JPH0421921A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH0421921A JPH0421921A JP12487790A JP12487790A JPH0421921A JP H0421921 A JPH0421921 A JP H0421921A JP 12487790 A JP12487790 A JP 12487790A JP 12487790 A JP12487790 A JP 12487790A JP H0421921 A JPH0421921 A JP H0421921A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は複数層の磁性層を備えた磁気記録媒体に関し、
特に高い保持力を有して高密度記録が可能であり、情報
の記録群□生特性が優れた磁気記録媒体に関する。
特に高い保持力を有して高密度記録が可能であり、情報
の記録群□生特性が優れた磁気記録媒体に関する。
［従来の技術］
近年、情報量の増大に伴い、記録密度が高く、優れた情
報記録再生特性を有する磁気記録媒体の開発の要望が強
い。このため、保持力が高い合金磁性薄膜を有する磁気
記録媒体の研究開発が活発になされている。このような
磁気記録媒体においては、通常、スパッタリングにより
磁性層を形成している。また、保持力を更に一層向上さ
せるために、磁性層を複数層形成した磁気ディスクが提
案されている（特開昭６３−２４４３０９号公報）。即
ち、メツキ法により単層構造の磁性薄膜媒体層が形成さ
れた磁気記録媒体においては、磁性薄膜媒体層の皮膜厚
さと保持力及び残留磁化量との間に、皮膜厚さの増大に
ともない、残留磁化量は増加するが、保持力が低下する
という関係がある。このため、残留磁化量及び保持力の
双方が優れた磁気記録媒体が得にくい。そこで、前述の
従来技術においては、複数の磁性薄膜媒体層を相互間に
非磁性層を介して積層することにより、単位磁性層とし
てはその厚さを薄くして保持力を高めると共に、この単
位磁性層を複数層一体的に積層することにより残留磁化
量を高めている。
報記録再生特性を有する磁気記録媒体の開発の要望が強
い。このため、保持力が高い合金磁性薄膜を有する磁気
記録媒体の研究開発が活発になされている。このような
磁気記録媒体においては、通常、スパッタリングにより
磁性層を形成している。また、保持力を更に一層向上さ
せるために、磁性層を複数層形成した磁気ディスクが提
案されている（特開昭６３−２４４３０９号公報）。即
ち、メツキ法により単層構造の磁性薄膜媒体層が形成さ
れた磁気記録媒体においては、磁性薄膜媒体層の皮膜厚
さと保持力及び残留磁化量との間に、皮膜厚さの増大に
ともない、残留磁化量は増加するが、保持力が低下する
という関係がある。このため、残留磁化量及び保持力の
双方が優れた磁気記録媒体が得にくい。そこで、前述の
従来技術においては、複数の磁性薄膜媒体層を相互間に
非磁性層を介して積層することにより、単位磁性層とし
てはその厚さを薄くして保持力を高めると共に、この単
位磁性層を複数層一体的に積層することにより残留磁化
量を高めている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、各磁性層自体を薄くしてこの磁性層を多
層積層する従来の磁気記録媒体においては、その保持力
が高々的８００ （Ｏｅ）であり、現在の高記録密度化
の要求を十分に満足するものではない。従って、保持力
が極めて高く、高記録密度化の要求に十分応えることが
できる磁気記録媒体の開発が急務となっている。
層積層する従来の磁気記録媒体においては、その保持力
が高々的８００ （Ｏｅ）であり、現在の高記録密度化
の要求を十分に満足するものではない。従って、保持力
が極めて高く、高記録密度化の要求に十分応えることが
できる磁気記録媒体の開発が急務となっている。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
保持力及び残留磁化量の双方が極めて高く、記録密度を
著しく向上させることができる磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする。
