JPH0422958A - 露光装置用冷却構造 - Google Patents
露光装置用冷却構造Info
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- JPH0422958A JPH0422958A JP2128649A JP12864990A JPH0422958A JP H0422958 A JPH0422958 A JP H0422958A JP 2128649 A JP2128649 A JP 2128649A JP 12864990 A JP12864990 A JP 12864990A JP H0422958 A JPH0422958 A JP H0422958A
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- Japan
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- cooling
- back surface
- mirror
- pipe
- heat
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/181—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
- G02B7/1815—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation with cooling or heating systems
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は光源に対する反射鏡および露光装置用のコール
ドミラーなどの熱吸収手段に関するものである。
ドミラーなどの熱吸収手段に関するものである。
プリント配線基板の露光焼付装置の従来例としては、添
付図面の第３図に示した装置が知られている。この装置
の光源３２は、紫外線発光管型と称する水銀ランプを使
用し、曲面の反射鏡３１を具備している。この反射鏡３
１の背面には、放熱フィンＩ３を有するアルミニウム素
材からなる引抜成形物の反射鏡ベース１４が圧着され、
この放熱フィン１３は突出して放熱面を形成している。
付図面の第３図に示した装置が知られている。この装置
の光源３２は、紫外線発光管型と称する水銀ランプを使
用し、曲面の反射鏡３１を具備している。この反射鏡３
１の背面には、放熱フィンＩ３を有するアルミニウム素
材からなる引抜成形物の反射鏡ベース１４が圧着され、
この放熱フィン１３は突出して放熱面を形成している。
この放熱フィン１３と、パイプ止めＩ５をもって冷却パ
イプ１６を挟持している。この冷却パイプ１６内には冷
却液を流通し、放熱フィン１３を冷却し、光源３２より
発生する熱を吸収する。反射鏡３１の表面には薄い高純
度のアルミニウムで形成した交換反射鏡１７を反射膜と
して使用する。
イプ１６を挟持している。この冷却パイプ１６内には冷
却液を流通し、放熱フィン１３を冷却し、光源３２より
発生する熱を吸収する。反射鏡３１の表面には薄い高純
度のアルミニウムで形成した交換反射鏡１７を反射膜と
して使用する。
しかしながら、この反射膜は長時間の使用によると反射
能力が低下するので交換する必要がある。
能力が低下するので交換する必要がある。
第３図に示したものを２個合わせると第４図に示す交換
反射鏡１７ａとなり、さらにこの交換反射鏡１７ａを筐
体２７に収納した状態を第５図に示す。この交換反射鏡
１７ａは開口部１８より工ヤーを取入れて、排気口１９
より排出して筐体２７の内部を冷却する。なお、２０は
鏡体ヘースである。
反射鏡１７ａとなり、さらにこの交換反射鏡１７ａを筐
体２７に収納した状態を第５図に示す。この交換反射鏡
１７ａは開口部１８より工ヤーを取入れて、排気口１９
より排出して筐体２７の内部を冷却する。なお、２０は
鏡体ヘースである。
〔発明が解決しようとする課題］
以上説明した従来例の構成においては、次のような問題
点が発生していた。
点が発生していた。
■ 構造が複雑で製作費が嵩む。
■ 反射鏡面などは光源から発生した熱に対して冷却す
るような手段がなかった。
るような手段がなかった。
■ 露光室内の温度上昇を防止するために室内の空気を
室外に排出しようとすると室内に塵埃が舞い上り、その
微粉体が露光フィルム面に落下して精密画像の再現がで
きず、製品汚染が多発するに拘わらず、その防止手段が
困難であった。
室外に排出しようとすると室内に塵埃が舞い上り、その
微粉体が露光フィルム面に落下して精密画像の再現がで
きず、製品汚染が多発するに拘わらず、その防止手段が
困難であった。
［課題を解決するための手段］
