JPH04232284A - 可変容量エッチング機械 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、工程中の腐食剤の使用
において改善された効率を有するエッチング機械に関す
る。特に、本発明は、上部枠部材と下部槽部材とを有す
るエッチング機械に関する。該各部材は互いに直立軸に
沿って移動可能であるため、エッチングプレート上に腐
食剤を跳ね返す該上部枠部材内の回転可能円筒に対して
、エッチング機械内の腐食剤容量が特定のエッチングの
ための腐食剤要求量に応じて調節される。

【０００２】

【従来の技術】エッチング機械の分野においては、腐食
剤を入れる槽はエッチングプレートがエッチングされる
だけの容量に固定されている。したがって、一度プレー
トがエッチングされると、未使用の腐食剤は、エッチン
グ工程からのあらゆる副産物と一緒になお槽内に残る。 その結果として、未使用の腐食剤は汚染されることにな
り、捨てる必要がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、エッ
チング機械内の腐食剤の量を特定のプレートをエッチン
グするためのエッチング要求量に厳密に一致させて変え
ることができ、該プレートエッチング後に未使用腐食剤
をほとんど残さないエッチング機械を提供することにあ
る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】更に詳細には本発明は、
互いに接続された側部材がエッチング機械内にエッチン
グチャンバーを規定するよう上部枠部材を有する可変容
量エッチング機械に関する。該上部枠部材は、エッチン
グチャンバーに接近し得る開放頂部区域及び底部区域を
有する。しかしながら、頂部及び底部の両区域は、側部
材から内方向に延びるフランジ部材によって、部分的に
閉じられてもよい。

【０００５】上部枠部材の頂部区域を覆うのは、可動カ
バープレートであり、該カバープレートは頂部区域が閉
鎖された第１閉鎖位置及び頂部区域が開放されエッチン
グチャンバーを曝す第２開放位置間を動く。前記カバー
プレートと上部枠部材とを接続するのは、ヒンジ組立体
であり、第１位置及び第２位置間にカバープレートを枢
動可能にする。なお、前記カバープレートは、直立方向
にカバープレートを持ち上げることにより、または水平
方向にカバープレートを滑らせることにより、あるいは
両方の組み合わせにより、手動でも機械的にでも動かす
ことができる。さらに、前記ヒンジ組立体を前記上部枠
部材に隣接して、地面上に置かれた台支持部材に取り付
けることもできる。

【０００６】前記カバープレートを手動枢動させるため
に、カバープレートとヒンジ組立体の接続部から反対の
位置でカバープレート頂部表面からハンドルが延びてい
る。加えて、閉鎖第１位置において、カバープレートを
側壁の頂部区域から内方向に延びているフランジ部材に
載せ、頂部区域を封止する。なお、カバープレートを直
接、側壁の頂部に載せてもよい。

【０００７】前記カバープレートの頂部表面に設けられ
るのは、駆動手段とカバープレートの開口を貫通する回
転可能駆動シャフトとの両方に接続された伝達手段であ
り、エッチング工程中、駆動シャフトを回転させる。該
伝達手段は、プーリと、一方のプーリを駆動シャフトに
接続させ、他方のプーリを駆動手段に接続する接続ベル
トとを備える。ギア組立体などの他の代表的伝達手段が
プーリの代わりに使用されてもよく、あるいは、駆動シ
ャフトに直接モーターを接続してもよい。

【０００８】カバープレートの底部表面に隣接して、駆
動シャフトの底端部に接続するのは、エッチングプレー
トホルダーである。該エッチングプレートホルダーは調
節可能クランプ手段を有し、種々サイズのエッチングプ
レートをエッチングプレートホルダーに固定する。該ク
ランプ手段は、エッチングプレートホルダーのスロット
内に滑動可能な代表的なスクリュークランプを含み、エ
ッチングプレートの面積および厚さに適応するよう調節
することができる。エッチングプレートホルダーにエッ
チングプレートを固定するために他の型のクランプ手段
が使用されてもよい。

