JPH04212041A - X線イメージセンサ及びx線検査装置 - Google Patents

X線イメージセンサ及びx線検査装置

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JPH04212041A
JPH04212041A JP3052916A JP5291691A JPH04212041A JP H04212041 A JPH04212041 A JP H04212041A JP 3052916 A JP3052916 A JP 3052916A JP 5291691 A JP5291691 A JP 5291691A JP H04212041 A JPH04212041 A JP H04212041A
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JP
Japan
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ray
filter
image sensor
rays
unit detection
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Pending
Application number
JP3052916A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuichi Oomori
大森康以知
Tetsuo Ootsuchi
大土哲郎
Hiroshi Tsutsui
筒井博司
Matsuki Baba
馬場末喜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP3052916A priority Critical patent/JPH04212041A/ja
Publication of JPH04212041A publication Critical patent/JPH04212041A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、医療用X線検査装置、
工業用非破壊検査装置等に用いるX線イメージセンサ及
びX線検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、X線を利用して物質の含有量を測
定する検査装置が注目されている。これは異なるエネル
ギーのX線を被検体に照射し、物質のX線吸収係数が、
物質の違い及びX線のエネルギ−の違いにより異なる現
象を利用するものである。例えば2種類のX線を物質A
、Bから構成される被検体に照射した場合、被検体透過
前の高エネルギーX線の強度をIh0、低エネルギ−X
線の強度をIl0、被検体透過後の高エネルギ−X線の
強度をIh1、低エネルギ−X線の強度をIl1、物質
Aの高エネルギーX線の質量減弱係数をμha、低エネ
ルギ−X線の質量減弱係数をμla、物質Bの高エネル
ギーX線の質量減弱係数をμhb、低エネルギ−X線の
質量減弱係数をμlb、物質Aの密度をρa 、厚さを
Ta 、物質Bの密度をρb 、厚さをTbとすると被
検体透過後の低エネルギーX線の強度Il1は、   Il1=Il1exp(−μlaρaTa−μlb
ρbTb)                    
    ・・・(1)で表される。また被検体透過後の
高エネルギーX線の強度Ih1は、   Ih1=Ih1exp(−μhaρaTa−μhb
ρbTb)                    
    ・・・(2)で表される。
【0003】式1、式2より式3が成立する。 Tb×ρb={loge(Il0/Il1)×μha−
loge(Ih0/Ih1)×μla}/(μhaμb
1−μhbμla)                
                         