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
、冷却液を循環流通させる冷却パイプと、上記冷却パイ
プを挟持すべく金属板を折り曲げると共に底面をも形成
したパイプ止めと、上記パイプ止めの底面外側が接着剤
により耐熱性弾性体を固着された固定部材とによりビー
１−シンクを形成し、上記ヒートシンクの冷却パイプの
外表面に、露光装置用の平らなコールドミラーの背面２
曲面を有するコールドミラーの背面、透光性の窓の背面
を圧接固定して構成することを特徴とする。
、冷却液を循環流通させる冷却パイプと、上記冷却パイ
プを挟持すべく金属板を折り曲げると共に底面をも形成
したパイプ止めと、上記パイプ止めの底面外側が接着剤
により耐熱性弾性体を固着された固定部材とによりビー
１−シンクを形成し、上記ヒートシンクの冷却パイプの
外表面に、露光装置用の平らなコールドミラーの背面２
曲面を有するコールドミラーの背面、透光性の窓の背面
を圧接固定して構成することを特徴とする。
（作用〕
本発明は上記の構成によって、コールドミラーが冷却パ
イプに圧接しているために、吸収した赤外線による熱は
、冷却パイプ内の循環冷却液に吸収され、かつ露光室外
に流出される。従って、露光室内の温度は上昇すること
なく、従来例におけるような露光室内の温度上昇による
製品の歩出りの悪化を除去できる。また露光室内の空気
を排除する必要がないので、露光フィルムに塵埃も耐着
しない。
イプに圧接しているために、吸収した赤外線による熱は
、冷却パイプ内の循環冷却液に吸収され、かつ露光室外
に流出される。従って、露光室内の温度は上昇すること
なく、従来例におけるような露光室内の温度上昇による
製品の歩出りの悪化を除去できる。また露光室内の空気
を排除する必要がないので、露光フィルムに塵埃も耐着
しない。
以下に、本発明の実施例を図面に従って説明する。第１
図は、本発明の反射鏡１の縦断面図である。第２図は露
光装置を構成する反射鏡、光源コールドミラーなどの配
置説明図である。同図において、ｌは反射鏡、２は紫外
線発光管形と称される水銀ランプを備えて両面焼付は可
能とするもので、２９はコールドミラー、２８は平面鏡
、２１は露光される例えば銅張り積層板、２２はフライ
アイレンズ、２６はハーフミラ−１２３は反射鏡１を空
冷する送風器、２４．２５は送風器２３への流入、排出
空気の方向を示す。光＃２に対向する反射鏡１の背面に
は、第１図に示すように、冷却パイプ３を蛇行配列し、
しかもその冷却パイプ３をアルミニウム金属などを折り
曲げると共に底面を成形したパイプ止め４によって挟持
する。
図は、本発明の反射鏡１の縦断面図である。第２図は露
光装置を構成する反射鏡、光源コールドミラーなどの配
置説明図である。同図において、ｌは反射鏡、２は紫外
線発光管形と称される水銀ランプを備えて両面焼付は可
能とするもので、２９はコールドミラー、２８は平面鏡
、２１は露光される例えば銅張り積層板、２２はフライ
アイレンズ、２６はハーフミラ−１２３は反射鏡１を空
冷する送風器、２４．２５は送風器２３への流入、排出
空気の方向を示す。光＃２に対向する反射鏡１の背面に
は、第１図に示すように、冷却パイプ３を蛇行配列し、
しかもその冷却パイプ３をアルミニウム金属などを折り
曲げると共に底面を成形したパイプ止め４によって挟持
する。
冷却パイプ３はゴム管または、プラスチック製のパイプ
であって、繊維などを使用したホース類は冷却効果の点
で適当でない。また反射鏡１の中央部分は、周辺部分よ
り焼付露光の強さが大なので、冷却パイプ３の配設は中
央部に密に、周辺部が疎になるようにすると冷却が均一
に効果的である。
であって、繊維などを使用したホース類は冷却効果の点
で適当でない。また反射鏡１の中央部分は、周辺部分よ
り焼付露光の強さが大なので、冷却パイプ３の配設は中
央部に密に、周辺部が疎になるようにすると冷却が均一
に効果的である。
パイプ止め４の底面外側にはシリコンゴムのような耐熱
性弾性体５を接着して固定部材７としての塩ビ樹脂、ま
たは金属板に固定させる。前記冷却パイプ３と、パイプ
止め４と、パイプ止め４の底面が接着剤により前記耐熱
性弾性体５を介して固着された固定部材７とによりヒー
トシンクを形成し、上記ヒートシンクの冷却パイプの外
表面は前記反射鏡１の背面に圧接固定されている。また
、冷却パイプ３の配設は反射鏡１の背面の他に、露光装
置を構成している平面コールドミラー、曲面コールドミ
ラーなどの背面に同様に圧接させてもよい。さらに、１
１は反射鏡１の開口部に付設した円形のガラス製窓であ
るが、この窓１１の外周縁に前記ヒートシンクを圧着さ
せてもよい。すなわち具体的には、窓１１の外周縁１１
ａには２組の円形の冷却パイ、ブ８ａ、８ｂが設けられ
