JPH04231482A - 液体により三次元の加工物を処理する装置 - Google Patents
液体により三次元の加工物を処理する装置Info
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- JPH04231482A JPH04231482A JP16646991A JP16646991A JPH04231482A JP H04231482 A JPH04231482 A JP H04231482A JP 16646991 A JP16646991 A JP 16646991A JP 16646991 A JP16646991 A JP 16646991A JP H04231482 A JPH04231482 A JP H04231482A
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 36
- 238000009527 percussion Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000001020 rhythmical effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 18
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 18
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 9
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 9
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 6
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 4
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N lead tin Chemical compound [Sn].[Pb] LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/068—Apparatus for etching printed circuits
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、特に集積された導体
列を有する三次元の射出成形部品を腐食するために、液
体により三次元の加工物を処理する装置に関する。
列を有する三次元の射出成形部品を腐食するために、液
体により三次元の加工物を処理する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント配線板の加工にあたっては、導
体列が電気めっき工程の際に純スズ又は鉛スズ合金のよ
うな金属レジストにより覆われるが、腐食による導体パ
ターンの形成は多くの場合水平な連続通過設備中で行わ
れる。腐食室を通ってプリント配線板を連続的に搬送す
るための搬送装置としては駆動されるローラが用いられ
、その際腐食室の入口及び出口に配置された絞りローラ
対が腐食液の搬出をほぼ防止する。プリント配線板上に
腐食液を塗布するために腐食室の内部には振動するノズ
ル管が設けられ、その噴射ノズルから腐食液が上及び下
に向かって水平方向に通過するプリント配線板に対し噴
射される。腐食後にプリント配線板は複数の洗浄装置を
通過し、これらの洗浄装置は同様に搬送装置の上方及び
下方に噴射ノズルを配置された水平な連続通過設備とし
て構成されている。
体列が電気めっき工程の際に純スズ又は鉛スズ合金のよ
うな金属レジストにより覆われるが、腐食による導体パ
ターンの形成は多くの場合水平な連続通過設備中で行わ
れる。腐食室を通ってプリント配線板を連続的に搬送す
るための搬送装置としては駆動されるローラが用いられ
、その際腐食室の入口及び出口に配置された絞りローラ
対が腐食液の搬出をほぼ防止する。プリント配線板上に
腐食液を塗布するために腐食室の内部には振動するノズ
ル管が設けられ、その噴射ノズルから腐食液が上及び下
に向かって水平方向に通過するプリント配線板に対し噴