                ・・・(3)式3を
利用すれば物質の密度と厚さの積、つまり物質量が求め
られる。
【0004】例えば密度測定装置の一つである骨塩量測
定装置では物質Aが人体の軟部組織であり、物質Bが骨
部組織である。軟部組織の高エネルギーX線の線減弱係
数μha、低エネルギーX線の線減弱係数μla、骨部
の高エネルギーX線の線減弱係数μhb、低エネルギー
X線の線減弱係数μlbは固有値であり、高エネルギー
での被検体透過前のX線強度Ih0、低エネルギーでの
被検体透過前のX線強度Il0、高エネルギーでの被検
体透過前のX線強度Ih1、低エネルギーでの被検体透
過前のX線強度Il1を測定することによって、式3か
ら骨塩量(Tb×ρb)が計算される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、X線源
から照射されるX線エネルギーは単一エネルギーではな
くある範囲のエネルギーの分布を有している。
【0006】物質によるX線の吸収は低いエネルギー程
大きく、透過する物質の厚さが厚くなるに従い大きくな
るため、透過する物質の厚さが厚くなるほど低エネルギ
−の減衰が大きくなり、透過後のX線エネルギー分布の
平均または実効的なエネルギーが高い方へシフトする。 この現象をビームハードニング現象という。
【0007】ビームハードニング現象は被検体透過後の
高、低エネルギ−が変化し物質の吸収係数μha、μh
b、μla、μhbに影響を及ぼすので、式3より求め
られる物質量(Tb×ρb)は真値と異なる。
【0008】本発明は従来の上記課題に鑑み、ビームハ
ードニングの影響を除く事が可能なX線イメージセンサ
と、被検体の厚さに依存せずに正確な物質量の測定が出
来るX線検査装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の本発明
のX線イメージセンサは、多数個配列した単位検出素子
の内で一部の素子のX線入射側に測定しようとする物質
または材料と同じもしくはそれに近いX線吸収係数を有
するフィルタを設けるものである。
【0010】また請求項4に記載の本発明のX線検査装
置は、測定しようとする物質または材料と同じもしくは
近いX線吸収係数を有し、密度及び厚さが既知のフィル
タで一部の単位検出素子のX線入射面を覆ったX線イメ
ージセンサを用いてX線とともにX線イメージセンサを
スキャニングするかまたは被検体をスキャニングし被検
体の測定を行う際に、被検体の物質量の測定とともにフ
ィルタの物質量の測定を行い、フィルタの物質量の測定
値とフィルタ材料の真の物性値との違いから補正係数を
求めて被検体の物質量の測定値の補正を行うものである
。
【0011】
【作用】本発明のX線イメージセンサでは測定しようと
する物質または材料と同じもしくはそれに近いX線吸収
係数を有するフィルタを一部の単位検出素子のX線入射
面に設けることにより、ビームハードニングの補正用の
モニタが内蔵される。従ってそれを用いることによって
補正を実行できより正確なデータが得られる。
【0012】また、本発明のX線検査装置においては、
フィルタをもちいた測定値の補正により被検体の厚さに
よるビームハードニングの影響が取り除かれて、密度も
しくは材料の正確な測定がなされる。
【0013】また、サンプリング毎に補正係数を求めて
、一回の測定中にスキャニング方向における被検体の厚
さが変化しても厚さの変化に対応した補正をなす事が出
来る。
【0014】また、フィルタを可動にすることによりX
線イメージセンサにおける単位検出素子の感度ばらつき
の補正が可能となる。