【０００９】エッチング工程中、エッチングプレート上
に腐食剤をはね返すために、最外部表面に沿ってカップ
状にへこんだ部分を有する回転可能円筒がエッチングチ
ャンバー内に設けられる。該回転可能円筒は上部枠部材
の開口を貫通するシャフトに接続され、該シャフトに接
続する駆動手段が該円筒を回転させる。該駆動手段は、
モーターに接続されたプーリ組立体を備え、隣接するシ
ャフト及び隣接する円筒を反対方向に回転させ、カバー
プレートが第１閉鎖位置にあるとき、円筒のカップ状に
へこんだ部分が、円筒間、エッチングプレートへ向けて
直立方向に、エッチング機械内において腐食剤をはね返
す。プーリ組立体及びモーターの代わりに他の代表的駆
動手段が使用されてもよい。かような他の手段はモータ
ーに接続されたギア組立体あるいは、直接各シャフトに
接続されたモーターを含む。

【００１０】下部枠部材及び回転可能円筒が位置するの
は、腐食剤の供給を保持するための下部槽部材である。 該下部槽区域は開放頂部を有するので、下部槽区域内に
含まれる腐食剤は、エッチングチャンバーと流体連通関
係にあり、回転可能円筒のカップ状にへこんだ部分に接
触することができる。特定のエッチングのための腐食剤
要求量に応じて、エッチング機械の腐食剤容量を変える
ために、上部枠部材及び回転可能円筒に関する下部槽部
材の位置決めは、調節手段によって、直立軸に沿って調
節される。この構造では、特定のエッチング要求量に従
って、下部槽部材を変化量の腐食剤で満たすことができ
る。また下部槽部材は回転可能円筒に対して位置するこ
とができるので、下部槽部材内の腐食剤の容量は、エッ
チング工程において最適に利用できる。下部槽部材は、
腐食剤の温度を調節するために既知の加熱及び冷却手段
をも備える。加熱及び冷却手段は１個のユニットとして
組み合わせることも、分離ユニットとすることもできる
。下部槽部材は廃液手段をも備えることができる。

【００１１】１つの実施態様において、上部枠部材は、
上部枠部材から外部方向に延びているフランジによって
、地上に吊り下げられる。該フランジは、台支持部材上
で内部方向に延びている支持フランジに係合している。 この構造では、手動調節手段によって、上部枠部材は一
定の水平面で動かされ、一方、上部枠部材の底部区域に
重なる下部槽部材は直立方向に動かされ、上部枠部材及
び回転可能円筒に対して下部槽部材の腐食剤容量を変え
る。該手動調節手段は、上部枠部材の底部区域の穿孔列
と、該穿孔列とを整列させることのできる下部槽部材の
孔と、穿孔と係合するために孔を貫通する連結棒とを含
み、下部槽部材は上部枠部材によって吊り下げられる。 連結棒がどの水平面の穿孔と係合するかにより、直立方
向の下部槽部材の位置を調節することができる。下部槽
部材を位置決め及び移動させるために、ハンドルが下部
増部材の側部から延びている。

【００１２】別の実施態様では、下部槽部材は地面に置
かれ、上部枠部材は直立方向に動かされ、回転可能円筒
の位置に対して、エッチング機械内の腐食剤容量を変え
る。この構造では、上部枠部材の底部区域から延びてい
るフランジ部材は、下部槽部材内に位置した調節ブロッ
クを含む調節手段に置かれ、該調節ブロックの高さを調
節することによりエッチング機械の腐食剤体積容量は変
えられる。調節ブロックの高さを調節するために、調節
ブロックは互いの頂面上に積み重ねられるか、あるいは
所定のサイズをもつ調節ブロックが特定のエッチングに
使用される。なお、下部槽部材に関して上部枠部材の相
対的な位置決めは、たとえば水圧手段あるいは機械的手
段により調節することができる。

【００１３】さらに本発明の他の目的、特徴及び利点は
、添付図面を参照しながら、以下の好ましい実施態様の
詳述により明らかとなるであろう。

【００１４】

【実施例】図２に示すように、可変浴エッチング機械１
は、側部材３が互いに接続された状態で備えた上部枠部
材２を含み、箱体を形成し、該箱体内に規定されたエッ
チングチャンバー４を備える。図２に示すように、前記
上部枠部材２は、エッチングチャンバーに接近し得る開
放頂部区域５と下部区域６とを備える。

