JPH04218669A - 潤滑性に優れた耐摩耗性TiまたはTi基合金部材 - Google Patents

潤滑性に優れた耐摩耗性TiまたはTi基合金部材

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JPH04218669A
JPH04218669A JP41221890A JP41221890A JPH04218669A JP H04218669 A JPH04218669 A JP H04218669A JP 41221890 A JP41221890 A JP 41221890A JP 41221890 A JP41221890 A JP 41221890A JP H04218669 A JPH04218669 A JP H04218669A
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lubricity
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ions
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Hiroshi Sato
佐藤 廣士
Hidetoshi Nishimoto
西本 英敏
Yasuaki Sugizaki
康昭 杉崎
Tatsuya Yasunaga
龍哉 安永
Keiji Ueda
啓司 上田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、潤滑性に優れた耐摩耗
性Ti又はTi基合金部材に関し、特に耐摩耗性および
潤滑性等を高めることにより摺動機械部品等としても利
用できる様にしたTi又はTi基合金部材に関するもの
である。尚以下の説明ではTiを代表的にとりあげるが
、本発明は種々のTi基合金に対して同様に適用するこ
とができる。
【0002】
【従来の技術】Tiは、高融点,軽量,高強度等の特長
を有すると共に耐腐食性にも優れており、その特長を生
かすことのできる化学プラントや原子力プラント等の分
野における需要が次第に増加している。しかるにTiは
、鋼等に比べると摩耗し易いという欠点があり、特に無
潤滑状態での摩擦係数が大きい(0.5〜0.6 )為
、例えばTiを摺動部や他金属との接触部に使用すると
焼付きの問題が生じ、このことがTiを摺動機械部品等
の材料としての使用を妨げる原因となっている。尚潤滑
剤を使用することによって摩擦係数を下げることはでき
るが、長期の使用に耐えることができず、例えば自動車
部品としての使用には適さない。
【0003】Tiの焼付きを防止するという観点から種
々の表面処理法が提案されており、その一例としては、
■ガス窒化法、■Crめっき法、■MoS2 コーティ
ング法等の表面処理法を挙げることができる。これらの
方法は、他の分野でそれなりの成果をあげているにもか
かわらず、Ti表面の処理法としてはいくつかの問題が
ある。例えば■ガス窒化法では極めて長い処理時間を要
するという欠点があり、また■Crめっき法の場合には
、Ti素地に対するめっき皮膜の密着性が悪いので、密
着性を高める為の前処理工程として下地めっきを施す必
要があり、工程が煩雑になると共に依然としてめっき皮
膜が剥離し易いという問題がある。さらに■MoS2 
コーティング法においても表面皮膜の密着性が悪いこと
が問題点として挙げられ、MoS2 は単なる潤滑剤と
しての作用を発揮するにとどまる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこうした事情
に着目してなされたものであって、簡素な工程で短時間
に処理を完了することができ、しかもTi素地との密着
性に優れた表面処理層を形成することができるような技
術、殊にそのような表面処理層を形成することによって
得られる潤滑性および耐摩耗性の優れたTi部材を提供
することを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】しかして上記目的を達成
した本発明のTi部材は、Ti(又はTi基合金)部材
の表面に、Pイオンをイオン注入し、TiまたはTi基
合金の表層部にP濃度富化層を形成したものである点に
要旨を有するものである。
【0006】
【作用】本発明で利用されるイオン注入の手法は、加速
された高エネルギーのイオンを目的深さまで打ち込んで
Ti部材の表面を改質するものであり、半導体分野にお
ける不純物ドーピング手段として利用されている他、鋼
を中心とする金属材料の表面改質にもその適用が進めら
れているが、半導体分野を除けばこれまでのところ実用
化はあまり進んでいない。
【0007】本発明に係るTi部材は、このようなイオ
ン注入の手法をTi部材の表面改質に利用したものであ
り、Ti部材表層部にはイオン注入によって非熱平衡物
質層が形成される。即ちこれまで行なわれてきた熱プロ
セスによる合金化や表面処理では、熱的平衡状態にある
合金層あるいは表面皮膜が形成され、該合金層は熱平衡
物質層であるが故にその物性改造にも自ずから限度があ
った。これに対し本発明では非熱平衡物質層を形成する
ことにより、非熱平衡状態に基づくストレスに起因して
、熱平衡物質からは予測できない特性を得ることができ
る。換言すればイオン注入される元素と同じ元素を添加
したTi合金を形成しても本発明Ti部材のような耐摩
耗性の発揮は期待することができないのである。
【0008】ところでTi部材の特性を改善するに当た
ってはTi部材にイオン注入を行ないさえすれば良いと
言うものではなく、改善しようとする特性に合せて特定
の元素イオンを注入する必要がある。即ち本発明におい
ては、種々の元素イオンについてイオン注入実験を重ね
た結果、Ti部材の耐焼き付き性を改善する為には、P
イオンを注入する必要があることを知った。尚Ti部材
にPイオンを注入することにより形成される非熱平衡状
態の具体的な物性の変化としては、■表面硬度が上昇す
る、■摩擦係数が低下する、■摩耗の際の相手材との凝
着現象が緩和される、■イオン注入時のスパッタによっ
て表面が清浄化される、■摩擦時の表面酸化挙動が変化
する等の現象をあげることができる。
【0009】またイオン注入では高エネルギーイオンを
Ti部材の表層部に強制的に添加するが、表面層に別物
質層が形成される訳ではないので、注入層と基材層はマ
トリックス構造が同じである。従ってめっき等の表面処
理のように基材と異なる材質の皮膜を密着させる場合と
異なり、イオン注入表層部の基材層との一体性は極めて
良好であり、摩擦状態下でも剥離することがない。
【0010】本発明に係るTi部材は上記作用効果を奏
するものであるが、これらの効果を得るにはPイオンを
5×1015イオン/cm2以上注入することが望まれ
る。一方過剰に注入しても処理時間が長くなるだけで耐
摩耗性等が一定以上に向上することはないので注入量は
合計で1×1019イオン/cm2 以下に抑えること
が望ましい。
【0011】
【実施例】実験1 表1に示す各種イオン注入Ti部材についてボール・オ
ン・プレート型摩耗試験装置を用いて摩耗試験を行ない
、動摩擦係数および相対的な摩耗量を比較したところ表
1に示す結果が得られた。摩耗条件はアルミナ,鋼およ
びTiを相手材とし、荷重1kgf で空気中で試験を
行なった。尚摩耗量は、イオン未注入材の摩耗量を1と
して相対摩耗量を算出した。
【0012】
【表1】 実験2 Pのイオン注入量を変化させた場合に、イオン注入量と
相対摩耗量との関係を求めたところ、図1に示す結果が
得られた。
【0013】図1に示されるようにイオン注入量が増加
するに従って相対摩耗量は減少していくが、その傾向が
顕著に現われるのはイオン注入量が1×1016イオン
/cm2 となる付近からであり、1×1017イオン
/cm2 以上ではその効果は飽和していることが分か
った。
【0014】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されており、
潤滑性および耐摩耗性に優れ、焼き付きに対して優れた
耐久性を示すTi(又はTi基合金)部材を得ることが
できる。かくして耐食性に優れたTi部材を従来適用困
難であった摺動機械部品等の用途にも適用することがで
きるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】イオン注入量と相対摩耗量の関係を示すグラフ
である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】TiまたはTi基合金部材の表面に、Pイ
    オンをイオン注入し、TiまたはTi基合金の表層部に
    P濃度富化層を形成したものであることを特徴とする潤
    滑性に優れた耐摩耗性TiまたはTi基合金部材。
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