (not shown).
When it is necessary to release the lock, the solenoid 55 is fitted into the V-shaped groove a of the
I am trying to pull up the lockshaft 53.

又、直線案内ユニツト１０，２０，３０内に
は、センシングピン４１に所望の測定力を与える
ため、可動コイル形駆動手段が設けられている。
この構造を第４図及び第５図を用いて直線案内ユ
ニツト１０について説明する。第１ブロツク１１
には、円筒状の空隙を有した穴１１ａが穿設さ
れ、その開口側端部に円筒状の磁石（着磁は法線
方向）５６が固着されている。この円筒状の磁石
５６は、例えば実公昭58−47826号に記載されて
いるリニアモータ等に用いられているものと着磁
方向が同様なものである。そして、この磁石５６
の内筒面と中央の円柱状ヨーク部１１ｂとの間に
形成された磁気ギヤツプ内に、第２ブロツク１２
側に固着された可動コイル５７が位置している。
この可動コイル５７の外周には、第１ブロツク１
１に対する可動コイル５７の相対移動速度を検出
するための速度検出用コイル５８が重ねて巻回さ
れている。これにより、この速度検出用コイル５
８には、直線案内ユニツト１０の案内方向の速度
に比例した電圧、即ち、第１、第２ブロツク１
１，１２間の相対移動速度、換言すれば、第１ブ
ロツク１１に対する可動コイル５７の相対移動速
度に比例した電圧が誘起されることになる。 Also provided within the linear guide units 10, 20, 30 is a moving coil drive means for applying a desired measuring force to the sensing pin 41.
The structure of the linear guide unit 10 will be explained using FIGS. 4 and 5. 1st block 11
A hole 11a having a cylindrical gap is bored in the hole 11a, and a cylindrical magnet 56 (magnetized in the normal direction) is fixed to the open end of the hole 11a. This cylindrical magnet 56 has the same magnetization direction as that used in, for example, a linear motor described in Japanese Utility Model Publication No. 58-47826. And this magnet 56
The second block 12 is disposed within a magnetic gap formed between the inner cylindrical surface of the second block 12 and the central cylindrical yoke portion 11b.
A moving coil 57 fixed to the side is located.
On the outer periphery of this moving coil 57, the first block 1
A speed detection coil 58 for detecting the relative moving speed of the movable coil 57 with respect to the moving coil 57 is wound in an overlapping manner. As a result, this speed detection coil 5
8, a voltage proportional to the speed of the linear guide unit 10 in the guiding direction, that is, the first and second blocks 1
In other words, a voltage proportional to the relative movement speed of the moving coil 57 with respect to the first block 11 is induced.

更に、直線案内ユニツト１０，２０，３０内に
は、それらの変位（前述の如く第１・第２ブロツ
ク間の相対変位を指す）を検出する変位検出手段
が設けられている。この構造を前述の場合と同様
直線案内ユニツト１０について説明する。本実施
例では第４図及び第５図に示すように、モアレ縞
を利用した検出手段を採用している。即ち、第１
ブロツク１１側にインデツクススケール５９を取
付け、第２ブロツク１２側に前記インデツクスス
ケール５９を介して対向する如く、発光素子
（LED）６０とスケール６１を取付けている。 Further, within the linear guide units 10, 20, and 30, there is provided a displacement detection means for detecting their displacement (referring to the relative displacement between the first and second blocks as described above). This structure will be explained for the linear guide unit 10 in the same way as in the previous case. In this embodiment, as shown in FIGS. 4 and 5, a detection means using moiré fringes is employed. That is, the first
An index scale 59 is attached to the block 11 side, and a light emitting element (LED) 60 and a scale 61 are attached to the second block 12 side so as to face each other with the index scale 59 interposed therebetween.

次に、上記実施例の電気的構成を第１図に示
す。この図において、第４図及び第５図と同一部
分には同一符号を付した。図中、６２は演算増幅
器OP₁を用いて構成した速度信号増幅回路で、可
変抵抗器Rvの調整により、増幅率Ｄ（ダンピング
定数に相当する）を設定・変更できる。この増幅
回路６２に速度検出用コイル５８が接続されてお
り、速度信号ｖはここで増幅され−ｖ×Ｄとな
る。６３はセンシングピン４１に所望の測定力
（センシングピン４１が測定対象を押す力）が生
じるような信号Ｆを出力する測定力設定回路、６
４は演算増幅器OP₂及びトランジスタQ₁，Q₂を
用いて構成した加算増幅回路である。この加算増
幅回路６４によつて、可動コイル５７にＦ−ｖ×
Ｄに相当する電流が流れる。 Next, the electrical configuration of the above embodiment is shown in FIG. In this figure, the same parts as in FIGS. 4 and 5 are given the same reference numerals. In the figure, 62 is a speed signal amplification circuit constructed using an operational amplifier _OP1 , and the amplification factor D (corresponding to a damping constant) can be set or changed by adjusting a variable resistor Rv. A speed detection coil 58 is connected to this amplifier circuit 62, and the speed signal v is amplified here to become -v×D. Reference numeral 63 denotes a measuring force setting circuit that outputs a signal F that causes the sensing pin 41 to generate a desired measuring force (the force of the sensing pin 41 pushing the object to be measured);
4 is a summing amplifier circuit constructed using an operational amplifier OP ₂ and transistors Q ₁ and Q ₂ . This summing amplifier circuit 64 causes the movable coil 57 to have F−v×
A current corresponding to D flows.