射される。腐食後にプリント配線板は複数の洗浄装置を
通過し、これらの洗浄装置は同様に搬送装置の上方及び
下方に噴射ノズルを配置された水平な連続通過設備とし
て構成されている。
【０００３】集積された導体列を備える三次元の射出成
形部品の加工にあたっては、平形のプリント配線板のた
めに開発された腐食装置及び洗浄装置は多くの理由から
採用することができない。すなわちこれらの装置の搬送
装置は三次元の射出成形部品の搬送に適しておらず、そ
の際特に絞りローラ対による処理室の出入り口の仕切り
をなくさなければならない。水平な通過軌道の上方及び
下方に配置された噴射ノズルによる三次元の射出成形部
品の均一な腐食は同様に不可能である。しかしながら最
大の問題は三次元の加工物の中空室、ポケット及び凹所
中に集まる腐食液及び洗浄液の伴出である。例えば射出
成形部品による腐食室からの腐食液の伴出は、浴管理が
もはや不可能となるほど大きい。更に腐食液の多量の伴
出は洗浄水に相応の負荷を生じ、従って下水処理上に大
きい問題を招く。
形部品の加工にあたっては、平形のプリント配線板のた
めに開発された腐食装置及び洗浄装置は多くの理由から
採用することができない。すなわちこれらの装置の搬送
装置は三次元の射出成形部品の搬送に適しておらず、そ
の際特に絞りローラ対による処理室の出入り口の仕切り
をなくさなければならない。水平な通過軌道の上方及び
下方に配置された噴射ノズルによる三次元の射出成形部
品の均一な腐食は同様に不可能である。しかしながら最
大の問題は三次元の加工物の中空室、ポケット及び凹所
中に集まる腐食液及び洗浄液の伴出である。例えば射出
成形部品による腐食室からの腐食液の伴出は、浴管理が
もはや不可能となるほど大きい。更に腐食液の多量の伴
出は洗浄水に相応の負荷を生じ、従って下水処理上に大
きい問題を招く。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、用
いられた液体の搬出を大幅に防止できるような、液体に
よる三次元の加工物の処理装置を提供することにある。 更に加工物の腐食処理の際に、均一な腐食を可能にしよ
うとするものである。
いられた液体の搬出を大幅に防止できるような、液体に
よる三次元の加工物の処理装置を提供することにある。 更に加工物の腐食処理の際に、均一な腐食を可能にしよ
うとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この課題はこの発明に基
づき、液体を加工物に噴射するノズル管を装備した少な
くとも一つの処理室と、少なくとも一つの加工物を支持
する支持体と、水平な搬送方向へ処理室の中を又はこれ
を通り抜けて加工物支持体を律動的に搬送する搬送装置
とを備え、加工物から液体を流出させるために、加工物
支持体が水平にかつ搬送方向に対し直角に向いた軸線を
中心として回転させられ、また加工物上に残っている液
体残部を振り飛ばすために、加工物支持体が遠心分離運
動及び／又は打撃運動を与えられることを特徴とする、
特に集積された導体列を有する三次元の射出成形部品を
腐食するために液体により三次元の加工物を処理する装
置により解決される。
づき、液体を加工物に噴射するノズル管を装備した少な
くとも一つの処理室と、少なくとも一つの加工物を支持
する支持体と、水平な搬送方向へ処理室の中を又はこれ
を通り抜けて加工物支持体を律動的に搬送する搬送装置
とを備え、加工物から液体を流出させるために、加工物
支持体が水平にかつ搬送方向に対し直角に向いた軸線を
中心として回転させられ、また加工物上に残っている液
体残部を振り飛ばすために、加工物支持体が遠心分離運
動及び／又は打撃運動を与えられることを特徴とする、
特に集積された導体列を有する三次元の射出成形部品を
腐食するために液体により三次元の加工物を処理する装
置により解決される。
【０００６】
【作用効果】従ってこの発明に基づく装置においては、
加工物の搬送のために、搬送装置と共にまず処理室中へ
入れられそれぞれの処理の終了後に初めて搬出される加
工物支持体が用いられる。その際加工物の非連続的な搬
送により処理室の出入り口の閉鎖が可能となる。そして
それぞれの処理室の内部では加工物支持体は処理の後に
、水平にかつ搬送方向に対し直角に向いた軸線を中心と
して回転させることができ、それにより加工物中に残っ
