JPH04215009A - 光学装置 - Google Patents
光学装置Info
- Publication number
- JPH04215009A JPH04215009A JP2409783A JP40978390A JPH04215009A JP H04215009 A JPH04215009 A JP H04215009A JP 2409783 A JP2409783 A JP 2409783A JP 40978390 A JP40978390 A JP 40978390A JP H04215009 A JPH04215009 A JP H04215009A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- array plate
- light
- optical device
- lens array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、反射面の波長オーダー
の凹凸形状やうねり等を測定する場合に有用な干渉計或
いは干渉計測光学系に関する。
の凹凸形状やうねり等を測定する場合に有用な干渉計或
いは干渉計測光学系に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、反射面に適当な光束径を持った
レーザ等を光源とするコヒーレント平行光を照射し、そ
の反射光（物体光）と参照光との干渉によって得られた
干渉縞を解析することにより、反射面の波長オーダーの
凹凸形状を定量測定できることが古くから知られている
（例えば Ｄ．Ｍａｌａｃａｒａ ｅｄ． “Ｏｐｔｉ
ｃａｌ Ｓｈｏｐ Ｔｅｓｔｉｎｇ”，Ｊｏｈｎ Ｗｉ
ｌｅｙ ａｎｄ Ｓｏｎｓ 等）。
レーザ等を光源とするコヒーレント平行光を照射し、そ
の反射光（物体光）と参照光との干渉によって得られた
干渉縞を解析することにより、反射面の波長オーダーの
凹凸形状を定量測定できることが古くから知られている
（例えば Ｄ．Ｍａｌａｃａｒａ ｅｄ． “Ｏｐｔｉ
ｃａｌ Ｓｈｏｐ Ｔｅｓｔｉｎｇ”，Ｊｏｈｎ Ｗｉ
ｌｅｙ ａｎｄ Ｓｏｎｓ 等）。
【０００３】また、この時物体光と参照光との相対位相
差を数分の１波長ずつシフトさせ、その都度入力した干
渉縞に対して特定の最小二乗解析を行うことにより、測
定面形状が高精度に測定できる、いわゆるフリンジスキ
ャニング（Ｆｒｉｎｇｅｓｃａｎｎｉｎｇ）干渉法もよ
く知られている（例えば前掲の“Ｏｐｔｉｃａｌ Ｓｈ
ｏｐ Ｔｅｓｔｉｎｇ”Ｃｈａｐｔ １３等）。
差を数分の１波長ずつシフトさせ、その都度入力した干
渉縞に対して特定の最小二乗解析を行うことにより、測
定面形状が高精度に測定できる、いわゆるフリンジスキ
ャニング（Ｆｒｉｎｇｅｓｃａｎｎｉｎｇ）干渉法もよ
く知られている（例えば前掲の“Ｏｐｔｉｃａｌ Ｓｈ
ｏｐ Ｔｅｓｔｉｎｇ”Ｃｈａｐｔ １３等）。
【０００４】このフリンジスキャニング法について極く
簡単に以下に説明する。測定面の位相分布（面の凹凸形
状）をφ（ｘ，ｙ）とする。干渉計の参照光路の光路長
を例えばピエゾ素子を用いてδｉだけシフトさせ、その
都度干渉縞画像Ｉ（ｘ，ｙ，δｉ）をＮ枚メモリする（
ｉ＝１，２，…，Ｎ）。この時、φ（ｘ，ｙ）はＩ（ｘ
，ｙ，δｉ）（ｉ＝１，…，Ｎ）より以下の式で求めら
れる。
簡単に以下に説明する。測定面の位相分布（面の凹凸形
状）をφ（ｘ，ｙ）とする。干渉計の参照光路の光路長
を例えばピエゾ素子を用いてδｉだけシフトさせ、その
都度干渉縞画像Ｉ（ｘ，ｙ，δｉ）をＮ枚メモリする（
ｉ＝１，２，…，Ｎ）。この時、φ（ｘ，ｙ）はＩ（ｘ
，ｙ，δｉ）（ｉ＝１，…，Ｎ）より以下の式で求めら
れる。
【数１】
但し、ｔａｎ−１は−π／２〜π／２までしか定義され
ないため、これより大きい位相飛びは別途補正される。 一般に干渉縞の歪みを干渉縞のピーク検出等の画像処理
を行うことにより解析する方法は、干渉縞に明るさのム
ラ等があると測定誤差となるが、上記フリンジスキャニ
