JPH04219483A - 流体移送ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、柱状振動子による超音
波アクチュエーターにより発生させた弾性振動を駆動源
として流体を移送する流体移送ポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の定量ポンプは駆動源として電磁モ
ーターを用いたものにほぼ限られるが、大別して不連続
型と連続型とに分類される。不連続型の中でも、とりわ
けＦＭＩ定量ポンプは１ｓｔｅｐ当りの移送量を連続的
に変化させることができるので、原理的には移送量を定
量的に無限に少なくすることができるが、調節部が機械
式であるから正確さに欠け、制御性に問題がある。連続
型ポンプでは電圧制御により流量を連続的に制御できる
ポンプもあり、微少流量も可能ではあるが、可動部がな
いので逆流を起こしやすいという欠点を有し、結果的に
は制御性に問題を残す。

【０００３】さらに、流量をより少なく制御性をより向
上させるためには、装置はより大がかりなものとならざ
るを得ないという欠点を有する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の定量ポンプでは
、微少な量を正確に制御することは難しく、装置も概し
て大型である。

【０００５】そこで本発明では、超音波アクチュエータ
ーを駆動源とすることにより、微少流量の正確な制御を
可能にし、さらに強磁場中での使用、装置の小形、軽量
化、騒音が無いこと、低消費電力を可能にすることを目
的とした流体を移送するためのポンプを提供する。なお
、振動子型アクチュエーターについてはすでに詳しい記
載がある（特願昭６３−１２９１２２号、特願平１−２
２６９５０号）。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の流体移
送ポンプは、流体で満たされた弾性チューブを軸線に垂
直な方向に複数の円柱状のベアリングで押圧しながら前
記ベアリングを前記軸線にほぼ沿って移動させ前記弾性
チューブ内における前記流体を移送する流体移送ポンプ
において、前記弾性チューブが円柱にコイル状に一層に
巻き付けてあり、複数の前記ベアリングは前記弾性チュ
ーブの外周に回転軸を前記円柱の軸に平行にして等間隔
に配置してあることを特徴とする。

【０００７】請求項２に記載の流体移送ポンプは、前記
弾性チューブが前記円柱に複数回巻き付けてあり、各前
記ベアリングは複数巻回分の前記弾性チューブを前記円
柱に押圧していることを特徴とする。

【０００８】請求項３に記載の流体移送ポンプは、前記
円柱が両端に開口した筒体でなり、前記弾性チューブは
一方の前記開口から前記筒体内を経て他方の前記開口に
至り、該他方の開口から延べられて筒体の外周に巻き付
けられていることを特徴とする。

【０００９】請求項４に記載の流体移送ポンプは、柱状
の圧電磁器の両端面に電極を有する圧電振動子と、この
圧電振動子に接触して該圧電振動子に生じる振動変位を
受け、前記円柱と同心の軸を中心に回転する回転体とを
備え、前記両端面が前記圧電磁器の分極軸に垂直であり
、前記ベアリングの軸が前記回転体に取り付けられてい
ることを特徴とする。

【００１０】

【作用】請求項１に記載の流体移送ポンプの使用時、前
記ベアリングは円柱にコイル状に一層に巻き付けられて
いる前記弾性チューブを圧迫しながら前記弾性チューブ
の軸線にほぼ沿って移動するので、前記弾性チューブは
前記軸線に沿って順次圧迫され、弾性チューブ内の流体
はベアリングの移動方向に移送される。このとき、該弾
性チューブは前記ベアリングの通過とともに順次復元さ
れるから該弾性チューブはこの復元力を利用して流体を
自吸する。このように本発明の流体移送ポンプでは流体
の吸入および吐出すなわちポンピングが行われる。複数
の前記ベアリングを前記弾性チューブの外周に沿って回
転させることにより前記ポンピングの効果をさらに増大
させることができる。また複数の該ベアリングをその回
転軸が前記円柱の軸に平行になるように等間隔に配置す
ることにより、前記円柱の前記軸は片寄ることなく安定
に保たれ正確なポンピングを行える。前記弾性チューブ
を前記円柱に固定化したカートリッジ形式のものとすれ
ば、チューブ交換のときにはカートリッジごと取り換え
れば良いので、チューブ交換が簡単であるばかりでなく
、常に同一条件でのポンピングが可能となる。