【００１５】上部枠部材２の頂部区域５を覆うのは、可
動カバープレート７である。該可動カバープレート７は
、図１に示すように頂部区域が閉鎖された第１閉鎖位置
と図２に示すように頂部区域が開放されエッチングチャ
ンバー４を露呈する第２開放位置との間を動くことがで
きる。図１、図３、図４に示すように、カバープレート
７の後部と上部枠部材２とを接続するのは、ヒンジ組立
体８である。該ヒンジ組立体８は、前記第１位置と前記
第２位置との間でカバープレート７を枢動可能にする。 ヒンジ組立体８は、上部枠部材２の後方部に接続された
直立フランジ９と、直立フランジ９を貫通する連結棒１
０と、連結棒１０に後端で枢動可能に載置され、カバー
プレート７の頂部表面１５の前方部で取り付けられたピ
ン組立体１４に前端で枢動可能に載置されたアーム１１
とを含む。よって、カバープレート７が第１開放位置及
び第２閉鎖位置との間を動くときに、前記カバープレー
トは連結棒１０を中心として枢動する。カバープレート
７を第１位置と第２位置との間を手動で動かすために、
ハンドル１２がカバープレート７の前方部から延びる。 よって、使用時にカバープレートをハンドル１２上に引
き上げることにより開放するよう持ち上げることができ
る。

【００１６】図４に示すように、第１閉鎖位置にカバー
プレート７を支持するために、上部フランジ部材１３が
側壁３の頂部区域５から内方向に延びる。閉鎖された第
１位置において、カバープレート７の底部表面１６が上
部フランジ部材１３に頂部区域を遮蔽するように当接す
る。

【００１７】図１、図３、図４に示すように、カバープ
レート７の頂部表面１５上に設けられるのは、モーター
１８及び回転可能駆動シャフト１９に接続された伝達手
段１７である。伝達手段１７は、回転可能駆動シャフト
１９の頂部端に接続された第１プーリ２０と、モーター
１８に接続された第２プーリ２１と、第１プーリ及び第
２プーリに接続された接続ベルト２２とを含む。よって
、モーターの付勢により、回転可能駆動シャフト１９は
回転する。

【００１８】図４に示すように、回転可能駆動シャフト
１９は、カバープレートの孔２３を貫通し、隣接するカ
バープレート７の底部表面１６の底部端で、エッチング
プレートホルダー２４に接続する。回転可能駆動シャフ
ト１９の直立整合を維持するために、回転可能駆動シャ
フト１９は、孔２３を貫通する前に、頂部表面１５上に
位置するベアリング手段２５を貫通する。

【００１９】図２に示すように、エッチングプレートホ
ルダー２４に接続された調節可能クランプ手段２６は、
エッチングプレートホルダー２４を種々サイズのエッチ
ングプレート２７に適応させる。調節可能クランプ手段
２６は、固定タブ２９を有するスクリュークランプ２８
を含む。よって、使用時にスクリュークランプ２８の締
め付けにより、エッチングプレート２７に対してタブ２
９を、また底部表面１６に対してエッチングプレート２
７を押しつける。種々サイズのエッチングプレートに適
応させるために、スクリュークランプ２８は、エッチン
グプレートホルダー２４内のスロット３０内で滑動可能
であり、かつ係合し、エッチングプレート２７の種々の
面積に適応する。

【００２０】図４に示すように、エッチングプレート２
７上に腐食剤３１をはね返すために、最外部表面３４に
沿ってカップ状にへこんだ部分３３を有する回転可能円
筒３２がエッチングチャンバー４内に設けられる。図３
に示すように、回転可能円筒３２は、シャフト３５に接
続され、上部枠部材において開口３６を貫通する。よっ
て、シャフト３５の回転は、円筒３２を回転させる。シ
ャフト３５の水平方向の整合を維持するために、シャフ
ト３５は、開口３６を貫通する前に、反対側の側壁４に
接続されたフランジベアリング手段３７を貫通する。

【００２１】シャフト３５の外方向部に接続されるのは
、円筒駆動手段３８である。図１及び図３に示すように
、円筒駆動手段３８は、モーター（図示せず）に接続さ
れたプーリ組立体３９を含む。図４に示すように、操作
時に、プーリ組立体の配列は、隣接シャフト３５を反対
方向に回転させる。よって、円筒３２のカップ状にへこ
んだ部分が、回転しながら、エッチングプレート２７の
方向に上方向に隣接円筒間において腐食剤３１をはね返
す。