ング法を用いれば、測定値がそのようなムラに依存する
ことなく高精度に求まることが本方法の利点である。
ないため、これより大きい位相飛びは別途補正される。 一般に干渉縞の歪みを干渉縞のピーク検出等の画像処理
を行うことにより解析する方法は、干渉縞に明るさのム
ラ等があると測定誤差となるが、上記フリンジスキャニ
ング法を用いれば、測定値がそのようなムラに依存する
ことなく高精度に求まることが本方法の利点である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た方法では、ピエゾ素子等を動かしながら数枚の干渉縞
画像を入力する必要があり、装置の複雑さと干渉縞入力
中における系の振動等が問題としてあった。また数式１
の演算がかなり厖大なものであり、パーソナルコンピュ
ータレベルでの高速演算がし難いといったデメリットも
あった。
た方法では、ピエゾ素子等を動かしながら数枚の干渉縞
画像を入力する必要があり、装置の複雑さと干渉縞入力
中における系の振動等が問題としてあった。また数式１
の演算がかなり厖大なものであり、パーソナルコンピュ
ータレベルでの高速演算がし難いといったデメリットも
あった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記従来の問題点を解決
する本発明の装置は、共通の透明平面基板に複数個のレ
ンズを備えたレンズアレイ板と、このレンズアレイを構
成する個々のレンズよりも大な径をもつ第２レンズと、
位相板と、光量減衰板と、コヒーレント照明光源とを用
い、これら各要素の光学的特性及び相互配置関係を以下
の条件を満たすように設定する。 （ａ） 光源からのコヒーレント照明光が、レンズア
レイ板の全レンズのうち略半数個のレンズ（これを「入
射域レンズ群」と呼ぶことにする）に入射する。 （ｂ） 第２レンズは、入射域レンズ群を透過した光
束が同時に入射可能な大きさを有する。 （ｃ） 入射域レンズ群を透過した光束は、第２レン
ズ透過後に略平行光束となる。 （ｄ） 第２レンズの後側焦点面の近傍で上記複数本
の平行光束はほぼ同一領域に重なる。 （ｅ） 上記の重なる領域に仮りに鏡面状物体を配置
したとき、前記複数本の平行光束が上記物体で反射した
あと、再び第２レンズを透過し、さらにレンズアレイ板
の残りレンズ（これを「出射域レンズ群」と呼ぶことに
する）を透過する。 （ｆ） 位相板と光量減衰板（以下「ＮＤフィルタ」
と記す）は、レンズアレイ板中の任意の１個のレンズを
透過してから前記鏡面状物体で反射後、レンズアレイ板
の別のレンズに入射する１本の光束の伝播経路（これを
「チャネル」と呼ぶことにする）中に配置する。
する本発明の装置は、共通の透明平面基板に複数個のレ
ンズを備えたレンズアレイ板と、このレンズアレイを構
成する個々のレンズよりも大な径をもつ第２レンズと、
位相板と、光量減衰板と、コヒーレント照明光源とを用
い、これら各要素の光学的特性及び相互配置関係を以下
の条件を満たすように設定する。 （ａ） 光源からのコヒーレント照明光が、レンズア
レイ板の全レンズのうち略半数個のレンズ（これを「入
射域レンズ群」と呼ぶことにする）に入射する。 （ｂ） 第２レンズは、入射域レンズ群を透過した光
束が同時に入射可能な大きさを有する。 （ｃ） 入射域レンズ群を透過した光束は、第２レン
ズ透過後に略平行光束となる。 （ｄ） 第２レンズの後側焦点面の近傍で上記複数本
の平行光束はほぼ同一領域に重なる。 （ｅ） 上記の重なる領域に仮りに鏡面状物体を配置
したとき、前記複数本の平行光束が上記物体で反射した
あと、再び第２レンズを透過し、さらにレンズアレイ板
の残りレンズ（これを「出射域レンズ群」と呼ぶことに
する）を透過する。 （ｆ） 位相板と光量減衰板（以下「ＮＤフィルタ」
と記す）は、レンズアレイ板中の任意の１個のレンズを
透過してから前記鏡面状物体で反射後、レンズアレイ板
の別のレンズに入射する１本の光束の伝播経路（これを
「チャネル」と呼ぶことにする）中に配置する。
【０００７】