【0015】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。
【0016】図1は第1の本発明のX線イメージセンサ
の基本を示す図である。図1において、1および2は単
位検出素子、3はX線の入射方向を示す矢印、4はフィ
ルタである。
【0017】X線イメ−ジセンサは複数個の単位検出素
子1がアレイ状に配列した構成をとる。ここで単位検出
素子は例えばパルス計数方式のCdTe放射線検出器で
ある。パルス計数方式では出力パルスの波高弁別ができ
る。一部の単位検出素子2のX線入射方向3側にはフィ
ルタ4が設けられる。フィルタ4のX線吸収係数は測定
しようとする材料もしくは物質のX線吸収係数と同じも
しくはそれに近い材料より構成される。例えば目的物質
が生体組織の骨部の場合はフィルタ4は骨部のX線吸収
係数に近いAl(アルミニウム)、炭酸カルシウム、燐
酸水素カリウム、ヨウ化カリウム等から構成される。ま
たフィルタ4は駆動手段によって可動なものである。
【0018】図2は第1の本発明のX線イメージセンサ
の一実施例を具体的に示す一部断面図である。図におい
て4はフィルタ、5はX線発生器、7は軟組織、8は骨
部、21、22、23は単位検出素子、24はKエッジ
フィルタ、25はプリアンプ、26は波高弁別回路、2
7は計数回路、28は計算処理部、29はデータ表示部
、30は入力部であって、その詳しい内容をX線イメー
ジセンサによる物質定量の実施例を通して説明する。
【0019】X線発生器5と、単位検出素子21、22
、23から構成されるX線イメージセンサ6との間に定
量目的物である骨部8と軟組織7から構成される被検体
が配置される。X線発生器5にはKエッジフィルタ24
が装着されている。Kエッジフィルタ24の材料は例え
ばNdである。Kエッジフィルタの効果によりX線発生
器5からは高、低2種類の実効エネルギーに分離された
X線が発生する。例えば管電圧が80kVの時は実効エ
ネルギー70keVと43keVの2種類のX線が発生
する。被検体7は例えば人体であり測定目的物8は骨で
ある。単位検出素子21、22、23はパルス計数方式
のCdTe放射線検出器で、各々の検出器出力はプリア
ンプ25、波高弁別回路26、計数回路27を通じて、
高低2段の信号に分離され計数される。
【0020】被検体透過前の高エネルギーX線の強度I
h0、被検体透過前の低エネルギーX線の強度Il0は
予め測定可能である。
【0021】軟組織7及びフィルタ4透過後の高エネル
ギーX線の強度Ih1fと被検体透過後の低エネルギー
X線の強度Il1fは右側の単位検出素子22で同時に
計数される。フィルタ4は例えば厚さ1cmのAlであ
る。 Alの質量減弱係数は、40keVで0.567cm2
/g,80keVで0.203cm2/gで骨の質量減
弱係数40keVで0.512cm2/g,80keV
で0.209cm2/gに近い。計算処理部28ではI
h1f及びIl1fから式4に基づいてフィルタの物質
量Tf×ρfが計算される。式4においてμlaは低エ
ネルギーにおける軟組織の質量減弱係数、ρaは軟組織
の密度、Taは軟組織の厚さ、μ1fは低エネルギーに
おけるフィルタの質量減弱係数、ρfはフィルタの密度
、Tfはフィルタの厚さである。またμhaは高エネル
ギーにおける軟組織の質量減弱係数、μhfは高エネル
ギーにおけるフィルタ4の質量減弱係数である。
【0022】   Tf×ρf={loge(Il0/Il1f)×μ
ha−loge(Ih0/Ih1f)×μla}/(μ
haμlf−μhfμla)            
                         
