JPH04232436A - 圧力測定用自動トランスデューサ選択システム - Google Patents

圧力測定用自動トランスデューサ選択システム

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JPH04232436A
JPH04232436A JP3132879A JP13287991A JPH04232436A JP H04232436 A JPH04232436 A JP H04232436A JP 3132879 A JP3132879 A JP 3132879A JP 13287991 A JP13287991 A JP 13287991A JP H04232436 A JPH04232436 A JP H04232436A
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JP
Japan
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transducer
output signal
pressure
fluid pressure
range
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JP3132879A
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English (en)
Inventor
Leonard M Weinstein
レナード・エム・ウエインステイン
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Dynamic Engineering Inc
Original Assignee
Dynamic Engineering Inc
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/02Arrangements for preventing, or for compensating for, effects of inclination or acceleration of the measuring device; Zero-setting means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/08Means for indicating or recording, e.g. for remote indication
    • G01L19/083Means for indicating or recording, e.g. for remote indication electrical

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、測定および試験に関し
、特に流体圧力の測定に関する。
【0002】
【従来の技術】流体のダイナミックな研究において圧力
の測定には幾つかの方法がある。特に有効な方法の1つ
は、シリコンまたはステンレス鋼ダイヤフラムのいずれ
かに接着されたピエゾ電気歪計または金属歪計の使用で
ある。ゼロ平衡および熱の影響を考慮した適切な補償方
法により、これらの装置は風洞その他の環境において流
体圧力レベルの決定に非常に有用であり、また研究装置
中で多数のものを使用することができるような比較的廉
価なものである。
【0003】任意の他の歪計装置と同様に、この特定の
歪計装置の測定圧力範囲および正確度には限界がある。 例えばこれらの装置の正確度は表面に設置された歪計を
有する薄いダイヤフラムの微小な変形に依存している。 このダイヤフラムへの圧力の印加はそれに偏向を生じさ
せ、したがって表面に歪みを誘起し、それが歪計によっ
て検出され、その歪みき供給された負荷に比例している
。適当な較正と補償方法により印加された圧力を歪計の
電気出力の関数として測定することができる。測定圧力
範囲の制限は、その線形応答特性範囲またはその応力限
界のいずれかを越えてそのために反復可能な結果が得ら
れなくなり、或いは破壊される範囲にダイヤフラムおよ
び歪計を変形させる前にダイヤフラムがさらされる供給
されたる圧力レベルによって受ける固有の制限のために
生じる。
【0004】最大の正確度を得るために偏向量を最大に
することが好ましい。換言すれば、小さい印加圧力に対
して大きな偏向を得ることが好ましい。しかしながらそ
のようにするとトランスデューサは許容された過圧力が
制限され、したがってその正確な測定範囲が限定される
【0005】
【発明が解決しようとする課題】所望の正確度と最大範
囲との相反する条件から、使用者は過電圧に対する安全
な限定された範囲の非常に正確なトランスデューサと広
範囲の過電圧をうけても安全であるが正確度が劣るトラ