【作用】上記構成によれば、レンズアレイ板中の各レン
ズが１つ１つの光チャネルをつくり、その各光チャネル
が所定の位相差を持って同一観測面を照射し、且つその
後ＮＤフィルタを設けてあるため、極めてコンパクトで
簡易な光学系によりフリンジスキャニング干渉計を構成
し、前述した数式１の解析のうちかなりの部分が光学的
に実現できる。
ズが１つ１つの光チャネルをつくり、その各光チャネル
が所定の位相差を持って同一観測面を照射し、且つその
後ＮＤフィルタを設けてあるため、極めてコンパクトで
簡易な光学系によりフリンジスキャニング干渉計を構成
し、前述した数式１の解析のうちかなりの部分が光学的
に実現できる。
【０００８】
【実施例】以下本発明を図面に示した実施例に基づき詳
細に説明する。図１において１はレンズアレイ板で、透
明平面基板に微小なレンズを多数平面的に配列形成した
ものであり、一例として、ガラス基板中にガラスの屈折
率を高めるイオンを拡散させることにより得られる屈折
率勾配をもったレンズ群から成る。
細に説明する。図１において１はレンズアレイ板で、透
明平面基板に微小なレンズを多数平面的に配列形成した
ものであり、一例として、ガラス基板中にガラスの屈折
率を高めるイオンを拡散させることにより得られる屈折
率勾配をもったレンズ群から成る。
【０００９】すなわち、各微小レンズは周囲基板部分よ
りも高屈折率で、中心から周囲に向けて漸減する屈折率
分布をもっている。２は、上記レンズアレイを構成する
個々のレンズに比べて充分に大な口径をもつプロジェク
ションレンズ（第２レンズ）であり、レンズアレイ板１
の前方に、レンズアレイ板との関係がアフォーカルにな
るように配置される。そしてレンズアレイ板１に形成さ
れているレンズ群のうち、およそ半数のレンズ群１１Ａ
，１２Ａ，…（入射域レンズ群）に対し、図外の光源か
ら出たコリメートレーザ光３によりコヒーレント照明す
る。
りも高屈折率で、中心から周囲に向けて漸減する屈折率
分布をもっている。２は、上記レンズアレイを構成する
個々のレンズに比べて充分に大な口径をもつプロジェク
ションレンズ（第２レンズ）であり、レンズアレイ板１
の前方に、レンズアレイ板との関係がアフォーカルにな
るように配置される。そしてレンズアレイ板１に形成さ
れているレンズ群のうち、およそ半数のレンズ群１１Ａ
，１２Ａ，…（入射域レンズ群）に対し、図外の光源か
ら出たコリメートレーザ光３によりコヒーレント照明す
る。
【００１０】さらに、プロジェクションレンズ２の後側
焦点面近傍に、表面凹凸形状を測定しようとする反射性
表面をもった被測定体４を配置する。このように各部品
を配置すると、レンズアレイ板１の入射域レンズ群１１
Ａ，１２Ａ，…から射出した光束はすべて被測定体４の
同一領域を照明し、かつ反射した後、レンズアレイ板１
の残りのレンズ群、すなわち出射域レンズ群１１Ｂ，１
２Ｂ、…に入射するようにできる。
焦点面近傍に、表面凹凸形状を測定しようとする反射性
表面をもった被測定体４を配置する。このように各部品
を配置すると、レンズアレイ板１の入射域レンズ群１１
Ａ，１２Ａ，…から射出した光束はすべて被測定体４の
同一領域を照明し、かつ反射した後、レンズアレイ板１
の残りのレンズ群、すなわち出射域レンズ群１１Ｂ，１
２Ｂ、…に入射するようにできる。
【００１１】この時、レンズアレイ板１の各レンズがつ
くる１本１本の光路、例えばレンズ１１Ａ、プロジェク
ションレンズ２、被測定体４、プロジェクションレンズ
２、レンズ１１Ｂという順に通過する光伝播経路を「チ
ャネル」と呼ぶことにする。そして、各チャネルごとに
光路長を適当な値に制御するための位相板５と、透過光
量を適当な値に制御するためのＮＤフィルタ６が挿入さ
れている。
くる１本１本の光路、例えばレンズ１１Ａ、プロジェク
ションレンズ２、被測定体４、プロジェクションレンズ
２、レンズ１１Ｂという順に通過する光伝播経路を「チ
ャネル」と呼ぶことにする。そして、各チャネルごとに
光路長を適当な値に制御するための位相板５と、透過光