【００１１】請求項２に記載の流体移送ポンプでは、前
記弾性チューブは前記円柱に複数回巻き付けてられてい
て、各前記ベアリングはその巻き付けられている部分の
前記弾性チューブを前記円柱に押圧している。従って、
前記ベアリングを前記円柱とにはさまれた部分の該弾性
チューブにはどの箇所においても常に同一の負担がかか
るので、均一で正確なポンピングが行え、流体の移送制
御が容易になる。

【００１２】請求項３に記載の流体移送ポンプは、前記
円柱が両端に開口した筒体でなり、前記弾性チューブは
一方の前記開口から前記筒体内を経て他方の前記開口に
至り、該他方の開口から延べられて筒体の外周に巻き付
けられているので、前記弾性チューブと前記円柱とが一
体となった構造をなしている。チューブ交換は前記一体
構造物をカートリッジ形式のものとすることにより簡単
に行え、しかも常に同一条件でのポンピングが可能とな
る。

【００１３】請求項４に記載の流体移送ポンプでは、柱
状の圧電磁器の分極軸に垂直な両端面に電極を有する圧
電振動子の共振周波数に等しい周波数を有する交流信号
を前記圧電振動子に前記電極を介して印加すると、前記
圧電振動子は励振され前記圧電磁器の側面には一方向の
振動変位が生じる。前記振動変位は、前記圧電振動子の
側面に接触し前記円柱と同心の軸を中心に回転する回転
体に伝達され、該回転体は回転する。前記ベアリングの
軸が前記回転体に取り付けられていることから、前記回
転体が回転すれば前記ベアリングも該ベアリングの軸を
中心に自転しながら前記円柱のまわりを回転する。この
際、前記ベアリングは自転および前記円柱のまわりを回
転することにより、弾性チューブを前記円柱に順次押圧
し、ポンピング機能を果たしている。この装置は駆動源
として圧電振動子から成る超音波アクチュエータを用い
ており、入力に対する応答速度が速いのでパルス駆動が
正確かつ容易に行え、しかも無入力時の保持力が大きい
。従って、微少流量の正確な制御が可能で逆流もなく、
移送量を容易に連続的に変えられる。また、低消費電力
での駆動が可能で、騒音も無い。さらに、低速・高トル
ク回転が可能なので、ギヤが不要であるから、装置の小
形化かつ軽量化を実現できる。磁石の使用を必要としな
いことから、強磁場中での使用も可能である。

【００１４】

【実施例】次に実施例を挙げて本発明をいっそう詳しく
説明する。図１は本発明の流体移送ポンプの一実施例を
示す斜視図、図２は図１の流体移送ポンプを反対側方向
正面から見たときの側面図、図３は図１の流体移送ポン
プを上方向から見たときの側面図である。本実施例は銅
箔から成る端子Ｐ，Ｑが取り付けられている圧電振動子
１と、回転体２と、摩擦材３と、ベアリング４と、ベア
リングの軸５と、金属パイプ６と、弾性チューブ７とか
らなる。但し、図２には圧電振動子１に交流電圧を供給
する電源部が併せて示してある。

