JPH04213037A - ポンプ装置を有する包囲体を試験するための携帯可能な向流ヘリウムリークディテクタ - Google Patents

ポンプ装置を有する包囲体を試験するための携帯可能な向流ヘリウムリークディテクタ

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JPH04213037A
JPH04213037A JP3038013A JP3801391A JPH04213037A JP H04213037 A JPH04213037 A JP H04213037A JP 3038013 A JP3038013 A JP 3038013A JP 3801391 A JP3801391 A JP 3801391A JP H04213037 A JPH04213037 A JP H04213037A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ただ１つのポンプを有
する携帯可能な向流ヘリウムリークディテクタであって
、前記ポンプが、吸込口と送出口とを含む二次真空ポン
プであり、ガス分析装置が前記ポンプの吸込口に連結さ
れており、前記送出口が、試験されるべき装置に連結す
るための連結オリフィスに吸込弁を介して連結され、前
記装置が排気されているかまたは一次ポンプ手段に連結
され得るものであり、該ディテクタが更に、電力供給及
び制御用電子回路と、電力供給手段と、表示手段とを含
むリークディテクタに係わる。
【０００２】
【従来の技術】二次真空ポンプが分子拡散ポンプである
上記のごとき１つのディテクタが、Ｖａｒｉａｎ製造の
商品番号０９２５Ｋ０７７７−３０１のポルタ試験（Ｐ
ｏｒｔａ−ｔｅｓｔ）ヘリウムリークディテクタに付随
の１９７９年３月１４日付け“ポルタ試験”操作手順書
に記載されている。かかるディテクタが向流モードで動
作するときに拡散ポンプは、ヘリウムの向流を通過させ
るために温度を下げた条件下に動作せねばならず、従っ
てヘリウム信号の安定性が悪くなる。上記文書において
はディテクタは、そのうちの１つが主電子モジュールを
構成する２つの箱によって構成されている。
【０００３】本発明の目的は、操作が極めて単純で且つ
信頼性があっていかなる誤操作の可能性も回避し、従っ
て非資格所有者が使用するにも適しており、更に続けて
２回試験するならその間の時間を節約し得る、より安定
なヘリウム信号を有する上記タイプのディテクタを提供
することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述のごとき
リークディテクタであるが、更に、前記吸込弁と前記連
結オリフィスとの間に位置する第１の圧力計と、ディテ
クタの動作を制御するためのオン／オフ制御スイッチと
を備えており、ディテクタが作動化されているとき前記
制御スイッチがオン位置にありしかも前記第１の計器に
より測定された圧力が所定の値よりも低いときには常に
、前記電子制御回路が前記吸込弁を開かせ且つ前記二次
真空ポンプを起動させ、前記ガス分析装置が、前記二次
真空ポンプがその公称速度に達したときには自動的にオ
ンに切り換えられ、更に前記二次真空ポンプのところに
位置する第２の圧力計を含んでおり、ディテクタが作動
化されているとき前記制御スイッチをオフ位置にすると
、前記吸込弁が開いていたならそれが閉じられるが、前
記第２の圧力計によって測定された圧力が基準値よりも
低いならば前記二次真空ポンプを稼働し続け、前記ガス
分析装置が同様に、前記二次真空ポンプがその公称速度
であるならば作動状態に維持され、前記二次真空ポンプ
が機械的回転ポンプであるリークディテクタを提供する
。
【０００５】リークディテクタは、手で運搬される手段
を備えた単一のスーツケース内に収納することができる
。
【０００６】
【実施例】本発明の実施態様を添付の図面を参照して説
明する。
【０００７】図１は本発明のディテクタの真空回路のブ
ロック図である。
【０００８】この回路は、分子掃引（または“ターボ分
子（ｔｕｒｂｏｍｏｌｅｃｕｌａｒ）”）である単一ポ
ンプ１と、ポンプの吸込口３に連結されたガス分析装置
２とを含んでいる。ポンプの送出口４はフランジ５を備
えた連結オリフィスに吸込弁６を介して連結されている
。
【０００９】吸込弁６は、この吸込弁とフランジ５との
間に設置された第１の圧力計７によって制御される電磁
弁である。該圧力計は例えばピラニ型温度計によって構
成することができる。
【００１０】ディテクタは更に、第１の計器７と同じタ
イプのものであって真空ポンプ１のところに位置する第
２の圧力計８と、ガス分析装置２のところに位置するト