量を適当な値に制御するためのＮＤフィルタ６が挿入さ
れている。
【００１２】図２は、レンズアレイ板１中の各レンズご
とに設けられた位相板５とＮＤフィルタ６の配置を模式
的に示している。レンズアレイ板１は図示例で１６個の
レンズを備え、図２で片半分領域Ａに属する８個のレン
ズが往光路に配置され、残り領域Ｂに属する８個のレン
ズが復光路に配置されている。そして、往光路には、各
チャネルの光路長の位相が０，π／２，π，３π／２に
なるように位相板５が設けられている。
とに設けられた位相板５とＮＤフィルタ６の配置を模式
的に示している。レンズアレイ板１は図示例で１６個の
レンズを備え、図２で片半分領域Ａに属する８個のレン
ズが往光路に配置され、残り領域Ｂに属する８個のレン
ズが復光路に配置されている。そして、往光路には、各
チャネルの光路長の位相が０，π／２，π，３π／２に
なるように位相板５が設けられている。
【００１３】また復光路には各チャネルの透過光量がｓ
ｉｎＯ，ｓｉｎπ／２，ｓｉｎπ，ｓｉｎ３π／２，ｃ
ｏｓＯ，ｃｏｓπ／２，ｃｏｓπ、ｃｏｓ３π／２にな
るようにＮＤフィルタ６が設けられている。
ｉｎＯ，ｓｉｎπ／２，ｓｉｎπ，ｓｉｎ３π／２，ｃ
ｏｓＯ，ｃｏｓπ／２，ｃｏｓπ、ｃｏｓ３π／２にな
るようにＮＤフィルタ６が設けられている。
【００１４】往光路の位相板５と復光路のＮＤフィルタ
６は、各チャネルでＯとｃｏｓＯ，ＯとｓｉｎＯ，π／
２とｃｏｓπ／２，π／２とｓｉｎπ／２というように
対応させ、適当な参照光を用いて各チャネルごとに干渉
縞ｆｉ（ｘ，ｙ）（ｉ＝１〜８）を形成させる。この時
のｆｉ（ｘ，ｙ）は数式１の右辺を用いて表現すれば下
記のように表わすことができる。
６は、各チャネルでＯとｃｏｓＯ，ＯとｓｉｎＯ，π／
２とｃｏｓπ／２，π／２とｓｉｎπ／２というように
対応させ、適当な参照光を用いて各チャネルごとに干渉
縞ｆｉ（ｘ，ｙ）（ｉ＝１〜８）を形成させる。この時
のｆｉ（ｘ，ｙ）は数式１の右辺を用いて表現すれば下
記のように表わすことができる。
【数２】
従って、図１に示すように各チャネルの後方にイメージ
センサ７を設けて、各チャネルごとの干渉縞画像を入力
、メモリすれば、各画像の強度和をとるだけで数式１に
おける下記のそれぞれの項、
センサ７を設けて、各チャネルごとの干渉縞画像を入力
、メモリすれば、各画像の強度和をとるだけで数式１に
おける下記のそれぞれの項、
【数３】
【数４】
の演算が実行され、あとはｔａｎ−１演算を行うだけで
被測定体４の位相形状φ（ｘ，ｙ）が求められる。
被測定体４の位相形状φ（ｘ，ｙ）が求められる。
【００１５】図３は、ビームスプリッタ８により参照光
を導く光学系の一例である。図４は、図３におけるビー
ムスプリッタ８とイメージセンサ７の間に挿入する拡散
板９、第２のレンズアレイ板２０、第３のレンズ２１に
よって構成される光学系で、拡散板９により、擬似的に
コヒーレント／インコヒーレント変換して光強度を取り
出し、これを第２レンズアレイ板２０と第３レンズ２１
ですべてのチャネルの干渉縞画像をイメージセンサ７の
同一位置に重ねて結像させる。即ちＩ（ｘ，ｙ：δｉ）
ｃｏｓδｉの各画像を同一位置に結像させることにより
、
を導く光学系の一例である。図４は、図３におけるビー
ムスプリッタ８とイメージセンサ７の間に挿入する拡散
板９、第２のレンズアレイ板２０、第３のレンズ２１に
よって構成される光学系で、拡散板９により、擬似的に
コヒーレント／インコヒーレント変換して光強度を取り
出し、これを第２レンズアレイ板２０と第３レンズ２１
ですべてのチャネルの干渉縞画像をイメージセンサ７の
同一位置に重ねて結像させる。即ちＩ（ｘ，ｙ：δｉ）
ｃｏｓδｉの各画像を同一位置に結像させることにより
、
【数３】を得、同様に各Ｉ（ｘ，ｙ：δｉ）ｓｉｎδｉ
の重ね合せにより
の重ね合せにより
【数４】を得る。従ってイメージセンサ７上に形成され
た２つの画像
た２つの画像
【数３】
【数４】をイメージセンサ７で入力、メモリし、双方を
用いてｔａｎ−１演算を行えばφ（ｘ，ｙ）が求められ