ンスデューサのいずれかを選択しなければならない。
【0006】この選択の問題を最小にする方法は、いわ
ゆるオートレンジ技術を使用して出力信号の電子的な調
整および増幅を行い、印加圧力に無関係にほぼ全スケー
ル範囲で最終出力が読取られるように可変利得を歪計出
力に与えることである。
【0007】この方法の主要な欠点は電気信号とともに
雑音も増幅されることである。さらに出力は依然として
ダイヤフラムの小さい移動の結果として生成されるもの
である。
【0008】したがって、試験を行う前にトランスデュ
ーサの大きさをそれが受けると予想される圧力範囲に注
意深く整合させる方法が採用されることが多い。もちろ
ん、この方法は測定される流体圧力が広い範囲で変化す
るような試験には適用できない。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、異なっ
た範囲の2以上のトランスデューサが、フルスケールに
近い読取り範囲から出力を電子的に選択する回路と共に
使用される。各後続するトランスデューサはその先行す
るトランスデューサよりも大きい圧力測定範囲を有する
。例えば第1のトランスデューサは毎平方インチ当りゼ
ロから2ポンドのスケールであり、第2のトランスデュ
ーサは毎平方インチ当りゼロから15ポンドのスケール
である。
【0010】本発明の主要な特徴は、全てのトランスデ
ューサが同じ圧力にさらされるために圧力ポートの全て
が共に並列に接続されていることである。同様に全ての
基準ポートも並列に接続されている。
【0011】本発明はまた、ダイヤフラムの一体部分と
して構成された歪計を有する新規な圧力トランスデュー
サを使用する点に特徴がある。これらの歪計の重要な利
点はそれらが損傷を受けることなく大きな過圧力を受け
ることができ、著しい圧力ヒステレシスを有していない
ことである。
【0012】この発明により得られる効果は、この新規
な圧力トランスデューサと共同する歪計が損傷を受ける
ことなく、また著しい圧力ヒステレシスもなく大きな過
圧力にさらされることができることにより得られるもの
である。本発明により得られるこれら、およびその他の
特徴および効果は、添付図面を参照にした実施例の詳細
な説明によって明瞭になるであろう。
【0013】
【実施例】図1は本発明の第1の実施例の概略図を示し
ている。歪計、キャパシチブ圧力センサ、またはインダ
クチブ圧力センサの任意のものでよいセンサ5は流体ラ
イン(図示せず)中の圧力を測定する。図1に示された
第1のトランスデューサ10は例えば毎平方インチ当り
ゼロ乃至2ポンドの低い圧力範囲で動作する。第2のト
ランスデューサ20は例えば毎平方インチ当りゼロ乃至
15ポンドの高い圧力範囲で動作する。トランスデュー
サとしては歪計型トランスデューサ、キャパシチブ感知
トランスデューサ、インダクチブ感知トランスデューサ
等のトランスデューサが使用できるが、動作範囲の圧力
よりもずっと大きい圧力を受けても動作範囲内の後の測
定において歪計の正確度に悪影響が生じないような形式
のものであることが重要である。測定された圧力に対す
る流体ライン30は2つのポート31,32に分岐して
それぞれトランスデューサ10および20に導かれる。 したがってポート31,32は実効的に並列に接続され
、そのためトランスデューサ10および20は同じ測定
圧力を受ける。同様に基準圧力用の流体ライン40は2
つのポート41,42に分岐してそれぞれトランスデュ
ーサ10および20に導かれる。したがってポート41
,42は実効的に並列に接続され、そのためトランスデ
ューサ10および20は同じ基準圧力を受ける。
【0014】この装置は、そのトランスデューサとして
使用される歪計が損傷を受けることなく大きな過圧力に
さらされることができるために可能になったものである
。またこの装置は、これらの歪計が何等顕著な圧力ヒス
テレシスを有することなく大きな過圧力にさらされるこ
とができるために可能である。換言すれば、歪計の動作
範囲の圧力よりもずっと大きい圧力に歪計がさらされた
ときその動作範囲内の後続する測定において歪計の正確
度に悪影響はない。
【0015】低圧力範囲のトランスデューサ10からの
電子信号または出力は第1の導線15により第1の測定
増幅器50に導かれ、この増幅器50はミリボルトの範
囲の低レベル出力を最大約1乃至5ボルトの範囲の高レ
ベル出力に増幅する。同時に高圧力範囲のトランスデュ
ーサ20からの電子信号または出力は第2の導線25に
より第2の測定増幅器60に導かれ、この増幅器60は
ミリボルトの範囲の低レベル出力を最大約1乃至5ボル
トの同じ範囲の高レベル出力に増幅する。第1の測定増
幅器50からの増幅された出力は第3の導線55により
比較器70に導かれる。 同様に第2の測定増幅器60からの増幅された出力は第
4の導線65により比較器70に導かれる。2つのトラ