保持力及び残留磁化量の双方が極めて高く、記録密度を
著しく向上させることができる磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする。
［課題を解決するための手段］
本発明に係る磁気記録媒体は、非磁性基板上に複数層の
Ｃｒ層と複数層の磁性層とを交互に積層した積層体を配
置した磁気記録媒体において、前記磁性層がＣｏ−Ｃｒ
−Ｔａｔ Ｃｏ−Ｃｒ−ＨｆｚＣｏ−Ｃｒ−Ｚｒ及びＣ
ｏ−Ｃｒ−Ｈｆ−Ｚｒからなる群から選択された１種又
は２種以上の合金で形成されていることを特徴とする。
Ｃｒ層と複数層の磁性層とを交互に積層した積層体を配
置した磁気記録媒体において、前記磁性層がＣｏ−Ｃｒ
−Ｔａｔ Ｃｏ−Ｃｒ−ＨｆｚＣｏ−Ｃｒ−Ｚｒ及びＣ
ｏ−Ｃｒ−Ｈｆ−Ｚｒからなる群から選択された１種又
は２種以上の合金で形成されていることを特徴とする。
この場合に、前記磁性層間に配置されたＣｒ層の厚さは
５乃至６００人であることが好ましい。
５乃至６００人であることが好ましい。
［作用コ
本発明においては、複数層の磁性層を相互間に下地層と
してのＣｒ層を挾んで積層しであるから、十分に高い保
持力が得られるように各磁性層の厚さを薄くしても、残
留磁化量は複数の磁性層の厚さの和に相当する厚さを有
する単層の磁性層の残留磁化量と同等である。このため
、本発明においては、保持力及び残留磁化量の双方が高
い。
してのＣｒ層を挾んで積層しであるから、十分に高い保
持力が得られるように各磁性層の厚さを薄くしても、残
留磁化量は複数の磁性層の厚さの和に相当する厚さを有
する単層の磁性層の残留磁化量と同等である。このため
、本発明においては、保持力及び残留磁化量の双方が高
い。
しかも、本発明においては、磁性層がＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ
５ Ｃｏ−Ｃｒ−Ｈｆ１Ｃｏ−Ｃｒ −Ｚｒ又はＣｏ−
Ｃｒ−Ｈｆ−Ｚｒのいずれかの合金で形成されており、
これらの磁性層間には非磁性層としてＣｒ層が配置され
ている。而して、磁性層間に他の例えばカーボン等の層
を配置した場合はヒステリシスカーブがゆがんでしまう
のに対し、本発明のように、磁性層間にＣｒ層を配置し
た場合は、このＣｒ層が比較的薄くてもきれいなヒステ
リシスカーブが得られる。このように、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔ
ａ合金等の磁性層とＣｒ層との相乗効果により、残留磁
化量を高く維持し、かつその保持力を従来よりも極めて
高くすることができる。
５ Ｃｏ−Ｃｒ−Ｈｆ１Ｃｏ−Ｃｒ −Ｚｒ又はＣｏ−
Ｃｒ−Ｈｆ−Ｚｒのいずれかの合金で形成されており、
これらの磁性層間には非磁性層としてＣｒ層が配置され
ている。而して、磁性層間に他の例えばカーボン等の層
を配置した場合はヒステリシスカーブがゆがんでしまう
のに対し、本発明のように、磁性層間にＣｒ層を配置し
た場合は、このＣｒ層が比較的薄くてもきれいなヒステ
リシスカーブが得られる。このように、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔ
ａ合金等の磁性層とＣｒ層との相乗効果により、残留磁
化量を高く維持し、かつその保持力を従来よりも極めて
高くすることができる。
［実施例コ
以下、本発明の実施例について、添付の図面を参照して
具体的に説明する。
具体的に説明する。
第１図は本発明の実施例に係る磁気記録媒体の層構成を
示す断面図である。非磁性基板１はアルミニウム合金基
板上にＮｉ −Ｐ合金を被着したものであり、適宜の表
面平滑度を有している。この非磁性基板１上に、下地層
として第１Ｃｒ層２が形成されている。更にこの第１Ｃ
ｒ層２上には第１の磁性層３が形成されている。そして
、この第１の磁性層３上には中間下地Ｃｒ層として第２
Ｃｒ層４が形成されている。また、この第２Ｃｒ層４上
には第２磁性層５が形成されており、更にこの第２磁性
層５上は保護膜層１０により被覆されている。第１及び
第２磁性層３，５はいずれも例えばＣｏＣｒｔ４Ｔａ３
の組成（Ｃｒ；１４原子％及びＴａ ；３原子％で、残