る。
用いてｔａｎ−１演算を行えばφ（ｘ，ｙ）が求められ
る。
【００１６】図５は、本発明の他の実施例を示している
。６個の小レンズにより３本のチャネルを、プロジェク
ションレンズ２の光軸に対して回転対称に配置すれば、
各チャネルの光路長は等しくなり、図６のような配置で
位相板５とＮＤフィルタ６を設けることにより、温度変
化やハウジング固定時の歪み等に対する安定性が向上す
る。
。６個の小レンズにより３本のチャネルを、プロジェク
ションレンズ２の光軸に対して回転対称に配置すれば、
各チャネルの光路長は等しくなり、図６のような配置で
位相板５とＮＤフィルタ６を設けることにより、温度変
化やハウジング固定時の歪み等に対する安定性が向上す
る。
【００１７】レンズアレイ板１として、ガラス基板内に
イオン交換で屈折率分布型レンズを一体形成したものを
用い、プロジェクションレンズ２として屈折率分布型ロ
ッドレンズ（屈折率が中心軸上で最大で外周に向けてパ
ラボリックに漸減する分布をもつ端面が平面の円柱状レ
ンズ）を使用して、両者をその平面同士で接着固定すれ
ば光学系全体がより安定したものとなる。位相板５、Ｎ
Ｄフィルタ６、ビームスプリッタ８、イメージセンサ７
も同様にすべて積層接着固定すれば、光学系がすべてガ
ラスで満たされた一体構造になるため、さらに高信頼で
コンパクトな光学系となる。
イオン交換で屈折率分布型レンズを一体形成したものを
用い、プロジェクションレンズ２として屈折率分布型ロ
ッドレンズ（屈折率が中心軸上で最大で外周に向けてパ
ラボリックに漸減する分布をもつ端面が平面の円柱状レ
ンズ）を使用して、両者をその平面同士で接着固定すれ
ば光学系全体がより安定したものとなる。位相板５、Ｎ
Ｄフィルタ６、ビームスプリッタ８、イメージセンサ７
も同様にすべて積層接着固定すれば、光学系がすべてガ
ラスで満たされた一体構造になるため、さらに高信頼で
コンパクトな光学系となる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、従来のフリンジスキャ
ニング干渉光学系と比較して以下のような利点がある。 （１） 多数枚の干渉縞画像の入力が同時に行えるた
め、光学系の経時不安定性に測定が影響されない。 （２） 数式１の位相解析演算の大部分が光学的に行
えるため、画像をメモリしたあとデジタル的に行う演算
が極めて小さく済み、簡単なパソコンでの高速演算が可
能となる。 （３） 屈折率分布型ロッドレンズや、平板マイクロ
レンズ等を一体で組み合せることにより、極めてコンパ
クトな干渉光学系が組める。勿論、プロジェクションレ
ンズの軸外収差や光学系の温度、湿度、外力等に対する
安定度のような実用上配慮すべき点はあるが、これらの
多くは図５に示したような対称配置と、屈折率分布型ロ
ッドレンズ等を用いた各部品の一体化構造によって解決
できるため、小型で高速処理可能な簡単干渉計として極
めて有効な光学系であるといえる。
ニング干渉光学系と比較して以下のような利点がある。 （１） 多数枚の干渉縞画像の入力が同時に行えるた
め、光学系の経時不安定性に測定が影響されない。 （２） 数式１の位相解析演算の大部分が光学的に行
えるため、画像をメモリしたあとデジタル的に行う演算
が極めて小さく済み、簡単なパソコンでの高速演算が可
能となる。 （３） 屈折率分布型ロッドレンズや、平板マイクロ
レンズ等を一体で組み合せることにより、極めてコンパ
クトな干渉光学系が組める。勿論、プロジェクションレ
ンズの軸外収差や光学系の温度、湿度、外力等に対する
安定度のような実用上配慮すべき点はあるが、これらの
多くは図５に示したような対称配置と、屈折率分布型ロ
ッドレンズ等を用いた各部品の一体化構造によって解決
できるため、小型で高速処理可能な簡単干渉計として極
めて有効な光学系であるといえる。
【図１】本発明の第１実施例を示す断面図。
【図２】本発明装置における位相板とＮＤフィルタの配
置例を示す正面図。
置例を示す正面図。
【図３】本発明の第２実施例を示す断面図。