、この冷却パイプはアルミニューム板を折り曲げて形成
したパイプ止め４に挟持され、このパイプ止め４に形成
した底面はシリコンゴムのような耐熱性弾性体５を接着
して金属板部材９に固定されている。
性弾性体５を接着して固定部材７としての塩ビ樹脂、ま
たは金属板に固定させる。前記冷却パイプ３と、パイプ
止め４と、パイプ止め４の底面が接着剤により前記耐熱
性弾性体５を介して固着された固定部材７とによりヒー
トシンクを形成し、上記ヒートシンクの冷却パイプの外
表面は前記反射鏡１の背面に圧接固定されている。また
、冷却パイプ３の配設は反射鏡１の背面の他に、露光装
置を構成している平面コールドミラー、曲面コールドミ
ラーなどの背面に同様に圧接させてもよい。さらに、１
１は反射鏡１の開口部に付設した円形のガラス製窓であ
るが、この窓１１の外周縁に前記ヒートシンクを圧着さ
せてもよい。すなわち具体的には、窓１１の外周縁１１
ａには２組の円形の冷却パイ、ブ８ａ、８ｂが設けられ
、この冷却パイプはアルミニューム板を折り曲げて形成
したパイプ止め４に挟持され、このパイプ止め４に形成
した底面はシリコンゴムのような耐熱性弾性体５を接着
して金属板部材９に固定されている。
この金属板部材９はガラス製窓１１を挿通したボルト１
０と蝶ねじ１２とによって窓１１に締め付は保持されて
いる。なお、１３は強制空冷路である。
０と蝶ねじ１２とによって窓１１に締め付は保持されて
いる。なお、１３は強制空冷路である。
本実施例は上記構成によって、冷却パイプ３および８ａ
、８ｂに冷却液を循環流通させると、冷却バイブ３．８
ａ、８ｂがそれぞれ付設された反射鏡１、反射鏡の窓１
１が冷却される。また、耐熱性弾性体５はパイプ止め４
からの熱を吸収するので、耐熱性で且つ弾性を有するシ
リコンゴムのような素材を使用することにより熱による
老化を防止できる。
、８ｂに冷却液を循環流通させると、冷却バイブ３．８
ａ、８ｂがそれぞれ付設された反射鏡１、反射鏡の窓１
１が冷却される。また、耐熱性弾性体５はパイプ止め４
からの熱を吸収するので、耐熱性で且つ弾性を有するシ
リコンゴムのような素材を使用することにより熱による
老化を防止できる。
〔発明の効果］
本発明は、光源に対向する反射鏡の背面、平らなコール
ドミラーの背面１曲面を有するコールドミラーの背面、
透光性の窓の背面に冷却液を循環流通する冷却バイブを
蛇行配設し、パイプ止めをもって挟持し、この挟持部材
としてのパイプ止めの底面に耐熱性弾性体のシリコンゴ
ムを接着し固定部材に固定してヒートシンクを形成し、
赤外線の熱を透過する反射鏡や、紫外線のみを反射する
コールドミラー類の背面にヒートシンクの冷却バイブの
外表面を圧接し、冷却パイプ中には冷却液が流通するた
め、従来例に比し、冷却装置の製作費が安価になり、且
つまた、従来の冷却手段の無かった反射鏡の鏡面の冷却
を可能とした。またこのような冷却構造を、乾燥器や、
露光装置に使用しても、強制空冷などのように塵埃発生
もなく、プリント基板の露光や、乾燥にも大きい実用的
な効果を奏する。
ドミラーの背面１曲面を有するコールドミラーの背面、
透光性の窓の背面に冷却液を循環流通する冷却バイブを
蛇行配設し、パイプ止めをもって挟持し、この挟持部材
としてのパイプ止めの底面に耐熱性弾性体のシリコンゴ
ムを接着し固定部材に固定してヒートシンクを形成し、
赤外線の熱を透過する反射鏡や、紫外線のみを反射する
コールドミラー類の背面にヒートシンクの冷却バイブの
外表面を圧接し、冷却パイプ中には冷却液が流通するた
め、従来例に比し、冷却装置の製作費が安価になり、且
つまた、従来の冷却手段の無かった反射鏡の鏡面の冷却
を可能とした。またこのような冷却構造を、乾燥器や、
露光装置に使用しても、強制空冷などのように塵埃発生
もなく、プリント基板の露光や、乾燥にも大きい実用的
な効果を奏する。
第１図は本発明に係わる反射鏡の継断面図、第２図は本
発明ムこ係わる露光装置を構成する反射鏡、光源、コー
ル１′ミラーなどの配設説明図、第３図は従来の曲面反
射鏡の部分縦断面図であり、第４図は従来方式の反射鏡
の一例の縦断面図、第５図は従来方式の筐体に収納され
た反射鏡の一部破断断面図である。 １・・・反射鏡 ２・・・光源３・・・冷却
バイブ ４・・・パイプ止め５・・・耐熱性弾性
体 ６・・・鏡面７・・・固定部材 ８ａ、８ｂ・・・冷却バイブ ９・・・金属板部材 ０・・・ボルト ■ ■・・・窓 ２・・・蝶ねじ 特 許 出 願 人 株式会社 オーク製作所
発明ムこ係わる露光装置を構成する反射鏡、光源、コー
ル１′ミラーなどの配設説明図、第３図は従来の曲面反
射鏡の部分縦断面図であり、第４図は従来方式の反射鏡
の一例の縦断面図、第５図は従来方式の筐体に収納され
た反射鏡の一部破断断面図である。 １・・・反射鏡 ２・・・光源３・・・冷却