                ・・・(4)μha
、μla、μhf、μlfは軟組織7によるビームハー
ドニングの影響により真値からはずれ、その結果フィル
タ4の物質量Tf×ρfの測定値は真値と異なる。
【0023】フィルタ4の密度及び厚さは予め分かって
いるので式5からビームハードニングの影響を補正する
為の係数K1が求められる。 K1=Tf×ρf(真値)/Tf×ρf(測定値)  
                    ・・・(5
)軟組織7及び骨部8を透過後の高エネルギーX線の強
度Ih1b、低エネルギーX線の強度Il1bは中央の
単位検出素子21において同時に計数される。
【0024】計算処理部28においてIh1b及びIl
1bから式6に基づいて骨塩量Tb×ρbが計算される
。
【0025】   Tb×ρb={loge(Il0/Il1b)×μ
ha−loge(Ih0/Ih1b)×μla}/(μ
haμbl−μhbμla)            
                         
                ・・・(6)単位検
出素子22の場合と同様にμha、μla、μhb、μ
blはビームハードニングの影響を受け、計算値と真値
に差が生じる。そこで単位検出素子22で求めた補正係
数K1を計算値に乗算し補正する。補正後の骨塩量はビ
ームハードニングの影響が除かれ真値に近い正確度の高
いものである。
【0026】多チャンネル型の検出器では単位検出素子
の感度ばらつきが測定精度を悪化させる。そこで、被検
体の測定前に、フィルタ4を全単位検出素子のX線入射
面から除き、その状態でX線照射により各単位検出素子
の計数を測定する。その計数のばらつきから各単位検出
素子の感度補正ができる。例えば全チャンネルの計数の
平均値と各単位検出素子の計数から各単位検出素子での
感度補正係数が求められる。そこで、被検体の測定時に
は、各単位検出素子の計数に、そのようにして求めてお
いた感度補正係数を乗算することによって、単位検出素
子間の感度ばらつきが補正され測定精度が向上する。
【0027】なお、以上述べた実施例ではフィルタ4の
材料をAlで説明したが、炭酸カルシウム、燐酸水素カ
リウム、ヨウ化カリウム等の骨等価材料であれば良い。
【0028】また単位検出素子をCdTe放射線検出器
として説明したがこれに限らず、Si、Ge、GaAs
等の他の半導体放射線検出器、シンチレーション検出器
、電離箱検出器等の放射線の検出が可能な検出器であれ
ば良い。
【0029】またKエッジフィルタ材料もNdに限らず
、X線管の管電圧も80kVに限らない。
【0030】また、放射線の検出方式もパルス計数方式
に限らない。また、単位検出素子の形状や配列様式も、
2次元配列とする等、図で限定したものに限られないこ
とはいうまでもない。
【0031】さらに、目的物質を生体組織の骨部として
説明したがこれに限らず、例えばプラスチック中の銅の
定量を行うには、フィルタの材料を銅とするなど、目的
物質として他の物を対象としてもよい。
【0032】また異なるエネルギーのX線の発生させる
方法として、K吸収端を利用したがこれに限らず、X線
の管電圧を切り替える方法等、2種類以上の異なるエネ
ルギーのX線を発生できる方法であれば他の任意の方法
でよい。また、X線のエネルギー種類も2種類以上でも
良い。
【0033】またフィルタの定量を行う単位検出素子は
多数個でも良い。図3は第2の本発明のX線検査装置の
一実施例を示す斜視図である。図において6はX線イメ
ージセンサ、31はX線イメージセンサボックス、32
はアーム、33はフィルタ駆動系、34はフィルタ駆動
方向、35はX線イメージセンサボックス駆動系、36
はX線イメージセンサボックス駆動方向、37はベッド
である。他の符号は図2と同様であり説明は省略する。
【0034】X線発生器5にはKエッジフィルタ24が
装着されている。Kエッジフィルタ24の材料は例えば
Ndである。Kエッジフィルタ24の効果によりX線発
生器5からは高、低2種類の実効エネルギーに分離され
たX線が発生する。例えば管電圧が80kVの時は実効
エネルギー70keVと43keVの2種類のX線が発
生する。X線発生器5と、X線イメージセンサ6が配置
されたX線イメージセンサボックス31とはアーム32
で接続される。X線イメージセンサボックス31の上部
片側にはフィルタ4及びフィルタ駆動系33が装備され
ている。フィルタ4は例えば厚さ1cmのAlである。 Alの質量減弱計数は40keVで0.567cm2/
g、80keVで0.203cm2/gで骨の質量減弱
計数40keVで0.512cm2/g、80keVで
0.209cm2/gに近い。
【0035】フィルタ4はフィルタ駆動系33によりX
線イメージセンサ6上をベッド37の長辺に垂直なフィ
ルタ駆動方向34に任意に移動できる。X線イメージセ
ンサボックス31はX線イメージセンサボックス駆動系
35によりX線発生器5と連動してベッド37の長辺に
平行なX線イメージセンサ駆動方向36に移動する。被
検体測定時はX線発生器5とX線イメージセンサボック
ス31がX線イメージセンサボックス駆動方向36にス
キャニングされる。入力部30はキーボード、マウス等
で駆動系の駆動、計算処理等を指示するようになってい
る。
【0036】図4は上記第2の本発明のX線検査装置の
一実施例を示す断面図である。図4の符号に関しては図
2、図3と同様であり説明は省略する。以下図4に従い
第2の発明のX線検査装置の一実施例を説明する。
【0037】X線発生器5にはKエッジフィルタ24が
装着されている。X線発生器5とアーム32で連結され
るX線イメージセンサボックス31には、単位検出素子
21、22、23から構成されるX線イメージセンサ6
と各単位検出素子の後段のプリアンプ25、波高弁別回
路26、及び計数回路27が実装されている。単位検出
素子21、22、23は例えばCdTeを材料とするも
のである。X線イメージセンサボックス31はベッド3
7の内部に装備される。X線イメージセンサボックス3
1のX線入射側の面にはフィルタ駆動系33により駆動
されるフィルタ4が配設されている。
【0038】測定前、骨部8及び軟組織7より構成され
る被検体がベッド37上にない時、フィルタ4をフィル
タ移動方向34に従って紙面の右方向端部に移動させ、
X線イメージセンサ6の全ての単位検出素子のX線入射
面から外しておく。それからX線発生器5からX線を発
生させる。X線発生器5からはKエッジフィルタの効果
で高低2種類の実効エネルギーに分離されたX線が発生
する。各々の単位検出素子に入射したX線の強度はプリ
アンプ25、波高弁別回路26を通じて計数回路27で
高低2種類のエネルギーに分離され計数される。多チャ
ンネル型のX線イメージセンサ6には単位検出素子間の
感度ばらつきがある。i番目の単位検出素子の低エネル
ギーX線の計数をIli、全単位検出素子の低エネルギ
ーX線の計数の平均値をIl ave.とすると低エネ
ルギーX線での各単位検出素子における計数値の平均値
からのずれK2liは式7で計算される。 K2li=Ili/Il ave.         
                         