部がＣｏである。以下磁性層合金組成は同様に原子％で
表わす。）を有する合金で形成されている。また、保護
膜層１０は約３００人の厚さを有し、カーボンからなる
。これらの各層はスパッタリングにより形成することが
できる。
示す断面図である。非磁性基板１はアルミニウム合金基
板上にＮｉ −Ｐ合金を被着したものであり、適宜の表
面平滑度を有している。この非磁性基板１上に、下地層
として第１Ｃｒ層２が形成されている。更にこの第１Ｃ
ｒ層２上には第１の磁性層３が形成されている。そして
、この第１の磁性層３上には中間下地Ｃｒ層として第２
Ｃｒ層４が形成されている。また、この第２Ｃｒ層４上
には第２磁性層５が形成されており、更にこの第２磁性
層５上は保護膜層１０により被覆されている。第１及び
第２磁性層３，５はいずれも例えばＣｏＣｒｔ４Ｔａ３
の組成（Ｃｒ；１４原子％及びＴａ ；３原子％で、残
部がＣｏである。以下磁性層合金組成は同様に原子％で
表わす。）を有する合金で形成されている。また、保護
膜層１０は約３００人の厚さを有し、カーボンからなる
。これらの各層はスパッタリングにより形成することが
できる。
なお、下地Ｃｒ層２の厚さは通常５００乃至４０００人
であるが、約１５００人にするのが好ましい。
であるが、約１５００人にするのが好ましい。
また、各磁性層３，５の厚さは２００乃至６００人であ
ることが好ましい。単層の磁性層の場合には、その保持
力及び残留磁化量の双方の調和をとるため、２００乃至
１５００人の厚さにすることが好ましいが、本発明にお
いては、残留磁化量は磁性層を積層することにより確保
するので、十分に高い保持力が得られるように磁性層を
薄くすることができる。このため、保持力を高める必要
上、磁性層３゜５の厚さは２００乃至６００人と、単層
の場合よりも薄くする。なお、更に好ましくは各磁性層
３，５の厚さは３００乃至４００人、例えば３８０人に
する。
ることが好ましい。単層の磁性層の場合には、その保持
力及び残留磁化量の双方の調和をとるため、２００乃至
１５００人の厚さにすることが好ましいが、本発明にお
いては、残留磁化量は磁性層を積層することにより確保
するので、十分に高い保持力が得られるように磁性層を
薄くすることができる。このため、保持力を高める必要
上、磁性層３゜５の厚さは２００乃至６００人と、単層
の場合よりも薄くする。なお、更に好ましくは各磁性層
３，５の厚さは３００乃至４００人、例えば３８０人に
する。
そして、第２磁性層５を形成する場合には、第１及び第
２磁性層３．５の厚さの総計が所定の残留磁化量を有す
る単層磁性層の厚さと実質的に同一になるように設定す
る。
２磁性層３．５の厚さの総計が所定の残留磁化量を有す
る単層磁性層の厚さと実質的に同一になるように設定す
る。
上述のごとく、本実施例の磁気記録媒体は、非磁性基板
１上に、第１Ｃｒ層２及び第１磁性層３の積層体と、第
２Ｃｒ層４及び第２磁性層５の積層体とを積層して構成
されている。一般的に残留磁化量の大きさは磁性膜３，
５の厚さの総計の膜厚によって決まり、この総計の膜厚
が単層の場合の磁性層の膜厚と略々対応する。
１上に、第１Ｃｒ層２及び第１磁性層３の積層体と、第
２Ｃｒ層４及び第２磁性層５の積層体とを積層して構成
されている。一般的に残留磁化量の大きさは磁性膜３，
５の厚さの総計の膜厚によって決まり、この総計の膜厚
が単層の場合の磁性層の膜厚と略々対応する。
第２図は横軸にＣｏ Ｃｒ １４ＭＸ （ＭはＴａ。
Ｈｆ＋ Ｚｒを表し、Ｘは原子Ｍの原子％を示す）の膜
厚をとり、縦軸に保持力及び残留磁化量［残留磁束密度
×膜厚（Ｇ・μ謡）］をとって、磁性層が単層の場合の
磁性層の膜厚と、保持力（０６）及び残留磁化量との関
係を示すグラフ図である。例えば、磁性層がＣ０Ｃｒｔ
４Ｈｆｓの場合には、磁性層の膜厚が３８０人のときに
保持力が約１９００（Ｏｅ）と極めて高い。しかしなが
ら、残留磁化量は３２０ Ｇ・μｍと低い。一方、磁性
層の膜厚が７６０人の場合には、残留磁化量は約５７０
Ｇ・μｍと高く、記録再生特性は良好であるが、保持力
は約１５００（Ｏｅ）であり、近時要求されている高い
記録密度を達成できる保持力を具備しているとはいえな
い。
厚をとり、縦軸に保持力及び残留磁化量［残留磁束密度