【図４】本発明装置の第３実施例を示す要部断面図。
【図５】本発明装置の第４実施例を示す概略斜視図。
【図６】図５の例における位相板とＮＤフィルタの配置
関係を示す正面図。
関係を示す正面図。
１ レンズアレイ板
２ プロジェクションレンズ（第２レンズ）３
コヒーレント照明光 ４ 被測定体 ５ 位相板 ６ ＮＤフィルタ（光量減衰板）７ イメ
ージセンサ ８ ビームスプリッタ ９ 光拡散板 １１Ａ 入射域レンズ １２Ａ 入射域レンズ １１Ｂ 出射域レンズ １２Ｂ 出射域レンズ ２０ 第２レンズアレイ板 ２１ 第３レンズ
コヒーレント照明光 ４ 被測定体 ５ 位相板 ６ ＮＤフィルタ（光量減衰板）７ イメ
ージセンサ ８ ビームスプリッタ ９ 光拡散板 １１Ａ 入射域レンズ １２Ａ 入射域レンズ １１Ｂ 出射域レンズ １２Ｂ 出射域レンズ ２０ 第２レンズアレイ板 ２１ 第３レンズ
Claims (9)
- 【請求項１】 共通の透明平面基板に複数個のレンズ
を備えたレンズアレイ板と、このレンズアレイ板のレン
ズ群のうち略半数個のレンズ（入射域レンズ群）に入射
するコヒーレント照明光と、前記入射域レンズ群を透過
した光束を同時に入射可能な大きさをもつ第２レンズと
を備え、前記入射域レンズ群を透過した光束は前記第２
レンズを透過後に略平行光束となり、さらに、前記第２
レンズの後側焦点面の近傍で前記複数本の平行光束はほ
ぼ同一領域に重なると共に、その位置に鏡面状物体を配
置したとき、前記複数本の平行光束が前記鏡面状物体で
反射したあと、再び前記第２レンズを透過し、さらに前
記レンズアレイ板の残りレンズ群（出射域レンズ群）を
透過するようになし、且つ、前記レンズアレイ板の任意
の１個のレンズを透過してから前記鏡面状物体で反射後
、前記レンズアレイ板の別のレンズに入射する１本の光
束の伝播経路（チャネル）中に、その伝幡経路の光路長
を制御するための位相板と、伝播光の透過光強度を制御
するための光量減衰板を備えていることを特徴とする光
学装置。 - 【請求項２】 前記光学装置から射出する光束に対し
て参照光を重ね合せる光学系を備え、前記各チャネルご
とに前記鏡面状物体の表面凹凸形状を干渉縞の歪みとし
て観測できるようにした請求項１に記載の光学装置。 - 【請求項３】 前記複数本のチャネルの光路長差は、
前記コヒーレント照明光の波長の数分の１程度であり、
且つ、略等間隔の差になっている請求項１又は２に記載
の光学装置。 - 【請求項４】 前記レンズアレイ板は、ガラス基板内
に、周囲よりも高屈折率で且つ中心から周辺に向けて漸
減する屈折率分布をもつ領域から成るレンズ部分を配列
形成したものである請求項１，２又は３いずれかに記載
の光学装置。 - 【請求項５】 前記第２レンズは、少くとも片面が平
面である屈折率分布型レンズであり、且つ平面側が前記
レンズアレイ板の面と密着固定されている請求項１，２
，３，４いずれか１項に記載の光学装置。 - 【請求項６】 前記レンズアレイ板の、前記第２レン
ズとは別の方向の位置にビームスプリッタを備え、前記
コヒーレント照明光の一部をレンズアレイ板に入射する
前に分割すると共に、前記鏡面状物体から反射した後、
レンズアレイ板の出射域レンズ群から射出した光束に重
ね合せるようにした請求項１，２，３，４，５いずれか
１項に記載の光学装置。 - 【請求項７】 前記光学装置の後方に、レンズアレイ
板の出射域レンズ群から射出した光束を空間的に複数個
重ね合せるための第２の光学系を備えた請求項１，２，
３，４，５，６いずれか１項に記載の光学装置。 - 【請求項８】 前記第２の光学系は、第２のレンズア
レイ板と第３のレンズとで構成されている請求項７に記
載の光学装置。 - 【請求項９】 前記第２光学系の直前に光拡散板を備
えた請求項７又は８に記載の光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2409783A JPH04215009A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2409783A JPH04215009A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04215009A true JPH04215009A (ja) | 1992-08-05 |