        ・・・(7)また同様に高エネルギー
X線の計数をIhi、全単位検出素子の高エネルギーX
線の計数の平均値をIh ave.とすると高エネルギ
ーX線での各単位検出素子における計数値の平均値から
のずれK2hiは式8で計算される。 K2hi=Ihi/Ih ave.         
                         
        ・・・(8)計算処理部28において
各単位検出素子毎に高、低エネルギーX線の計数値のず
れを式7および式8で求め各々の値を格納する。
【0039】次いで、ベッド37に軟組織7と骨部8か
ら成る被検体を設置する。さらに、フィルタ4をフィル
タ駆動装置34で移動させ、軟部組織7のみを透過した
X線が入射する右側の単位検出素子22上に配置する。
【0040】単位検出素子22に入射したX線はプリア
ンプ25、波高弁別回路26を通じて計数回路27で高
、低エネルギー別に分離され計数される。第1の本発明
と同様に単位検出素子22ではフィルタ4の物質量の定
量がなされる。単位検出素子22の高エネルギーX線の
計数をIh22、低エネルギーX線の計数をIl22と
する。両計数値は単位検出素子間の感度ばらつきを含有
した値である。これらの計数値に式9および式10に示
すように先に求めた単位検出素子22での計数値の平均
値からのずれK2hiおよびK2liを乗算し、単位検
出素子間の感度ばらつきの影響を補正し高エネルギーの
計数値Ih1f、低エネルギーの計数値Il1fとする
。
【0041】     Ih1f=K2hi×Ih22       
                         
      ・・・(9)    Il1f=K2li
×Il22                    
                  ・・・(10)
第1の発明と同様にIh1f、Il1f及びμha、μ
lf、μhf、μlaを式11に代入しフィルタの物質
量Tf×ρfを計算する。
【0042】   Tf×ρf={loge(Il0/Il1f)×μ
ha−loge(Ih0/Ih1f)×μla}/(μ
haμlf−μhfμla)            
                         
              ・・・(11)式11に
ついての詳細な説明は第1の発明で述べたので省略する
。
【0043】そして、第1の発明と同様にμha、μl
a、μhf、μlfは軟組織7によるビームハードニン
グの影響により真値からはずれ、その結果、フィルタ4
の物質量Tf×ρfの測定値は真値と異なる。
【0044】フィルタ4の密度及び厚さは予め分かって
いるので式12からビームハードニングの影響を補正す
る為の係数K1が求められる。 K1=Tf×ρf(真値)/Tf×ρf(測定値)  
                  ・・・(12)
これらの計算は計算処理部28で実施される。
【0045】一方、軟組織7及び骨部8を透過後の高エ
ネルギーX線の計数値Ih21、低エネルギーX線の計
数値Il21は中央の単位検出素子21において同様に
計数される。
【0046】単位検出素子22の場合と同様に式13及
び式14に示すように先に求めた単位検出素子21にお
ける計数値と全単位検出素子の平均値とのずれを乗算す
る。 Ih1f=K2hi×Ih21           
                         