×膜厚（Ｇ・μ謡）］をとって、磁性層が単層の場合の
磁性層の膜厚と、保持力（０６）及び残留磁化量との関
係を示すグラフ図である。例えば、磁性層がＣ０Ｃｒｔ
４Ｈｆｓの場合には、磁性層の膜厚が３８０人のときに
保持力が約１９００（Ｏｅ）と極めて高い。しかしなが
ら、残留磁化量は３２０ Ｇ・μｍと低い。一方、磁性
層の膜厚が７６０人の場合には、残留磁化量は約５７０
Ｇ・μｍと高く、記録再生特性は良好であるが、保持力
は約１５００（Ｏｅ）であり、近時要求されている高い
記録密度を達成できる保持力を具備しているとはいえな
い。
このため、膜厚が３８０人の第１の磁性層３上に中間下
地層である第２のＣｒ層を形成した後、この第２のＣｒ
層４上に膜厚が３８０人の第２の磁性層５を形成する。
地層である第２のＣｒ層を形成した後、この第２のＣｒ
層４上に膜厚が３８０人の第２の磁性層５を形成する。
そして、最上層に３（１０λのカーボン保護層１０を形
成する。そうすると、約８００Ｇ・μｍの高残留磁化量
を有し、１９００（Ｏｅ）の高保持力を有する磁気記録
媒体が得られる。
成する。そうすると、約８００Ｇ・μｍの高残留磁化量
を有し、１９００（Ｏｅ）の高保持力を有する磁気記録
媒体が得られる。
第１磁性層３と第２磁性層５との間に形成される中間下
地Ｃｒ層である第２のＣｒ層４の厚さは、５乃至６００
人であることが好ましい。第２のＣｒ層４の膜厚が５層
未満であると、磁性層を薄膜化してそれらの間に非磁性
層を介在させて複数層積層することの効果が少なく、極
めて高い保持力を得るということができない。逆に、第
２Ｃｒ層４の膜厚が８００人を超えるとＣｒ層の形成に
長時間かかる割りには保磁力の向上効果は少なく、磁気
記録媒体の製造効率が悪化する。また、中間下地Ｃｒ層
４の膜厚が６００Ａを超えて厚くなると、この中間下地
Ｃｒ層４の介在により磁気ヘッド点磁性層との間の距離
が大きくなり、スペーシングロスが生じる。これにより
、記録密度が低下する。
地Ｃｒ層である第２のＣｒ層４の厚さは、５乃至６００
人であることが好ましい。第２のＣｒ層４の膜厚が５層
未満であると、磁性層を薄膜化してそれらの間に非磁性
層を介在させて複数層積層することの効果が少なく、極
めて高い保持力を得るということができない。逆に、第
２Ｃｒ層４の膜厚が８００人を超えるとＣｒ層の形成に
長時間かかる割りには保磁力の向上効果は少なく、磁気
記録媒体の製造効率が悪化する。また、中間下地Ｃｒ層
４の膜厚が６００Ａを超えて厚くなると、この中間下地
Ｃｒ層４の介在により磁気ヘッド点磁性層との間の距離
が大きくなり、スペーシングロスが生じる。これにより
、記録密度が低下する。
このため、中間下地Ｃｒ層４の厚さは５乃至８００人に
することが好ましい。
することが好ましい。
上述のごとく構成された磁気記録媒体は、保持力及び残
留磁化量の双方が極めて高く、従って、記録再生特性が
優れていると共に、記録密度が飛躍的に高い。
留磁化量の双方が極めて高く、従って、記録再生特性が
優れていると共に、記録密度が飛躍的に高い。
第３図は本発明の他の実施例に係る磁気記録媒体を示す
断面図である。この磁気記録媒体においては、第２磁性
層５の上に、中間下地Ｃｒ層としての第３Ｃｒ層６を介
して第３磁性層７が形成されており、更にこの第３磁性
層７の上に、中間下地Ｃｒ層としての第４Ｃｒ層８を介
して第４磁性層９が形成されている。そして、この第４
磁性層９の上に、カーボンからなる保護膜層１０が形成
されている。また、各磁性層３．５，７．９はＣ０Ｃｒ
ｔ４Ｈｆｓ合金で形成されている。
断面図である。この磁気記録媒体においては、第２磁性
層５の上に、中間下地Ｃｒ層としての第３Ｃｒ層６を介
して第３磁性層７が形成されており、更にこの第３磁性
層７の上に、中間下地Ｃｒ層としての第４Ｃｒ層８を介
して第４磁性層９が形成されている。そして、この第４
磁性層９の上に、カーボンからなる保護膜層１０が形成
されている。また、各磁性層３．５，７．９はＣ０Ｃｒ
ｔ４Ｈｆｓ合金で形成されている。
このように第１乃至第４の４層の磁性層３，５゜７．９
を、相互間に第１乃至第４の４層のＣｒ層２．４．８．
８を介在させて積層した磁気記録媒体も、第１図に示す
磁気記録媒体と同様の効果を奏する。また、磁性層４は