ている液体を流出させることができる。この流出後にな
お加工物上に残っている液体残部は、同様に加工物支持
体によりほぼ振り飛ばされる。この振り飛ばしは加工物
支持体の遠心分離運動により又は加工物支持体上に作用
する打撃運動により行われ、その際遠心分離運動と打撃
運動とを組み合わせることもできる。
加工物の搬送のために、搬送装置と共にまず処理室中へ
入れられそれぞれの処理の終了後に初めて搬出される加
工物支持体が用いられる。その際加工物の非連続的な搬
送により処理室の出入り口の閉鎖が可能となる。そして
それぞれの処理室の内部では加工物支持体は処理の後に
、水平にかつ搬送方向に対し直角に向いた軸線を中心と
して回転させることができ、それにより加工物中に残っ
ている液体を流出させることができる。この流出後にな
お加工物上に残っている液体残部は、同様に加工物支持
体によりほぼ振り飛ばされる。この振り飛ばしは加工物
支持体の遠心分離運動により又は加工物支持体上に作用
する打撃運動により行われ、その際遠心分離運動と打撃
運動とを組み合わせることもできる。
【０００７】加工物の非連続的な搬送は、搬送装置が、
搬送路の両側に配置されかつ搬送方向へ往復運動する搬
送棒と、搬送棒上に配置された加工物支持体のための連
動体とを備えることにより、特に少ない出費で実現する
ことができる。
搬送路の両側に配置されかつ搬送方向へ往復運動する搬
送棒と、搬送棒上に配置された加工物支持体のための連
動体とを備えることにより、特に少ない出費で実現する
ことができる。
【０００８】この発明に基づく装置の別の有利な実施態
様によれば、処理室の出入り口は引き戸又は開き戸によ
り閉鎖可能である。この引き戸又は開き戸は特に腐食処
理の場合に腐食室からの腐食剤蒸気の流出を確実に防止
することができる。
様によれば、処理室の出入り口は引き戸又は開き戸によ
り閉鎖可能である。この引き戸又は開き戸は特に腐食処
理の場合に腐食室からの腐食剤蒸気の流出を確実に防止
することができる。
【０００９】液体の流出後に加工物上に残っている液体
残部の除去を遠心分離運動により行うならば、この除去
は特に容易な方法で加工物支持体の軸線を中心とする遠
心分離運動により実現することができる。
残部の除去を遠心分離運動により行うならば、この除去
は特に容易な方法で加工物支持体の軸線を中心とする遠
心分離運動により実現することができる。
【００１０】液体の流出後に加工物上に残っている液体
残部の振り飛ばしは、加工物支持体が搬送路の両側に配
置されたノック装置により打撃運動を与えられるときに
特に有効である。その際ノック装置がそれぞれ加工物支
持体のための案内部品と、この案内部品上に作用するカ
ムとにより構成されるのが有利である。このノック装置
の効果は、案内部品がカムによりばねの力に逆らって持
ち上げられることにより一層改善することができる。構
造の一層の簡単化は、案内部品のうちの一つが加工物支
持体の回転のための連動体として構成されることにより
達成される。
残部の振り飛ばしは、加工物支持体が搬送路の両側に配
置されたノック装置により打撃運動を与えられるときに
特に有効である。その際ノック装置がそれぞれ加工物支
持体のための案内部品と、この案内部品上に作用するカ
ムとにより構成されるのが有利である。このノック装置
の効果は、案内部品がカムによりばねの力に逆らって持
ち上げられることにより一層改善することができる。構
造の一層の簡単化は、案内部品のうちの一つが加工物支
持体の回転のための連動体として構成されることにより
達成される。
【００１１】アンダーカットが最小であってできるだけ
均一な腐食を得るには、ノズル管が水平にかつ搬送方向
に対し直角に整列しているのが特に有利である。その際
ノズル管が長手方向に振動する運動及び／又はノズル管
の長手軸線を中心として振動する傾動運動を行うように
することができる。
均一な腐食を得るには、ノズル管が水平にかつ搬送方向
に対し直角に整列しているのが特に有利である。その際
ノズル管が長手方向に振動する運動及び／又はノズル管
の長手軸線を中心として振動する傾動運動を行うように
することができる。
【００１２】
【実施例】次にこの発明に基づく処理装置の一実施例を
示す図面により、この発明を詳細に説明する。
示す図面により、この発明を詳細に説明する。
