JPH0422035U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0422035U
JPH0422035U JP6483990U JP6483990U JPH0422035U JP H0422035 U JPH0422035 U JP H0422035U JP 6483990 U JP6483990 U JP 6483990U JP 6483990 U JP6483990 U JP 6483990U JP H0422035 U JPH0422035 U JP H0422035U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exhaust
slow
circuit
exhaust circuit
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6483990U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP6483990U priority Critical patent/JPH0422035U/ja
Publication of JPH0422035U publication Critical patent/JPH0422035U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案回路の１実施例の構成を示す説
明図、第２図は本考案回路を用いた時の流量制御
バルブのバルブ開度に対する、反応室と排気装置
の接続口での流速の関係を示す説明図、第３図は
従来回路の一例の構成を示す説明図である。 １……主排気回路、２……スロー排気回路、３
……メインバルブ、４……スロー排気バルブ、５
……真空ゲージ、６……流量制御バルブ、７……
流量制御バルブコントローラ、８……反応室、９
……排気装置、１０……モータ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 主排気回路１中のメインバルブ３または当
    該主排気回路１に並列に接続されたスロー排気回
    路２中のスロー排気バルブ４を介して反応室８内
    を排気装置９により排気する真空排気装置におい
    て、反応室８の排気口部に真空ゲージ５を設け、
    スロー排気回路２中に流量制御バルブ６を設けて
    なる真空排気装置のスロー排気回路。 (2) 真空ゲージ５の出力信号に応じて流量制御
    バルブ６をコントロールする流量制御バルブコン
    トローラ７をスロー排気回路２中に設けてなる請
    求項第(1)項記載の真空排気装置のスロー排気回
    路。
JP6483990U 1990-06-18 1990-06-18 Pending JPH0422035U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6483990U JPH0422035U (ja) 1990-06-18 1990-06-18

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6483990U JPH0422035U (ja) 1990-06-18 1990-06-18

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0422035U true JPH0422035U (ja) 1992-02-24

Family

ID=31596137

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6483990U Pending JPH0422035U (ja) 1990-06-18 1990-06-18

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0422035U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6012702U (ja) シリンダ制御装置
JPS5844231U (ja) 負圧アクチユエ−タを用いた定速走行装置
JPS63170594U (ja)
JPS6253705U (ja)
JPS6360706U (ja)
JPH02134486U (ja)
JPS62158274U (ja)
JPH01147772U (ja)
JPS58142716U (ja) 圧力制御装置
JPH0288369U (ja)
JPS63104701U (ja)
JPS6327770U (ja)
JPS60181335U (ja) 酸素濃縮器
JPS62148404U (ja)
JPS62176488U (ja)
JPS59174346U (ja) 車両の速度制限装置
JPH0330679U (ja)
JPS5930527U (ja) 排出ガス制御用負圧制御バルブ
JPS62132187U (ja)
JPS62178229U (ja)
JPH01120942U (ja)
JPS6112926U (ja) エンジンの二次空気供給装置
JPH01141997U (ja)
JPH02132870U (ja)
JPS58171118U (ja) ハンドピ−スの駆動制御装置