４層で構成されているので、各磁性層３，５，７．９の
厚さは例えば１９０人と第１図の場合の半分の厚さにす
ることができる。従って、保持力を更に一層高めること
ができる。更に、本実施例の磁気記録媒体も、中間下地
Ｃｒ層の厚さによって磁気記録媒体としての保磁力が変
化する。本実施例においても、この中間下地Ｃｒ層の厚
さは５乃至８００人であるのが好ましく、更に好ましく
はｌＯ乃至５００人にする。
を、相互間に第１乃至第４の４層のＣｒ層２．４．８．
８を介在させて積層した磁気記録媒体も、第１図に示す
磁気記録媒体と同様の効果を奏する。また、磁性層４は
４層で構成されているので、各磁性層３，５，７．９の
厚さは例えば１９０人と第１図の場合の半分の厚さにす
ることができる。従って、保持力を更に一層高めること
ができる。更に、本実施例の磁気記録媒体も、中間下地
Ｃｒ層の厚さによって磁気記録媒体としての保磁力が変
化する。本実施例においても、この中間下地Ｃｒ層の厚
さは５乃至８００人であるのが好ましく、更に好ましく
はｌＯ乃至５００人にする。
なお、本発明における磁性層の構成材料は、上記各実施
例のＣｏＣｒ□４Ｔａ３合金又はＧｏＣｒｔ４Ｈｆｔ合
金に限らず、Ｃ０−Ｃｒ−Ｔａ系、Ｇｏ−Ｃｒ−Ｈｆ系
、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｚｒ系及びＣｏ−Ｃｒ−Ｈｆ−Ｚｒ系の
合金であれば、種々の磁性合金を使用することができる
。
例のＣｏＣｒ□４Ｔａ３合金又はＧｏＣｒｔ４Ｈｆｔ合
金に限らず、Ｃ０−Ｃｒ−Ｔａ系、Ｇｏ−Ｃｒ−Ｈｆ系
、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｚｒ系及びＣｏ−Ｃｒ−Ｈｆ−Ｚｒ系の
合金であれば、種々の磁性合金を使用することができる
。
下記第１表は、これらの系の合金の代表的なものとして
、Ｃ０Ｃｒｔ４Ｔａ３、Ｃ００ｒｔａＨｆｔ及びＣｏＣ
ｒ１４Ｚｒ□を選択し、その飽和磁束密度の測定値を掲
載したものである。この第１表かられかるように、上述
の各磁性層を構成する合金は極めて高い飽和磁束密度を
有する。但し、この第１表は、下地Ｃｒ層上に７６０人
の単層の各磁性層を形成した磁気記録媒体についてのデ
ータである。上記各実施例の磁気記録媒体は、例えば、
３８０人又は１９０人の薄い磁性層を相互間にＣｒ層を
挾んで夫々２層又は４層積層したものであるが、各磁性
層の飽和磁束密度はこの第１表のデータをもとに判断す
ることができる。
、Ｃ０Ｃｒｔ４Ｔａ３、Ｃ００ｒｔａＨｆｔ及びＣｏＣ
ｒ１４Ｚｒ□を選択し、その飽和磁束密度の測定値を掲
載したものである。この第１表かられかるように、上述
の各磁性層を構成する合金は極めて高い飽和磁束密度を
有する。但し、この第１表は、下地Ｃｒ層上に７６０人
の単層の各磁性層を形成した磁気記録媒体についてのデ
ータである。上記各実施例の磁気記録媒体は、例えば、
３８０人又は１９０人の薄い磁性層を相互間にＣｒ層を
挾んで夫々２層又は４層積層したものであるが、各磁性
層の飽和磁束密度はこの第１表のデータをもとに判断す
ることができる。
第１表
次に、本発明の実施例に係る磁気記録媒体を実際に製造
し、その特性を評価した結果について、比較例と比較し
て説明する。
し、その特性を評価した結果について、比較例と比較し
て説明する。
：
Ｎ１−Ｐメツキを施したアルミニウム合金基板（外径が
９５ｍｍ１内径が２５＋ａｍ１厚さが１．３ｍｍ ）の
表面をラッピングマシンで精密研磨した後、テキスチャ
リング処理を行い、非磁性基板を得た。この非磁性基板
をＤＣマグネトロンスパッタリング装置に装入し、初期
真空到達度７ Ｘ １Ｏ−７ｔｏｒｒ以下で排気した後
、スパッタリング圧力５ Ｘ １０”’ｔｏｒｒで先ず
下地Ｃｒ層である第１Ｃｒ層２を１５００人の厚さで形
成した。
９５ｍｍ１内径が２５＋ａｍ１厚さが１．３ｍｍ ）の
表面をラッピングマシンで精密研磨した後、テキスチャ
リング処理を行い、非磁性基板を得た。この非磁性基板
をＤＣマグネトロンスパッタリング装置に装入し、初期
真空到達度７ Ｘ １Ｏ−７ｔｏｒｒ以下で排気した後
、スパッタリング圧力５ Ｘ １０”’ｔｏｒｒで先ず
下地Ｃｒ層である第１Ｃｒ層２を１５００人の厚さで形
成した。