【００１３】図１は、三次元の加工物Ｗのためのアンモ
ニア性腐食ラインの部分図を示し、加工物は水平な搬送
方向Ｈへ処理室Ｂ、Ｂ１を通って導かれる。図１に前部
を省略して示された処理室Ｂは腐食室であり、一方これ
に続く処理室Ｂ１は例えば洗浄室である。
ニア性腐食ラインの部分図を示し、加工物は水平な搬送
方向Ｈへ処理室Ｂ、Ｂ１を通って導かれる。図１に前部
を省略して示された処理室Ｂは腐食室であり、一方これ
に続く処理室Ｂ１は例えば洗浄室である。
【００１４】加工物Ｗは集積された導体列を備える三次
元の射出成形部品である。図示の実施例ではこの加工物
Ｗは箱形に構成され、４個ずつ対を成して向かい合い加
工物支持体Ｗｔ上に上側及び下側の弾性保持クリップＨ
Ｋにより取り付けられている。加工物支持体Ｗｔは加工
物Ｗと共に、処理室Ｂの前の図１には示されていない開
放された搬送路中で、搬送装置Ｔの中へ入れられる。こ
の装入は人手により又は自動積み込み装置により行うこ
とができる。
元の射出成形部品である。図示の実施例ではこの加工物
Ｗは箱形に構成され、４個ずつ対を成して向かい合い加
工物支持体Ｗｔ上に上側及び下側の弾性保持クリップＨ
Ｋにより取り付けられている。加工物支持体Ｗｔは加工
物Ｗと共に、処理室Ｂの前の図１には示されていない開
放された搬送路中で、搬送装置Ｔの中へ入れられる。こ
の装入は人手により又は自動積み込み装置により行うこ
とができる。
【００１５】搬送装置Ｔは、搬送路の両側に配置され搬
送方向Ｈへ往復運動する搬送棒Ｔｓと、これらの搬送棒
Ｔｓ上に配置された連動体Ｍとを備える。回転可能な搬
送棒Ｔｓ上に偏心して配置されたこれらの連動体Ｍは、
図示の垂直に上に向いた位置において加工物支持体Ｗｔ
の円筒形端部をつかむ。搬送棒Ｔｓが１８０°回転させ
られると、連動体Ｍは加工物支持体Ｗｔを解放する。搬
送装置Ｔに対して重要な運動の進行は矢印Ｐｆ１〜Ｐｆ
３により示され、その際Ｐｆ１はいわゆるステップアン
ドリピート法に基づき腐食ラインを通る加工物支持体Ｗ
ｔの律動的な搬送を意味する。矢印Ｐｆ２は搬送棒Ｔｓ
の往復運動を示し、この運動は例えば図示されていない
空圧式作動シリンダを介して行われる。矢印Ｐｆ３は個
々の加工物支持体Ｗｔの把握または解放のための搬送棒
Ｔｓ及び連動体Ｍの回転を示す。
送方向Ｈへ往復運動する搬送棒Ｔｓと、これらの搬送棒
Ｔｓ上に配置された連動体Ｍとを備える。回転可能な搬
送棒Ｔｓ上に偏心して配置されたこれらの連動体Ｍは、
図示の垂直に上に向いた位置において加工物支持体Ｗｔ
の円筒形端部をつかむ。搬送棒Ｔｓが１８０°回転させ
られると、連動体Ｍは加工物支持体Ｗｔを解放する。搬
送装置Ｔに対して重要な運動の進行は矢印Ｐｆ１〜Ｐｆ
３により示され、その際Ｐｆ１はいわゆるステップアン
ドリピート法に基づき腐食ラインを通る加工物支持体Ｗ
ｔの律動的な搬送を意味する。矢印Ｐｆ２は搬送棒Ｔｓ
の往復運動を示し、この運動は例えば図示されていない
空圧式作動シリンダを介して行われる。矢印Ｐｆ３は個
々の加工物支持体Ｗｔの把握または解放のための搬送棒
Ｔｓ及び連動体Ｍの回転を示す。
【００１６】腐食室として構成された処理室Ｂの内部に
は液体Ｆにより加工物Ｗを噴射するノズル管Ｄが設けら
れ、この液体はここではアンモニア性腐食液である。平
形放射ノズルＦｄを装備したノズル管Ｄは水平にかつ搬
送方向Ｈに対し垂直に整列している。ノズル管Ｄは対を
成して配置されたローラＲｏ中を導かれるので、ノズル
管は長手方向に速く振動する運動を行うことができ、こ
の運動は矢印ＯＬにより示されている。この長手方向に
振動する運動ＯＬは場合により傾動運動と組み合わせる
ことができ、この傾動運動は矢印ＯＳにより示されてい
る。
は液体Ｆにより加工物Ｗを噴射するノズル管Ｄが設けら
れ、この液体はここではアンモニア性腐食液である。平
形放射ノズルＦｄを装備したノズル管Ｄは水平にかつ搬
送方向Ｈに対し垂直に整列している。ノズル管Ｄは対を
成して配置されたローラＲｏ中を導かれるので、ノズル
管は長手方向に速く振動する運動を行うことができ、こ
の運動は矢印ＯＬにより示されている。この長手方向に
振動する運動ＯＬは場合により傾動運動と組み合わせる
ことができ、この傾動運動は矢印ＯＳにより示されてい
る。
【００１７】長手方向運動ＯＬを発生させるためにノズ