【００２２】上部枠部材２及び回転可能円筒３２の下方
に配置されるのは、腐食剤の供給を保持するための下部
槽部材４０である。図４及び図５に示すように、下部槽
部材４０は開放頂部４１を有し、下部槽部材４０に含ま
れる腐食剤をエッチングチャンバー４と流体連通関係に
おくことができ、回転可能円筒３２のカップ状にへこん
だ部分と接触させることができる。特定のエッチングの
腐食剤要求量に応じてエッチング機械１の腐食剤容量を
変化させるために、上部枠部材２及び回転可能円筒３２
に関する下部槽部材４０の位置決めは、調節手段４２に
より直立軸に沿って調節される。操作時に、下部槽部材
は特定のエッチング要求量に応じた腐食剤の量で満たさ
れ、回転可能円筒３２に関する調節手段４２によって位
置決めされる。よって、下部槽部材内の腐食剤の容量は
エッチング工程において最適に利用される。

【００２３】図５に示すように、下部槽部材はまた、加
熱手段４３及び冷却手段４４を備え、腐食剤の温度を調
節してもよい。加熱手段及び冷却手段は、下部槽部材内
で分離ユニットとすることも可能であり、１つのユニッ
トとして組み合せることも可能である。

【００２４】図１から図６に示した第１の実施態様では
、上部枠部材２は、上部枠部材から外方向に延びるフラ
ンジ４５によって地上に吊り下げられる。該フランジ４
５は、図１及び図２に示すように、地面に置かれた台支
持部材４７から内方向に延びる支持フランジ４６に係合
する。この構造では、上部枠部材及び回転可能円筒に対
して下部槽部材内の腐食剤容量を変えるために、上部枠
部材は、固定した水平面において動くことができ、一方
、上部枠部材の底部区域に重なる下部槽部材は、手動調
節手段によって、直立方向において動くことができる。

【００２５】第１の実施態様では、調節手段４２は上部
枠部材の底部区域上に穿孔列４８と、下部槽部材におい
て穿孔列４８に整列した孔４９と、孔４９を貫通し穿孔
４８に係合する連結棒５０とを含む。よって、下部槽部
材は上部枠部材によって吊り下げられる。連結棒がどの
水平面の穿孔と係合するかにより、下部槽部材の直立位
置が調節できる。下部槽部材を位置決めし、また移動さ
せるため、ハンドル５１が下部槽部材の反対側から延び
る。エッチングチャンバーへの腐食剤の流れを促すため
、また、腐食剤のサージを防止するために、少なくとも
１つの側壁が、上部枠部材の底部区域によって、切り欠
き部５２を規定する。

【００２６】操作時に、エッチングプレート２７は、ク
ランプ手段２６によってエッチングプレートホルダー２
４に固定され、カバープレート７は第１閉鎖位置へ動か
される。加えて、下部槽部材４０は、エッチングプレー
ト２７をエッチングするのに必要な量に一致する容量の
腐食剤３１で満たされ、上部枠部材２の下面で、直立方
向において、回転可能円筒３２がエッチングプレートを
エッチングする際に、最も効果的に腐食剤を使用する水
平面に一致する位置へ動かされる。この位置で、連結棒
５０は、同じ水平面にある孔４９及び穿孔４８を通して
挿入され、よって、下部槽部材は所定の水平面において
維持される。次いで、エッチング機械１は回転し、エッ
チングプレート２７を回転させ、回転している際にエッ
チングプレート上に腐食剤をはね返す。

【００２７】図７から図９に示すように、本発明の別の
実施態様では、下部槽部材４０が地面に置かれ、上部枠
部材２が直立方向に動き、回転可能円筒３２の位置に対
してエッチング機械内での相対する腐食剤容量を変える
。この構造では、上部枠部材の底部区域から延びる下部
フランジ部材５３は調節手段４２に置かれる。該別の実
施態様では、調節手段４２は、下部槽部材内に位置する
調節ブロック５４を備え、よって調節ブロックの高さを
調節することによって、エッチング機械の相対腐食剤容
量は変えることができる。