次に、同じスパッタリング条件で、Ｃ０Ｃｒ、４Ｔ ａ
３の第１磁性層３を３８０人の厚さで形成した。
３の第１磁性層３を３８０人の厚さで形成した。
更に、下記第２表に示す膜厚（第１実施例Ｎａ１−７；
５人乃至６００人、第１比較例Ｎａ１−２；０又は８
００人）の中間下地Ｃｒ層である第２Ｃｒ層４を形成し
た。なお、中間下地Ｃｒ層の第２Ｃｒ層４の膜厚が０人
の比較例１の磁気記録媒体は、第１磁性層３及び第２磁
性層５が直接接触した単層（膜厚７６０人）の磁性層を
有する。
５人乃至６００人、第１比較例Ｎａ１−２；０又は８
００人）の中間下地Ｃｒ層である第２Ｃｒ層４を形成し
た。なお、中間下地Ｃｒ層の第２Ｃｒ層４の膜厚が０人
の比較例１の磁気記録媒体は、第１磁性層３及び第２磁
性層５が直接接触した単層（膜厚７６０人）の磁性層を
有する。
その後、同様の操作を繰り返して、Ｃ０Ｃｒｔ４Ｔａ３
からなる第２の磁性層５を３８０人の厚さで形成した後
、３００人のカーボン保護膜を形成した。
からなる第２の磁性層５を３８０人の厚さで形成した後
、３００人のカーボン保護膜を形成した。
このようにして得られた磁気記録媒体の保持力の測定結
果を第２表に第２Ｃｒ層４の膜厚と対応させて示す。
果を第２表に第２Ｃｒ層４の膜厚と対応させて示す。
この第２表から明らかなように、本実施例のように、Ｃ
ｒ層と磁性層との積層体にすることにより、従来の最大
で８００ （Ｏｅ）に比較して、極めて高い保磁力が得
られる。また、第２Ｃｒ層４の膜厚が５乃至６００人の
範囲にある実施例Ｎα１−７の磁気記録媒体は、その保
磁力り月６５０（Ｏｅ）以上と極めて高くなる。
ｒ層と磁性層との積層体にすることにより、従来の最大
で８００ （Ｏｅ）に比較して、極めて高い保磁力が得
られる。また、第２Ｃｒ層４の膜厚が５乃至６００人の
範囲にある実施例Ｎα１−７の磁気記録媒体は、その保
磁力り月６５０（Ｏｅ）以上と極めて高くなる。
第２表
：
第１実施例と同様に、Ｎ１−Ｐメツキしたアルミニウム
合金基板に所定の処理を施して非磁性基板を用意した。
合金基板に所定の処理を施して非磁性基板を用意した。
第３表
そして、磁性層の材質をＣ０Ｃｒ＋４Ｈｆ１合金の替わ
りにＧＯＣｒｔ４Ｈｆｓ合金としたこと以外は第１の実
施例と同一の条件でスパッタリング操作を繰り返して、
第２Ｃｒ層４の膜厚を上記第３表に示す第２実施例１−
７及び第２比較例１−２の磁気記録媒体を得た。この磁
気記録媒体の保持力の測定結果を第３表に併せて示す。
りにＧＯＣｒｔ４Ｈｆｓ合金としたこと以外は第１の実
施例と同一の条件でスパッタリング操作を繰り返して、
第２Ｃｒ層４の膜厚を上記第３表に示す第２実施例１−
７及び第２比較例１−２の磁気記録媒体を得た。この磁
気記録媒体の保持力の測定結果を第３表に併せて示す。
この第３表から明らかなように、磁性層がＣ０Ｃｒ＋４
Ｈｆ１である場合も、この磁性層とＣｒ層層との積層体
にすることにより、１５１０（Ｏｅ） （比較例１）以
上の高保磁力が得られる。そして、更に第２Ｃｒ層４の
膜厚が５乃至６００人の実施例Ｎａ１−７の磁気記録媒
体の場合には、保磁力が１８８０（Ｏｅ）以上と極めて
高い。
Ｈｆ１である場合も、この磁性層とＣｒ層層との積層体
にすることにより、１５１０（Ｏｅ） （比較例１）以
上の高保磁力が得られる。そして、更に第２Ｃｒ層４の
膜厚が５乃至６００人の実施例Ｎａ１−７の磁気記録媒
体の場合には、保磁力が１８８０（Ｏｅ）以上と極めて
高い。
：
第１実施例と同様に、Ｎ ｉ−Ｐメツキしたアルミニウ
ム合金基板に所定の処理を施して、非磁性基板を用意し
た。そして、磁性層の材質をＣ。
ム合金基板に所定の処理を施して、非磁性基板を用意し
た。そして、磁性層の材質をＣ。
Ｃｒ １４Ｔ ａ ３の替わりにＣｏ Ｃｒ １４Ｚｒ
ｓとしたこと以外は第１の実施例と同一の条件でスパ
ッタリング操作を繰り返し、下記第４表に示す膜厚の第
３実施例Ｎ（１１−７及び第３比較例Ｎ［Ｌ１２の磁気
記録媒体を得た。
ｓとしたこと以外は第１の実施例と同一の条件でスパ
ッタリング操作を繰り返し、下記第４表に示す膜厚の第
３実施例Ｎ（１１−７及び第３比較例Ｎ［Ｌ１２の磁気
記録媒体を得た。
この第３実施例Ｎａ１−７及び第３比較例Ｎａ１−２の