      ・・・(13)Il1f=K2li×Il
21                       
                   ・・・(14
)これらIh1b及びIl1bから式15に基づいて骨
塩量Tb×ρbが計算される。
【0047】   Tb×ρb={loge(Il0/Il1b)×μ
ha−loge(Ih0/Ih1b)×μla}/(μ
haμbl−μhbμla)            
                         
              ・・・(15)単位検出
素子22と同様にμha、μla、μhb、μblはビ
ームハードニングの影響を受け、骨塩量Tb×ρbの計
算値と真値に差が生じる。そこで式16に示すように単
位検出素子22で求めた補正計数K1を計算値に乗算し
、骨塩量とする。 K1×Tb×ρb                 
                         
     ・・・(16)補正後の骨塩量はビームハー
ドニングの影響が除かれるので真値に近い正確度の高い
ものである。
【0048】また、多チャンネル型の検出器に特有の単
位素子間の感度ばらつきの影響も除かれより高い測定精
度が保証される。
【0049】また、フィルタを可動にしているので、補
正用の単位検出素子の位置及び数を任意に選択できる。
【0050】所定の関心領域の骨塩量の分布を求めるに
は、X線イメージセンサボックス31をX線イメージセ
ンサボックス駆動系35で移動しスキャイングする。駆
動系は例えばリニアモータで実現する。X線発生器5は
アーム32でX線イメージセンサボックス31と連結さ
れるのでX線発生器5も連動し、紙面の垂直方向にスキ
ャニングする。
【0051】通常、X線発生器5から発生されるX線の
強度には時間ゆらぎがある。従って単位検出素子21、
22における高エネルギーX線の計数値Ih21、低エ
ネルギーX線の計数値Il21にゆらぎが生じるので、
式15で求めた骨塩量にはX線イメージセンサボックス
31のスキャニング方向のゆらぎが誤差として含まれる
。
【0052】スキャニング中フィルタ4が常時右側の単
位検出素子22のX線入射面を覆い、中央の単位検出素
子21での骨塩量の測定と同時に単位検出素子22での
フィルタ4の物質量が式17に従って測定される。
【0053】   Tf×ρf={loge(Il0/Il1f)×μ
ha−loge(Ih0/Ih1f)×μla}/(μ
haμlf−μhfμla)            
                         