リオード（ｔｒｉｏｄｅ）計タイプの第３の計器９とを
含んでいる。
【００１１】このディテクタは、既に真空に引いてある
かまたは一次ポンプ手段１１に連結するにの適した試験
されるべき包囲体１０に連結されるものである。包囲体
１０は連結弁１２を有する。ディテクタは所謂“向流”
モードで動作する。
【００１２】破線の箱Ａ内部にあるディテクタの全ての
構成部品は図２及び図３に示したスーツケース１３内に
物理的に収納されている。この箱の外にある上述の部材
はケース内に収容されない。従って、試験されるべき包
囲体１０のみでなく弁１２及びポンプ装置１１もケース
の外である。ケース内には着脱可能な連結ダクト１４を
収容する余地はあり得る。
【００１３】ケースの中には更に、ディテクタの動作に
必要な全ての付属品、特に電源変圧器１５と、ポンプ１
を作動化する電子回路用のプリント回路カード１６と、
制御、自動化及び信号発信用の電子回路のためのプリン
ト回路カード１７と、種々の表示ダイアルを含む表示及
び制御パネル１８（図４参照）とが収容される。
【００１４】部品一式は、制御パネル１８を含む頂部プ
レート２０を有するアルミニウムクレードル１９に固定
されている。
【００１５】モニター装置及び表示装置に加えて制御パ
ネル１８は、ディテクタのためのオン／オフ制御スイッ
チ２１を含む。変圧器１５は、主電源に接続するための
給電コード（図示なし）を含み、それによってディテク
タに給電する。
【００１６】プリント回路カード１７上の電子回路は、
特に図５に示したように論理回路を含む。
【００１７】この回路は、その出力がポンプ１を制御し
且つその３つの入力２３、２４及び２５がそれぞれ３つ
のＡＮＤゲート２６、２７及び２８の出力に接続されて
いるＯＲゲート２２を含む。
【００１８】ＡＮＤゲート２６は２つの入力２９及び３
０を有する。入力２９は、スイッチ２１がオン位置にあ
るときはライン３１上の信号を受取り、入力３０は、第
１の計器７によって測定された圧力が所定の値、例えば
この実施例では１０ｍｂａｒより低いときにライン４０
を介して信号を受取る。
【００１９】ＡＮＤゲート２７は同様に２つの入力３２
及び３３を有する。入力３２はインバータ３４を介して
ライン３１に接続されており、従ってスイッチ２１がオ
フ位置にあるときに信号を受取る。入力３３は、第２の
計器８によって示された圧力が基準値、例えばこの実施
例では５・１０−２ｍｂａｒより低いときに信号を受取
るライン３５に接続されている。
【００２０】最後に、ＡＮＤゲート２８は３つの入力３
６、３７及び３８を有する。入力３６はライン３５に接
続されており、入力３７はライン３１に接続されており
、且つ入力３８はインバータ３９を介してライン４０に
接続されている。
【００２１】論理回路は更に、その出力４２がタイミン
グ回路４３を介して吸込弁６の開きを制御するＡＮＤゲ
ート４１を含む。このＡＮＤゲート４１は２つの入力４
４及び４５を有する。入力４４はライン４０に接続され
ており、入力４５はライン３１に接続されている。
【００２２】このようにして、装置が作動化されたとき
には、オン／オフスイッチ２１がオンでありしかも第１
の計器７によって測定された圧力が所定値１０ｍｂａｒ
より低いならば、ポンプ１は自動的に起動し、吸込弁６
は開く。
【００２３】ガス分析装置２（質量分光計）は、分子掃
引ポンプ１がその公称速度、例えばこの実施態様におい
ては図５の論理回路のライン４６上に示されるように２
７，０００回転／分（ｒｐｍ）に達したら直ちに自動的
にオンに切り換えられる。
【００２４】タイミング回路４３は、ライン４６に接続
されている抑止入力４７を有する。
【００２５】図５から判るようにディテクタは、１つの
試験が実施された後にも（電力が与え続けられるならば
）その動作状態を維持することができる。もしオン／オ
フスイッチ２１が、このような試験を実施した後にオフ
に切り換えられると、ＡＮＤゲート４１への入力４５が
オフに切り換えられるので吸込弁６は閉じるが、ＯＲゲ
ート２２が入力２４を介して作動化され続けるのでポン
プ１には給電が続けられ、更に質量分析計２は、ポンプ
１がまだその公称速度で回転しているので動作し続ける
。
【００２６】もし同じ包囲体において新たな試験を実施
するならば、スイッチ２１をオン位置に戻すと、ダクト
１４内の圧力が１０ｍｂａｒより低いままであるならば
弁６は開き、そうでなければポンプ１１によって一旦こ
の圧力に達してから弁６は開く。
【００２７】もし異なる包囲体において試験を実施する
のであれば、ダクト１４を異なる包囲体に連結し、包囲
体のポンプ系をオンに切り換え、スイッチ２１をオン位
置にする。ダクト内の圧力が１０ｍｂａｒ以下に降下し
