JPH0423131U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0423131U JPH0423131U JP6364790U JP6364790U JPH0423131U JP H0423131 U JPH0423131 U JP H0423131U JP 6364790 U JP6364790 U JP 6364790U JP 6364790 U JP6364790 U JP 6364790U JP H0423131 U JPH0423131 U JP H0423131U
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- JP
- Japan
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- treated
- horizontally
- notch
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- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図は一実施例を示す斜視図、第２図は他の
実施例においてシリコンウエハを装着した状態を
示す部分垂直断面図、第３図は従来の石英ボート
を示す斜視図、第４図は第３図のＡ−Ａ′線位置
での断面図、第５図は第３図の石英ボートにシリ
コンウエハを装着した状態を示す補強材部分の垂
直断面図である。 ２……石英製支柱、４，６……石英板、８……
補強材としてのシリコンウエハ、１０……切欠き
、１２……装着されたシリコンウエハ。
実施例においてシリコンウエハを装着した状態を
示す部分垂直断面図、第３図は従来の石英ボート
を示す斜視図、第４図は第３図のＡ−Ａ′線位置
での断面図、第５図は第３図の石英ボートにシリ
コンウエハを装着した状態を示す補強材部分の垂
直断面図である。 ２……石英製支柱、４，６……石英板、８……
補強材としてのシリコンウエハ、１０……切欠き
、１２……装着されたシリコンウエハ。
Claims (1)
- 複数本の石英製支柱が垂直に組み立てられ、各
支柱の内側には被処理物を水平方向に支持する切
欠きが設けられ、各支柱間には被処理物と同一形
状で同一材質の補強材が水平方向に配置されて支
柱に取りつけられている縦型加熱炉の石英ボート
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6364790U JPH0423131U (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6364790U JPH0423131U (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0423131U true JPH0423131U (ja) | 1992-02-26 |
Family
ID=31593887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6364790U Pending JPH0423131U (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0423131U (ja) |
-
1990
- 1990-06-15 JP JP6364790U patent/JPH0423131U/ja active Pending