上記実施例の動作の一例を次に説明する。例え
ば、この電子センサを用いてｙ軸方向をセンシン
グする場合には、直線案内ユニツト２０のロツク
を解除し、第１ブロツク２１と第２ブロツク２２
との相対変位が可能な状態にする。そして、測定
対象（第２図中のOBJ）の支持台（第２図中の
TB）若しくは電子センサを移動して、測定対象
OBJとセンシングピン４１とを接触させ、両者
が接触したら上記移動を停止する。この接触は直
線案内ユニツト２０内の変位検出手段の出力を監
視していることで容易に知ることができる。次に
この接触しているセンシングピン４１の位置をｙ
軸方向の基準位置とし、このときの直線案内ユニ
ツト２０内の変位検出手段の出力D₀をメモリに
格納する。この後、電子センサを移動しながら、
各測定点までの移動量（サポートアーム５１の移
動量に相当するもの）D₁及びその時の変位検出
手段の出力（センシングピン４１のロツク時の位
置からのずれ量に相当するもの）D₂をメモリに
格納していく。そして、各測定点のＹ座標をD₁
＋D₂−D₀の演算より求める。尚、この動作例は
ｙ軸方向をセンシングする場合であるが、直線案
内ユニツト１０，２０，３０の２つ又は３つのロ
ツクを解除すれば、同様に２次元又は３次元の座
標を求めることができる。 An example of the operation of the above embodiment will be described next. For example, when sensing the y-axis direction using this electronic sensor, the linear guide unit 20 is unlocked and the first block 21 and second block 22 are
to enable relative displacement with the Then, place the support stand (object in Fig. 2) for the measurement object (OBJ in Fig. 2).
TB) or move the electronic sensor to
The OBJ and the sensing pin 41 are brought into contact, and once they are in contact, the above movement is stopped. This contact can be easily detected by monitoring the output of the displacement detection means within the linear guide unit 20. Next, the position of the sensing pin 41 in contact is y
This is set as the reference position in the axial direction, and the output _D0 of the displacement detecting means in the linear guide unit 20 at this time is stored in the memory. After this, while moving the electronic sensor,
The amount of movement to each measurement point (corresponding to the amount of movement of the support arm 51) _D1 and the output of the displacement detection means at that time (corresponding to the amount of deviation from the position of the sensing pin 41 when it is locked) _D2 . Store it in memory. Then, the Y coordinate of each measurement point is D ₁
Obtained by calculating +D ₂ -D ₀ . Note that this operation example is for sensing in the y-axis direction, but if two or three of the linear guide units 10, 20, and 30 are unlocked, two-dimensional or three-dimensional coordinates can be determined in the same way. can.

ここで、電子センサは、変位検出手段の出力が
常に一定の範囲内に入るように移動制御される。
又、センシングピン４１と測定対象OBJとの間
に作用する測定力はできるだけ小さい方がよいの
で、変位検出手段の出力に応じて自動的に測定力
設定回路６３の出力（極性及び大きさ）を変え
る。具体的には、接触状態での可動コイル５７が
前記信号Ｆの大きさに応じて発生している力（セ
ンシングピン４１を測定対象側に押す方向が正）
をF₀、平行ばねの撓みによる弾性力（センシン
グピン４１を測定対象側に押す方向が正）をF₁
としたとき、F₀＋F₁＝ΔF（但し、ΔFは正の小さ
い値）となるように力F₀即ち前記信号Ｆを設定
する。 Here, the movement of the electronic sensor is controlled so that the output of the displacement detection means is always within a certain range.
Furthermore, since it is better that the measuring force acting between the sensing pin 41 and the object of measurement OBJ is as small as possible, the output (polarity and magnitude) of the measuring force setting circuit 63 is automatically adjusted according to the output of the displacement detection means. change. Specifically, the force generated by the movable coil 57 in the contact state according to the magnitude of the signal F (the direction in which the sensing pin 41 is pushed toward the measurement target side is positive)
is F ₀ , and the elastic force due to the deflection of the parallel spring (the direction that pushes the sensing pin 41 toward the measurement target is positive) is F ₁
Then, the force F ₀ , that is, the signal F is set so that F ₀ +F ₁ =ΔF (where ΔF is a small positive value).