ル管Ｄはノズル管支持体ＤＴに取り付けられ、この支持
体の歯切部ＶｚはピニオンＲ及び固定配置されたラック
Ｚｓと協働する。ピニオンＲが図示されていない空圧式
作動シリンダを介して二重矢印Ｐｆ４の方向へ往復運動
させられると、ノズル管Ｄの往復運動が２倍の速度と２
倍の行程で起こる。
ル管Ｄはノズル管支持体ＤＴに取り付けられ、この支持
体の歯切部ＶｚはピニオンＲ及び固定配置されたラック
Ｚｓと協働する。ピニオンＲが図示されていない空圧式
作動シリンダを介して二重矢印Ｐｆ４の方向へ往復運動
させられると、ノズル管Ｄの往復運動が２倍の速度と２
倍の行程で起こる。
【００１８】図１に示された位置と対照的に加工物Ｗは
腐食工程の際に、腐食液の一層良好な交換及び均一な噴
射強度を達成するために、加工物支持体Ｗｔの９０°の
回転により垂直に配置される。腐食工程の後に加工物Ｗ
は加工物支持体Ｗｔを介して図示の水平位置へ回転させ
られるので、加工物は問題なく滑り戸Ｓｔを通り抜けて
次の処理室Ｂ１中へ搬送することができる。滑り戸Ｓｔ
の開放及び閉鎖運動は二重矢印Ｐｆ５により示されてい
る。
腐食工程の際に、腐食液の一層良好な交換及び均一な噴
射強度を達成するために、加工物支持体Ｗｔの９０°の
回転により垂直に配置される。腐食工程の後に加工物Ｗ
は加工物支持体Ｗｔを介して図示の水平位置へ回転させ
られるので、加工物は問題なく滑り戸Ｓｔを通り抜けて
次の処理室Ｂ１中へ搬送することができる。滑り戸Ｓｔ
の開放及び閉鎖運動は二重矢印Ｐｆ５により示されてい
る。
【００１９】次の処理室Ｂ１中への腐食液の伴出を防止
するために、加工物Ｗは水平にかつ搬送方向Ｈに対し直
角に整列した加工物支持体Ｗｔの軸線Ａを中心として回
転させられるので、腐食液は流出することができる。こ
の回転は二重矢印Ｐｆ６により示されている。回転Ｐｆ
６はカルダン軸Ｇｗを介して伝達され、カルダン軸の端
部には加工物支持体Ｗｔのための搬送路の両側に配置さ
れたＵ字形案内部Ｕの分離した案内部品Ｆｔが取り付け
られている。この案内部品Ｆｔは横ピンＱを介して加工
物支持体Ｗｔを連動する。
するために、加工物Ｗは水平にかつ搬送方向Ｈに対し直
角に整列した加工物支持体Ｗｔの軸線Ａを中心として回
転させられるので、腐食液は流出することができる。こ
の回転は二重矢印Ｐｆ６により示されている。回転Ｐｆ
６はカルダン軸Ｇｗを介して伝達され、カルダン軸の端
部には加工物支持体Ｗｔのための搬送路の両側に配置さ
れたＵ字形案内部Ｕの分離した案内部品Ｆｔが取り付け
られている。この案内部品Ｆｔは横ピンＱを介して加工
物支持体Ｗｔを連動する。
【００２０】前記の回転Ｐｆ６による腐食液の流出後に
なお残っている液体残部は、遠心分離運動及び／又は打
撃運動により除去される。遠心分離運動は加工物支持体
Ｗｔの相応に速い回転Ｐｆ６により行うことができる。 打撃運動は搬送路の両側に配置されたノック装置Ｋによ
り行われ、その原理が図２に示されている。図示のよう
にノック装置Ｋはそれぞれ加工物支持体Ｗｔのための前
記の案内部品Ｆｔと、この案内部品Ｆｔ上に作用するカ
ムＮとにより形成されている。カムＮは案内部品Ｆｔ従
って加工物支持体Ｗｔを持ち上げそしてこれを突然再び
落とす。この打撃運動は図１に二重矢印Ｐｆ７により示
されている。図２に示すようにカムＮに向かい合って置
かれたばねＦｅの力により一層強化することができる図
示の打撃運動Ｐｆ７により、加工物Ｗ上に残っている液
体残部が振り飛ばされるので、液体Ｆ又は図示の場合に
は腐食液の僅かな伴出が生じるにすぎない。
なお残っている液体残部は、遠心分離運動及び／又は打
撃運動により除去される。遠心分離運動は加工物支持体
Ｗｔの相応に速い回転Ｐｆ６により行うことができる。 打撃運動は搬送路の両側に配置されたノック装置Ｋによ
り行われ、その原理が図２に示されている。図示のよう
にノック装置Ｋはそれぞれ加工物支持体Ｗｔのための前
記の案内部品Ｆｔと、この案内部品Ｆｔ上に作用するカ
ムＮとにより形成されている。カムＮは案内部品Ｆｔ従
って加工物支持体Ｗｔを持ち上げそしてこれを突然再び
落とす。この打撃運動は図１に二重矢印Ｐｆ７により示
されている。図２に示すようにカムＮに向かい合って置
かれたばねＦｅの力により一層強化することができる図
示の打撃運動Ｐｆ７により、加工物Ｗ上に残っている液