【００１５】図４は圧電振動子１の斜視図である。圧電
振動子１は円柱状の圧電磁器２０と、圧電磁器２０の分
極軸に垂直な両端面のそれぞれに設けられた電極２１お
よび電極２２とから成る。圧電磁器２０は直径１０ｍｍ
、高さ１０ｍｍで、材質はＴＤＫ製９１Ａ材（製品名）
であり、その共振周波数は約１３８ｋＨｚ　である。Ｔ
ＯＫ９１Ａ材は電気機械結合係数が大きいことから、こ
こでの実施例に用いている。電極２１は圧電磁器２０の
一方の端面の接線から垂直に２ｍｍの幅の部分を除いた
部分に設けられており、一方、電極２２はもう一方の端
面全体をおおっている。図中の矢印は圧電振動子１に交
流信号を印加したときに共振状態において圧電磁器２０
の側面に生じる振動変位を示す。一方の電極２１が図中
に示す形状をなし電極２２と非対称であることから一方
向変位を生じている。

【００１６】図５は弾性チューブ７が金属パイプ６に装
着されている様子を示す斜視図、図６は流体で満たされ
た弾性チューブ７が金属パイプ６の外壁に図５のように
コイル状に巻き付けられている様子を模式的に示す断面
図、図７は図６の流体で満たされた弾性チューブ７が、
ベアリング４によって金属パイプ６に押圧されている様
子を示す断面図である。外径１ｍｍ、内径０．５ｍｍの
弾性チューブ７は外径３ｍｍ、内径２ｍｍ、長さ１５ｍ
ｍの円柱状の金属パイプ６の一方の開口から内部空洞を
経て他方の開口へ通した後、金属パイプ６の外壁に沿っ
てコイル状に巻き付かせてある。本実施例では直径１５
ｍｍ、厚さ１０ｍｍのベアリング４を３個設けているが
、その３個のベアリング４は流体移送ポンプの駆動時に
はいっせいに金属パイプ６の軸を中心に回転するので、
それに伴って弾性チューブ７は順次圧迫され、チューブ
壁３０に囲まれた流体も順次移動する。

【００１７】流体移送ポンプの駆動時、圧電振動子１に
は電極２１上に設けられた端子Ｐおよび電極２２上に設
けられた端子Ｑを介して、圧電振動子１の共振周波数に
等しい周波数を有する交流信号が印加される。圧電振動
子１は励振され、圧電磁器２０の側面には圧電磁器２０
の分極軸の方向に沿った一方向の振動変位が生じる。回
転体２は大小２つの円板とそれらをつなぐ円柱とから成
り、大きい方の円板は直径５６ｍｍ、厚さ３ｍｍで、一
方の板面上には摩擦材３がその円板の中心を同心とする
幅８ｍｍ、厚さ１ｍｍのリング状に固着されている。小
さい方の円板は直径３３ｍｍ、厚さ３ｍｍで、一方の板
面上には３個の直径６ｍｍ、長さ１．３ｍｍのベアリン
グの軸５が金属パイプ６の軸に平行に、等間隔に固着さ
れている。大小２つの円板をつなぐ円柱は、直径５ｍｍ
、長さ３５ｍｍで、大小２つの円板の中心を同心とし、
大円板の中心を貫通して小円板に至っている。このとき
大円板と小円板は平行となり、その距離は１７ｍｍであ
る。圧電振動子１は回転体２に固着されている摩擦材３
に接触している。このとき、圧電振動子１が円柱状であ
ることにより、圧電振動子１が摩擦材３と接する部分の
形状は圧電振動子１の両端面を結び両端面に垂直な直線
となる。該直線と回転体２の中心との距離は２１ｍｍで
ある。摩擦材３にはエポキシ樹脂にポリアミドを混入し
たものを用いた。圧電磁器２０の側面に生じた前記一方
向振動変位は、前記直線部分から摩擦材３を介して回転
体２に伝達され、回転体２はその軸を中心に回転する。 このとき摩擦材３は回転による、圧電磁器２０および回
転体２の大円板の磨耗を防止するだけでなく、回転によ
り回転体２と圧電振動子１との間に生ずる高電圧に起因
する電磁ノイズを防止する。回転体２の回転に伴い、回
転体２の小円板に固着されているベアリングの軸５も回
転体の軸を中心に回転するので、ベアリングの軸５の一
方の先端にベアリングの軸５をとり囲むようにして取り
付けられているベアリング４は、金属パイプ６の軸を中
心に回転する。その際、ベアリング４はベアリングの軸
５を中心に自転しながら、金属パイプ６にコイル状に巻
き付いた部分の弾性チューブ７の一部を金属パイプ６の
外壁に順次押圧する。 弾性チューブ７はベアリング４の移動とともに順次復元
するから、弾性チューブ７はその復元力によって弾性チ
ューブ７の一方の開口から流体を吸引する。吸引された
流体は弾性チューブ７内を移動し、弾性チューブ７のも
う一方の開口の外へ押し出される。　　ベアリング４と
金属パイプ６との間にはさまれた部分の弾性チューブ７
にはどの箇所においても均一な負担がかかるので、常に
均一で正確なポンピングを行える。