バイブ ４・・・パイプ止め５・・・耐熱性弾性
体 ６・・・鏡面７・・・固定部材 ８ａ、８ｂ・・・冷却バイブ ９・・・金属板部材 ０・・・ボルト ■ ■・・・窓 ２・・・蝶ねじ 特 許 出 願 人 株式会社 オーク製作所
Claims (1)
- 冷却液を循環流通させる冷却パイプと、上記冷却パイ
プを挟持すべく金属板を折り曲げると共に底面をも形成
したパイプ止めと、上記パイプ止めの底面外側が接着剤
により耐熱性弾性体を介して固着された固定部材とによ
りヒートシンクを形成し、上記ヒートシンクの冷却パイ
プの外表面に、露光装置用の平らなコールドミラーの背
面、曲面を有するコールドミラーの背面、透光性の窓の
背面を圧接固定して構成することを特徴とする露光装置
用冷却構造。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2128649A JPH0675200B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 露光装置用冷却構造 |
| US07/699,617 US5150253A (en) | 1990-05-18 | 1991-05-15 | Reflective mirror having cooling unit attached thereto |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2128649A JPH0675200B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 露光装置用冷却構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0422958A true JPH0422958A (ja) | 1992-01-27 |
| JPH0675200B2 JPH0675200B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=14990035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2128649A Expired - Lifetime JPH0675200B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 露光装置用冷却構造 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5150253A (ja) |
| JP (1) | JPH0675200B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5696623A (en) * | 1993-08-05 | 1997-12-09 | Fujitsu Limited | UV exposure with elongated service lifetime |
| JP2005175187A (ja) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Canon Inc | 光学部材、冷却方法、冷却装置、露光装置、デバイス製造方法、及びデバイス |
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| JPH06331812A (ja) * | 1993-05-18 | 1994-12-02 | Ekuesutorian:Kk | 冷却反射鏡装置 |
| ES2155600T3 (es) * | 1995-03-15 | 2001-05-16 | Nlm Combineering Aps | Procedimiento para activar fotoiniciadores en sustratos fotosensibles y aparato para endurecer tales sustratos. |
| JP3094902B2 (ja) * | 1996-03-27 | 2000-10-03 | ウシオ電機株式会社 | 紫外線照射装置 |
| JPH09281060A (ja) * | 1996-04-08 | 1997-10-31 | Ekuesu Torian:Kk | 携帯用反射鏡の固定カバー装置 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0675200B2 (ja) | 1994-09-21 |
| US5150253A (en) | 1992-09-22 |
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