体残部が振り飛ばされるので、液体Ｆ又は図示の場合に
は腐食液の僅かな伴出が生じるにすぎない。
【００２１】処理室Ｂに続く処理室Ｂ１は既に述べたよ
うに加工物Ｗの洗浄のために用いられる。処理室Ｂ１は
処理室Ｂと似た構造を有するが、ノズル管及び噴射ノズ
ルが固定配置されているので処理室Ｂ１では必要経費は
比較的少ない。洗浄液の伴出はここでも遠心分離運動及
び／又は打撃運動により前記の方法で防止される。
うに加工物Ｗの洗浄のために用いられる。処理室Ｂ１は
処理室Ｂと似た構造を有するが、ノズル管及び噴射ノズ
ルが固定配置されているので処理室Ｂ１では必要経費は
比較的少ない。洗浄液の伴出はここでも遠心分離運動及
び／又は打撃運動により前記の方法で防止される。
【図１】この発明に基づく処理装置の一実施例の斜視図
である。
である。
【図２】図１に略示したノック装置の拡大詳細断面図で
ある。
ある。
Ａ 軸線
Ｂ 処理室
Ｄ ノズル管
Ｆ 液体
Ｆｅ ばね
Ｆｔ 案内部品
Ｈ 水平な搬送方向
Ｋ ノック装置
Ｍ 連動体
Ｎ カム
ＯＬ 長手方向運動
ＯＳ 傾動運動
Ｓｔ 引き戸
Ｔ 搬送装置
Ｔｓ 搬送棒
Ｗ 加工物
Ｗｔ 加工物支持体
Claims (10)
- 【請求項１】 液体（Ｆ）を加工物（Ｗ）に噴射する
ノズル管（Ｄ）を装備した少なくとも一つの処理室（Ｂ
）と、少なくとも一つの加工物（Ｗ）を支持する支持体
（Ｗｔ）と、水平な搬送方向（Ｈ）へ処理室（Ｂ）の中
を又はこれを通り抜けて加工物支持体（Ｗｔ）を律動的
に搬送する搬送装置（Ｔ）とを備え、加工物（Ｗ）から
液体（Ｆ）を流出させるために、加工物支持体（Ｗｔ）
が水平にかつ搬送方向（Ｈ）に対し直角に向いた軸線（
Ａ）を中心として回転させられ、また加工物（Ｗ）上に
残っている液体残部を振り飛ばすために、加工物支持体
（Ｗｔ）が遠心分離運動及び／又は打撃運動を与えられ
ることを特徴とする液体により三次元の加工物を処理す
る装置。 - 【請求項２】 搬送装置（Ｔ）が、搬送路の両側に配
置されかつ搬送方向（Ｈ）へ往復運動する搬送棒（Ｔｓ
）と、搬送棒（Ｔｓ）上に配置された加工物支持体（Ｗ
ｔ）のための連動体（Ｍ）とを備えることを特徴とする
請求項１記載の装置。 - 【請求項３】 処理室（Ｂ）の出入り口が引き戸（Ｓ
ｔ）又は開き戸により閉鎖可能であることを特徴とする
請求項１又は２記載の装置。 - 【請求項４】 加工物支持体（Ｗｔ）の軸線（Ａ）を
中心として遠心分離運動が行われることを特徴とする請
求項１ないし３の一つに記載の装置。 - 【請求項５】 加工物支持体（Ｗｔ）が搬送路の両側
に配置されたノック装置（Ｋ）により打撃運動を与えら
れることを特徴とする請求項１ないし４の一つに記載の
装置。 - 【請求項６】 ノック装置（Ｋ）がそれぞれ加工物支
持体（Ｗｔ）のための案内部品（Ｆｔ）と、この案内部
品（Ｆｔ）上に作用するカム（Ｎ）とにより構成されて
いることを特徴とする請求項５記載の装置。 - 【請求項７】 案内部品（Ｆｔ）がカム（Ｎ）により
ばね（Ｆｅ）の力に逆らって持ち上げられることを特徴
とする請求項６記載の装置。 - 【請求項８】 案内部品（Ｆｔ）のうちの一つが加工
物支持体（Ｗｔ）の回転のための連動体として構成され
ていることを特徴とする請求項６又は７記載の装置。 - 【請求項９】 ノズル管（Ｄ）が水平にかつ搬送方向
（Ｈ）に対し直角に整列していることを特徴とする請求
項１ないし８の一つに記載の装置。 - 【請求項１０】 ノズル管（Ｄ）が長手方向に振動す
る運動（ＯＬ）及び／又はノズル管の長手軸線を中心と
して振動する傾動運動（ＯＳ）を行うことを特徴とする
請求項９記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| AT90111222.7 | 1990-06-13 | ||
| EP90111222A EP0461289A1 (de) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | Vorrichtung zum Behandeln von dreidimensionalen Werkstücken mit einer Flüssigkeit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04231482A true JPH04231482A (ja) | 1992-08-20 |