【００１８】圧電振動子１に印加する交流信号の周波数
を一定の範囲内で変えることにより、圧電磁器２０の側
面に生じる振動変位の大きさだけでなく、その方向をも
任意に制御するとができる。従って、回転体２の回転速
度の制御および逆回転駆動が可能となるので、弾性チュ
ーブ７内を移動する流体の速度と方向を自由に制御する
ことができる。

【００１９】弾性チューブ７を金属パイプ６に固定化さ
せた一体構造物としているので、チューブ交換の際には
前記一体構造物ごと取り換えればよいから、手間が簡単
であるばかりでなく常に同一条件でのポンピングが可能
となる。

【００２０】図８は圧電振動子１の周波数に対するアド
ミタンスおよび位相の関係を示す特性図である。１４０
ｋＨｚ　付近で共振し、約１６８ｋＨｚ　で反共振を起
こしている。約１４０ｋＨｚ　の共振周波数でのアドミ
タンスのピークが２つに分かれる共振割れを起こしてい
る。これは電極２１が図４に示すように、圧電磁器２０
の端面の一部に設けられていることに因る。

【００２１】図９は印加電圧とベアリング４が金属パイ
プ６のまわりを回転するときの回転数との関係を示す特
性図である。前記回転数は印加電圧に対しリニアな関係
にあり、その傾きは約０．４ｒｐｍ　／Ｖ　である。な
お、印加電圧信号の周波数は圧電振動子１の共振周波数
とほぼ等しく、約１３８ｋＨｚである。

【００２２】図１０はｒｆパルスを印加した場合のパル
ス駆動のための構成図である。パルス発生装置とミキサ
ーとの間にある楕円内の波形はパルス発生装置の作る波
形である。シグナル発生装置とミキサーとの間にある楕
円内の波形はシグナル発生装置の作る波形である。ミキ
サーとパワーアンプとの間にある楕円内の波形はパルス
発生装置の作る波形とシグナル発生装置の作る波形とが
合成されたものである。パルス駆動の際には、このよう
にして合成された波形を示す交流信号が圧電振動子１に
印加される。

【００２３】図１１は印加電圧が１００Ｖｐ−ｐ　でそ
の周波数が約１３８ｋＨｚ　のパルス駆動を行なったと
きの、パルス幅と１パルスあたりの回転角との関係を示
す特性図である。Ｎ回転するのに要する時間をＴとし、
パルス繰り返し周波数をｆｐ　とすると、１パルスあた
りの回転角θは（１）式で与えられる。θ（ｄｅｇ．）
＝３６０Ｎ／（ｆｐ　・Ｔ）　　（１）パルス幅が２０
ｍＳ以上ではパルス幅と１パルスあたりの回転角とはほ
ぼ直線的な関係にあるので、電圧を印加してから駆動が
開始し一定になるまでの時間および電圧を解除してから
駆動が停止するまでの時間は、少なくとも数十ｍＳ以下
であることがわかる。 電磁モーターの自然停止が数百ｍＳから数Ｓ　であるこ
とと比較すれば、本装置の駆動源の応答速度は極めて速
い。 また、動作が可能な最小限のパルス幅は１ｍＳで、その
ときの回転角は約０．００３°であった。