上記実施例は、直線案内ユニツト１０，２０，
３０が同一であり、しかも各ユニツトを嵌合しな
がら連結する構成であると共に、駆動手段を各ユ
ニツト内に配設して力伝達機構を不要にした構成
であるため、極めてコンパクトである。又、粘性
液体でダンピングをとる構成のため、メンテナン
ス上の問題は生じず、更に、減衰率の変更も容易
である。 In the above embodiment, the linear guide units 10, 20,
30 are the same, each unit is connected while being fitted, and the drive means is disposed within each unit, eliminating the need for a force transmission mechanism, making it extremely compact. Further, since the damping is performed using a viscous liquid, there are no maintenance problems, and furthermore, the damping rate can be easily changed.

なお、本考案は上記実施例に限定されるもので
はない。例えば、変位検出手段として、差動イン
ダクタ等を用いてもよい。又、速度検出用コイル
５８の出力から減衰用駆動電流の大きさを求めた
が、変位検出手段の出力（変位信号）を微分して
速度信号を求め、これから減衰用駆動電流の大き
さを求めることも可能である。このようにすれ
ば、速度検出用コイル５８が不要となり、好都合
である。 Note that the present invention is not limited to the above embodiments. For example, a differential inductor or the like may be used as the displacement detection means. Also, the magnitude of the attenuation drive current was determined from the output of the speed detection coil 58, but the output (displacement signal) of the displacement detection means was differentiated to determine the speed signal, and from this the magnitude of the attenuation drive current was determined. It is also possible. In this way, the speed detection coil 58 becomes unnecessary, which is convenient.

（考案の効果）以上説明したように、本考案によれば、全体の
構成が簡単でしかもメンテナンスや減衰量の変更
が容易な電子センサを実現できる。(Effects of the Invention) As explained above, according to the present invention, an electronic sensor can be realized which has a simple overall configuration and is easy to maintain and change the amount of attenuation.

[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の一実施例における駆動回路を
示す回路図、第２図は本考案の一実施例における
主に３次元案内装置部分を示す説明図、第３図は
第２図の主要部分の分解斜視図、第４図は直線案
内ユニツトの内部構造の説明図、第５図は第４図
のＶ−Ｖ切断線相当の断面図、第６図は第５図の
側面から見たロツク手段の説明図である。１０，２０，３０……直線案内ユニツト、１
１，２１，３１……第１ブロツク、１２，２２，
３２……第２ブロツク、１３，２３，３３……平
行ばね、３５……連結金具、４０……センシング
ヘツド、４１……センシングピン、５１……サポ
ートアーム、５３……ロツクシヤフト、５４……
ロツク部材、５５……ソレノイド、５６……磁
石、５７……可動コイル、５８……速度検出用コ
イル、５９……インデツクススケール、６０……
発光素子、６１……スケール、６２……速度信号
増幅回路、６３……測定力設定回路、６４……加
算増幅回路。 Fig. 1 is a circuit diagram showing a drive circuit in an embodiment of the present invention, Fig. 2 is an explanatory diagram mainly showing the three-dimensional guide device part in an embodiment of the invention, and Fig. 3 is the main part of Fig. 2. Fig. 4 is an explanatory diagram of the internal structure of the linear guide unit, Fig. 5 is a cross-sectional view taken along the V-V cutting line in Fig. 4, and Fig. 6 is a side view of Fig. 5. FIG. 3 is an explanatory diagram of a locking means. 10, 20, 30... linear guide unit, 1
1, 21, 31...1st block, 12, 22,
32... Second block, 13, 23, 33... Parallel spring, 35... Connecting metal fitting, 40... Sensing head, 41... Sensing pin, 51... Support arm, 53... Lock shaft, 54...
Lock member, 55... Solenoid, 56... Magnet, 57... Moving coil, 58... Speed detection coil, 59... Index scale, 60...
Light emitting element, 61...Scale, 62...Speed signal amplification circuit, 63...Measuring force setting circuit, 64...Summing amplifier circuit.

Claims

[Claims for Utility Model Registration] (1) A three-dimensional guide device configured by connecting three linear guide units equipped with locking means so that they face the three axes of x, y, and z, and a measurement target. a sensing head mounted on the three-dimensional guide device and provided with a sensing pin that comes into contact with the linear guide unit; and a movable coil that is provided in each of the linear guide units and applies a measuring force in the guiding direction by the linear guide unit to the sensing pin. An electronic sensor having a linear drive means and a displacement detection means provided in each of the linear guide units and detecting the displacement of the linear guide unit in the guide direction, the electronic sensor detecting the speed of each of the linear guide units in the guide direction. and a drive current for damping the vibration of the sensing pin for the moving coil of each of the moving coil type drive means, from the output of the speed detection means, and generating the measuring force in the drive current. an electronic sensor comprising: means for supplying a current obtained by adding drive currents for driving to the movable coil of each of the movable coil drive means. (2) The electronic sensor according to claim 1, wherein the speed detecting means is a speed detecting coil wound over the moving coil of each moving coil drive means. . (3) The electronic sensor according to claim 1, wherein the speed detecting means is one that obtains a speed signal by differentiating the output of the displacement detecting means.