             ・・・(17)単位検出素
子22でも単位検出素子21と同様にX線発生器5のX
線強度のゆらぎが高低両エネルギーの計数値Ih22、
Il22のゆらぎとなり、得られたフィルタ4の物質量
には骨塩量と同一のゆらぎが含まれる。
【0054】フィルタ4の物質量は既知であるので式1
8の   K1=Tf×ρf(真値)/Tf×ρf(測定値)
                  ・・・(18)
の計算によりゆらぎによる測定値の変動量も求められる
。式18より求められる補正係数K1を各X線イメージ
センサボックス31スキャニング方向の各測定ライン毎
に求め、中央の単位検出素子21での骨塩量に補正係数
K1を乗算すればX線のゆらぎの影響が補正され正確度
のより高い骨塩量が求められる。
【0055】また、サンプリング毎に補正係数が求めら
れる為、測定中にスキャイング方向に被検体の厚さが変
化する場合においても、厚さの変化に対応した補正がな
されるので骨塩量の正確な分布が測定される。
【0056】なお、以上述べた実施例ではフィルタ4の
材料をAlで説明したが、その材料は、炭酸カルシウム
、燐酸水素カリウム、ヨウ化カリウム等の骨等価材料で
あれば良い。
【0057】また単位検出素子をCdTe放射線検出器
として説明したがこれに限らず、Si、Ge、GaAs
等の他の半導体放射線検出器、シンチレーション検出器
、電離箱検出器等の放射線の検出が可能な検出器であれ
ば良い。
【0058】またKエッジフィルタ材料もNdに限らず
、X線管の管電圧も80kVに限らない。
【0059】また、放射線の検出方式もパルス計数方式
に限らない。また単位検出素子の形状や配列様式も図で
限定したものに限られないことは言うまでもない。
【0060】さらに、目的物質を生体組織の骨部として
説明したがこれに限らず、例えばプラスチック中の銅の
定量を行うには、フィルタの材料を銅とするなど、目的
物質は、他の任意の物を対象と出来る。れば良い。
【0061】また異なるエネルギーのX線の発生させる
方法として、K吸収端を利用したがこれに限らず、X線
の管電圧を切り替える方法等、2種類以上の異なるエネ
ルギーのX線を発生できる方法であれば他の任意の方法
でよい。また、X線のエネルギー種類も2種類以上でも
良い。
【0062】またフィルタの定量を行う単位検出素子は
多数個でも良い。
【0063】
【発明の効果】以上述べた様に、本発明のX線イメージ
センサは、測定しようとする物質または材料のX線吸収
係数に同じもしくはそれに近い吸収係数を有するフィル
タを利用するので、X線のビームハードニングの影響を
除くことが出来るという長所を有する。
【0064】また、本発明のX線検査装置は、被検体の
厚さに依存せずに正確な物質量の定量を実現できるとい
う長所を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の本発明のX線イメージセンサの基本構成
を示す構成図である。
【図2】第1の本発明のX線イメージセンサの一実施例
を示す断面図である。
【図3】第2の本発明のX線検査装置の一実施例を示す
斜視図である。
【図4】第2の本発明のX線検査装置の一実施例を示す
断面図である。
【符号の説明】
1、2、21、22、23  単位検出素子3    
  X線入射方向 4      フィルタ 5      X線発生器 6      X線イメージセンサ 7      軟組織 8      骨部 24    Kエッジフィルタ 25    プリアンプ 26    波高弁別回路 27    計数回路 28    計算処理部 29    データ表示部 30    入力部 31    X線イメージセンサボックス32    
アーム 33    フィルタ駆動系 34    フィルタ駆動方向 35    X線イメージセンサボックス駆動系36 
   X線イメージセンサボックス駆動方向37   
 ベッド

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  1次元又は2次元に配列された複数個
    の、X線を検出する単位検出素子と、その一部の単位検
    出素子のX線入射側に設けられ、測定しようとする物質
    または材料のX線吸収係数に同じもしくはそれに近い吸
    収係数を有するフィルタとを備えたことを特徴とするX
    線イメージセンサ。
  2. 【請求項2】  フィルタが可動であることを特徴とす
    る請求項1のX線イメージセンサ。
  3. 【請求項3】  フィルタの材料が生体骨組織のX線吸
    収係数と同じもしくはそれに近いX線吸収係数を有する
    材料であることを特徴とする請求項1または2のX線イ
    メージセンサ。
  4. 【請求項4】  X線を発生するX線発生器と、1次元
    又は2次元に配列された単位検出素子の一部の単位検出
    素子のX線入射側が、測定しようとする物質または材料
    のX線吸収係数に同じもしくはそれに近いX線吸収係数
    を有するフィルタで覆われた多チャンネルのX線イメー
    ジセンサと、そのX線イメージセンサの出力について計
    算処理を行う計算処理部と、その計算処理結果を表示す
    るデータ表示部を備え、被検体の測定とともに前記フィ
    ルタの物質含有量を測定し、それを利用して、その被検
    体の物質含有量の測定値の補正を行うことを特徴とする
    X線検査装置。
  5. 【請求項5】  被検体の測定前に前記フィルタをはず
    し、X線イメージセンサの各単位検出素子ごとの感度補
    正データを取得し、前記被検体の測定データを補正する
    ことを特徴とする請求項4のX線検査装置。
  6. 【請求項6】  X線イメージセンサをラインスキャニ
    ングし前記被検体の物質含有量を測定する際に、ライン
    毎に測定される物質含有量に対して、前記フィルタの測
    定による補正を行う事を特徴とする請求項4または5の
    X線検査装置。
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