ンスデューサが示されているが、さらに広い圧力範囲全
体が測定されるとき順次広い動作圧力範囲を有するさら
に多くの歪計トランスデューサが追加され、それら追加
された各トランスデューサが出力信号を生成し、それが
増幅されて比較器70に入力として供給されることが可
能であることは容易に明らかであろう。
【0016】比較器70は種々の入力の中から各トラン
スデューサのフルレンジすなわち測定可能な最大圧力レ
ベルに最も近接しているがそれより小さいレベルで出力
している1つの圧力トランスデューサから入力を選択し
、この選択された入力から出力信号を発生し、その出力
信号は第5の導線75によって可視表示装置その他のデ
ータ記録装置(図示せず)に送られる。図示された2個
のトランスデューサの装置では、選択機能はトランスデ
ューサの1つ、例えば広い動作圧力範囲のトランスデュ
ーサ20によって発生される信号を連続的に監視し、監
視されている信号が予め定められたしきい値レベル、例
えば監視されているトランスデューサの対応するフルレ
ンジすなわち最大信号レベルの約12%の上か下かを決
定し、監視されている信号がしきい値レベルより下にあ
るときには低い範囲のトランスデューサ10の信号が選
択され、そうでないときには広い動作圧力範囲のトラン
スデューサ20の信号が選択される。
【0017】振動またはハンティングを防止するために
立上りと立下りの監視信号レベルで別のしきい値レベル
が使用されることが好ましい。3個のトランスデューサ
の形態では出力信号の選択は中間段階のトランスデュー
サの別々の下側および上側しきい値、例えばそれぞれこ
のトランスデューサのフルレンジ信号の30%および7
5%を基準としてこのトランスデューサの発生した信号
のレベルを監視することにより行われ、監視している信
号レベルが下側しきい値より低い場合には低い範囲のト
ランスデューサの信号が選択され、監視している信号レ
ベルが上側しきい値より上である場合には高い範囲のト
ランスデューサの信号が選択され、監視している信号レ
ベルが下側しきい値と上側しきい値との間の範囲にある
場合には中間段階のトランスデューサの信号が選択され
る。 同様にして、3個より多い圧力トランスデューサを有す
る形態では、対応する下側しきい値および上側しきい値
を有する各中間段階トランスデューサからの信号を別々
に監視することを含む出力信号選択配置を使用すること
ができる。
【0018】導線75上の比較器70の出力信号は図2
に示されるように重ねられ、したがって比較器70の出
力信号は圧力の増加と共に連続的に電圧が増加する。こ
の重合わせは導線75上の信号を発生するために選択さ
れた1つのトランスデューサの信号の識別にしたがって
比較器70の出力信号発生回路の利得およびオフセット
を変化させることによって行われる。このモードにおい
ては、出力信号は全圧力範囲にわたって動作可能な単一
のトランスデューサの出力信号と同様に現れる。図2に
示されているように、検出された圧力が毎平方インチ当
り2ポンド(2psi) 以下のときには低い範囲のト
ランスデューサ10によって発生された信号から出力信
号が生成され、一方検出された圧力が毎平方インチ当り
2ポンドより大きいときに広い測定範囲のトランスデュ
ーサ20により発生された信号が使用される。その他の
形態の出力信号を生成することもでき、この目的に対し
て出力選択スイッチ80が設けられて第6の導線85に
よって比較器70と結合されている。
【0019】第2の出力モードは図3の(a)および(
b)に示されている。このフルモードでは、選択された
圧力トランスデューサのフルレンジ信号は信号を調整す
ることなく、選択されたトランスデューサの識別情報を
伴って出力される。選択スイッチが設けられて、トラン
スデューサが比較器70によって選択されたものである
か否かに関係なく任意のトランスデューサに対応する信
号を出力する。
【0020】上記の2つの実施例において、本発明は手
動選択または自動選択のいずれかを使用する複合トラン
スデューサとして動作するが、可変増幅度で増幅される
単一のトランスデューサよりも大きな圧力レベルにわた
ってより高い正確度を有している。
【0021】本発明を集約すると、回路は2つのモード
の1つで出力を生成するように構成されている。すなわ
ち、第1は重ね合せモードであり、トランスデューサの
どちらがアクチブなものとして選択されるのかに関係な
く全圧力範囲にわたって単一の出力信号が発生される。 第2は手動選択モードであり、使用者がトランスデュー
サの1つを選択して出力信号を発生させる。図2は第1
の重ね合わせモードにおける出力を示しており、一方図
3の(a)および(b)は第2のフルモードにおける出
力を示している。
【0022】図2に関して、2つのトランスデューサの
所定の圧力でアクチブであるものを図の上部に示してい