【００２８】操作時に、エッチングプレート２７は、ク
ランプ手段２６によって、エッチングプレートホルダー
２４に固定され、カバープレート７は第１閉鎖位置へ動
かされる。加えて、下部槽部材４０は、エッチングプレ
ート２７をエッチングするのに必要な量に対応する容量
の腐食剤３１で満たされ、調節ブロック５４は、上部枠
部材が調節ブロックの頂部に位置するときに、回転可能
円筒３２がエッチングプレートをエッチングする際に腐
食剤を最も効果的に使用する水平面に対応する下部槽部
材内に載せられる。この位置において、上部枠部材は所
定の水位平面において維持される。次いで、エッチング
機械１は回転し、エッチングプレート２７を回転させ、
回転している際にエッチングプレート上に腐食剤をはね
返す。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の可変容量エッチング機械の正
面斜視図である。

【図２】図２は、エッチングチャンバーに曝すための開
放第２位置でのカバープレートを示す斜視頂面図である
。

【図３】図３は、図１に示した可変容量エッチング機械
の断面図である。

【図４】図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図で
ある。

【図５】図５は、本発明の下部槽部材の斜視図である。

【図６】図６は、図２のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図で
ある。

【図７】図７は、本発明の可変容量エッチング機械の別
の実施態様の正面斜視図である。

【図８】図８は、図７に示した可変容量エッチング機械
の断面図である。

【図９】図９は、図８のＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図で
ある。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　互いに接続され内部にエッチングチャ
   ンバーを規定する側部材を有する上部枠部材を備え、該
   上部枠部材は開放頂部区域及び底部区域を有しており、
   第１閉鎖位置と第２開放位置との間を動くことができる
   カバープレートを備え、該第１閉鎖位置において前記頂
   部区域は閉鎖されており、前記カバープレートは前記上
   部枠部材上に置かれ、該第２開放位置において前記頂部
   区域は開放されており、前記エッチングチャンバーに曝
   され、前記カバープレートの開口を貫通する回転可能駆
   動シャフトに接続された原動伝達手段を備え、使用時に
   該原動伝達手段の付勢により前記回転可能駆動シャフト
   を回転させ、前記エッチングチャンバー内に前記回転可
   能駆動シャフトに接続されたエッチングプレートホルダ
   ーを備え、前記回転可能駆動シャフトの回転により前記
   エッチングプレートホルダーを回転させ、前記エッチン
   グプレートホルダーに接続された調節可能クランプ手段
   を備え、該手段は前記エッチングプレートホルダーにエ
   ッチングプレートを固定し、前記エッチングチャンバー
   内にはね返し手段を備え、前記エッチング機械内の腐食
   剤の供給に携わり、前記エッチングプレートが回転して
   いる際に前記腐食剤を前記エッチングプレート上にはね
   返し、開放頂部を有し、前記腐食剤の供給を保持するた
   めの下部槽部材を備え、使用時に該下部槽区域は前記上
   部枠部材及び前記はね返し手段が流体連通関係にあり、
   前記上部枠部材と前記下部槽部材とを係合する調節手段
   を備え、前記上部枠部材と前記下部槽部材とが互いに直
   立軸に沿って動くことができ、前記はね返し手段に対し
   て、エッチング機械内の腐食剤容量が特定のエッチング
   プレートの腐食剤要求量に応じて調節されるエッチング
   機械。
2. 【請求項２】　　エッチングチャンバーを規定する上部
   枠手段を備え、該上部枠手段は開放された相対する頂部
   端及び底部端とを有し、前記頂部端を被覆する第１閉鎖
   位置と前記頂部端とエッチングチャンバーとを曝す第２
   開放位置との間にカバープレート手段を備え、該エッチ
   ングチャンバー内にエッチングプレートを保持し、回転
   させるためのエッチングプレートホルダー手段を備え、
   前記上部枠手段を受けるための開放頂部を有し、腐食剤
   の供給を保持するための下部槽部材を備え、前記エッチ
   ングチャンバー内に、該腐食剤を該エッチングプレート
   上にはね返すためのはね返し手段を備え、はね返す際に
   前記エッチングプレートは前記腐食剤の供給に対して該
   はね返し手段の位置に従属状態で回転されており、前記
   上部枠部材と前記下部槽部材との間において操作され、
   前記腐食剤の供給に対して前記はね返し手段の位置を調
   節するための調節手段を備えるエッチング機械。