各磁気記録媒体の保持力の測定結果を第４表に併せて示
す。
各磁気記録媒体の保持力の測定結果を第４表に併せて示
す。
第４表
この第４表に示すように、磁性層がＣ０Ｃｒ１４Ｚｒ□
である場合にも、保磁力が１４８０（Ｏｅ）以上、特に
第２Ｃｒ層４の膜厚が５乃至６００人の場合には、保磁
力が１８８０（Ｏｅ）以上と、極めて高い保磁力が得ら
れる。
である場合にも、保磁力が１４８０（Ｏｅ）以上、特に
第２Ｃｒ層４の膜厚が５乃至６００人の場合には、保磁
力が１８８０（Ｏｅ）以上と、極めて高い保磁力が得ら
れる。
：
第２実施例と同様に、ＮＬＰメツキしたアルミニウム合
金基板に所定の処理を施した後に、第２磁性層５までは
スパッタリングで形成した。その後、更に中間下地Ｃｒ
層である第３Ｃｒ層６、Ｃｏ Ｃｒ １４Ｈｆ ｌから
なる第３磁性層７、中間下地Ｃｒ層としての第４Ｃｒ層
８、及びＣＯＣｒ １４Ｈｆｌからなる第４磁性層９を
同様のスパッタリング条件で形成した後、カーボン保護
膜層１０を３００人の膜厚で形成して磁気記録媒体を作
成した。
金基板に所定の処理を施した後に、第２磁性層５までは
スパッタリングで形成した。その後、更に中間下地Ｃｒ
層である第３Ｃｒ層６、Ｃｏ Ｃｒ １４Ｈｆ ｌから
なる第３磁性層７、中間下地Ｃｒ層としての第４Ｃｒ層
８、及びＣＯＣｒ １４Ｈｆｌからなる第４磁性層９を
同様のスパッタリング条件で形成した後、カーボン保護
膜層１０を３００人の膜厚で形成して磁気記録媒体を作
成した。
その際、中間下地Ｃｒ層である第２Ｃｒ層４．第３Ｃｒ
層６及び第４Ｃｒ層８の膜厚をＩＯス乃至６００人の範
囲で変化させて下記第５表に示す第４実施例Ｎ１１−１
０の各磁気記録媒体を得た。また、これらの中間下地Ｃ
ｒ層のうち、いずれかのＣｒ層の膜厚をＯ又は８００人
として第４比較例Ｎα１−４の磁気記録媒体とした。
層６及び第４Ｃｒ層８の膜厚をＩＯス乃至６００人の範
囲で変化させて下記第５表に示す第４実施例Ｎ１１−１
０の各磁気記録媒体を得た。また、これらの中間下地Ｃ
ｒ層のうち、いずれかのＣｒ層の膜厚をＯ又は８００人
として第４比較例Ｎα１−４の磁気記録媒体とした。
第５表
そして、
これらの各磁気記録媒体の保持力の測
定結果を第５表に示した。
この第５表から明らか
なように、中間下地Ｃｒ層となる３層のＣｒ層４゜６．
８の膜厚がいずれも１０．５０．１００ 、８００人の
いずれかの場合には、保磁力が１８００（Ｏｅ）以上と
極めて高い。
８の膜厚がいずれも１０．５０．１００ 、８００人の
いずれかの場合には、保磁力が１８００（Ｏｅ）以上と
極めて高い。
なお、このいずれかのＣｒ層の膜厚が８００人である比
較例の場合には、保磁力は高いもののその製造工程が長
くなり、その割りには保磁力の上昇効果は小さいので無
駄である。また、Ｃｒ層の膜厚が８００人と厚くなると
、スペーシングロスが大きくなるので、記録密度が低下
するため、好ましくない。
較例の場合には、保磁力は高いもののその製造工程が長
くなり、その割りには保磁力の上昇効果は小さいので無
駄である。また、Ｃｒ層の膜厚が８００人と厚くなると
、スペーシングロスが大きくなるので、記録密度が低下
するため、好ましくない。
［発明の効果コ
本発明によれば、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ５ Ｃｏ−Ｃｒ−Ｈ
ｆ１Ｃｏ−Ｃｒ−Ｚｒ及びＣｏ−Ｃｒ−Ｈｆ−Ｚｒから
なる群から選択された１種又は２種以上の合金で形成さ
れた複数層の磁性層と、この各磁性層間に配置された中
間下地Ｃｒ層との積層体により構成されているので、極
めて高い保磁力が得られると共に、残留磁化量も極めて
高い。
ｆ１Ｃｏ−Ｃｒ−Ｚｒ及びＣｏ−Ｃｒ−Ｈｆ−Ｚｒから
なる群から選択された１種又は２種以上の合金で形成さ
れた複数層の磁性層と、この各磁性層間に配置された中
間下地Ｃｒ層との積層体により構成されているので、極
めて高い保磁力が得られると共に、残留磁化量も極めて
高い。
従って、本発明は記録再生特性が優れていると共に、高
記録密度を可能にする磁気記録媒体として極めて有用で
ある。
記録密度を可能にする磁気記録媒体として極めて有用で
ある。
第１図は本発明の実施例に係る磁気記録媒体を示す断面
図、第２ｒＸＪは磁性体膜厚と保磁力及び残留磁化量と