る。したがって測定された圧力が低圧力のトランスデュ
ーサ10の上限より下であるときこのトランスデューサ
10はアクチブであり、高圧力のトランスデューサ20
の出力は無効である。測定された圧力が上限を越えると
状態は逆転する。
【0023】図3に関しては、各トランスデューサの圧
力範囲は対応するグラフの座標軸上に示されている。こ
のモードでは出力信号は測定された圧力および特定のト
ランスデューサ10または20の識別情報を含んでいる
から両トランスデューサの識別情報が必要である。
【0024】本発明はまた、同時に2以上の流体圧力を
測定するために図1に示された装置の幾つかを1以上の
グループに組織化することを含んでいる。その場合には
導線75上の種々の電子信号または出力の多重化が可能
であり、したがって本発明は機械的または電気的に走査
される流体圧力測定システムに類似した能力が与えられ
る。
【0025】さらに本発明の圧力測定用の自動トランス
デューサ選択システムは、標準の圧力トランスデューサ
が使用される任意の研究分野に適用されることができる
。本発明のシステムは、航空機の生じる気流の流体圧力
の測定のような広い範囲にわたって測定圧力が変化する
場合や、適当なトランスデューサを選択するために必要
な流体圧力の信頼できる評価が予め知られていない場合
に特にに有効に適用されることができる。
【0026】以上の実施例は単なる例示に過ぎない。こ
の明細書の説明により電子技術の当業者によって多くの
他の変形が容易に可能であろう。したがって本発明は上
記説明した構成および動作に限定されるものではなく、
特許請求の範囲の鬼才によってのみ限定されるべきもの
である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の概略図。
【図2】本発明の第1の実施例により得られる結果を示
すグラフ。
【図3】本発明の第2の実施例に使用された第1および
第2のトランスデューサより得られる出力を示すグラフ
【符号の説明】
5 …センサ、10,20…トランスデューサ、50,
60…測定増幅器、70…比較器、80…スイッチ。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  それぞれ悪影響を受けることなく感知
    範囲の最大圧力に等しい過圧力に耐えることができ、連
    続して実効的に広い圧力検出範囲を有する2以上のトラ
    ンスデューサと、測定される流体圧力および基準流体圧
    力に対して並列にトランスデューサを接続する手段と、
    各トランスデューサからの出力信号を受信する比較器手
    段とを具備し、この比較器手段は、対応するトランスデ
    ューサのフルレンジ出力信号に最も接近しているトラン
    スデューサ出力信号の1つを選択する機能を有し、また
    選択されたトランスデューサの出力信号から出力信号を
    発生する機能を有していることを特徴とする流体圧力測
    定システム。
  2. 【請求項2】  前記比較器手段は、トランスデューサ
    出力信号の選択されたものに応じてそれからの出力信号
    を調整する手段を具備している請求項1記載の流体圧力
    測定システム。
  3. 【請求項3】  前記比較器手段は、調整された出力信
    号または選択されたトランスデューサ出力信号に対応す
    る出力信号のいずれかを選択的に発生する機能を備え、
    前記対応する出力信号には選択されたトランスデューサ
    の識別情報が含まれている請求項1記載の流体圧力測定
    システム。
  4. 【請求項4】  さらに比較器手段によって発生された
    出力信号の中から1つの出力信号を選択するスイッチ手
    段を具備している請求項3記載の流体圧力測定システム
  5. 【請求項5】  前記圧力トランスデューサは歪計型ト
    ランスデューサである請求項1記載の流体圧力測定シス
    テム。
  6. 【請求項6】  前記圧力トランスデューサはキャパシ
    チブ感知トランスデューサである請求項1記載の流体圧
    力測定システム。
  7. 【請求項7】  前記圧力トランスデューサはインダク
    チブ感知トランスデューサである請求項1記載の流体圧
    力測定システム。
JP3132879A 1990-06-04 1991-06-04 圧力測定用自動トランスデューサ選択システム Pending JPH04232436A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/532,697 US5024100A (en) 1990-06-04 1990-06-04 Automatic transducer selection system for pressure measurement
US532697 1990-06-04