Family
ID=8204096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16646991A Pending JPH04231482A (ja) | 1990-06-13 | 1991-06-10 | 液体により三次元の加工物を処理する装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0461289A1 (ja) |
| JP (1) | JPH04231482A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AUPM647094A0 (en) * | 1994-06-27 | 1994-07-21 | Melanesia International Trust Company Limited | Chemical milling apparatus and method |
| DE19534862A1 (de) * | 1995-09-20 | 1997-03-27 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Trocknung von benetztem Behandlungsgut |
| DE19708341A1 (de) * | 1997-03-01 | 1998-09-03 | A Hering Maschinenfabrik Und A | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von thermisch belasteten Werkstücken und kühlbarer Werkstückhalter hierfür |
| WO2023110423A1 (en) | 2021-12-17 | 2023-06-22 | RACYICS GmbH | An adaptive body biasing system for silicon on insulator semiconductor devices and a production test method for testing single or multiple adaptive body bias generators |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2651429A1 (de) * | 1976-11-11 | 1978-05-18 | Philips Patentverwaltung | Vorrichtung zum halten und drehbewegen einer werkstueckhalterung |
| DE3817543A1 (de) * | 1988-05-24 | 1989-12-07 | Hoellmueller Maschbau H | Maschine zum behandeln von gegenstaenden mit einer behandlungsfluessigkeit |
| DE3817542A1 (de) * | 1988-05-24 | 1989-12-07 | Hoellmueller Maschbau H | Maschine zum behandeln von gegenstaenden mit einer behandlungsfluessigkeit |
-
1990
- 1990-06-13 EP EP90111222A patent/EP0461289A1/de not_active Withdrawn
-
1991
- 1991-06-10 JP JP16646991A patent/JPH04231482A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0461289A1 (de) | 1991-12-18 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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