JPH04220618A - 可変波長フィルタ - Google Patents

可変波長フィルタ

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JPH04220618A
JPH04220618A JP41273690A JP41273690A JPH04220618A JP H04220618 A JPH04220618 A JP H04220618A JP 41273690 A JP41273690 A JP 41273690A JP 41273690 A JP41273690 A JP 41273690A JP H04220618 A JPH04220618 A JP H04220618A
Authority
JP
Japan
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liquid crystal
wavelength filter
etalon
variable wavelength
transparent electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP41273690A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuhiko Hirabayashi
平林克彦
Hiroyuki Tsuda
津田裕之
Takashi Kurokawa
黒川隆志
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NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Publication of JPH04220618A publication Critical patent/JPH04220618A/ja
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/21Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference
    • G02F1/216Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference using liquid crystals, e.g. liquid crystal Fabry-Perot filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2203/00Function characteristic
    • G02F2203/05Function characteristic wavelength dependent
    • G02F2203/055Function characteristic wavelength dependent wavelength filtering

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は1.3 〜1.55μm
 帯波長多重、周波数多重通信用の液晶エタロン形可変
波長フィルタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】光ファイバによる光通信は大容量の情報
を高速に伝送することができるので、最近急速に実用化
されつつある。しかし現時点では、ある特定の波長の光
パルスを伝送しているのみである。多数の異なった波長
の光パルスを伝送することができれば、さらに大容量の
情報を伝送することができる。これを波長多重通信と呼
び、現在活発に研究されている。波長多重通信において
は、多数の波長の光パルスの中から選択的に任意の波長
の光のみを選び出す可変波長フィルタが必要となる。
【0003】種々の可変波長フィルタがあるが、エタロ
ン内に液晶を充填し、電圧を印加することにより、エタ
ロンの光学的ギャップを可変するようにしたフィルタが
ある(Stephen R. Mallinson, 
Applied Optics Vol. 23, N
o.3(1987) p.430) 。しかしこの液晶
を用いた可変波長フィルタでは液晶層の損失や配向膜の
損失が大きく、ミラーの反射率が90%と低いので、ピ
ークの半値幅は1nm、フィネスは30であり、可変幅
は15nmであり、透過率は38%であり、性能が悪く
て波長多重、周波数多重に適用することが困難である。 この原因は液晶および液晶配向膜による散乱、吸収が大
きいことにある。
【0004】また特開昭62−178219 (光波長
選択素子)、特開昭63−29737(光波長選択素子
)、特開昭63−5327 (ファブリーペロ共振器)
、特開昭58−3524 (液晶ファブリーペロ干渉装
置)、英国特許GB2219099A (Tunabl
e Fabry−Perot Filter) 等の液
晶エンタロ形可変波長フィルタに関する発明が特許出願
されている。しかしこれらの発明の明細書には、液晶層
の散乱、透明電極の吸収、配向膜の吸収を低減する方法
については、何にも記載されていない。
【0005】ファブリーペロエタロン内に液晶、配向膜
、電極を充填した場合、これらの吸収、散乱により、そ
のエタロン特性は非常に悪くなる(その理由については
後述する)。例えばこれらの発明では、誘電体ミラーの
上に透明電極を配置した構造を持つか、または金属ミラ
ーを持つ構造となっているが、インジュムチンオキサイ
ド(ITO)透明電極は1.3 〜1.55μm 帯に
おいては大きな光吸収を持つので、エタロン内の吸収が
増加し、特性が非常に悪くなるという欠点がある。さら
に金属ミラーを使用した場合も同様に、1.3 〜1.
55μm 帯においては光の反射率を98%以上にする
ことができず、特性が悪い。また液晶、配向膜の光の吸
収、散乱が大きい。前記の発明の明細書には、基体構造
が示されているのみで、エタロン内部の散乱、吸収を低
減する液晶配向膜の膜厚、ラビング条件、透明電極の材
料、膜厚については何も記載されていない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、液晶エタロ
ン内部の吸収、散乱を低減し、エタロンの特性(フイネ
ス、透過率)を向上させる構造を有する1.3〜1.5
5μm 帯波長多重、周波数多重通信用の可変波長フィ
ルタを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、液晶を充填し
た可変波長フィルタにおいて、1.3 〜1.55μm
 帯において、波長多重通信、可変波長レーザに適用で
きる透過率、フィネスを達成するため、エタロン内の吸
収、散乱を低減させる。すなわち透明電極をガラス基板
とミラー間に配置し、その透明電極を500nm 以下
のインジュムチンオキサイド(ITO)とし、誘電体ミ
ラーの反射率を98%以上とし、配向膜を100nm 
以下に薄くし、互いに反平行にラビング処理し、ネマチ
ック液晶の液晶分子をホモジニアス配列させることによ
って、液晶による散乱、吸収を少なくし、液晶エタロン
形可変波長フィルタのピーク幅を狭くし、フィネスを上
げ、透過率を上げる。
【0008】
【作用】液晶を充填したエタロンが可変波長フィルタと
して動作することを簡単に説明する。図1に可変波長フ
ィルタの構造を示す。1はガラス基板、2は無反射コー
ト膜、3は透明電極、4は誘電体ミラー、5は液晶配向
膜、6は液晶、7はスペーサ、8は液晶の電圧を印加す
るリード線である。誘電体ミラー4を蒸着したガラス基
板1(裏面の無反射コート2が施されている)を間隔L
で平行に配置すると、透過率の波長依存性は次の式で表
わされる。           T=1/〔1+Fsin2 (2
πnL/λ)〕            (1) ここ
でnはエタロンキャビテイの屈折率、λは波長、Fはエ
タロンのFである。           F=4R /(1− R)2  
                         