【００２４】図１２は図１１およびベアリング４が金属
パイプ６のまわりを１回転したときの移送量より求めた
、パルス幅と１パルスあたりの移送量との関係を示す特
性図である。ベアリング４の中心と金属パイプ６の中心
との距離はベアリング４の回転半径に相当する。前記回
転半径をａとし、弾性チューブ７の内径をｒとすると、
１回転あたりの移送量Ｍｔは（２）式で与えられる。た
だし弾性チューブ７の断面を円形とする。 　　　　Ｍｔ＝（１回転あたりのベアリング４の移動距
離）　　　　　　　　　　×（弾性チューブ７の管内断
面積）　　　　　　　　＝２πａ×πｒ２　／４　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　（２）微少量を移送するためには、回
転速度を減少させるとともにＭｔ値をできるだけ小さく
しなければならない。Ｍｔ値を小さくするにはａ値およ
びｒ値を小さくすればよい。本実施例の流体移送ポンプ
ではベアリングの大きさに関係なく、内径がより小さな
弾性チューブを採用することができるので、移送量をさ
らに減少させることができる。ところで、本実施例の移
送部は小形であるから、弾性チューブ７の管内断面はベ
アリング４の通過とともに円形から楕円形に変化する。 そこで実測により移送量を求めた。２５００回転の移送
量を１回転あたりに換算し３度の測定値を平均したとこ
ろ、Ｍｔ値は約０．７５ｎｌであった。（２）式の弾性
チューブ７の管内断面積をＳとし、Ｍｔ＝０．７５ｎｌ
を代入すると、Ｓ＝５９．７×１０−９ｍ　２　となる
。一方、管内断面が円形のときの理論的なＳ値はＳ＝１
９６．３×１０−９ｍ　２　で、管内断面が円形から楕
円形に変化することによりＳ値は約１／３になる。従っ
て１回転あたりの移送量も１／３となるから本実施例の
移送部によればさらに微少量の移送が可能になる。また
、動作が可能な最小限のパルス幅１ｍＳにおける移送量
は０．００６２２ｐｌであり、極めて微少な量からの制
御が可能であるといえる。

【００２５】図１３は印加電圧が１００Ｖｐ−ｐ　でそ
の周波数が約１３８ｋＨｚ　のパルス駆動の際の、パル
ス繰り返し周波数と１分あたりの移送量との関係を示す
特性図である。本図はパルス幅がそれぞれ１，２，３，
５，１０，２０，３０，４０ｍＳであるパルス駆動を行
なった場合の特性を示す。広範囲のパルス幅駆動におい
て微少量の制御が可能であることがわかる。

【００２６】本実施例の流体移送ポンプの起動方法には
パルス駆動と連続駆動があるが、パルス駆動の方が微少
量の正確な制御には適している。パルス駆動の際にロー
タリーエンコーダを併用したら、移送量のさらに正確な
制御が行えるようになった。ロータリーエンコーダは角
度を電気信号に変換するものとして用いている。本実施
例の流体移送ポンプには、単位角度毎にパルスを逐次発
生するインクリメンタル型を用いた。インクリメンタル
型の最高の分解能は１回転あたり６０００パルスなので
、１パルスあたりの回転角は０．０６°となり図１１，
図１２より１パルスあたりの移送量は０．１２４ｐｌと
なる。この０．１２４ｐｌがインクリメンタル型を併用
したときの流体移送ポンプの最少移送量となる。また、
誤差については、パルス駆動における最少回転角が図１
１より０．００３°でありインクリメンタル型の分解能
が０．０６°であることから、最大誤差は５％、容量に
して０．００６２ｐｌとなり、極めて微少な値である。 従ってインクリメンタル型を併用すれば、微少で正確な
移送量の制御がさらに改善される。