Family
ID=18519066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2409783A Pending JPH04215009A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04215009A (ja) |
-
1990
- 1990-12-10 JP JP2409783A patent/JPH04215009A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107894208B (zh) | 光谱共焦距离传感器 | |
| US20220187161A1 (en) | Deflectometry Measurement System | |
| KR20000016177A (ko) | 반도체 웨이퍼의 두께 변화를 측정하는 간섭계 | |
| CN108474642B (zh) | 使用倾斜物光波和具有菲索干涉仪物镜的干涉仪 | |
| JP2004184309A (ja) | 干渉計 | |
| US8339612B2 (en) | Shape-measuring interferometer having low-coherence source conjugate to the examined object | |
| US4125778A (en) | Apparatus for laser anemometry | |
| US5815268A (en) | Lithographic lens wavefront and distortion tester | |
| JP2001235317A (ja) | 光学球面曲率半径測定装置 | |
| JP2533514B2 (ja) | 凹部深さ・膜厚測定装置 | |
| Rubin | Scatterplate interferometry | |
| US6459490B1 (en) | Dual field of view optical system for microscope, and microscope and interferometer containing the same | |
| JP3085961B2 (ja) | 長尺物観察用光学装置 | |
| US7295321B1 (en) | VISAR interferometer with field elements | |
| JPH0789052B2 (ja) | 放物面鏡形状検査測定用の位相共役干渉計 | |
| US6762889B2 (en) | Compact telephoto lens for grating scale position measuring system | |
| JP2002206914A (ja) | 斜入射干渉計装置 | |
| JPH06331319A (ja) | 光学式高さ測定装置 | |
| GB2209210A (en) | Apparatus for measuring spectral characteristics of laser radiation | |
| JP3164127B2 (ja) | ホログラム干渉計 | |
| JP2544389B2 (ja) | レンズ中心厚測定装置 | |
| US3402633A (en) | Long path multiple beam interferometer | |
| JP7112649B2 (ja) | データ取得装置 | |
| JPH0244204A (ja) | 光フアイバ式干渉膜厚計 | |
| JP3170893B2 (ja) | 空間光変調素子評価装置の調整方法 |