 (2) 透過スペクトルを図2に示す。鋭いピークが
何本も現れる。このピークの半値幅はミラーの反射率に
依存し、通常99%のミラーの場合、ファネス200以
上の鋭いピークとなる。ピークの波長λres は           λres = m/2nL   
     ( m=1,2,....)       
  (3) で表わされる。誘電体ミラー4の上に配向
膜を塗布し、反平行にラビング処理して、ネマチック形
液晶を充填すると、図3(a) に示すように液晶が配
向する。9は液晶分子である。液晶分子9は大きな誘電
異方性(ne 、no ) を持ち、入射光の偏光方向
が液晶の配向方向と一致すると、この光はne の屈折
率を感じる。これに電圧を印加すると、図3(b) に
示すように液晶が立ち上がり、偏光は屈折率がne か
らno へ変化するのを感じる。このため式(3) に
より、ピーク波長は、液晶層への電圧を印加することに
より、シフトしていく。式(1) はエタロンのキャビ
ティ内に吸収、散乱のある場合のものであるが、エタロ
ンのキャビティ内に吸収、散乱のある材料がある場合に
は、透過率は   T=Tmax /{1+Fsin2 (2πmL/
λ)}                     (
4)  Tmax :最大透過率={(1−R)2ex
p (−αL)}/{1−Rexp(−αL)}2  
(5)  F=4Rexp(−αL)/(1−Rexp
(−αL)}2                  
        (6)  フィネス=πF/2   
                         