【００２７】

【発明の効果】以上に詳しく説明したように、本発明の
流体移送ポンプでは複数のベアリングが金属パイプの外
壁にコイル状に巻き付けられている弾性チューブを圧迫
しながらその弾性チューブの軸線にほぼ沿って移動する
。そこで、弾性チューブ内の流体はベアリングの移動方
向に移送される。このとき弾性チューブはベアリングの
通過とともに順次復元されるので、弾性チュブはこの復
元力を利用して流体を自吸する。複数のベアリングがそ
の回転軸が金属パイプの軸に平行になるように等間隔に
配置された構造をなすことにより、金属パイプの軸は片
寄ることなく安定保たれ常に正確なポンピングを行える
。ベアリングが金属パイプの軸を中心に１回転するとき
の流体の移送量Ｍｔは、ベアリングの中心と金属パイプ
の中心との距離ａおよび弾性チューブの内径ｒに依存し
、Ｍｔを減少させるにはａ，ｒの両方またはどちからを
減少させる必要がある。ベアリングが金属パイプの外周
を回転する構造を採用することにより、ｒはベアリング
の大きさに関係なくいくらでも小さな値をとることが可
能である。従って、微少流量を移送できる。

【００２８】弾性チューブが金属パイプに複数回巻き付
けられていて、ベアリングがその巻き付けられた部分の
弾性チューブを金属パイプに押圧する構造を採用するこ
とにより、ベアリングと金属パイプとの間にはさまれた
部分の弾性チューブにはどの箇所においても常に均一の
負担がかかるので、均一で正確なポンピングが可能で、
流体の移送制御が容易になる。

【００２９】弾性チューブを金属パイプの一方の開口か
ら他方の開口へ貫通させた後、金属パイプの外周に沿っ
てコイル状に巻き付かせた構造を採用し、弾性チューブ
と金属パイプとを一体構造物とすることにより、チュー
ブ交換の際にはそのような一体構造物ごと取り換えれば
よいので手間がかからない。しかも常に同一条件でのポ
ンピングも可能となる。

【００３０】本発明の流体移送ポンプの駆動源には超音
波アクチュエーターを用いている。柱状の圧電磁器の分
極軸に垂直な両端面には電極が設けられている。一方の
電極は端面の一部に設けられていて、もう一方の電極は
端面の全部をおおっており、両電極は非対称な形状をな
している。圧電振動子はこのような圧電磁器と電極とか
らできている。圧電振動子にその共振周波数に等しい周
波数の交流信号を両電極を介して印加すると、圧電振動
子は励振されて圧電磁器の側面には圧電磁器の分極軸の
方向に沿った一方向の振動変位が生じる。この振動変位
は摩擦材を介して回転体に伝わり、回転体は金属パイプ
と同心の軸を中心に回転する。このときの摩擦材は圧電
磁器と回転体との間の回転による摩耗を防止するだけで
なく、回転により両者の間に発生する高電圧に起因する
電磁ノイズも防止する。従って高磁場中での使用も可能
である。回転体にはベアリングの軸が設けられているこ
とから、回転体の回転に伴いベアリングも自転しながら
金属パイプの軸を中心に回転する。このときベアリング
は弾性チューブを金属パイプの外壁に押圧しながら回転
するので、ベアリングの通過とともに弾性チューブの断
面は円形から楕円形となり、再び円形に復元する。弾性
チューブはこの復元力により弾性チューブの一方の開口
から流体を自吸し、移送する。以上に示したように、本
発明の流体移送ポンプは圧電振動子からベアリングにい
たるまでの構造が簡単であるから、装置の小形、軽量化
設計が可能である。その上、低速高トルク回転駆動が可
能なのでギアが不用となり、装置はさらに小形、軽量化
できる。また低消費電力での駆動が可能で騒音もない。

【００３１】本発明の流体移送ポンプでは、連続駆動の
他にパルス駆動ができる。入力に対する応答速度が速く
、しかも無入力時の保持力が大きいので、パルス駆動に
よる微少流量の正確な制御が可能となる。従って逆流も
なく、移送速度も容易に連続的に変えられる。