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04232436A true JPH04232436A (ja) 1992-08-20

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ID=24122802

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3132879A Pending JPH04232436A (ja) 1990-06-04 1991-06-04 圧力測定用自動トランスデューサ選択システム

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US (2) US5024100A (ja)
EP (1) EP0460498A3 (ja)
JP (1) JPH04232436A (ja)
CA (1) CA2043688A1 (ja)
DE (1) DE460498T1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006177833A (ja) * 2004-12-24 2006-07-06 Yokogawa Electric Corp 差圧伝送器
JP2007110004A (ja) * 2005-10-17 2007-04-26 Ckd Corp 薬液供給システム
JP2009168616A (ja) * 2008-01-16 2009-07-30 Toyota Motor Corp 圧力検出装置
JP2013217942A (ja) * 2008-11-28 2013-10-24 Fuji Electric Co Ltd 真空計

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH688210A5 (de) * 1993-12-15 1997-06-13 Balzers Hochvakuum Druckmessverfahren und Druckmessanordnung zu dessen Ausfuehrung
US6047244A (en) * 1997-12-05 2000-04-04 Rosemount Inc. Multiple range transition method and apparatus for process control sensors
DE112004002681D2 (de) * 2004-02-28 2006-12-07 Abb Research Ltd Prozessleitsystem und Verfahren zum Betreiben eines solchen Systems
US7418869B2 (en) * 2005-06-10 2008-09-02 Brooks Automation, Inc. Wide-range combination vacuum gauge
US7207224B2 (en) * 2005-06-10 2007-04-24 Brooks Automation, Inc. Wide-range combination vacuum gauge
GB2462309B (en) * 2008-08-01 2012-05-30 Cary Ratner Pressure gauge
US7997143B2 (en) * 2009-04-09 2011-08-16 Kulite Semiconductor Products, Inc. Internally switched multiple range transducer
US9804050B2 (en) * 2013-03-14 2017-10-31 Kulite Semiconductor Products, Inc. Systems and methods for sensor drift compensation
JP6480837B2 (ja) * 2015-09-04 2019-03-13 株式会社東芝 センサ、情報端末、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
US10612991B1 (en) 2017-08-25 2020-04-07 Fluke Corporation High dynamic range capacitive pressure sensor
DE102019203016A1 (de) * 2019-03-06 2020-09-10 Robert Bosch Gmbh Sensoranordnung zur Bestimmung mindestens eines Drucks eines fluiden oder gasförmigen Mediums
US11415474B2 (en) * 2020-06-15 2022-08-16 The Boeing Company Pressure sensor and system for measuring pressure
CN114813031B (zh) * 2022-07-01 2022-09-30 中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所 一种用于风洞试验的宽量程高精度压力测量装置及方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3118305A (en) * 1964-01-21 Manometer system
DE2347543A1 (de) * 1973-09-21 1975-04-03 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Einrichtung zur vakuummessung
US4339943A (en) * 1980-08-05 1982-07-20 Smiths Industries Limited Pressure transducer cross-check system
US4375243A (en) * 1981-03-30 1983-03-01 Doll W Gary Wide range high accuracy weighing and counting scale
DE3120085C2 (de) * 1981-05-20 1985-02-28 Interatom Internationale Atomreaktorbau Gmbh, 5060 Bergisch Gladbach Differenzdruckmeßgerät mit Meßstellenumschaltmöglichkeit
US4445383A (en) * 1982-06-18 1984-05-01 General Signal Corporation Multiple range capacitive pressure transducer
US4537079A (en) * 1984-03-13 1985-08-27 Lee Arnold S J Multi-pressure manometer
US4776219A (en) * 1987-04-06 1988-10-11 Jaromir Friedrich Pressure transducer
US4827772A (en) * 1987-10-19 1989-05-09 Texaco Inc. Differential pressure sensing means and method
US4818994A (en) * 1987-10-22 1989-04-04 Rosemount Inc. Transmitter with internal serial bus
FR2646237B1 (fr) * 1989-04-21 1994-01-07 Fabrication Instruments Mesure Dispositif de jaugeage de gaz haute pression, en particulier pour la reserve d'oxygene gazeux embarquee a bord d'un avion

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006177833A (ja) * 2004-12-24 2006-07-06 Yokogawa Electric Corp 差圧伝送器
JP2007110004A (ja) * 2005-10-17 2007-04-26 Ckd Corp 薬液供給システム
JP2009168616A (ja) * 2008-01-16 2009-07-30 Toyota Motor Corp 圧力検出装置
JP2013217942A (ja) * 2008-11-28 2013-10-24 Fuji Electric Co Ltd 真空計

Also Published As

Publication number Publication date
US5024100A (en) 1991-06-18
CA2043688A1 (en) 1991-12-05
EP0460498A3 (en) 1992-08-19
DE460498T1 (de) 1992-04-09
USRE34694E (en) 1994-08-16
EP0460498A2 (en) 1991-12-11

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