               (7)  FWEM:
半値幅=2λo /KπF             
                (8)ここではαは
キャビティの吸収係数、Lはキャビティギャップ、Rは
ミラーの反射率、mは整数である。
【0009】最大透過率およびエタロンのF値のミラー
の反射率依存性を、α×Lをパラメータとして図4(a
),(b) に示す。F値を上げることは半値幅を狭く
、フィネスを上げることに通じる。半値幅を狭くし、フ
ィネスを上げ、透過率を上げるためには、ミラーの反射
率を90%以上に高くし、液晶および配向膜の散乱、吸
収を少なくする必要があることがわかる。
【0010】液晶が吸収や散乱を持つのは、液晶分子の
軸が均一の方向を向いていないことに原因がある。
【0011】我々は種々の配向膜のラビング処理につい
て、液晶の吸収、散乱を最小にするような条件を検討し
た。検討した液晶の配向状態を図5(a),(b),(
c),(d) に示す。→はラビング処理の方向を示す
【外1】 はラビングの方向が紙面に垂直で、それぞれ紙面の前か
ら後の方向および後から前の方向であることを示す。こ
の中で最も散乱が少ないのは、(a) と(b) であ
った。ただし、(a) は電圧を印加するに従って散乱
が増大した。 この結果、(b) に示すように互いに反平行になるよ
うにラビング処理した基板で、ネマチック液晶を狭めれ
ばよいことがわかった。その時の吸収係数はα=0.5
 cm−1であった。
【0012】また配向膜自体の吸収、散乱は、軽くラビ
ング処理すれば、ほとんどその影響を受けないが、膜厚
を100nm 以上にすると増大する傾向にあった。こ
こでは配向膜は100nm 以下にすることとした。
【0013】ITO透明電極の透過率は膜厚に依存し、
1.5 μm 帯においては膜厚とともに急激に透過率
が落ちていく。透過率の膜厚依存を図6 に示す。膜厚
を50nm以下にすることにより、90%以上の透過率
を得ることができる。これまでに報告されている発明に
よると、透明電極はミラーの上に形成されるので、エタ
ロン内の吸収層となるため、エタロンの透過率、フイネ
スが著しく劣化する。このため透明電極は、エタロン共
振器外部、すなわちガラスとミラーの間に配置するのが
望ましい。
【0014】
【実施例】本発明の可変波長フィルタの構造を図1に示
す。基板は25×20×6mmの石英基板である。これ
にITO40nmをスパッタ法によって作製した。IT
Oの透過率は92.3%であった。次にTiO2とSi
O2の多層膜からなる誘電体ミラーを蒸着法によって形
成した。反射率は98.9%であった。さらに配向膜を
60nm塗布し、互いに反平行になるようにラビング処
理した。この1対の基板に18μmのスペーサを挟み、
基板が平行となるように調整した後、接着した。マネチ
ィック液晶を充填し、素子の作製を完了した。
【0015】電圧無印加時、電圧印加時(V=10V)
の素子の透過スペクトルを図7(a),(b) に示す
。鋭いピークが観察され、電圧印加により、ピークA,
Bは、図に示すようにシフトすることが確認された。図
7(C) は図7(a) の拡大図で、この図に示すよ
うに、半値幅は0.23nmである。フィネスは210
 である。透過率は70%である。1.5 μm 帯に
おいてピークとピークの間隔は約45nmである。ピー
ク波長の印加電圧依存性を図8を示す。電圧を印加する
ことにより、ピーク波長は1.53μm から1.48
μm にシフトする。半値幅、透過率は電圧印加によっ
て影響を受けない。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の可変波長
フィルタは、従来からある液晶エタロン形可変波長フィ
ルタにおいて、透明電極がガラス基板と誘電体ミラーの
間に配置されており、その透明電極が50nm以下のイ
ンジュムチンオキサイドであり、液晶用配向膜の厚さが
100nm 以下であり、その配向膜が基板を対向させ
た場合、互いに反平行になるようにラビング処理されて
おり、充填されるネマチック形であり、さらに誘電体ミ
ラーの反射率が98%以上とすることにより、半値幅が
狭く、フィネスが高く、透過率の高い可変波長フィルタ
を実現することができ、1.3 〜1.55μm 帯に
おいて波長多重通信、波長可変レーザに適用することが
可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】可変波長フィルタの構造を示す図である。
【図2】液晶エタロン形可変波長フィルタの透過スペク
トルを示す図である。
【図3】(a) は、電圧無印加時の液晶エタロン形可
変波長フィルタの液晶分子の配向状態を示す図である。 (b) は、電圧印加時の液晶エタロン形可変波長フィ
ルタの液晶分子の配向状態を示す図である。
【図4】(a) は、吸収、散乱のキャビティを持つエ
タロンのαL をパラメータとした最大透過率(Tma
x)とミラーの反射率(R) と関係を示す図である。 (b) は、吸収、散乱のあるキャビティを持つエタロ
ンのαL をパラメータとしたF値のミラーの反射率依
存性(計算結果)を示す図である。
【図5】(a) は、液晶配向膜が互いに平行であると
きの検討した液晶の配向状態を示す図である。 (b) は、液晶配向膜が互いに反平行であるときの検
討した液晶の配向状態を示す図である。 (c) は、液晶配向膜が互いに直角で、ラビング処理
の方向が紙面の後から前の方向であるときの検討した液
晶の配向状態を示す図である。 (d) は、液晶配向膜が互いに直角で、ラビング処理
の方向が紙面の前から後の方向であるときの検討した液
晶の配向状態を示す図である。
【図6】インヂウムチンオキサイド(ITO)透明電極
の1.5 μm 帯における透過率の膜厚依存性を示す
図てある。
【図7】(a) は、本発明の液晶エタロン形可変波長
フィルタの電圧無印加時の透過スペクトルを示す図であ
る。 (b) は、本発明の液晶エタロン形可変波長フィルタ
の電圧印加時(V=10V)の透過スペクトルを示す図
である。 (c) は、(a) 図に示す透過スペクトルの拡大図
である。
【図8】本発明は液晶エタロン形可変波長フィルタのピ
ーク波長の印加電圧依存性を示す図である。
【符号の説明】
1  ガラス基板 2  無反射コート 3  透明電極 4  誘電体ミラー 5  液晶配向膜 6  液晶 7  スペーサ 8  リード線 9  液晶分子

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  ガラス基板上に透明電極、誘電体ミラ
    ー、液晶用配向膜を付けた1対の基板で液晶層をサンド
    イッチした構造を持つ可変波長フィルタにおいて、前記
    液晶用配向膜が前記基板を対向させた場合に互いに反平
    行になるようにラビング処理されており、充填される液
    晶がマネチック形であることを特徴とする可変波長フィ
    ルタ。
  2. 【請求項2】  前記透明電極がガラス基板と誘電体ミ
    ラーの間に配置されていることを特徴とする請求項1に
    記載の可変波長フィルタ。
  3. 【請求項3】  前記透明電極が50nm以下のインジ
    ュムオキサイドであり、前記液晶用配向膜の厚さが10
    0nm 以下であり、前記誘電体ミラーの反射率が98
    %以上であることを特徴とする請求項1または請求項2
    に記載の可変波長フィルタ。
JP41273690A 1990-12-21 1990-12-21 可変波長フィルタ Pending JPH04220618A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5592314A (en) * 1993-12-02 1997-01-07 Yazaki Corporation Tunable wavelength filter formed by 2 lcds in series having opposite twist angles of n*π/2 and a dielectric mirror layer on each substrate
EP0903615A3 (en) * 1997-09-19 2000-01-12 Nippon Telegraph and Telephone Corporation Tunable wavelength-selective filter and its manufacturing method
JP2011107452A (ja) * 2009-11-18 2011-06-02 Citizen Finetech Miyota Co Ltd 液晶光学変調素子

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EP0903615A3 (en) * 1997-09-19 2000-01-12 Nippon Telegraph and Telephone Corporation Tunable wavelength-selective filter and its manufacturing method
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