【００３２】圧電振動子に印加する交流信号の周波数を
一定の範囲内で変えることにより、圧電磁器の側面に生
じる振動変位の大きさと方向を自由に変えることができ
るので、流体の移送速度と移送方向をすばやく制御する
ことができる。

【００３３】パルス駆動の際にロータリーエンコーダを
併用することにより、微少流量をさらに正確に制御する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の流体移送ポンプの一実施例を示す斜視
図。

【図２】図１の流体移送ポンプを反対側方向正面から見
たときの側面図。

【図３】図１の流体移送ポンプを上方向から見たときの
側面図。

【図４】圧電振動子１の斜視図。

【図５】弾性チューブ７が金属パイプ６に装着されてい
る様子を示す斜視図。

【図６】流体で満たされた弾性チューブ７が金属パイプ
６の外壁に図５のようにコイル状に巻き付けられている
様子を模式的に示す断面図。

【図７】図６の流体で満たされた弾性チューブ７がベア
リング４によって金属パイプ６に押圧されている様子を
示す断面図。

【図８】圧電振動子１の周波数に対するアドミタンスお
よび位相の関係を示す特性図。

【図９】印加電圧と、ベアリング４が金属パイプ６のま
わりを回転するときの回転数との関係を示す特性図。

【図１０】ｒｆパルスを印加した場合のパルス駆動のた
めの構成図。

【図１１】印加電圧が１００Ｖｐ−ｐ　でその周波数が
約１３８ｋＨｚ　のパルス駆動を行なったときの、パル
ス幅と１パルスあたりの回転角との関係を示す特性図。

【図１２】図１１および、ベアリング４が金属パイプ６
のまわりを１回転したときの移送量より求めたパルス幅
と１パルスあたりの移送量との関係を示す特性図。

【図１３】印加電圧が１００Ｖｐ−ｐ　でその周波数が
約１３８ｋＨｚ　のパルス駆動の際の、パルス繰り返し
周波数と１分あたりの移送量との関係を示す特性図。

【符号の説明】

１　　　　圧電振動子 ２　　　　回転体 ３　　　　摩擦材 ４　　　　ベアリング ５　　　　ベアリングの軸 ６　　　　金属パイプ ７　　　　弾性チューブ ２０　　　　圧電磁器 ２１，２２　　　　電極 ３０　　　　チューブ壁

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　流体で満たされた弾性チューブを軸線
   に垂直な方向に複数の円柱状のベアリングで押圧しなが
   ら前記ベアリングを前記軸線にほぼ沿って移動させ前記
   弾性チューブ内における前記流体を移送する流体移送ポ
   ンプにおいて、前記弾性チューブは円柱にコイル状に一
   層に巻き付けてあり、複数の前記ベアリングは前記弾性
   チューブの外周に回転軸を前記円柱の軸に平行にして等
   間隔に配置してあることを特徴とする流体移送ポンプ。
2. 【請求項２】　　前記弾性チューブは前記円柱に複数回
   巻き付けてあり、各前記ベアリングは複数巻回分の前記
   弾性チューブを前記円柱に押圧していることを特徴とす
   る請求項１に記載の流体移送ポンプ。
3. 【請求項３】　　前記円柱は両端に開口した筒体でなり
   、前記弾性チューブは一方の前記開口から前記筒体内を
   経て他方の前記開口に至り、該他方の開口から延べられ
   て筒体の外周に巻き付けられていることを特徴とする請
   求項２に記載の流体移送ポンプ。
4. 【請求項４】　　柱状の圧電磁器の両端面に電極を有す
   る圧電振動子と、この圧電振動子に接触して該圧電振動
   子に生じる振動変位を受け、前記円柱と同心の軸を中心
   に回転する回転体とを備え、前記両端面は前記圧電磁器
   の分極軸に垂直であり、前記ベアリングの軸は前記回転
   体に取り付けられていることを特徴とする請求項１，２
   または３に記載の流体移送ポンプ。