の関係を示すグラフ図、第３図は本発明の他の実施例に
係る磁気記録媒体を示す断面図である。 １；非磁性基板、２；第１Ｃｒ層、３；第１磁性層、４
；第２Ｃｒ層、５；第２磁性層、６；第３Ｃｒ層、７；
第３磁性層、８；第４Ｃｒ層、９；第４磁性層、１０；
保護膜層
図、第２ｒＸＪは磁性体膜厚と保磁力及び残留磁化量と
の関係を示すグラフ図、第３図は本発明の他の実施例に
係る磁気記録媒体を示す断面図である。 １；非磁性基板、２；第１Ｃｒ層、３；第１磁性層、４
；第２Ｃｒ層、５；第２磁性層、６；第３Ｃｒ層、７；
第３磁性層、８；第４Ｃｒ層、９；第４磁性層、１０；
保護膜層
Claims (2)
- （１）非磁性基板上に複数層のＣｒ層と複数層の磁性層
とを交互に積層した積層体を配置した磁気記録媒体にお
いて、前記磁性層がＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｈ
ｆ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｚｒ及びＣｏ−Ｃｒ−Ｈｆ−Ｚｒから
なる群から選択された１種又は２種以上の合金で形成さ
れていることを特徴とする磁気記録媒体。 - （２）前記磁性層間に配置されたＣｒ層はいずれも厚さ
が５乃至６００Åであることを特徴とする請求項１に記
載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12487790A JPH0421921A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12487790A JPH0421921A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0421921A true JPH0421921A (ja) | 1992-01-24 |
Family
ID=14896306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12487790A Pending JPH0421921A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0421921A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5834111A (en) * | 1994-05-31 | 1998-11-10 | Hmt Technology Corporation | Multilayered magnetic recording medium with coercivity gradient |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63244309A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-11 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 磁気デイスク |
-
1990
- 1990-05-15 JP JP12487790A patent/JPH0421921A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63244309A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-11 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 磁気デイスク |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5834111A (en) * | 1994-05-31 | 1998-11-10 | Hmt Technology Corporation | Multilayered magnetic recording medium with coercivity gradient |
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