たら直ちに吸込弁６は開き、ディテクタは包囲体の漏れ
を試験することができる。
【００２８】図６は、この装置の種々の動作段階を示す
全体の流れ図である。
【００２９】図４の制御パネルは、測定されている漏れ
を表示するための２段ディスプレイ４８と、計器７によ
って測定されるような吸込口の圧力を表示するためのデ
ィスプレイ４９と、質量分析計２の圧力を表示するため
のディスプレイ５０とを有する。番号５１は、吸込弁６
の状態を表わす表示ランプである。番号５２は装置の稼
働時間を示す時計である。種々の他の表示及び調整制御
は本発明において不可欠ではない。
【００３０】スーツケース１３は、電子回路と電子制御
弁６とを冷却するためのファン５３を含んでいる。番号
５４は、質量分析計の前置増幅器を示し、番号５５はそ
の磁石を示す。ケースは取っ手５６と運搬用のひも５７
とを有する。
【００３１】このようにスーツケース内に収容される本
発明のディテクタは種々の長所を与え、その輸送性、軽
量性（約１８ｋｇ）及び耐久性の故に、使用される輸送
の形態にかかわらずどこにでも技術者に随伴することが
できる。これは全く斬新なことであり、技術者は装置を
持って現場に到着する。
【００３２】更に、スーツケースが包装を構成するので
梱包の必要がない。顧客がディテクタが受取るのを待つ
必要はなく、ディテクタは技術者と一緒に移動して現場
に同時に到着する。
【００３３】仕事を開始する前に、例えばポンプのロッ
クを外したりオイルレベルを検証したりといった準備作
業を実施する必要もない。ディテクタは試験されるべき
包囲体に即刻連結することができる。
【００３４】このように上記長所によってディテクタは
、漏れ試験の通常の機能を果たすと同様に、必要であれ
ば緊急修理作業に使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のリークディテクタの真空回路のブロッ
ク図である。
【図２】本発明のディテクタの機械的構成部品及び電子
素子がケース内にどのように収容されるかを示す概略図
である。
【図３】本発明のディテクタの機械的構成部品及び電子
素子がケース内にどのように収容されるかを示す概略図
である
【図４】ディテクタの制御パネルを示す図である。
【図５】制御論理回路の図である。
【図６】種々の動作の流れ図である。
【符号の説明】
１　　二次ポンプ ２　　ガス分析装置 ４　　送出口 ５　　フランジ ６　　吸込弁 ７，８　　圧力計

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　ただ１つのポンプを有する携帯可能な
    向流ヘリウムリークディテクタであって、前記ポンプが
    、吸込口と送出口とを含む二次真空ポンプであり、ガス
    分析装置が前記ポンプの吸込口に連結されており、前記
    送出口が、試験されるべき装置に連結するための連結オ
    リフィスに吸込弁を介して連結され、前記装置が排気さ
    れているかまたは一次ポンプ手段に連結され得るもので
    あり、該ディテクタが更に、電力供給及び制御用電子回
    路と、電力供給手段と、表示手段とを含んでおり、該デ
    ィテクタが更に、前記吸込弁と前記連結オリフィスとの
    間に位置する第１の圧力計と、該ディテクタの動作を制
    御するためのオン／オフ制御スイッチとを備えており、
    ディテクタが作動化されているとき前記制御スイッチが
    オン位置にありしかも前記第１の計器により測定された
    圧力が所定の値よりも低いときには常に、前記電子制御
    回路が前記吸込弁を開かせ且つ前記二次真空ポンプを起
    動させ、前記ガス分析装置が、前記二次真空ポンプがそ
    の公称速度に達したときには自動的にオンに切り換えら
    れ、更に前記二次真空ポンプのところに位置する第２の
    圧力計を含んでおり、ディテクタが作動化されていると
    き前記制御スイッチをオフ位置にすると、前記吸込弁が
    開いていたならそれが閉じられるが、前記第２の圧力計
    によって測定された圧力が基準値よりも低いならば前記
    二次真空ポンプを稼働し続け、前記ガス分析装置が同様
    に、前記二次真空ポンプがその公称速度であるならば作
    動状態に維持され、前記二次真空ポンプが機械的回転ポ
    ンプであるリークディテクタ。
  2. 【請求項２】　　前記リークディテクタが、手で運搬さ
    れるための手段を備えた単一のスーツケース内に収納さ
    れている請求項１に記載のリークディテクタ。
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